JP6695225B2 - Transport unit - Google Patents

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Description

本発明は、板状ワークを搬送する搬送ユニットに関する。   The present invention relates to a transfer unit that transfers a plate-shaped work.

加工装置等に具備され半導体ウエーハ等の板状ワークを吸引パッドで吸引保持し搬送する搬送ユニットには、例えば、板状ワークに吸引パッドを接触させ吸引保持するタイプのユニットと、吸引パッドにより非接触で板状ワークを吸引保持するタイプのユニットとがある。接触式の搬送ユニット(例えば、特許文献1参照)においては、吸引パッドが多孔質材料であるポーラス板等で構成されており、このポーラス板に吸引源を連通させ、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、板状ワークに接触させた状態のポーラス板の吸引面に伝達されることで板状ワークを吸引保持することができる。これに対して、非接触式の搬送ユニット(例えば、特許文献2参照)は、ベルヌーイの原理を利用しており、吸引パッドに備える吸引生成部に対して高圧気体を供給する。すなわち、高圧気体を吸引パッドの内面に沿って供給し、吸引生成部と板状ワークとの間を通過させ大気へ放出させる。放出された高圧気体噴流は拡径により減速していき、大気圧となるため、吸引生成部と板状ワークとの隙間でベルヌーイ効果が働き、吸引生成部を中心としてその周囲に圧力降下が発生する。このように発生させた負圧により、吸引パッドは板状ワークを非接触で吸引する。   The transport unit that is provided in a processing apparatus or the like and holds and conveys a plate-like work such as a semiconductor wafer with a suction pad includes, for example, a unit of a type in which the suction pad is brought into contact with the plate-like work and is held by suction, and There is a unit of a type that sucks and holds a plate-shaped work by contact. In the contact type transport unit (for example, refer to Patent Document 1), the suction pad is composed of a porous plate or the like made of a porous material, and the suction source is connected to the porous plate so that the suction source sucks. The generated suction force is transmitted to the suction surface of the porous plate that is in contact with the plate-shaped work, so that the plate-shaped work can be suction-held. On the other hand, the non-contact type transport unit (see, for example, Patent Document 2) uses the Bernoulli principle and supplies high-pressure gas to the suction generation unit provided in the suction pad. That is, the high-pressure gas is supplied along the inner surface of the suction pad, passes between the suction generation unit and the plate-shaped work, and is discharged to the atmosphere. The discharged high-pressure gas jet decelerates due to the diameter expansion and becomes atmospheric pressure, so the Bernoulli effect works in the gap between the suction generation part and the plate-like work, causing a pressure drop around the suction generation part. To do. The negative pressure thus generated causes the suction pad to suck the plate-shaped work in a non-contact manner.

特開2006−344778号公報JP, 2006-344778, A 特開2015−070002号公報JP, 2005-070002, A

吸引パッドを板状ワークに接触させ吸引保持するタイプの搬送ユニットでは、板状ワークを吸引保持するときに、板状ワークと吸引パッドとの位置ずれがないようにし、吸引パッドの吸引面全面を板状ワークの被吸引面に接触させた後、吸引源を作動させ吸引保持を行っている。また、吸引パッドにより非接触で板状ワークを吸引保持するタイプの搬送ユニットでは、板状ワークと吸引パッドとを位置合わせし、例えば吸引パッドに備える板状ワークの水平方向への移動を制限する接触部を板状ワークの外周領域に接触させた後、高圧気体を吸引パッドに供給することで吸引生成部の周囲に発生させた負圧により、板状ワークの吸引保持を行っている。したがって、接触式又は非接触式のいずれの搬送ユニットにおいても、板状ワークを吸引保持する際に吸引パッドの重量が板状ワークにかかることがある。   In a type of transport unit that holds the suction pad in contact with the plate-shaped work by suction, when holding the plate-shaped work by suction, make sure that there is no displacement between the plate-shaped work and the suction pad, and the entire suction surface of the suction pad is After contacting the surface to be attracted of the plate-like work, the suction source is operated to hold the suction. Further, in a transfer unit of a type that suction-holds a plate-shaped work by a suction pad in a non-contact manner, the plate-shaped work and the suction pad are aligned with each other, and for example, the horizontal movement of the plate-shaped work provided in the suction pad is restricted. After the contact portion is brought into contact with the outer peripheral region of the plate-like work, the plate-like work is sucked and held by the negative pressure generated around the suction generation unit by supplying high-pressure gas to the suction pad. Therefore, in either the contact type or non-contact type transport unit, the weight of the suction pad may be applied to the plate-like work when holding the plate-like work by suction.

