JP6709497B2 - 自励発振回路 - Google Patents

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Description

本発明は、正帰還回路により振動子を発振させる自励発振回路に関する。
静電容量振動式の圧力・差圧センサ等は、振動子を共振振動数で発振させるための自励発振回路を備えている。図14は、従来の静電容量振動式の自励発振回路の構成例を示す図である。本図に示すように、自励発振回路800は、振動子811を発振させるための正帰還回路と振動子811の振動振幅を制御する負帰還回路とを有している。
正帰還回路は、第1固定電極812から振動子811、第2固定電極813、I/V変換器820、反転増幅器830、可変利得増幅器860を通るループで形成されている。一般に、Q値を高めるため、振動子811は真空封止されている。
負帰還回路は、反転増幅器830が出力する信号の絶対値を検出する絶対値回路840、誤差増幅器850、可変利得増幅器860を通る回路で形成されている。
正帰還回路では、振動子811をGND電位に固定し、第1固定電極812、第2固定電極813に直流電圧源を介してバイアス電圧VBIASを印加する。このとき、振動子811と第1固定電極812との間および振動子811と第2固定電極813との間には、静電容量に応じた電荷が充電される。
第1固定電極812には、バイアス電圧VBIASに加え、可変利得増幅器860の出力電圧VGAOが印加され、振動子811は、第1固定電極812の電位変化に応じて振動する。
振動子811の振動により、電荷の充放電が起こり、第2固定電極813からの電流出力信号がI/V変換器820に入力され、電圧信号IVOとして出力される。電圧信号IVOは、反転増幅器830で反転増幅され、電圧信号INVOとして出力される。電圧信号INVOは、可変利得増幅器860で増幅され、電圧信号VGAOとして第1固定電極812に印加される。このような正帰還回路により、振動子811は自身の共振周波数で振動する。
負帰還回路では、絶対値回路840によって反転増幅器830が出力する電圧信号INVOの振幅が検出される。絶対値回路840は、全波整流回路等を用いて構成することができる。絶対値回路840が出力する電圧信号ABSOは、振動子811の発振振幅に対応する。
電圧信号ABSOと基準電圧VCONTとの差が誤差増幅器850で誤差信号ERROとして検出され、誤差信号ERROにより可変利得増幅器860のゲインが変化する。本図の場合、振動子811の振幅が小さく、誤差信号ERROが大きい場合は可変利得増幅器860のゲインが大きくなり、振動子811の振幅が大きく、誤差信号ERROが小さい場合は可変利得増幅器860のゲインが小さくなる。可変利得増幅器860のゲインが調整されることで、定常的には振動子811の振幅が一定に制御される。
国際公開第2011/102062号
このような自励発振回路800を、例えば二線式計器等の低消費電力が要求される装置に適用する場合は、ディスクリート部品で構成すると低消費電力の仕様を満たすことが困難であるため、低消費電力化が容易なASICで構成する必要がある。
しかしながら、従来の自励発振回路800では、正帰還に利用する可変利得増幅器860のゲインを負帰還回路の出力で変化させるため、正帰還回路と負帰還回路とで相互に依存関係を有し、インタフェースが複雑となっている。このため、正帰還回路と負帰還回路との間で厳密な調整が必要となり、例えば、I/V変換器820や反転増幅器830に設計変更が生じると、可変利得増幅器860の設計も変更しなくてはならず、設計工数の増加やASIC化の障壁となっていた。
そこで、本発明は、正帰還回路と負帰還回路とのインタフェースの複雑化を抑制した自励発振回路を実現することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の第1の態様である自励発信回路は、振動子を有する振動部と、前記振動子の振動に基づく信号を前記振動部に正帰還させる正帰還経路とを備えた自励発振回路であって、前記振動子の振幅に応じた値と基準値とを比較するヒステリシスコンパレータと、前記ヒステリシスコンパレータの出力パルス信号に基づいて前記正帰還経路の接続と切断とを切り替えるスイッチ回路と、を備えたことを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第2の態様である自励発信回路は、振動子を有する振動部と、前記振動子の振動に基づく信号を前記振動部に正帰還させる正帰還経路とを備えた自励発振回路であって、前記振動子の振幅に応じた値と基準値との比較結果に応じて一定時間幅のパルス信号を出力するワンショット部と、前記ワンショット部の出力パルス信号に基づいて前記正帰還経路の接続と切断とを切り替えるスイッチ回路と、を備えたことを特徴とする。
