JP6696847B2 - エンコーダ及びこのエンコーダを稼働させるための方法 - Google Patents

エンコーダ及びこのエンコーダを稼働させるための方法 Download PDF

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Description

本発明は、請求項1の上位概念に記載のエンコーダ及び請求項9の上位概念に記載のこのエンコーダを稼働させるための方法に関する。
2つの機械部品の相対位置を測定するため、1つの測定目盛が、これらの機械部品のうちの一方の機械部品に配置されていて、1つの走査装置が、相対移動するこれらの機械部品のうちの他方の機械部品に配置されている。当該位置測定時に、この測定目盛が、この走査装置によって走査され、位置に応じて互いに位相シフトされているアナログ走査信号を生成する。
エンコーダの計画された使用に応じて、物理的な走査原理とスケール本体の目盛周期とを選択することができる。磁気式の走査原理及び電磁誘導式の走査原理の場合、物理的な制約から、比較的大きい目盛周期だけが可能である。これらの測定原理には、比較的大きい取り付け許容誤差を可能にするという利点がある。しかし、走査装置によって走査する場合に、大きい目盛周期が、この比較的大きい目盛周期に応じた信号周期を有するアナログ走査信号を発生させる。変更された信号周期を有する、特に縮小された信号周期を有する合成アナログ走査信号が、比較的簡単な手段によってこれらのアナログ走査信号から生成され得る程度に、これらのアナログ走査信号の品質は高いことが分かっている。
光学式の走査原理の場合、その他の走査原理の場合よりも非常に小さい目盛周期が実現可能である、すなわち当該場合よりも小さい信号周期のアナログ走査信号が実現可能である。しかし、これらの信号周期は、後続の電子装置にとっては小さすぎるおそれがある。その結果、ここでも、当該信号周期を変更すること、この場合には拡大することが必要である。
当該エンコーダによって合成して生成された、当該走査信号に比べて縮小又は拡大された信号周期を有するアナログ出力信号が、さらなる処理のために従来の後続の電子装置に供給され得る。
変更された信号周期のアナログ出力信号を合成して生成するための解決手段が、欧州特許第1399715号明細書及び欧州特許第1606590号明細書に開示されている。我々の発明は、欧州特許第1399715号明細書に基づく。
この欧州特許第1399715号明細書によれば、互いに位相シフトされている2つの正弦波アナログ走査信号が、1つのモジュールによって変更−ここでは縮小−される。当該アナログ走査信号が、入力信号としてこのモジュールに供給される。さらに、このモジュールは、当該アナログ走査信号から、当該入力信号に対して逓倍した周波数を有する位置を表す2つのデジタル位置信号を生成するように構成されている。
これらの位置信号は、連続する複数のデータワードである。これらのデータワードのうちの各値が、正弦信号又は余弦信号を表す。
1つのデジタル・アナログ変換器が、このモジュールに後続接続されている。このデジタル・アナログ変換器は、このモジュールから、当該走査信号に対して逓倍した周波数を有する互いに位相シフトされている正弦波アナログ出力信号のデジタル正弦波位置信号を生成し、出力部に出力するように構成されている。
欧州特許第1399715号明細書 欧州特許第1606590号明細書
本発明の課題は、正弦波アナログ出力信号の品質が改良されているエンコーダを提供することにある。
この課題は、請求項1に記載のエンコーダによって解決される。
当該エンコーダは、位置によって決まる少なくとも1つの正弦波アナログ走査信号の信号周期を変更するための1つの構成ユニットを有する。この走査信号は、1つのスケールを走査することによって取得され得るか又は干渉計によって取得され得る。
上記のモジュールは、トランスクライバーを有する。正弦波アナログ走査信号が、このトランスクライバーに供給されている。このトランスクライバーは、当該正弦波アナログ走査信号から、この正弦波アナログ走査信号に対して変更された信号周期を有する少なくとも1つの正弦波デジタル出力信号を生成するように構成されている。さらに、当該モジュールは、1つのデジタル・アナログ変換器を有する。さらに、このデジタル・アナログ変換器は、当該正弦波デジタル出力信号から、変更された信号周期の1つの正弦波アナログ出力信号を生成するように構成されている。
当該正弦波アナログ走査信号の高い周波数の場合に、この正弦波アナログ走査信号のより低い周波数の場合よりも高い出力レートで、且つ当該場合よりも狭いワード幅で、当該正弦波デジタル出力信号が、当該デジタル・アナログ変換器に供給されるように、当該トランスクライバーが、この正弦波アナログ走査信号の周波数に応じて稼働モードを変更するように構成されている。
好適な方法では、当該トランスクライバーは、複数のデジタル出力信号を並行して生成するように構成されている。この場合、当該複数のデジタル出力信号は、異なる出力レートと異なるワード幅とを有する。当該複数のデジタル出力信号は、1つの切替装置に並行して供給されている。さらに、この切替装置は、当該正弦波アナログ走査信号の周波数に応じて、これらのデジタル出力信号のうちの1つのデジタル出力信号を当該デジタル・アナログ変換器に供給するように構成されている。