また、加工装置に備えられ板状ワークを保持する保持テーブルの保持面の傾きと搬送ユニットの吸引パッドの吸引面の傾きとが異なっている、すなわち、保持テーブルの保持面と吸引パッドの吸引面とが平行になっていない場合がある。また、加工装置に備える洗浄ユニットの洗浄テーブルの保持面の傾きと搬送ユニットの吸引パッドの吸引面の傾きとが異なっている場合もある。これらのような場合には特に、板状ワークを吸引保持するために板状ワークに吸引パッドを接触させる際に、吸引パッドの重量が板状ワークにより多くかかることになるため、板状ワークが吸引パッドから受ける押圧力によって破損する場合がある。   Further, the inclination of the holding surface of the holding table that is provided in the processing device and holds the plate-shaped work is different from the inclination of the suction surface of the suction pad of the transport unit, that is, the holding surface of the holding table and the suction surface of the suction pad. And may not be parallel. Further, the inclination of the holding surface of the cleaning table of the cleaning unit included in the processing apparatus and the inclination of the suction surface of the suction pad of the transport unit may be different. In such cases, in particular, when the suction pad is brought into contact with the plate-like work in order to hold the plate-like work by suction, the weight of the suction pad is heavier on the plate-like work. It may be damaged by the pressing force received from the suction pad.

したがって、板状ワークを搬送ユニットにより搬送する場合には、板状ワークに吸引パッドを接触させた際に、吸引パッドの重量が板状ワークにかかるのを抑制し、板状ワークの破損が発生することを防止するという課題がある。   Therefore, when the plate-like work is conveyed by the conveyance unit, when the suction pad is brought into contact with the plate-like work, the weight of the suction pad is prevented from being applied to the plate-like work, and the plate-like work is damaged. There is a problem of preventing this.

上記課題を解決するための本発明は、板状ワークを搬送する搬送ユニットであって、板状ワークを吸引保持する吸引保持手段と、該吸引保持手段を移動させる移動手段とを備え、該吸引保持手段は、板状ワークを吸引保持する吸引パッドと、該板状ワークに接近および離間する方向に移動可能に該吸引パッドを支持するガイド軸と、該ガイド軸が挿通される貫通孔を有し該ガイド軸を支持する支持プレートと、該ガイド軸が該吸引パッドを支持した状態を維持し該吸引パッドを該支持プレートに近づける方向に付勢するバネと、を備え、該吸引パッドが板状ワークを保持するときに、該バネによって該吸引パッドが板状ワークを押圧する力を弱めることを特徴とする搬送ユニットである。   The present invention for solving the above-mentioned problems is a transport unit for transporting a plate-like work, comprising a suction holding means for sucking and holding the plate-like work, and a moving means for moving the suction holding means. The holding means has a suction pad for holding the plate-like work by suction, a guide shaft for movably supporting the suction pad so as to move toward and away from the plate-like work, and a through hole through which the guide shaft is inserted. A plate for supporting the guide shaft, and a spring for maintaining the state in which the guide shaft supports the suction pad and urging the suction pad in a direction to bring the suction pad closer to the support plate. A holding unit for holding a work piece, wherein the suction pad weakens the force of pressing the plate work piece by the spring.

前記ガイド軸は上端側に径方向外向きに延出される頭部を備え、前記バネは、該頭部の下面と前記支持プレートとの間に該頭部が該支持プレートと離間する方向に移動すると拡張するように配設されると好ましい。   The guide shaft includes a head portion that extends outward in the radial direction on the upper end side, and the spring moves between the lower surface of the head portion and the support plate in a direction in which the head portion is separated from the support plate. Then, it is preferably arranged so as to expand.

