JP6696887B2 - 光ファイバの構成体及びこのような構成体を形成する方法 - Google Patents
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Description
この結果、受光素子107で受光された光出力は、不完全なアライメントにより容易に減少する。
第2の部分192は、円形部分191に直接隣接している追加部分であり、溝の形態を取る。追加部分192の図示される形状は、単なる例にすぎない。代替形状も同様に使用されうることが理解される。
以下に、本出願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]光ファイバアレイを形成する方法であって、この方法は、第1の面と、対向する第2の面とを有する基板を与えることを具備し、前記基板には、前記第1の面から前記第2の面に前記基板を貫通して延びた複数のアパーチャが設けられており、この方法は、前記アパーチャの最小直径よりも小さな直径を備えたファイバ端部を有する複数のファイバを与えることと、各ファイバに対して、前記ファイバ端部が前記第2の面に近接して位置決めされるように、前記基板の前記第1の面の側から対応するアパーチャにファイバを挿入して、前記ファイバが所定の位置で前記アパーチャの側壁と当接するように、前記ファイバを所定の方向に曲げることと、接着材料を使用して前記曲げられたファイバを互いに結合させることとを具備する方法。
[2]全てのファイバが同じ方向に曲げられる[1]の方法。
[3]前記曲げられたファイバは、所定の空間配置で束にされる[1]又は[2]の方法。
[4]前記接着材料は、にかわ、エポキシ又はエポキシ封止剤を含む[1]ないし[3]のいずれか1の方法。
[5]前記アパーチャ内に前記ファイバ端部を取着することをさらに具備する[1]ないし[4]のいずれか1の方法。
[6]前記ファイバ端部を取着することは、前記基板の対応するアパーチャへの全てのファイバの挿入の後に実行される[5]の方法。
[7]前記ファイバ端部は、接着剤を使用することによって取着され、この方法は、挿入に先立って、前記ファイバ端部に接着剤を塗布することをさらに具備する[5]又は[6]の方法。
[8]前記アパーチャは、円形部分と、溝の形態の追加部分とからなる横断面形状を有し、前記ファイバは、前記ファイバが前記アパーチャの側壁と当接する所定の位置が前記追加部分内にあるような方向に曲げられる[1]ないし[7]のいずれか1の方法。
[9]前記ファイバは、曲がる構造体の上部で曲げられる[1]ないし[8]のいずれか1の方法。
[10]前記曲げられたファイバを互いに結合させることは、複数の前記曲げられたファイバの周りにモールドを形成することと、前記モールドを接着剤で充填することと、
前記接着剤を硬化させることとを含む[1]ないし[9]のいずれか1の方法。
[11]第1の面と、対向する第2の面とを有する基板を具備し、前記基板には、前記第1の面から前記第2の面に前記基板を貫通して延びた複数のアパーチャが設けられており、各々が前記アパーチャの最小直径よりも小さな直径を備えたファイバ端部を有する複数のファイバを具備し、各ファイバは、前記ファイバ端部が前記第2の面に近接して位置決めされるように、前記基板の前記第1の面の側から対応するアパーチャに挿入され、前記ファイバは、前記第1の面から出て前記アパーチャから延びている所定の長さを有し、各ファイバの前記延びている長さは、前記ファイバが所定の位置で前記対応するアパーチャの側壁と当接するように、所定の方向に曲げられ、前記ファイバの前記延びている長さは、接着剤を使用して互いに結合される光ファイバの構成体。
[12]前記アパーチャは、感光素子のアレイに対応する位置にアレイ状に配置され、これにより、前記ファイバ端部は、前記ファイバ端部から出射された光が前記感光素子に向けられるように位置決めされる[11]の構成体。
[13]前記ファイバの前記延びている長さは、全て同じ方向に曲げられている[11]又は[12]の構成体。
[14]前記基板の前記アパーチャは、複数の列を有する2次元アレイで配置され、前記アパーチャの第1の列に挿入されたファイバは、第1の曲率半径で曲げられたこれらの延びている長さの一部を有し、前記アパーチャの次の隣接する列に挿入されたファイバは、比較的大きな第2の曲率半径で曲げられたこれらの延びている長さの一部を有する[11]ないし[13]のいずれか1の構成体。
[15]前記基板の前記アパーチャは、複数の列を有する2次元アレイで配置され、前記アパーチャの各列に挿入された全てのファイバが、同じ曲率半径で曲げられたこれらの延びている長さの一部を有し、各列のファイバの曲率半径も同じである[11]ないし[13]のいずれか1の構成体。
