JP4914899B2 - 電気信号の振幅状態測定方法 - Google Patents

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Description

本発明は一定の時間変位を有する同じ周波数のいくつかの信号からなる電気信号であって、一つまたはいくつかのコンポーネント信号が異なる振幅を有する電気信号の振幅関係の測定方法について記述する。
本発明は主としてスエーデン国特許第7714010−1号およびこの特許の応用(スエーデン国特許第9202005−6号、第8604337−9号および第0003110−4号)に記述されているタイプの容量性測定システムにおける信号処理に適している。
本発明はこれまで使用されている信号処理装置よりも高い精度、高い解像度、より迅速な更新およびより低いノイズレベルを与える単純な信号処理装置を提供しようとするものである。
本発明を応用しようとするタイプの容量性測定装置はスエーデン国特許第7714010−1号に記述されている。スエーデン国特許第7714010−1号に基づいたさまざまな応用がスエーデン国特許第9202005−6号、第8604337−9号および第0003110−4号に記述されている。
前記した特許は一定の相対的時間変位を有する電気パルスが供給される少なくとも3つの電極の第1のセンサ部の提供に基づいて線型ディメンジョンまたは角度を測定するシステムについて記述しており、以後「コンポジット信号」と呼ぶ、第2のセンサ部上のセンサ電極からの出力信号の時間変位は前記した測定電極との容量結合の大きさによって決まり、この時間変位は2つのセンサ部の位置、すなわち、それらの相対的位置を検出するのに使用される。
スエーデン国特許第7714010−1号は測定信号と同期して機能する2進カウンタ内での時間測定を介して検出電極の情報搬送コンポジット信号から位置の値が抽出される信号処理方法を記述している。これはコンポジット信号(図1aの最下位信号)のゼロが2進カウンタの状態をゼロに維持する保持回路を制御できるようにして達成される。
しかしながら、十分に良好な正弦波形および要求された振幅精度および周波数安定性を有する正弦波形を有する信号(図1aに示すようなもの)を作り出すことは困難であり、しかも、より重要なことであるが、それらを作り出すには費用がかかる。
したがって、一つの好ましい設計では入力信号に対して正弦波の替わりに方形波パルス(図1bのR,SおよびT)が使用される。その結果、コンポジット信号は時間変位および振幅の異なる方形波信号により構成され、図1bの最下位に示すようにステップ形様相を呈する。しかしながら、検出電極の位置が変化すると、このケースではコンポジット信号のゼロは静電容量の変化に類似した変化はせず、機械的周期の1/4だけステップワイズに変位される。位置のより精密な値を達成するために、先進的な帯域フィルタを使用して、方形波パルスの全てのオーバトーンをコンポジット信号からフィルタリングしなければならない。入力周波数の正弦波状基本トーンだけがフィルタリング操作の後で残り、図1aに示すような正弦状コンポジット信号が形成される。とりわけ、帯域フィルタの特性の欠点を補償するために、その後、慎重に規定された標準を使用して測定システムの校正が行われる。
前記したように、方形波信号が容量性測定システムの入力として使用される時は、その位置情報を構成するのはコンポジット信号の振幅合成(amplitude composition)である。前記した従来技術では、コンポジット信号の位置情報は振幅領域から時間領域へ変換しなければならない。これはフィルタリングを用いてコンポジット信号から全てのオーバトーンを除去して行われる。しかしながら、これにはいくつかの不利な点が伴う。
全てのオーバトーンを除去するには先進的で高価な帯域フィルタが必要である。さらに、正確に同じ特性を有するフィルタを製作するのは困難であり、そのためフィルタは通常互いに交換できない。これはフィルタユニットを交換する必要がある時は測定システムを再校正しなければならないことを意味する。
ゼロの位置は、ゼロレベル電位に対する、コンポジット信号内に存在する任意の非対称性の影響を受けるため、波のゼロを使用する方法はコンポジット信号内のオフセットに対しても敏感である。
さらに、波のゼロを使用する方法は、たとえば、フィルタリングされたコンポジット信号内に過渡現象を生じることがある、信号処理装置の電子回路からのクロストークに対しても敏感である。これらの過渡現象の時間位置がコンポジット信号のゼロ電位に近ければ、ゼロの解析にエラーが生じることがある。