または、前記ガイド軸の上端側に、該ガイド軸の径方向外向きに延出される頭部を備え、前記バネは、前記支持プレートと前記吸引パッドとの間に該吸引パッドが該支持プレートから離間する方向に移動すると収縮するように配設されると好ましい。   Alternatively, a head extending outward in the radial direction of the guide shaft is provided on the upper end side of the guide shaft, and the spring includes the suction pad between the support plate and the suction pad. It is preferably arranged so that it contracts when moved in the direction of separation.

前記吸引パッドは、エア噴出口からエアを噴出することで負圧を生成し非接触で板状ワークを吸引する吸引生成部と、該吸引生成部により吸引される板状ワークの外周領域に接触して板状ワークが水平方向に移動することを制限する接触部とを備える、いわゆるベルヌーイ型の吸引パッドであってもよい。   The suction pad is in contact with a suction generation unit that generates a negative pressure by ejecting air from an air ejection port and sucks a plate-like work in a non-contact manner, and an outer peripheral region of the plate-like work sucked by the suction generation unit. In addition, a so-called Bernoulli-type suction pad that includes a contact portion that restricts the horizontal movement of the plate-like work may be used.

本発明に係る板状ワークを搬送する搬送ユニットは、吸引保持手段が、板状ワークを吸引保持する吸引パッドと、板状ワークに接近および離間する方向に移動可能に吸引パッドを支持するガイド軸と、ガイド軸が挿通される貫通孔を有しガイド軸を支持する支持プレートと、ガイド軸が吸引パッドを支持した状態を維持し吸引パッドを支持プレートに近づける方向に付勢するバネと、を備えているため、吸引パッドが板状ワークを保持するときに、バネによって吸引パッドが板状ワークを押圧する力を弱めることによって、板状ワークを破損させることなく吸引保持して搬送することができる。   In a transport unit for transporting a plate-like work according to the present invention, a suction holding means sucks and holds the plate-like work, and a guide shaft that supports the suction pad so as to be movable in a direction toward and away from the plate-like work. A support plate having a through hole through which the guide shaft is inserted and supporting the guide shaft; and a spring for maintaining a state in which the guide shaft supports the suction pad and urging the suction pad in a direction to bring the suction pad closer to the support plate. Therefore, when the suction pad holds the plate-shaped work, the force of the suction pad pressing the plate-shaped work is weakened by the spring, so that the plate-shaped work can be suction-held and conveyed without being damaged. it can.

また、吸引パッドを、エア噴出口からエアを噴出することで負圧を生成し非接触で板状ワークを吸引する吸引生成部と、吸引生成部により吸引される板状ワークの外周領域に接触して板状ワークが水平方向に移動することを制限する接触部とを備える、いわゆるベルヌーイ型の吸引パッドとすることで、例えば、吸引対象が反りのある板状ワークであっても、吸引パッドが板状ワークを保持するときに、バネによって吸引パッドが板状ワークを押圧する力を弱めることによって、板状ワークを破損させることなく搬送することができる。   Further, the suction pad is brought into contact with the suction generation unit that generates negative pressure by ejecting air from the air ejection port and sucks the plate-shaped work in a non-contact manner, and the outer peripheral region of the plate-shaped work sucked by the suction generation unit. A so-called Bernoulli-type suction pad having a contact portion for restricting the horizontal movement of the plate-shaped work, for example, even if the suction target is a warped plate-shaped work, the suction pad When the plate-shaped work is held, the force of the suction pad pressing the plate-shaped work is weakened by the spring, so that the plate-shaped work can be transported without being damaged.