特に、同じ周波数の、互いに位相シフトされている複数の正弦波アナログ走査信号が、稼働中に当該モジュールに供給される。この場合、これらの複数の走査信号は、1つの走査装置の複数の検出器によって生成される。専ら1つの正弦波周期走査信号が、走査によって生成されると、この正弦波走査信号の補間が、合成して生成された走査信号によって、又はその代わりに走査によって取得される非正弦波信号を用いて実行され得る。
好適な構成では、当該エンコーダのトランスクライバーは、
・1つの補間器と、
・1つの掛け算器と、
・1つの波形発生器とを有する。
当該互いに位相シフトされている正弦波アナログ走査信号が、当該補間器に供給されている。さらに、この補間器は、当該正弦波アナログ走査信号から、当該正弦波アナログ走査信号の1つの信号周期内の位置を表す1つのデジタル位置信号を生成するように構成されている。
当該掛け算器は、当該デジタル位置信号から、変更された信号周期を有する1つのデジタル位置信号を生成するように構成されている。
当該波形発生器は、当該変更された信号周期のデジタル位置信号から、当該正弦波デジタル出力信号を生成するように構成されている。
さらに、本発明の課題は、当該正弦波アナログ出力信号の品質が改良される方法を提供することにある。
この課題は、請求項9に記載の方法によって解決される。
エンコーダを稼働させるための当該方法は、以下の:
・特に1つのインクリメンタルスケールを走査することによって、位置によって決まる少なくとも1つの正弦波アナログ走査信号を生成するステップを有し、
・当該少なくとも1つのアナログ走査信号から、少なくとも1つの正弦波デジタル出力信号を生成するステップを有し、この場合、この出力信号は、当該正弦波アナログ走査信号に対して変更された1つの信号周期を有し、
・1つのデジタル・アナログ変換器によって、当該少なくとも1つの正弦波デジタル出力信号から、少なくとも1つの正弦波アナログ出力信号を生成するステップを有し、
当該正弦波アナログ走査信号の高い周波数の場合に、当該正弦波アナログ走査信号のより低い周波数の場合よりも高い出力レートで、且つ当該場合よりも狭いワード幅で、当該正弦波デジタル出力信号が、当該デジタル・アナログ変換器に供給されるように、当該エンコーダの稼働モードが、当該正弦波アナログ走査信号の周波数に応じて変更される。
特に、複数の正弦波デジタル出力信号が、当該少なくとも1つのアナログ走査信号から並行して生成される。この場合、これらのデジタル出力信号は、当該正弦波アナログ走査信号に対して変更された1つの信号周期を有する。この場合、当該複数のデジタル出力信号は、異なる出力レートと異なるワード幅とを有する。
これらの複数のデジタル出力信号は、1つの切替装置に並行して供給される。この切替装置は、当該正弦波アナログ走査信号の周波数に応じて、並行して発生するこれらのデジタル出力信号のうちの1つのデジタル出力信号を当該デジタル・アナログ変換器に供給する。
本発明にしたがって構成されたエンコーダと本発明の方法には、当該アナログ走査信号の高い周波数の場合でも、1つの信号周期内で、十分な数のデジタル値が、当該デジタル・アナログ変換器に供給されるという利点がある。この場合、これとは反対に、当該A/D変換器の最適な稼働モードを保証するため、これらのデジタル値のワード幅が、増大する周波数と共に減少しなければならないことが容認される。
本発明のさらなる詳細及び利点を、図面に関連する1つの実施の形態の以下の説明に基づいて説明する。
本発明のエンコーダの概略図である。 図1による構成の詳細によるブロック図である。 90°だけ互いに位相シフトされている2つの正弦波アナログ走査信号を示す。 デジタル位置信号の変化を示す。 当該位置信号に対して逓倍された周波数を有するデジタル位置信号の変化を示す。 図1及び図2によるトランスクライバーのデジタル出力信号の変化を示す。 アナログ出力信号を示す。 図2による波形発生器の実施の形態の構成を示す。
以下に、本発明の一例を説明する。この例では、信号周期の変化は、信号周期の縮小である。当該信号周期の収縮が、エンコーダの稼働中に走査信号に対する出力信号の周波数逓倍を伴う。以下では、逓倍係数をkで記す。
したがって、逓倍周波数は、k×fである。ここで、
Figure 0006696847
であり、f=走査信号の周波数である。
しかし、本発明は、信号周期の拡大に限定されないで、同様に、別の例は、信号周期の拡大でもよい。このとき、係数kは、
Figure 0006696847
として選択することができる。
本発明の原理を図1のブロック図に基づいて説明する。この場合、k=2である。
当該エンコーダは、機械式のインクリメンタル目盛の周期λを有する測定目盛1を有する。同じ周波数fの互いに位相シフトされている正弦波アナログ走査信号SIN及びCOSが、走査装置2を用いて周期的な測定目盛1を走査することによって公知の方法で生成される。この場合、
SIN=Asin(2πX/λ)
COS=Acos(2πX/λ)
ここで、
λ 信号周期の長さ
X 位置
A 信号振幅