このシステムのもう1つの不利な点はコンポジット信号の周波数が一定ではなく、ドップラー効果の結果2つのセンサ部間の相対的移動の速度と共に変動することである。
このため、コンポジット信号および基準信号は2つの電極担持部が静止している時しか同じではない。
周波数の変化は移動中に測定する時のコンポジット信号のゼロに対する「tsumma」の周期が、移動の方向および速度に応じて、基準周波数のそれよりも大きいかまたは小さいことを意味する。カウンタ周波数は基準信号の周波数および周期「t」により絶えず制御されるため、低すぎるまたは高すぎるカウンタ値が読み出される。
コンポジット信号の周波数の速度による変動の第2の影響は望ましい基準信号の基本周波数までの急峻な制限で帯域フィルタを設計できず−周波数変動によりある帯域幅を受け入れなければならないことである。これは位置のエラーフリー検出に必要なコンポジット信号の完全な正弦波形をフィルタリングにより作り出せないことを意味する。
更新の頻度(新しい測定値数/秒)は基準信号の基本周波数により決定されるため、1つの測定値を発生するのに基準信号の基本周波数の完全な1周期を必要とする。
測定の解像度は時間決定を実施するのに使用される信号の周波数により決定される。そのため、測定解像度を高めたければ基準信号の基本周波数を低減するかまたは時間の測定を実施するのに使用される信号の周波数を高める必要がある。
時間遅延の大きさは帯域フィルタの位相位置および基準信号の基本周波数により決定される。帯域フィルタの位相位置はフィルタリングの程度により決定され、それはシステム内のノイズ状態によって決まる。時間遅延を低減するために、フィルタリングの程度を低減するか、時間の測定を実施するのに使用される信号の周波数を高めるか、またはその両方を行うことができる。
前記した説明から小さい時間遅延を達成しながら高精度の測定および高頻度の更新を同時に達成するのが困難なことは明白である。
従来技術の不利な点を要約すると、
・コンポジット信号内のオーバトーンをフィルタリングするのに先進的で高価な帯域フィルタが必要である。
・同一のフィルタを製作するのが困難である。
・システムはオフセットに敏感で、コンポジット信号のゼロ検出に影響を及ぼす。
・システムはクロストークに敏感で、コンポジット信号のゼロ検出に影響を及ぼす。
・ドップラー効果により、できるだけ望ましくフィルタリングを行うことはできず、コンポジット信号のゼロ検出に影響を及ぼす。
・小さい時間遅延を達成しながら高い測定解像度および高頻度の更新を達成するのが困難である。
したがって、本発明の一つの目的は前記した従来技術の不利な点を解消できる新しい方法を達成することである。
本発明の一つの特徴は作業が、従来のように、コンポジット信号(図4のv)の時間領域内ではなくその振幅領域内で実施されることであり、それにより振幅領域および時間領域間の変換が不要とされ、コンポジット信号の位置情報の品質低下が回避されることである。
従来システムの更新レートの制限も、このケースにおける時間カウンタは新しい各測定値に対して完全なループを実施しなければならないため、回避される。本発明に従った信号処理装置は実際のA/D変換中にA/Dコンバータが容量性センサユニットおよび信号処理の他の電子回路から電気的に絶縁されるように設計することもできる。これは低ノイズレベルおよび電気的外乱に対する著しい無感応性を保証する。
本発明のもう1つの利点は電子的構造が著しく単純で低廉なことである。こうして、帯域フィルタは必要とされない。2進カウンタおよび保持回路およびそれらに付随するメモリ回路も省くことができる。これらは比較的低廉な信号プロセッサにより置換される。帯域フィルタを省くことの1つの主要な利点は、前記したように、完全に同一の特性を有するこのようなフィルタは製作できないことである。したがって、サービス中にこれらのフィルタは交換できず、それはフィルタを交換する時には測定システムを再調整する必要があることを意味している。対照的に、本発明に従って設計されたユニットは全てが同じ特性を得るため完全に交換可能である。
要約すれば、これは本発明により信号処理電子回路を完全に交換可能なより迅速でより正確かつ低廉な信号処理システムが提供されることを意味する。
次に、送信機電極に加えられる入力信号が、1/4周期の時間変位だけ互いに変位している、4つの対称方形波信号により構成され、パルスの長さ、パルス間のギャップと振幅は等しく、電極は送信機電極および受信機電極間の静電容量が位置(x)の正弦波関数として変動するように設計される電極システムに適合される非限定的な好ましい設計として本発明の説明を行う。
