JP6708756B2 - ソーラーモジュールに分離溝を形成するレーザースクライビング過程の監視方法 - Google Patents
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- 238000000926 separation method Methods 0.000 title claims description 145
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 61
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims description 18
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 144
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 58
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 29
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000010972 statistical evaluation Methods 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 18
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000023077 detection of light stimulus Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
- B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
- B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
- B23K26/0838—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt
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- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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- B23K26/16—Removal of by-products, e.g. particles or vapours produced during treatment of a workpiece
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
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- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
- B23K26/402—Removing material taking account of the properties of the material involved involving non-metallic material, e.g. isolators
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/0445—PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
- H01L31/046—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
- H01L31/0463—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate characterised by special patterning methods to connect the PV cells in a module, e.g. laser cutting of the conductive or active layers
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- H—ELECTRICITY
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/16—Composite materials, e.g. fibre reinforced
- B23K2103/166—Multilayered materials
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
2 絶縁材料
3 レーザービーム領域
3a レーザービームショット単体
3b レーザービームショットの欠落
4 被照領域
10 半製品ソーラーモジュール
11 透光基板
12 機能層スタック
13 背面基板
21 第1分離溝
22 第2分離溝
22a〜22c 第2分離溝の部分
23 第3分離溝
30 レーザービーム
40 照射ビーム
41 透過ビーム
100 太陽電池
101 半製品ソーラーモジュールの第1の面
102 半製品ソーラーモジュールの第2の面
103 半製品ソーラーモジュールの第1の側端
104 半製品ソーラーモジュールの第2の側端
121 第1接触層
122 光起電力層
123 第2接触層
200 レーザースクライビング過程を監視するシステム
250 レーザースクライビング過程の実行デバイス
261 第1ホルダ
262 第2ホルダ
300 レーザービーム発生装置
310 レーザー装置
320 レーザー光学装置
400 照射用装置
400a 第1の照射用装置
400b 第2の照射用装置
410 ランプ
420 照射光学装置
500 光量検出装置
500a 第1の光量検出装置
500b 第2の光量検出装置
510 検出光学装置
520 光検出器
600 評価装置
610 データ線
700 搬送装置
710 ローラー
800 メモリ装置
900 制御装置
950 吸引装置
a1 レーザービームの軸線と照射用の第1の装置の軸線との距離
a2 レーザービームの軸線と照射用の第2の装置の軸線との距離
l1 分離溝の長さ
l2 被照領域の長さ
w1 分離溝の幅
w2 被照領域の幅
TL 下限値
TU 上限値
V 半製品ソーラーモジュールの搬送方向
x 第1の横方向
y 第2の横方向
z 第3の方向
Claims (5)
- ソーラーモジュールに分離溝を形成するレーザースクライビング過程の監視方法において、
第1接触層、光起電力層及び第2接触層のうちの少なくとも1つを含む機能層スタックを透明基板上において備える半製品ソーラーモジュールを供給するステップと、
前記分離溝の領域における前記機能層スタックの前記少なくとも1つの層を除去するレーザービームを用いて、前記機能層スタックにおける少なくとも1つの層に分離溝を形成するステップと、
第1の横方向において前記分離溝の少なくとも一部を覆っており、且つ、前記第1の横方向と直交する第2の横方向において前記分離溝全体と周辺領域を覆っている前記半製品ソーラーモジュールの領域を前記半製品ソーラーモジュールの第1の面において照射する照射ステップと、
半製品ソーラーモジュールの第2の面において、前記半製品ソーラーモジュールの被照領域を透過した光の量を検出する検出ステップと、
前記の検出された光の量と少なくとも1つの基準値とを比較することで、前記被照領域に形成された前記分離溝を評価する評価ステップと、
第3波長を有する光に対して第1透過率を有する材料を前記分離溝に充填するステップと、を含み、
光検出装置は、照射用装置と同一の光軸上に配置されており、
前記機能層スタックのうち除去される少なくとも1つの層は前記第3波長に対し不透光性を有し、前記透明基板及び前記機能層スタックのうち除去されない全ての層は前記第3波長に対し透光性を有し、前記機能層スタックのうち除去されない全ての層における前記第3波長に対する透過率は第2透過率であり、前記第2透過率は前記第1透過率よりも大きく、