信号周期λを有するこれらの正弦波アナログ走査信号SIN,COSは、入力信号として構成ユニット3に供給される。さらに、これらのアナログ走査信号SIN,COSから、互いに位相シフトされている、逓倍周波数k×fの正弦波アナログ出力信号SINk及びCOSkを生成するように、すなわち周波数逓倍を実行するように、構成ユニット3は構成されている。この場合、周波数逓倍は、周波数をk倍した又は信号周期λをk倍に分割したアナログ出力信号SINk,COSkを生成することを意味する。
当該逓倍係数又は倍数kは、選択可能である。当該逓倍係数又は倍数kは、例えばエンコーダの製造時に既に選択され、不変に予め設定される。この代わりに、ユーザが、複数の選択肢から係数kを選択し得るという可能性も、エンコーダで提供され得る。
構成ユニット3は、正弦波アナログ走査信号SIN及びCOSが供給されるトランスクライバー4を有する。さらに、トランスクライバー4は、アナログ走査信号SIN,COSから、互いに位相シフトされている正弦波デジタル出力信号DSINk,DCOSkを生成するように構成されている。当該正弦波デジタル出力信号DSINk,DCOSkは、正弦波アナログ走査信号SIN,COSとは違って逓倍周波数k×fを有する。
したがって、トランスクライバー4は、一方では周波数逓倍を実行する機能を有し、他方ではアナログ走査信号SIN,COSをデジタル出力信号DSINk,DCOSkに変換するタスクを有する。当該正弦波デジタル出力信号DSINk,DCOSkはそれぞれ、連続するビットパターンによって既定されている。当該ビットパターンの順番が、正弦波を表す。
デジタル出力信号DSINk,DCOSkは、構成ユニット3のデジタル・アナログ変換器5に供給される。構成ユニット3は、デジタル出力信号DSINk,DCOSkから、正弦波アナログ出力信号SINk及びCOSkを生成するように構成されている。デジタルデータとしてデジタル・アナログ変換器5で生成される情報(並行して生成されるデータワード)が、電流又は電圧としてのアナログ表示に変換される。所定の個々のアナログ電流値又は電圧値が、所定のワード幅の発生した各ビットパターンに割り当てられている。この場合、
Figure 0006696847
ここで、
λ 信号周期の長さ
X 位置
A 信号振幅
k 分割係数又は逓倍係数
ここでは、アナログ出力信号SINk,COSkの信号振幅Aが、アナログ走査信号SIN,COSの振幅Aに等しいことが前提とされる。しかし、アナログ出力信号SINk,COSkの信号振幅が、アナログ走査信号SIN,COSの振幅Aと違ってもよい。
デジタル・アナログ変換器5の連続する複数の入力信号がそれぞれ、正弦波を表すので、デジタル・アナログ変換器5は、線形の量子化特性曲線を有し得る。この場合、線形関係が、入力変数と出力変数との間に存在する。
さらに、本発明によれば、正弦波アナログ走査信号SIN,COSの高い周波数の場合に、正弦波アナログ走査信号SIN,COSのより低い周波数の場合よりも高い出力レートで、且つ当該場合よりも狭いワード幅で、正弦波デジタル出力信号DSINk及びDCOSkが、デジタル・アナログ変換器5に供給されるように、構成ユニット3のトランスクライバー4が、正弦波アナログ走査信号SIN,COSの周波数fに応じて稼働モードを変更するように構成されている。
したがって、走査信号SIN,COSの高い周波数の場合は、走査信号SIN,COSの低い周波数の場合よりも短い時間間隔で、デジタル・アナログ変換器5で発生するデジタル情報が、更新される。
走査信号SIN,COSの高い周波数の場合は、低い周波数の場合よりも狭いワード幅で、デジタル出力信号DSINk,DCOSkが、デジタル・アナログ変換器5に供給される。より狭いワード幅は、少ないデータビット数、すなわち低い分解能を意味する。
このため、正弦波アナログ走査信号SIN,COSの周波数に比例する信号fが、トランスクライバー4に供給される。この信号fに応じて、周波数によって決まる出力が、後続接続されたデジタル・アナログ変換器5に供給される。
モジュール6が、この周波数によって決まる信号fを生成するために設けられている。複数のアナログ走査信号SIN,COSのうちの少なくとも1つのアナログ走査信号が、モジュール6に供給される。例えば、零対称の走査信号SIN,COSの場合に、単位時間当たりの信号周期の数又は単位時間当たりの零通過の数が算出されることによって、周波数によって決まる信号fが算出される。さらに、1つの信号周期内か又は2つの零通過内の、クロック発振器のクロック数を算出することが可能である。
構成ユニット3は、特に走査装置2の構成要素であり、例えばASIC内に組み込まれている。
図2は、図1による構成の細部が示されているブロック図である。図3a〜3e内には、複数の構成部分で発生する入力信号及び出力信号が示されている。
トランスクライバー4は、補間器41を有する。アナログ走査信号SIN,COSが、この補間器41に供給されている。さらに、補間器41は、正弦波アナログ走査信号SIN,COSの1つの周期λ内の絶対位置を表すデジタル位置信号Pを、アナログ走査信号SIN,COSから生成するように構成されている。補間器4の機能は、周知である。この補間器4は、例えばそれぞれの走査信号SIN,COSに対してA/D変換器を有し、且つ後続配置された回路を有する。当該回路内では、周期λを有する位置信号Pが、発生する2つのデジタル走査信号のアークタンジェントを算出することによって生成される。