次に、添付図を用いて本発明をより詳細に説明する。本発明は既知のタイプの容量性センサの出力信号からデジタル位置情報を検索するものである。
手短に言えば、このようなセンサは次のように機能する、
図2aの電極21は右に移動すると電極Rと重複する度合いが増し、重複領域の大きさは電極21の位置(x)の関数となり、それは図2bに連続線Rで示されている。電極21および相互作用電極、ここではR、間の静電容量はこうして重複領域に直接比例する。
その後、電極21は順次電極S、T、およびUと重複し、重複領域のサイズは図2bの関数S、T、およびUとなる。
センサは点線で示すように送信機電極R、S、T、およびUのいくつかの周期を含むため、表面相互作用線は図2bに示すように完全な意図する測定領域に沿った連続関数を形成する。
入力交流電圧が各送信機電極R、S、T、およびUに加えられ、この交流電圧は各送信機電極に対して一意的な位相位置(時間変位)を有する。
位置(x)における曲線R、S、T、およびU(図2b)との座標の交点は電極21により捕捉された対応する入力信号からの予期された振幅寄与を示す。
ここで、コンポジット信号の外観と受信機電極21(図2a)および送信機電極R、S、T、U間の相対的位置との理論的関係をより詳細に示す。
表現を容易にするために、信号R、S、T、Uは以後v、v、v、およびvとして示され、電極(R、S、T、およびU)と受信機電極21の相互作用に対応する容量関数はc(x)、c(x)、c(x)およびc(x)として示される。
図4は、既知の技術を表す、スエーデン国特許第7714010−1号に明記されているような容量性センサに対する単純化された電気回路図を原則的に示している。
容量性センサ内の電極はコンデンサとして図示されている。各コンデンサc(x)、c(x)、c(x)およびc(x)の静電容量は可変であり、図2bに示すような位置(x)の関数として変動する。これは次式で表され、
Figure 0004914899

ここに、Lは容量関数(図2b)の1周期に対応する機械的長さである。
静電容量を励起する入力信号v、v、v、およびvは、たとえば、周波数f、振幅
Figure 0004914899

および互いに90度の位相変位を有する周期的方形波(図3)とすることができる。図3は図2bにおいてあるランダムに選択された(x)の値において現われることがあるコンポジット信号v(x,t)も示している。
入力電圧は次式で示すことができる。
Figure 0004914899
コンポジット信号v(x,t)には大地へのコンデンサCがロードされる。センサからの出力信号はセンサの機械的位置(x)および時間「t」の両方の関数であり、この信号は図5により詳細に示されている。図からお判りのように、個別の各送信機電極に対する振幅成分を識別するのは容易である。
センサからの出力信号は次式で表すことができる。
Figure 0004914899
図5からお判りのように、センサからの出力信号は4つの異なる直流レベル、v01、v02、v03およびv04からなっている。これら4つの直流レベルの大きさはセンサ内の機械的位置(x)(図2b)の関数であり、次式で表すことができる。
Figure 0004914899
4つの直流レベルの表現において、対v01/v03およびv02/v04は、それぞれ、センサ内の機械的位置(x)の余弦関数および正弦関数を構成することが判る。この関係が本発明の好ましい設計において使用される。
前記説明および図3から信号の総和により4つのレベルを有するコンポジット信号となり(図5)、その2つのレベルv03およびv04はレベルv01およびv02の反形であることが明らかである(コンポジット信号の平均値に関して)。
本発明はセンサからの出力信号(v)内の4つの振幅レベル(v、v、v、およびv)の測定に基づいており、前記したように、このレベルは互いに移動する2つの電極システムの相対位置(x)の関数である。
測定は入力信号の周期「t=1/f」全体にわたり均一に分布された4つの異なる固定時間T、T、T、およびTにおいて行われる(図3)。
前記したように、対v01/v03およびv02/v04は、それぞれ、センサ内の機械的位置(x)の余弦関数および正弦関数を構成する。
各対v01/v03およびv02/v04の2つの成分の大きさはコンポジット信号の平均値に関して互いにミラーイメージであり、それは通常ゼロの電位と一致する。
対v01とv03およびv02とv04間の差をデジタル化して結果をセンサの出力信号内に存在する任意のゼロオフセットとは無関係とすることができる。
デジタル化された値はセンサの機械的位置の数値計算に使用される。
