JP6695636B2 - 分離方法 - Google Patents
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Landscapes
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
4 チャンバ
4a 空間
6 第1チャンバ
6a 空間
6b 開口
6c 開口
8 第2チャンバ(扉部)
8a 空間
8b 開口
8c 開口
10 第1保持テーブル(第1保持手段)
10a 保持面(第1保持面)
10b 流路
12 開閉弁
14 吸引源
16 第2保持テーブル(第2保持手段)
16a 保持面(第2保持面)
16b 流路
16c 挿入部
18 開閉弁
20 吸引源
22 牽引ユニット(牽引手段)
24 支点部材
26 棒部材
28 連結部材
30 開閉弁
32 流体供給源(加圧手段)
42 分離装置
52 分離装置
54 チャンバ
56 本体
56a 空間
56b 開口
56c 開口
58 扉(扉部)
11 被加工物
11a 第1面
11b 第2面
11c 起点領域(改質領域)
Claims (1)
- 第1面と該第1面の裏側の第2面とを有し、分離の起点となる断続的な起点領域を含む分離面が内部に形成された被加工物を該分離面に沿って該第1面側と該第2面側とに分離する分離方法であって、
密閉されたチャンバの内部の空間で、第1保持面を有する第1保持手段により被加工物の該第1面を保持するとともに、第2保持面を有する第2保持手段により被加工物の該第2面を保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該チャンバの内部の空間を加圧するとともに、牽引手段で該第2保持手段を該チャンバの外部で保持して該第1保持手段から離れる方向に牽引することで、被加工物を該分離面に沿って該第1面側と該第2面側とに分離する分離ステップと、を備え、
該牽引手段は、該チャンバに固定された支点部材と、支点部材によって支持される棒部材と、該第2保持手段に対して該棒部材の一端側を連結する連結部材と、を有することを特徴とする分離方法。
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