走査信号SIN,COSが、図3aに示されている。この場合、振幅Aが、場所又は位置Xに応じてプロットされている。振幅Aは、電圧値又は電流値でもよい。走査信号SIN,COSから生成されたデジタル位置信号Pの鋸歯状の変化が、図3bに示されている。この場合、当該振幅の変化は、連続する複数のデジタルワードによって表される。この場合、図3bでは、1つのデジタルワードが、各点に相当する。
デジタル位置信号Pが、掛け算器42に供給されている。この掛け算器42は、このデジタル位置信号Pから逓倍周波数を有するデジタル位置信号Pkを生成する。当該出力信号Pkは、周波数k×fを有する。例えば、k=2である。したがって、走査信号SIN,COSの周期λが、係数kで分割される。デジタル位置信号Pkは、図3cに示されている。この場合、ここでも、各点が、1つのデジタルワードによって規定されている。
位置信号Pkは、この位置信号Pkから正弦デジタル出力信号DSINk,DCOSkを生成する波形発生器43に供給される。これらの出力信号DSINk,DCOSkは、図3dに示されている。この場合、各点は、同様に1つのデジタルワードによって規定されている。波形発生器43は、正弦又は余弦に対する1つのデジタル値−すなわち、1つのデータワード−を周期λ/k内の1つの位置値Pkに割り当てる機能を有する。この割り当ては、様々な方法で実行され得る。したがって、波形発生器43は、正弦デジタル出力信号DSINk,DCOSkをテーブル(例えば、ROM)を用いて又は計算アルゴリズムによって生成し得る。既知の計算アルゴリズムは、CORDICアルゴリズム又はテイラー級数近似である。
デジタル・アナログ変換器5は、デジタル出力信号DSINk,DCOSkから、図3eに示されている正弦波アナログ出力信号SINk,COSkを生成する。
図1及び2の概略図には、1つのデジタル・アナログ変換器5だけが示されている。しかし、実際には、独立したそれぞれ1つのデジタル・アナログ変換器が、それぞれのデジタル入力信号DSINk,DCOSkに対して設けられる。
補間器41、デジタル式に稼働する掛け算器42、波形発生器43及びデジタル・アナログ変換器5は、図示された例では、クロック発振器7によって予め設定されている40MHzの同じシステムクロックTによって一緒に稼働する。走査信号SIN,COSの実際のアナログ振幅値が、このシステムクロックTで補間器41によって受け取られる、すなわちサンプリングされ、アナログ・デジタル変換され、補間される。アナログ出力信号SINk,COSkも、このシステムクロックTごとにデジタル・アナログ変換器5内で生成される。
波形発生器43は、走査信号SIN,COSの実際の周波数に応じて−すなわち、発生する周波数によって決まる変数fに応じて−正弦波アナログ走査信号SIN,COSの高い周波数の場合に、正弦波アナログ走査信号SIN,COSのより低い周波数の場合よりも高い出力レートで、且つ当該場合よりも狭いワード幅で、正弦波デジタル出力信号DSINk及びDCOSkが、デジタル・アナログ変換器5に供給されるように、稼働モードを変更する。
したがって、より高い出力レートは、デジタル情報が、走査信号SIN,COSのより低い周波数の場合よりも短い時間間隔内に供給されるか、又は、デジタル・アナログ変換器5で発生する当該デジタル情報の更新が、当該場合よりも短い時間間隔内で実行されることを意味する。
さらに、走査信号SIN,COSの高い周波数の場合は、低い周波数の場合よりも狭いワード幅で、デジタル出力信号DSINk,DCOSkが、当該デジタル・アナログ変換器に供給される。このことは、当該ワード幅が周波数に応じて変化することを意味する。実際には、データワードDSINk,DCOSkの下位のビット(LSB)が、0にセット又はマスクされることによって、当該ビットはマスクされる。これにより、高い周波数の場合に不定なビットが、デジタル・アナログ変換器5によってほぼ認識されず、このデジタル・アナログ変換器が、より安定に且つより正確に変換し得ることが達成される。
出力信号DSINkの生成に基づく本発明を、図4によってさらに詳しく説明する。当該出力信号DSINkの生成のため、波形発生器43は、複数のブロック43.1,43.2,43.3を有する。位置信号Pkが、例えば14ビットのワード幅で且つ40Mspsのレートでそれぞれのブロック43.1,43.2,43.3に供給される。Mspsは、百万サンプル/秒に対する略語である。ブロック43.1,43.2,43.3は、並列に配置されていて、並行して稼働する。当該例では、これらのブロック43.1,43.2,43.3のうちの3つのブロックが示されているが、本発明は、当該3つのブロックに限定されない。実際には、3つより多いこのようなブロック43.1,43.2,43.3が設けられてもよい。
さらに、第1ブロック43.1は、複数のデータワードを13ビットのワード幅で且つ1.25Mspsの出力レートでパラレルに出力するように構成されている。このことは、それぞれ1つの新しいデータ語を800nsの間隔で出力部に出力することを意味する。