いずれの態様においても、前記振動子の振動に基づく信号と前記スイッチ回路の切り替えタイミングとを同期させる同期部をさらに備えることができる。
また、前記出力パルス信号でイネーブルとディスエーブルとが切り替えられるバッファを前記正帰還経路中に備えてもよい。
本発明によれば、正帰還回路と負帰還回路とのインタフェースの複雑化を抑制した自励発振回路を実現することができる。
本発明の第1実施例に係る自励発振回路の構成を示す図である。 PWM部の動作を説明する波形図である。 本発明の第2実施例に係る自励発振回路の構成を示す図である。 本発明の第3実施例に係る自励発振回路の構成を示す図である。 同期部の動作を説明する波形図である。 各実施例の変形例を示す図である。 各実施例の変形例を示す図である。 誤差増幅器の実装回路例を示す図である。 本発明の第4実施例に係る自励発振回路の構成を示す図である。 第4実施例の動作を説明する波形図である。 ヒステリシスコンパレータの回路例を示す図である。 本発明の第5実施例に係る自励発振回路の構成を示す図である。 第5実施例の動作を説明する波形図である。 従来の静電容量振動式の自励発振回路の構成例を示す図である。
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、本発明の第1実施例に係る自励発振回路100の構成を示す図である。なお、本発明の自励発振回路は静電容量振動式の自励発振回路に限られず、正帰還回路を有する種々の自励発振回路に適用することができる。
本図に示すように、第1実施例の自励発振回路100は、振動子111を発振させるための正帰還回路と振動子111の発振振幅を制御する負帰還回路とを有している。
正帰還回路は、第1固定電極112から振動子111、第2固定電極113、I/V変換器120、反転増幅器130、SW回路170を通るループで形成されている。一般に、Q値を高めるため、振動子111は真空封止されている。なお、第1固定電極112、振動子111、第2固定電極113で振動部を構成し、反転増幅器130の出力からSW回路170を介して第1固定電極112に入力する経路で正帰還経路を構成している。
負帰還回路は、反転増幅器130が出力する電圧信号INVOの絶対値を検出する絶対値回路140、誤差増幅器150、PWM部160、SW回路170を通る回路で形成されている。
SW回路170は、PWM部160の出力信号PWMOで切り替え制御される。具体的には、出力信号PWMOがHのとき、反転増幅器130が出力する電圧信号INVOを第1固定電極112に帰還させることで正帰還回路の正帰還ループを形成し、出力信号PWMOがLのとき、正帰還回路の正帰還ループを解除する。
正帰還回路では、振動子111をGND電位に固定し、SW回路170の状態によらず、第1固定電極112、第2固定電極113に直流電圧源を介してバイアス電圧VBIASを印加する。このとき、振動子111と第1固定電極112との間および振動子111と第2固定電極113との間には、静電容量に応じた電荷が充電される。
出力信号PWMOがHのとき、SW回路170により正帰還ループが形成されるため、第1固定電極112には、バイアス電圧VBIASに加え、反転増幅器130の出力する電圧信号INVOが印加され、振動子111は、第1固定電極112の電位変化に応じて振動する。
振動子111の振動により、電荷の充放電が起こり、第2固定電極113からの電流出力信号がI/V変換器120に入力され、電圧信号IVOとして出力される。電圧信号IVOは、反転増幅器130で反転増幅され、電圧信号INVOとして出力される。このような正帰還回路により、振動子111は自身の共振周波数で振動する。
負帰還回路では、絶対値回路140によって反転増幅器130が出力する電圧信号INVOの振幅が検出される。絶対値回路140は、全波整流回路等を用いて構成することができる。絶対値回路140が出力する電圧信号ABSOは、振動子111の発振振幅に対応する。
電圧信号ABSOと基準電圧VCONTとの差が誤差増幅器150で誤差信号ERROとして検出される。誤差信号ERROは、PWM部160によりパルス幅変調され、PWMO信号として出力される。
PWMO信号は、図2に示すように、誤差信号ERROと三角波(ノコギリ波)TRIとをコンパレータ161で比較することで生成することができる。このとき、パルス幅変調の周波数、すなわち三角波の周波数は、振動子111の共振周波数よりも低い周波数を用いるようにする。これは、振動周期に対して正帰還ループ形成期間を十分確保し、振動子111を安定して発振させるためである。