図6は電子的システムの原理図を示す。
センサからの出力信号vは演算増幅器「InAmp」において増幅され同期フィルタを用いて時間T、T、T、およびTにおいて蓄積コンデンサC、C、CおよびCにフィルタリングされ、そこで値は電位の形で蓄積される。
同期フィルタは抵抗体(R)、制御回路付きアナログ1対4マルチプレクサ(図6において1:4)、およびコンデンサC、C、CおよびCからなっている。
同期フィルタは直流レベルv01がフィルタリングされてコンデンサC内に(時間T頃)、レベルv02はC内に(時間T頃)、レベルv03はC内に(時間T頃)、レベルv04はC内に(時間T頃)蓄積される(それはサンプリングされる)ように信号を制御する。
蓄積コンデンサ内の直流レベルの各フィルタリングおよび蓄積(サンプリング)操作(時間T、T、T、およびT頃)の後で、対v01およびv03間の差はv02とv04間の差(第2のA/DコンバータADC2内で時間TおよびT頃)と同様にデジタル化される(第1のA/DコンバータADC1内で時間TおよびT頃)。
Figure 0004914899
さらに、フィルタリング、蓄積(サンプリング)およびA/D変換は、アナログ1対4マルチプレクサ(図6において1:4)がA/D変換中に接続されないため、蓄積コンデンサおよびADC1およびADC2がA/D変換中に入力段から電気的に絶縁されるように制御される。
このようにして、外乱に対する高度のイミュニティ(immunity)およびデジタル化された測定値の低ノイズレベルが達成される。
次に、XおよびY値を用いてセンサの機械的位置(x)を計算することができる。これは、たとえば、Xの絶対値がYの絶対値よりも大きいか小さいかに応じてX/YまたはY/Xにアークタンジェント関数を適用して実施することができる。
計算した位置は次式で表すことができる。
Figure 0004914899
、C、CまたはC内に新しい測定値(v01、v02、v03またはv04)が格納される度に位置の新しい計算が実施される。入力信号の周波数の各周期「t=1/f」に対する位置の4つの計算がこのようにして得られ(図3)、従来システムの周波数に較べて測定システムの更新周波数は4倍になることを意味する。
このように計算された(x)の値は機械的周期Lの1/4をカバーする領域をカバーする。こうして、1つの機械的周期L内で、0からL/4までの大きさの位置値のこのような4つの範囲が得られる(図7)。
Xの絶対値がYの絶対値よりも大きいか小さいかに応じて、XまたはYが正か負かを調べることにより周期Lのどの象限で測定がなされているかを決定することができる。本発明に従ったシステムはこのようにして完全な1つの機械的周期L内で絶対値を測定する。
Figure 0004914899
(P)の値が決定されると、次式に従って機械的周期L内の絶対的位置が得られる。
Figure 0004914899
判り易くするために、2つのA/DコンバータADC1およびADC2を用いて図6にA/Dコンバータが示される。
実際には、替わりに1つだけのA/Dコンバータを使用するのが有利であり、それによりコストの利点が達成されるだけでなく2つのA/Dコンバータ「ADC1」および「ADC2」間の特性の何らかの違いから生じることがあるエラーも回避できる。これは対v01/v03およびv02/v04をA/Dコンバータの入力に交互に接続するもう1つのマルチプレクサを使用して可能とされる。
前記した説明は本発明に従った信号処理構成の適切な設計の一例にすぎない。
前記したタイプの長さおよび角度を測定する容量性システムは多くの異なる方法で設計することができる。たとえば、電極のジオメトリは静電容量が動きの線型関数となる、または好ましい設計のように正弦関数となる、または動きのもう1つの三角関数となるように設計することができる。
また、当業者ならばn>2である自由に選択された入力信号数nを使用して本発明を応用できることが理解される。また、関係が数式で記述できるならば、本発明は静電容量と位置間の正弦波以外の関係で使用できることも理解される。また、前記した好ましい設計で使用されたもの以外のパルス幅に対する他の関係を使用することもできる。
最後に、本発明に従った信号処理は適切な修正により正弦波入力信号でも機能することも理解される。