さらに、第2ブロック43.2は、複数のデータワードを12ビットのワード幅で且つ2.5Mspsの出力レートでパラレルに出力するように構成されている。このことは、それぞれ1つの新しいデータ語を400nsの間隔で出力部に出力することを意味する。ワード幅12ビットは、13ビットワードのLSBが、マスク(マスキング)されるか又は持続して0にセットされていることを意味する。
さらに、第3ブロック43.3は、複数のデータワードを11ビットのワード幅で且つ5Mspsの出力レートでパラレルに出力するように構成されている。このことは、それぞれ1つの新しいデータ語を200nsの間隔で出力部に出力することを意味する。ワード幅11ビットは、13ビットワードの最後の2つのLSBが、マスク(マスキング)されるか又は持続して0にセットされていることを意味する。
全てのブロック43.1,43.2,43.3の複数の出力が、切替装置8に供給されていて、走査信号SINの実際の周波数に応じて−すなわち、周波数によって決まる信号fに応じて−ブロック43.1,43.2,43.3のこれらの出力のうちの1つの出力が、デジタル・アナログ変換器5に供給される。切替装置8は、ブロック43.1の出力を、周波数0Hz〜5kHzの場合は周波数発生器43の出力に切り替え、5kHz〜20kHzの周波数の場合はブロック43.2の出力に切り替え、20kHzよりも大きい周波数の場合はブロック43.3に切り替える。
発生するデータワードの所定のワード幅の場合、デジタル・アナログ変換器5の変換速度は、このデータワードが当該ワード幅によって変化するレートに比例する。このとき、走査信号SINのより高い周波数の場合に、すなわち測定目盛1と走査装置2との間のより高い相対強度の場合に、デジタル・アナログ変換器5で発生するデータワードが、低い周波数の場合よりも速く変化することが、本発明によって達成される。同時に、デジタル・アナログ変換器5で発生するデータワードのワード幅が、走査信号SINのより高い周波数の場合に狭くなる。
したがって、デジタル・アナログ変換器5の動特性が、本発明のこの措置によって最適化されている。その結果、アナログ出力信号SINk,COSkが、走査信号SIN,COSの全ての周波数の場合に高い品質を有する。本発明によって、走査信号SIN,COSの高い周波数の場合でも、1つの信号周期内で、十分な数のデジタル値が、デジタル・アナログ変換器5に供給されることが保証される。この場合、これらのデジタル値の各デジタル値が、比較的狭いワード幅を有することが容認される。
図示されていない方式では、アナログ出力信号SINk,COSkを平滑するためのフィルタが、デジタル・アナログ変換器5に後続接続されてもよい。当該フィルタは、低域通過フィルタでもよい。
説明した実施の形態では、90°だけ互いに位相シフトされている2つの走査信号SIN,COSが、入力信号として構成ユニット3に供給される。しかし、本発明は、当該実施の形態に限定されない。図示されなかった方式では、専ら1つの正弦波走査信号が、構成ユニット3に供給されてもよく、又は、互いに位相シフトされている2つよりも多い正弦波走査信号、特に120°だけ互いに位相シフトされている3つの正弦波走査信号が、構成ユニット3に供給されてもよい。
本発明は、全ての物理的な走査原理で問題なく使用可能である。測定目盛が、光学式に、磁気式に、電磁誘導式に又は静電容量式に走査可能に構成され得る。
エンコーダは、リニアエンコーダとして又はロータリーエンコーダとして構成され得る。この場合、上記の式では、位置Xは、経路長又は角度を表す。
1 測定目盛
2 走査装置
3 構成ユニット
4 トランスクライバー
5 デジタル・アナログ変換器
6 モジュール
7 クロック発振器
8 切替装置
41 補間器
42 掛け算器
43 波形発生器
43.1 第1ブロック
43.2 第2ブロック
43.3 第3ブロック

Claims (13)

  1. 位置によって決まる少なくとも1つの正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)の信号周期(λ)を変更するための1つの構成ユニット(3)を有するエンコーダであって、 当該エンコーダは、
    ・1つのトランスクライバー(4)と、
    ・1つのデジタル・アナログ変換器(5)とを有し、
    前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)が、前記トランスクライバー(4)に供給されていて、このトランスクライバー(4)は、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)から、この正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)に対して変更された信号周期(λ/k)を有する少なくとも1つの正弦波デジタル出力信号(DSINk,DCOSk)を生成するように構成されていて、
    前記デジタル・アナログ変換器(5)は、前記正弦波デジタル出力信号(DSINk,DCOSk)から、変更された信号周期(λ/k)の1つの正弦波アナログ出力信号(SINk,COSk)を生成するように構成されている当該エンコーダにおいて、