振動子111の振幅が小さく、誤差信号ERROが大きいほど、各周期におけるPWMO信号のHのパルス幅が長くなり、振動子111の振幅が大きく、誤差信号ERROが小さいほど、各周期におけるPWMO信号のHのパルス幅が短くなる。
PWMO信号がHの場合、すなわち、誤差信号ERROが三角波TRIより大きい場合、正帰還ループが形成されるので振動子111の振幅が成長する。一方、PWMO信号がLの場合、すなわち、誤差信号ERROが三角波TRIより小さい場合、正帰還ループが解除されるので振動子111の振幅が減衰する。振幅の成長と減衰とが繰り返されることで、定常的には振動子111の振幅は一定に制御される。
上述のように、振動子111のQは一般に比較的高く設計されるため、振動子111の発振周期に対して、振幅の成長および減衰は極めて緩やかになる。このため、SW回路170により間欠的に振動子111を動作させても、振動子111の振幅のハンチング幅を小さくすることが可能であり、定常的にほぼ一定の振幅に制御することができる。
第1実施例の自励発振回路100によれば、正帰還回路と負帰還回路とのインタフェースを複雑化していた可変利得増幅器が不要となり、正帰還回路と負帰還回路とが切り離されるため回路間のインタフェース調整が簡易化される。すなわち、正帰還回路側の特性は、I/V変換器120と反転増幅器130の設計により一意に定まり、負帰還回路側の特性は誤差増幅器150とPWM部160の設計によって一意に定まる。これにより正帰還回路と負帰還回路とを独立に調整できるようになり、設計工数が削減できるとともに、ASIC化が容易となる。さらには、汎用性に欠ける可変利得増幅器に代えて、汎用的なコンパレータと三角波発振器で構成できるPWM部160を用いるようにしたため、実装の容易化と、低電圧、低消費電力も実現することができる。
図3は、本発明の第2実施例に係る自励発振回路200の構成を示す図である。本図に示すように、第2実施例の自励発振回路200においても、振動子111を発振させるための正帰還回路と振動子111の発振振幅を制御する負帰還回路とを有しているが、第2実施例に係る自励発振回路200では、負帰還回路をデジタル化している。
正帰還回路は第1実施例と同様であるため同じ符号を付している。すなわち、第1固定電極112から振動子111、第2固定電極113、I/V変換器120、反転増幅器130、SW回路170を通るループで形成されている。
負帰還回路は、反転増幅器130が出力する電圧信号INVOをデジタル変換するAD変換器210、デジタル値で基準値との比較を行ない、誤差を検出するデジタル誤差検出部220、検出された誤差をパルス幅変調するデジタルPWM部230、SW回路170を通る回路で形成されている。デジタル誤差検出部220は、例えば、デジタル基準電圧との差を演算する減算器と誤差に応じてデジタルPWM部230をコントロールするデジタルフィルタとで構成することができる。
SW回路170は、デジタルPWM部230の出力信号PWMOで切り替え制御される。具体的には、出力信号PWMOがHのとき、正帰還回路の正帰還ループを形成し、出力信号PWMOがLのとき、正帰還回路の正帰還ループを解除する。
第2実施例の自励発振回路200は、負帰還回路がデジタル化されているが、基本的な動作原理は第1実施例の自励発振回路100と同様である。第2実施例の自励発振回路200は、第1実施例の自励発振回路100の特徴に加え、アナログ回路の要素を削減したため、設計工数をさらに短縮できる。また、ASIC内のアナログ回路の集積度を落とすことで製造コストを削減することが可能となる。
図4は、本発明の第3実施例に係る自励発振回路300の構成を示す図である。本図に示すように、第3実施例の自励発振回路300は、第1実施例の自励発振回路100に同期部180を付加した構成となっている。なお、第2実施例の自励発振回路200に同期部180を付加した構成としてもよい。
同期部180は、コンパレータとD−FFとを備えており、反転増幅器130の出力する電圧信号INVO(交流分)が負から正に変化したタイミングでSW回路170が切り替わるようにする。具体的には、電圧信号INVO(交流分)が負から正に変化したタイミング、すなわち、電圧信号SWOがバイアス電圧VBIASと等しくなるときにコンパレータがCMPO2信号を出力し(電圧立ち上がり)、D−FFを動作させる。そして、D−FFが出力するD−FFQ信号でSW回路170を切り替える。ただし、正から負に変化するタイミングとしたり、半周期毎のタイミングで切り替わるようにしてもよい。
同期部180を備えない場合、SW回路170の切り替えと振動子111の振動とは同期しないため、SW回路170の切り替え時に、第1固定電極112に印加する電圧信号SWOに急激な変動が生じて、電圧信号SWOが乱れる場合がある。
