JP6713086B2 - 部品保持装置 - Google Patents
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
Description
(A)部品を保持する部品保持デバイスと、
(B)自身の軸線方向における先端において部品保持デバイスを着脱可能に保持するホルダと、
(C)そのホルダを軸線方向に移動させることで部品保持デバイスを前進・後退させる保持デバイス移動装置と、
(D)部品保持デバイスのホルダに対する軸線方向における相対位置を検出し、その検出結果に基づいて、部品保持デバイスがホルダに適切に装着されているか否かを判定するデバイス装着状態判定装置と
を含んで構成される部品保持装置であって、
前記ホルダが、前記軸線方向に延びて前記部品保持デバイスの一部を内部に嵌合させる嵌合穴が形成された筒部を有し、
前記部品保持デバイスが、前記筒部に嵌合する部分の外周面に凹部が形成されたものとされ、
前記ホルダが、前記軸線方向に交差する方向に延びて前記嵌合穴に開口が形成されたものとされ、
前記部品保持装置が、
前記ホルダに保持され、前記嵌合穴の内部に突出して前記凹部に係合可能な係合体を有し、その係合体を付勢力によって前記凹部に係合させることで前記部品保持デバイスの前記ホルダに対する前記軸線方向の移動を禁止するロック機構を備え、
前記デバイス装着状態判定装置が、
検出された前記部品保持デバイスの前記ホルダに対する前記軸線方向における相対位置が、前記凹部と前記係合体との前記軸線方向における位置関係に基づいて設定された閾範囲外となった場合に、前記部品保持デバイスが前記ホルダに適切に装着されていないと判定するように構成された部品保持装置を開示する。
Claims (5)
- 部品を保持する部品保持デバイスと、
自身の軸線方向における先端において前記部品保持デバイスを着脱可能に保持するホルダと、
そのホルダを軸線方向に移動させることで前記部品保持デバイスを前進・後退させる保持デバイス移動装置と、
前記部品保持デバイスの前記ホルダに対する軸線方向における相対位置を検出し、その検出結果に基づいて、前記部品保持デバイスが前記ホルダに適切に装着されているか否かを判定するデバイス装着状態判定装置と
を含んで構成された部品保持装置であって、
前記ホルダが、前記軸線方向に延びて前記部品保持デバイスの一部を内部に嵌合させる嵌合穴が形成された筒部を有し、
前記部品保持デバイスが、前記筒部に嵌合する部分の外周面に凹部が形成されたものとされ、
前記ホルダが、前記軸線方向に交差する方向に延びて前記嵌合穴に開口が形成されたものとされ、
前記部品保持装置が、
前記ホルダに保持され、前記嵌合穴の内部に突出して前記凹部に係合可能な係合体を有し、その係合体を付勢力によって前記凹部に係合させることで前記部品保持デバイスの前記ホルダに対する前記軸線方向の移動を禁止するロック機構を備え、
前記デバイス装着状態判定装置が、
検出された前記部品保持デバイスの前記ホルダに対する前記軸線方向における相対位置が、前記凹部と前記係合体との前記軸線方向における位置関係に基づいて設定された閾範囲外となった場合に、前記部品保持デバイスが前記ホルダに適切に装着されていないと判定するように構成された部品保持装置。 - 前記係合体が、球体とされ、
前記凹部が、周方向に延びて断面が円弧形状の溝とされ、
前記デバイス装着状態判定装置が、
検出された前記部品保持デバイスの前記ホルダに対する前記軸線方向における相対位置が、基準とされた相対位置に対して、前記溝の軸線方向の幅の半分の大きさを超えてずれている場合に、前記部品保持デバイスが前記ホルダに適切に装着されていないと判定するように構成された請求項1に記載の部品保持装置。 - 当該部品保持装置が、
部品を保持する場合、あるいは、保持した部品を離脱させる場合に、前記デバイス装着状態判定装置によって検出された前記部品保持デバイスの前記ホルダに対する前記軸線方向における相対位置に基づいて、前記保持デバイス移動装置を制御するように構成された請求項1または請求項2に記載の部品保持装置。 - 前記部品保持デバイスが、部品を吸着して保持する吸着ノズルである請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載の部品保持装置。
- 前記デバイス装着状態判定装置が、
前記ホルダに対する前記軸線方向における相対移動が不能に設けられて物体が当接したことを検出するタッチセンサを有し、前記保持デバイス移動装置により前記部品保持デバイスを前進させてその部品保持デバイスの特定の部分を前記タッチセンサに当接させることで、前記部品保持デバイスの前記ホルダに対する前記軸線方向における相対位置を検出するように構成された請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載の部品保持装置。
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---|---|---|---|
PCT/JP2017/005764 WO2018150520A1 (ja) | 2017-02-16 | 2017-02-16 | 部品保持装置 |
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JP6713086B2 true JP6713086B2 (ja) | 2020-06-24 |
Family
ID=63170152
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2019500112A Active JP6713086B2 (ja) | 2017-02-16 | 2017-02-16 | 部品保持装置 |
Country Status (2)
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