    前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)の高い周波数の場合に、この正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)のより低い周波数の場合よりも高い出力レートで、且つ当該場合よりも狭いワード幅で、前記正弦波デジタル出力信号(DSINk,DCOSk)が、前記デジタル・アナログ変換器(5)に供給されるように、前記トランスクライバー(4)が、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)の周波数(f)に応じて稼働モードを変更するように構成されていることを特徴とするエンコーダ。
  2. 前記デジタル・アナログ変換器(5)は、線形の量子化特性曲線を有する請求項1に記載のエンコーダ。
  3. 前記エンコーダは、前記少なくとも1つの正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)の周波数に比例する信号(f)を算出するための1つのモジュール(6)を有し、この信号(f)が、前記トランスクライバー(4)に供給される請求項1又は2に記載のエンコーダ。
  4. 前記トランスクライバー(4)は、複数のデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)を並行して生成するように構成されていて、前記複数のデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)は、異なる出力レートと異なるワード幅とを有する請求項1〜3のいずれか1項に記載のエンコーダ。
  5. 前記複数のデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)は、1つの切替装置(8)に並行して供給されていて、この切替装置(8)は、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)の周波数(f)に応じて、これらのデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)のうちの1つのデジタル出力信号を前記デジタル・アナログ変換器(5)に供給するように構成されている請求項4に記載のエンコーダ。
  6. 互いに位相シフトされている複数の正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)が、稼働中に前記構成ユニット(3)に供給されている請求項1〜5のいずれか1項に記載のエンコーダ。
  7. 90°だけ互いに位相シフトされている2つの正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)が、稼働中に前記構成ユニット(3)に供給されている請求項6に記載のエンコーダ。
  8. 前記トランスクライバー(4)は、
    ・1つの補間器(41)と、
    ・1つの掛け算器(42)と、
    ・1つの波形発生器(43)とを有し、
    前記互いに位相シフトされている正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)が、前記補間器(41)に供給されていて、さらに、この補間器(41)は、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)から、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)の1つの信号周期(λ)内の位置を表す1つのデジタル位置信号(P)を生成するように構成されていて、
    前記掛け算器(42)は、前記デジタル位置信号(P)から、変更された信号周期(λ/k)を有する1つのデジタル位置信号(Pk)を生成するように構成されていて、
    前記波形発生器(43)は、前記変更された信号周期(λ/k)のデジタル位置信号(Pk)から、前記正弦波デジタル出力信号(DSINk,DCOSk)を生成するように構成されている請求項6又は7に記載のエンコーダ。
  9. エンコーダを稼働させるための方法であって、当該方法は、以下の:
    ・位置によって決まる少なくとも1つの正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)を生成するステップを有し、
    ・前記少なくとも1つのアナログ走査信号(SIN,COS)から、少なくとも1つの正弦波デジタル出力信号(DSINk,DCOSk)を生成するステップを有し、この出力信号(DSINk,DCOSk)は、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)に対して変更された1つの信号周期(λ/k)を有し、
    ・1つのデジタル・アナログ変換器(5)によって、前記少なくとも1つの正弦波デジタル出力信号(DSINk,DCOSk)から、少なくとも1つの正弦波アナログ出力信号(SINk,COSk)を生成するステップを有する当該方法において、