[16]前記ファイバの前記延びている長さの少なくとも一部は、所定の空間配置で束にされている[11]ないし[15]のいずれか1の構成体。
[17]前記ファイバの前記延びている長さの少なくとも一部は、互いに平行である[16]の構成体。
[18]前記ファイバの前記延びている長さの少なくとも一部は、接着剤を使用して互いに結合されている[11]ないし[17]のいずれか1の構成体。
[19]前記ファイバ端部は、前記アパーチャ内に取着されている[11]ないし[18]のいずれか1の構成体。
[20]前記アパーチャは、円形部分と、溝の形態の追加部分とからなる横断面形状を有し、前記ファイバは、前記ファイバが前記アパーチャの側壁と当接する所定の位置が前記追加部分内にあるような方向に曲げられている[11]ないし[19]のいずれか1の方法。
[21]荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムで使用する変調装置であって、この変調装置は、所定のパターンに従って複数の小ビームをパターニングするための小ビームブランカアレイと、[11]ないし[20]のいずれか1の光ファイバの構成体とを具備し、前記小ビームブランカアレイは、複数の変調器と、複数の感光素子とを有し、前記感光素子は、光ビームを伝送するパターンデータを受信して、前記光ビームを電気信号に変換するように構成され、前記感光素子は、前記少なくとも1つの変調器に前記受信したパターンデータを与えるように、少なくとも1つの変調器に電気的に接続され、前記光ファイバの構成体内の前記ファイバは、光ビームを伝送する前記パターンデータを与えるように構成されている変調装置。
[22]複数の荷電粒子小ビームを使用してターゲット面にパターンを転写するための荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムであって、このシステムは、複数の荷電粒子小ビームを発生させるためのビーム発生器と、所定のパターンに従って前記複数の小ビームをパターニングするための小ビームブランカアレイと、前記ターゲット面に前記パターニングされた小ビームを投影するための投影システムとを具備し、前記小ビームブランカアレイは、複数の変調器と、複数の感光素子とを有し、前記感光素子は、光ビームを伝送するパターンデータを受信して、前記光ビームを電気信号に変換するように構成され、前記感光素子は、前記少なくとも1つの変調器に前記受信したパターンデータを与えるよう
に、少なくとも1つの変調器に電気的に接続され、前記小ビームブランカアレイは、[11]ないし[20]のいずれか1のファイバの構成体に結合される荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム。
Claims (21)
- 光ファイバアレイを形成する方法であって、この方法は、
第1の面と、対向する第2の面とを有する基板を与えることを具備し、前記基板には、前記第1の面から前記第2の面に前記基板を貫通して延びた複数のアパーチャが設けられており、
この方法は、
前記アパーチャの最小直径よりも小さな直径を備えたファイバ端部を有する複数のファイバを与えることと、
ファイバ端部が前記第2の面に近接して位置決めされるように、前記基板の前記第1の面の側から対応する第1のアパーチャに第1のファイバを挿入することと、ここで、前記第1のファイバは、前記複数のファイバの1つであり、
挿入された前記第1のファイバが所定の位置で前記第1のアパーチャの側壁と当接するように、前記第1のファイバを所定の方向に曲げることと、
前記第1のファイバが曲げられたのちに、ファイバ端部が前記第2の面に近接して位置決めされるように、前記基板の前記第1の面の側から対応する第2のアパーチャに第2のファイバを挿入することと、ここで、前記第2のファイバは、前記複数のファイバのうちの他の1つであり、
挿入された前記第2のファイバが所定の位置で前記第2のアパーチャの側壁と当接するように、前記第2のファイバを前記第1のファイバの形状に従って曲げることと、
接着材料を使用して前記曲げられたファイバを互いに結合させることと、
前記基板の前記第1の面に曲げ構造体を与えることをさらに含み、ここで、前記複数のファイバを所定の方向に曲げることは、前記曲げ構造体の上で前記複数のファイバを曲げることであり、前記曲げ構造体は一時的に与えられるものであり、前記複数のファイバが曲げられた後には除去されるものである、