前記半製品ソーラーモジュールの前記第1透過率を有する材料が充填された領域は、前記材料を前記分離溝に充填するステップの後に、前記第3波長を有する光が照射され、検出された光の量を対応する基準値と比較することで、前記分離溝に充填された前記材料の特性が評価されることを特徴とするレーザースクライビング過程の監視方法。 - 前記半製品ソーラーモジュールの前記領域は第1波長を含む光で照射され、前記透明基板及び前記機能層スタックのうち除去されない全ての層は前記第1波長に対し透光性を有し、前記機能層スタックのうち除去される少なくとも1つの層は前記第1波長に対し不透光性を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザースクライビング過程の監視方法。
- 前記機能層スタックは少なくとも2つの層を含み、
前記機能層スタックにおける少なくとも1つの層は、前記分離溝の前記領域において除去されるものであり、
前記の照射ステップは、第1波長の光で前記半製品ソーラーモジュールを照射する第1サブステップと、第2波長の光で前記半製品ソーラーモジュールを照射する第2サブステップとを含み、
前記第1波長の光に対して、前記透明基板及び前記機能層スタックのうち除去されない全ての層が透光性を有し、前記機能層スタックのうち除去される少なくとも1つの層が不透光性を有し、
前記第2波長の光に対して、前記透明基板が透光性を有し、前記機能層スタックのうち除去される少なくとも1つの層が不透光性を有し、前記機能層スタックのうち除去され且つ前記第1波長の光に対して不透光性を有する少なくとも1つの他の層が透光性を有する、或いは、前記機能層スタックのうち除去されない少なくとも1つの層が不透光性を有するとともに、
前記検出ステップは、前記第1波長を有し、且つ前記半製品ソーラーモジュールを透過した第1の光の量を検出する第1サブステップと、前記第2波長を有し、且つ前記半製品ソーラーモジュールを透過した第2の光の量を検出する第2サブステップと、を含み、
前記の検出された第1の光の量と前記の検出された第2の光の量を対応する基準値と比較することで、前記の形成された分離溝を評価することを特徴とする請求項1に記載のレーザースクライビング過程の監視方法。 - 前記分離溝を形成する前記レーザービームは、前記半製品ソーラーモジュールにおける前記第1又は前記第2の面上で相対的に移動し、前記照射用装置と前記光検出装置は、前記半製品ソーラーモジュールにおける前記第1又は前記第2の面で相対的に移動し、前記の照射ステップ、検出ステップ及び評価ステップは、前記第1の横方向において前記分離溝の延伸部に沿って配置される複数の領域に対し実行されることを特徴とする請求項1に記載のレーザースクライビング過程の監視方法。
- 前記照射用装置と前記光検出装置の移動中に、連続的に検出された一連の光の量が取得され、前記評価ステップでは統計評価ルーチンを実行し、前記統計評価ルーチンによりパラメーターの変更が必要であることが検出された場合、前記レーザービームを発生する装置における前記パラメーターを変更するステップを更に含むことを特徴とする請求項4に記載のレーザースクライビング過程の監視方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/CN2016/112416 WO2018119680A1 (en) | 2016-12-27 | 2016-12-27 | Method and system for monitoring laser scribing process for forming isolation trenches in solar module |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019517157A JP2019517157A (ja) | 2019-06-20 |
JP6708756B2 true JP6708756B2 (ja) | 2020-06-17 |
Family
ID=62707574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018562034A Active JP6708756B2 (ja) | 2016-12-27 | 2016-12-27 | ソーラーモジュールに分離溝を形成するレーザースクライビング過程の監視方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6708756B2 (ja) |
CN (1) | CN108604618B (ja) |
DE (1) | DE112016006757T5 (ja) |
WO (1) | WO2018119680A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021136780A (ja) * | 2020-02-27 | 2021-09-13 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 太陽電池の検査装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009029901A1 (en) * | 2007-08-31 | 2009-03-05 | Applied Materials, Inc. | Production line module for forming multiple sized photovoltaic devices |
JP5210056B2 (ja) * | 2008-06-05 | 2013-06-12 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | レーザ加工装置 |
WO2010080595A2 (en) * | 2008-12-19 | 2010-07-15 | Applied Materials, Inc. | Illumination methods and systems for laser scribe detection and alignment in thin film solar cell fabrication |
CN102725859B (zh) * | 2009-02-04 | 2016-01-27 | 应用材料公司 | 太阳能生产线的计量与检测套组 |
US20100195096A1 (en) * | 2009-02-04 | 2010-08-05 | Applied Materials, Inc. | High efficiency multi wavelength line light source |
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JP6280365B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-02-14 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 薄膜太陽電池の加工溝検出方法および加工溝検出装置 |
-
2016
- 2016-12-27 WO PCT/CN2016/112416 patent/WO2018119680A1/en active Application Filing
- 2016-12-27 JP JP2018562034A patent/JP6708756B2/ja active Active
- 2016-12-27 CN CN201680074172.0A patent/CN108604618B/zh active Active
- 2016-12-27 DE DE112016006757.7T patent/DE112016006757T5/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108604618B (zh) | 2022-12-06 |
DE112016006757T5 (de) | 2018-12-27 |
JP2019517157A (ja) | 2019-06-20 |
CN108604618A (zh) | 2018-09-28 |
WO2018119680A1 (en) | 2018-07-05 |
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A977 | Report on retrieval |
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