    前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)の高い周波数の場合に、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)のより低い周波数の場合よりも高い出力レートで、且つ当該場合よりも狭いワード幅で、前記正弦波デジタル出力信号(DSINk,DCOSk)が、前記デジタル・アナログ変換器(5)に供給されるように、前記エンコーダの稼働モードが、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)の周波数(f)に応じて変更されることを特徴とする方法。
  10. 複数の正弦波デジタル出力信号(DSINk,DCOSk)が、前記少なくとも1つのアナログ走査信号(SIN,COS)から並行して生成され、これらのデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)は、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)に対して変更された1つの信号周期(λ/k)を有し、前記複数のデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)は、異なる出力レートと異なるワード幅とを有する請求項9に記載の方法。
  11. 前記複数のデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)は、1つの切替装置(8)に並行して供給され、この切替装置(8)は、前記正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)の周波数(f)に応じて、並行して発生するこれらのデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)のうちの1つのデジタル出力信号を前記デジタル・アナログ変換器(5)に供給する請求項10に記載の方法。
  12. 同じ周波数の、互いに位相シフトされている複数の正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)が生成され、互いに位相シフトされている複数のデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)が、当該複数の正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)から生成され、これらのデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)は、前記複数の正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)に対して変更された1つの信号周期(λ/k)を有する請求項9〜11のいずれか1項に記載の方法。
  13. 90°だけ互いに位相シフトされている2つの正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)が構成ユニット(3)に供給され、90°だけ互いに位相シフトされている2つのデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)が、当該2つの正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)から生成され、当該2つのデジタル出力信号(DSINk,DCOSk)は、前記複数の正弦波アナログ走査信号(SIN,COS)に対して変更された1つの信号周期(λ/k)を有する請求項12に記載の方法。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3124920B1 (de) * 2015-07-27 2017-11-01 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung und Verfahren zu deren Betrieb
US10429006B2 (en) * 2016-10-12 2019-10-01 Ford Global Technologies, Llc Cellular structures with twelve-cornered cells
DE102017216666A1 (de) * 2017-09-20 2019-03-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4011411C2 (de) * 1990-04-09 1993-09-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Inkrementales Positionsmeßsystem
US5173936A (en) * 1990-05-08 1992-12-22 The Goeken Group Corporation Telephone handset holder assembly
ATE365906T1 (de) 1997-04-16 2007-07-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung und verfahren zum betrieb einer positionsmesseinrichtung