を具備する方法。 - 前記複数のファイバは、前記複数のファイバが、単一の結合構造であって、前記基板上の第1端と離れた領域における第2端とを有する構造を共に形成するように、同じ方向に曲げられ、互いに束にされており、ここで、前記単一の結合構造は、前記第1端及び前記第2端で細長い断面を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のファイバは、前記複数のファイバが、曲面に沿って延びる単一の結合構造を共に形成するように、同じ方向に曲げられ、互いに束にされており、ここで、前記単一の結合構造は、前記曲面を横断する平面上に同形の断面を有し、前記断面は、細長い形状を有する、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記第2のファイバの曲げ完了に先立って、前記第1のファイバ上に接着材料を塗布することをさらに含む、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第2のファイバを、前記第1のファイバに接するように位置させるに際して、接着材料の硬化を可能にするために前記第2のファイバを固定することをさらに含む、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記複数のファイバは、前記曲げ構造体の形状に従った所定の曲率で曲げられる、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のファイバをアパーチャに挿入するに先立って、ファイバに与圧を与えることをさらに含む、請求項1ないし6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記複数のファイバが同じ方向に曲げられる、請求項1ないし7のいずれか1項に記載の方法。
- 曲げられた前記複数のファイバは、所定の空間配置で束にされる、請求項1ないし8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記アパーチャ内に前記ファイバ端部を取着することをさらに具備する、請求項1ないし9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ファイバ端部の取着は、前記複数のファイバを前記基板の対応するアパーチャに挿入した後に実行される、請求項10に記載の方法。
- 前記ファイバ端部は、接着材料を用いることにより取着され、さらに、挿入に先立って、前記接着材料を前記ファイバ端部に塗布することを含む、請求項10又は11に記載の方法。
- 前記アパーチャは、円形部分と、溝の形態の追加部分とからなる横断面形状を有し、前記ファイバは、前記ファイバが前記アパーチャの側壁と当接する所定の位置が前記追加部分内にあるような方向に曲げられる、請求項1ないし12のいずれか1項に記載の方法。
- 前記曲げられたファイバを互いに結合させることは、前記複数の曲げられたファイバの周りにモールドを形成することと、前記モールドを接着剤で充填することと、前記接着剤を硬化させることとを含む、請求項1ないし13のいずれか1項に記載の方法。
- 光ファイバの配置を形成するために用いられるグリップ装置(200)であって、第1のグリッパ(210)、第2のグリッパ(220)、及び第3のグリッパ(230)を備え、前記第1のグリッパは、ファイバ(163)の光伝送端部(186a)よりもトレイル端部(186b)に近い位置で前記ファイバを保持するように配置されており、第2のグリッパは、前記ファイバの前記トレイル端部(186b)よりも前記光伝送端部(186a)に近い位置で前記ファイバ(163)を保持するように配置されており、前記第3のグリッパは、前記ファイバを他のファイバと接着するために前記ファイバを固定するように配置されている、装置。
- 前記第3のグリッパは、前記ファイバを他のファイバと接着するために前記ファイバを固定するための切欠きを含む、請求項15に記載の装置。
- 前記第1のグリッパ及び前記第2のグリッパの少なくとも1つは、前記ファイバを保持するための溝を含む、請求項15又は16に記載の装置。
- 前記ファイバに与圧を与えるように配置される、請求項15ないし17のいずれか1項に記載の装置。
- 前記与圧は、対応するアパーチャへの挿入に先立って、わずかに予め曲げられるように与えられる、請求項18に記載の装置。
- 請求項1ないし14のいずれか1項に記載の方法に記載の挿入、曲げ、及び結合の工程を実行するように配置されている、請求項15ないし19のいずれか1項に記載のグリップ装置。
- 請求項15ないし20のいずれか1項に記載のグリップ装置と、回転部材(240)と、曲げ構造体(250)とを備え、前記グリップ装置は、前記曲げ構造体を用いてファイバを曲げるべく前記グリップ装置を回転させるために、前記回転部材に装着されている、
装置。
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