主として前記スエーデン国特許第7714010−1号に基づく既存の測定システムを示す図である。 主として前記スエーデン国特許第7714010−1号に基づく既存の測定システムを示す図である。 本発明を応用できる電極構成の例を示す図である。 センサ内の機械的移動と静電容量間の関係を示す図である。 時間変位された4つの測定信号R、S、TおよびUの例を示す図であって、SはRに対して1/4周期だけ時間変位され、TはRに対して1/2周期だけ時間変位され、UはRに対して3/4周期だけ時間変位されている。本発明に従った振幅測定が行われる時間T、T、T、およびTも原則として図示される。 容量性測定システムの電子的特性を示す略図である。 電極システムの相対的位置に関する情報を含む振幅差を有する典型的なコンポジット信号を示す図である。 本発明を使用する信号処理装置の機能を示す略図である。 機械的周期の長さLの長さがその1/4の長さをカバーする値のいくつかの個別ステップからどのように作り上げられるを示す図である。

Claims (12)

  1. 長さまたは角度を測定するための容量性測定スケールの信号処理方法であって、一緒にコンデンサを形成する電極が設けられた互いに移動することができる2つの部分からなり、そのキャパシタンスの大きさは可変であって互いに移動することができる2つの部分間の正弦状関係(x)により指定される相対的位置によって決まり、第1の部分は1測定周期にわたって均一に分布されたn(nは整数)電極を有し第2の部分は測定周期当たり1つの電極を有し、第1の部分内の電極にはnの交流電圧が供給され前記交流電圧の互いの時間変位はt/nであり、tは前記交流電圧の周期の長さであり、第2の移動部の電極は前記交流電圧の1つまたはいくつかにより構成される信号を容量性方法で捕捉し、コンポジット信号の振幅合成は2つの部分間の相対的位置(x)によって決まり、前記振幅合成へのnの信号全ての寄与が測定されてnのサンプリングの各々に対して個別に格納されることを特徴とする方法。
  2. 請求項1に記載の方法であって、振幅合成の前記測定は入力信号に関して固定され1信号周期全体にわたって均一に分布されたnの時間、T、において「サンプル・アンド・ホールド」として広く知られた方法により実施されることを特徴とする方法。
  3. 請求項に記載の方法であって、サンプリングは入力信号と同期して実施されることを特徴とする方法。
  4. 請求項に記載の方法であって、振幅値の前記「サンプル・アンド・ホールド」手順は基本周波数(f)の各周期全体にわたり逐次実施され、その値はnのサンプリングの各々に対して個別に格納されることを特徴とする方法。
  5. 請求項に記載の方法であって、電位の形で蓄積コンデンサ内に格納される振幅値は既知のA/D変換技術に従ってデジタル化されることを特徴とする方法。
  6. 請求項に記載の方法であって、サンプリングおよびA/D変換は逐次実施されA/DコンバータはA/D変換中にセンサ信号から電気的に絶縁されることを特徴とする方法。
  7. 請求項に記載の方法であって、入力位相の数nは4に等しいことを特徴とする方法。
  8. 請求項に記載の方法であって、A/D変換は対として異なる方法で実施され、1番および3番サンプリングからの振幅値が1つの対を形成し2番および4番サンプリングからの振幅値が第2の対を形成することを特徴とする方法。
  9. 請求項に記載の方法であって、相対的位置(x)は下記のアルゴリズムを介して得られることを特徴とする方法。
    Figure 0004914899
    (ここで、X,Yは2組のサンプリングの振幅の大きさ、Lは機械的周期)
  10. 請求項に記載の方法であって、相対的位置(x)のデジタル化および計算は信号周期当たりn回実施され、計算に使用される振幅値は各計算に対して1つのサンプリングステップにより連続的に更新されることを特徴とする方法。
  11. 請求項10に記載の方法であって、A/D変換は2つのA/Dコンバータにより実施され、その一方は振幅値1および3をデジタル化し他方は振幅値2および4をデジタル化することを特徴とする方法。
  12. 請求項11に記載の方法であって、A/D変換は1つの多重化されたA/Dコンバータにより実施されることを特徴とする方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009031664A1 (de) * 2009-07-04 2011-01-05 Camille Bauer Ag, Wohlen Kapazitiver Drehwinkelsensor
CN101949682B (zh) * 2010-08-14 2012-10-24 桂林广陆数字测控股份有限公司 绝对位置测量容栅位移测量方法、传感器及其运行方法
EP2629061B1 (en) * 2012-02-14 2014-09-17 SICK STEGMANN GmbH Method for operating a capacitive position sensor and capacitive position sensor