WO2000028283A1 (fr) * 1998-11-09 2000-05-18 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Capteur de position
FR2792402B1 (fr) * 1999-04-16 2001-06-15 Air Liquide Procede et installation de suivi de l'evolution d'une grandeur physique au cours du temps
DE10054075A1 (de) * 2000-10-31 2002-05-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren zur Positionsbestimmung und Positionsmesseinrichtung
US7031031B1 (en) * 2000-12-06 2006-04-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Position measuring system
GB0126014D0 (en) * 2001-10-30 2001-12-19 Sensopad Technologies Ltd Modulated field position sensor
WO2003002950A1 (de) 2001-06-27 2003-01-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Verfahren und vorrichtung zum vorbereiten eines sensorsignals eines positionssensors für eine übertragung zu einer auswerteeinheit
DE50308617D1 (de) * 2002-09-25 2007-12-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren zum betrieb einer positionsmesseinrichtung und geeignete positionsmesseinrichtung hierzu
DE10313518A1 (de) 2003-03-25 2004-10-14 Hübner Elektromaschinen AG Positionsmessverfahren und Positionsmesssystem zur Signalperioden-Vervielfachung
CN101311702A (zh) * 2004-08-11 2008-11-26 日本电波工业株式会社 感知装置
DE102007059536B4 (de) * 2007-12-11 2019-06-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Betrieb einer Sensoranordnung und Sensoranordnung
DE102008053985A1 (de) * 2008-10-30 2010-05-06 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Absolute Winkelcodierung und Winkelmessvorrichtung
DE102009054592A1 (de) * 2009-12-14 2011-06-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
DE102012205802A1 (de) * 2012-04-10 2013-10-10 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Übertragung von Energie und Daten zwischen einer Steuerungseinheit und einem Positionsmessgerät
JP6103927B2 (ja) * 2012-12-27 2017-03-29 キヤノン株式会社 位置検出装置、駆動制御装置及びレンズ装置
EP3009806B1 (de) * 2014-10-14 2016-12-14 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung mit Vorrichtung zur Kompensation von Fehlern durch thermische Dilatation eines Massstabes
EP3124920B1 (de) * 2015-07-27 2017-11-01 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung und Verfahren zu deren Betrieb

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