これに対し、同期部180を備えることにより、図5に示すように、SW回路170の切り替えと振動子111の振動とが同期することになる。すなわち、電圧信号SWOがバイアス電圧VBIASと等しくなるときにSW回路170を切り替える。この結果、SW回路170の切り替え時に電圧信号SWOに急激な変動が生じず、電圧信号SWOの乱れを小さくすることができる。
なお、上述の各実施例では、図6(a)に示すように、バイアス電圧VBIASは、SW回路170を介して第1固定電極112に印加するようにしていた。この場合、SW回路170のH端子、L端子とも直流電圧源に接続する。
これに対し、図6(b)に示すように、SW回路170を介さずに、第1固定電極112にバイアス電圧VBIASを印加するようにしてもよい。この場合、SW回路170のL端子は直流電圧源に接続してもよいし、図6(c)に示すように、浮かして直流電圧源に接続しないようにしてもよい。
ところで、第1固定電極112とGNDとの間には、ある程度大きな寄生容量(例えば、30pF程度)が存在する。このため、反転増幅器130にこの寄生容量をドライブするための電流を供給する必要があり、消費電流が増加する原因となっている。
上述の各実施例では、正帰還ループが形成される期間だけ寄生容量をドライブすればよいため、信号PWMOがHのときにドライブ能力を増やし、信号PWMOがLのときにドライブ能力を削減するという運用が可能となる。
このため、例えば、図7に示すように反転増幅器130とSW回路170との間にイネーブル機能を有するバッファ190を配置し、信号PWMOがHのときのみイネーブルとしてドライブ能力を確保し、信号PWMOがLのときにディスエーブルとしてバッファ190で電流を消費しないようにすることで消費電力を削減することができる。イネーブル機能を有するバッファ190は、上述の実施例および後述する実施例のいずれにも適用することができる。
上述の第1〜第3実施例では、負帰還回路において誤差増幅器150を用いており、電圧信号ABSOと基準電圧VCONTとの差に基づく誤差信号ERROを生成している。
誤差増幅器150は、図1等では簡略化して記載しているが、実装上は、図8(a)(b)に示すようにオペアンプを用いた積分回路を含んで構成され、抵抗とコンデンサとが組み込まれる。これらの抵抗とコンデンサとは、チューニングが必要であることに加え、比較的大きな容量のコンデンサが要求されることから誤差増幅器150をASICに内蔵することが困難であり、振動子111等とは別パッケージとせざるを得ない。
負帰還回路を振動子111等と同一パッケージ内に納めることができれば、部品点数を削減したり、占有面積を減らしたりすることができ、コスト面で有利となる。また、耐ノイズ性も向上させることができる。
図9は、この点を考慮した第4実施例に係る自励発振回路500の構成を示す図である。本図に示すように、第4実施例の自励発振回路500においても、振動子111を発振させるための正帰還回路と振動子111の発振振幅を制御する負帰還回路とを有しているが、第4実施例に係る自励発振回路500では、負帰還回路で比較的大きな容量のコンデンサが必要な誤差増幅器を用いずに、ヒステリシスコンパレータ510を用いている。
ヒステリシスコンパレータ510の負入力端子に絶対値回路140が出力する電圧信号ABSOを入力し、正入力端子に基準電圧VCONTを入力している。そして、ヒステリシスコンパレータ510の出力をPWMO信号としている。このため、PWM部も不要である。
ヒステリシスコンパレータ510のH側の閾値電圧をVCONT+dTHとし、L側の閾値電圧をVCONT−dTLとすると、電圧信号ABSOがVCONT+dTHを超えるとPWMO信号がLとなって正帰還回路の正帰還ループが解除され、電圧信号ABSOがVONT−dTLを下回るとPWMO信号がHとなって正帰還回路の正帰還ループが形成される。
すなわち、図10に示すように、正帰還ループが形成された状態で、振動子111の振幅が成長して電圧信号ABSOがVCONT+dTHを超えると、正帰還ループが解除され、振動子111の振幅が減衰していく。そして、電圧信号ABSOがVCONT−dTLを下回ると、正帰還ループが形成され、振動子111の振幅が成長していく。このような振幅の成長と減衰とが繰り返されることで、定常的には振動子111の振幅は一定に制御される。
ヒステリシスコンパレータ510は、従来から用いられている種々の回路で形成することができる。例えば、図11(a)に示すような、正帰還を利用した回路を用いることができる。この場合、ヒステリシスの幅は、dTH=dTL=VDD×R1/(R1+R2)となる。また、図11(b)に示すようなRS−FFを利用した回路を用いることもできる。もちろん、これらの回路例には限られない。なお、第3実施例における同期部180を本第4実施例および後述する第5実施例に適用してもよい。