JP5958318B2 (ja) * 2012-12-12 2016-07-27 日立金属株式会社 放電電荷量測定方法及び放電電荷量測定装置
JP5880884B2 (ja) 2013-05-31 2016-03-09 株式会社デンソー 回転状態検出装置
EP3040689B1 (de) * 2014-12-04 2017-07-19 Hexagon Technology Center GmbH Absoluter kapazitiver Winkelencoder
JP6823483B2 (ja) * 2017-02-02 2021-02-03 株式会社ミツトヨ 変位検出器

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE411392B (sv) * 1977-12-09 1979-12-17 Inst Mikrovagsteknik Vid Tekni Metanordning for kapacitiv bestemning av det inbordes leget hos tva relativt varandra rorliga delar
DE3711062A1 (de) * 1987-04-02 1988-10-20 Herbert Leypold Kapazitive absolute positionsmessvorrichtung
GB2237639B (en) * 1989-10-31 1994-07-06 British Gas Plc Measurement system
DE4016434A1 (de) * 1990-05-22 1991-11-28 Bosch Gmbh Robert Kapazitiver stellungsgeber
CH685214A5 (fr) * 1991-10-15 1995-04-28 Hans Ulrich Meyer Capteur capacitif de position.
US6492911B1 (en) * 1999-04-19 2002-12-10 Netzer Motion Sensors Ltd. Capacitive displacement encoder
JP3520233B2 (ja) * 2000-01-21 2004-04-19 春夫 小林 Ad変換回路
SE516952C2 (sv) * 2000-09-04 2002-03-26 Johansson Ab C E Vinkelgivare
US6873163B2 (en) * 2001-01-18 2005-03-29 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Spatially resolved electromagnetic property measurement
GB2390167B (en) * 2002-06-25 2005-07-13 Hubbell Inc Method and apparatus for testing an electrical component
FR2844048B1 (fr) * 2002-08-30 2005-09-30 Nanotec Solution Systeme et procede de mesure sans contact d'un deplacement ou positionnement relatif de deux objets adjacents par voie capacitive, et application au controle de miroirs
US7196527B2 (en) * 2004-02-17 2007-03-27 Stridsberg Innovation Ab Redundant compact encoders
WO2006002311A2 (en) * 2004-06-23 2006-01-05 Fe Technical Services, Inc. Capacitive sensing techniques
US7545289B2 (en) * 2006-07-17 2009-06-09 Synaptics Incorporated Capacitive sensing using a repeated pattern of sensing elements

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