第4実施例の自励発振回路500によれば、正帰還回路と負帰還回路とのインタフェースの複雑化を抑制できることに加え、誤差増幅器150、PWM部160が不要になるため、ASIC化を一層促進でき、負帰還回路を振動子111等と同一パッケージ内に納めることが容易となる。このため、コスト面で有利となる。また、耐ノイズ性も向上させることができる。
さらに、誤差増幅器150、PWM部160が不要になることは、低消費電力化にも寄与することになる。また、PWM部160による線形制御をヒステリシスコンパレータ510による非線形制御に換えることで、過渡応答におけるオーバーシュートを容易に抑制することができるため、起動時間を短縮することができるという副次的な効果を得ることもできる。
図12は、本発明の第5実施例に係る自励発振回路600の構成を示す図である。本図に示すように、第5実施例の自励発振回路600は、第4実施例の自励発振回路500におけるヒステリシスコンパレータ510を、ワンショット部610に置き換えた構成となっている。
ワンショット部610は、電圧信号ABSOを基準電圧VCONTと比較するコンパレータと、電圧信号ABSOが基準電圧VCONTを超えたことを示すコンパレータの出力により一定時間幅のLパルスを出力するワンショット回路(ワンショットマルチバイブレータ回路、単安定マルチ回路)とから構成されている。ワンショット部610がLパルスを出力している間は、正帰還回路の正帰還ループが解除されるため、振動子111の振動が減衰する。
すなわち、図13に示すように、正帰還ループが形成された状態で、振動子111の振幅が成長して電圧信号ABSOがVCONTを超えると、パルス幅Twのワンショットパルスが出力される。ワンショットパルスの間は正帰還ループが解除され、振動子111の振幅が減衰していく。そして、ワンショットパルスが終了すると、正帰還ループが形成され、振動子111の振幅が成長していく。このような振幅の成長と減衰とが繰り返されることで、定常的には振動子111の振幅は一定に制御される。
第5実施例によれば、第4実施例と同様の効果を得ることができる。なお、電圧信号ABSOが基準電圧VCONTを下回ったときにワンショット部610が一定時間のパルスを出力するようにし、一定時間のパルスを出力している間は正帰還ループを形成する構成としてもよい。
100…自励発振回路、111…振動子、112…第1固定電極、113…第2固定電極、120…I/V変換器、130…反転増幅器、140…絶対値回路、150…誤差増幅器、160…PWM部、161…コンパレータ、170…SW回路、180…同期部、190…バッファ、200…自励発振回路、210…AD変換器、220…デジタル誤差検出部、230…デジタルPWM部、300…自励発振回路、400…自励発振回路、500…自励発振回路、510…ヒステリシスコンパレータ、600…自励発振回路、610…ワンショット部

Claims (4)

  1. 振動子を有する振動部と、前記振動子の振動に基づく信号を前記振動部に正帰還させる正帰還経路とを備えた自励発振回路であって、
    前記振動子の振幅に応じた値が第1基準値を超えると出力信号が第1状態となり、前記振動子の振幅に応じた値が前記第1基準値よりも小さい第2基準値を下回ると出力信号が第2状態となるヒステリシスコンパレータと、
    前記ヒステリシスコンパレータの出力信号が第1状態のとき前記正帰還経路を切断し、前記ヒステリシスコンパレータの出力信号が第2状態のとき前記正帰還経路を接続するスイッチ回路と、
    を備えたことを特徴とする自励発振回路。
  2. 振動子を有する振動部と、前記振動子の振動に基づく信号を前記振動部に正帰還させる正帰還経路とを備えた自励発振回路であって、
    前記振動子の振幅に応じた値が基準値を超えると一定時間幅のパルス信号を出力信号として出力するワンショット部と、
    前記ワンショット部がパルス信号を出力している間、前記正帰還経路を切断状態に切り替えるスイッチ回路と、
    を備えたことを特徴とする自励発振回路。
  3. 前記振動子の振動に基づく信号と前記スイッチ回路の切り替えタイミングとを同期させる同期部をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の自励発振回路。
  4. 前記出力信号でイネーブルとディスエーブルとが切り替えられるバッファを前記正帰還経路中に備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の自励発振回路。
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