接触式の吸引パッドを備える実施形態1の搬送ユニットの構造の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of the conveyance unit of Embodiment 1 provided with a contact type suction pad. バネがガイド軸の頭部の下面と支持プレートとの間に配設される状態の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the state in which a spring is arrange | positioned between the lower surface of the head of a guide shaft, and a support plate. 図3(A)は、バネがガイド軸の頭部の下面と支持プレートとの間に支持プレート内部に没入せずに配設される状態の一例を示す分解断面図である。図3(B)は、バネがガイド軸の頭部の下面と支持プレートとの間に支持プレート内部に没入せずに配設された状態の一例を示す断面図である。FIG. 3A is an exploded cross-sectional view showing an example of a state in which the spring is arranged between the lower surface of the head portion of the guide shaft and the support plate without being immersed in the support plate. FIG. 3B is a cross-sectional view showing an example of a state in which the spring is arranged between the lower surface of the head portion of the guide shaft and the support plate without being immersed in the support plate. 実施形態1の搬送ユニットにおいて、吸引パッドを板状ワークに接触させている状態を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state where the suction pad is in contact with the plate-shaped work in the transport unit according to the first embodiment. 実施形態1の搬送ユニットにおいて、板状ワークを吸引保持した吸引パッドを上昇させた状態を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which a suction pad holding a plate-shaped work by suction is raised in the transport unit according to the first embodiment. 非接触式の吸引パッドを備える実施形態2の搬送ユニットの構造の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the structure of the conveyance unit of Embodiment 2 provided with a non-contact type suction pad. 実施形態2の搬送ユニットにおいて、吸引パッドの接触部を板状ワークに接触させて板状ワークを吸引保持する状態を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing a state in which the contact portion of the suction pad is brought into contact with the plate-like work to suck and hold the plate-like work in the transport unit according to the second embodiment. 実施形態2の搬送ユニットにおいて、板状ワークを吸引保持した吸引パッドを上昇させた状態を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing a state in which a suction pad holding a plate-shaped work by suction is raised in the transport unit according to the second embodiment. 非接触式の吸引パッドと、支持プレートと吸引パッドとの間に配設されたバネとを備える搬送ユニットの構造の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of the conveyance unit provided with the non-contact type suction pad and the spring arrange | positioned between the support plate and the suction pad.

(実施形態1)
図1に示す板状ワークWを搬送する搬送ユニット1は、板状ワークWを吸引保持する吸引保持手段2と、吸引保持手段2を移動させる移動手段4とを少なくとも備えている。搬送ユニット1は、主に、板状ワークWを切削する切削装置、板状ワークWを研削する研削装置、又は、これらの装置の機能をすべて備えるクラスター型装置等に組み込まれて使用される。例えば、図1においては、吸引保持手段2が、研削装置等の加工装置に備えられる保持テーブル3の上方に位置している。
(Embodiment 1)
The transport unit 1 that transports the plate-shaped work W shown in FIG. 1 includes at least a suction holding unit 2 that suction-holds the plate-shaped work W and a moving unit 4 that moves the suction-holding unit 2. The transport unit 1 is mainly used by being incorporated in a cutting device for cutting the plate-like work W, a grinding device for grinding the plate-like work W, or a cluster type device having all the functions of these devices. For example, in FIG. 1, the suction holding means 2 is located above a holding table 3 provided in a processing device such as a grinding device.

保持テーブル3は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり板状ワークWを吸着する保持面3aを備えている。保持面3aには、例えば、図示しない吸引源に連通している。吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、保持面3aに伝達されることで、保持テーブル3は保持面3a上で板状ワークWを吸引保持することができる。板状ワークWは、例えば、外形が円形状の半導体ウエーハであり、図1に示す例においては、ワークの裏面Wbが上側を向いた状態で保持テーブル3の保持面3a上に吸引保持されている。図1において下側を向いた状態のワークWの表面Waには、例えば、多数のデバイスが形成されており図示しない保護テープが貼着されて保護されている。   The holding table 3 has, for example, a circular outer shape, and is provided with a holding surface 3a made of a porous member or the like for adsorbing the plate-shaped work W. The holding surface 3a communicates with a suction source (not shown), for example. The suction force generated by the suction of the suction source is transmitted to the holding surface 3a, so that the holding table 3 can hold the plate-shaped work W by suction on the holding surface 3a. The plate-shaped work W is, for example, a semiconductor wafer having a circular outer shape. In the example shown in FIG. 1, the work W is sucked and held on the holding surface 3a of the holding table 3 with the back surface Wb of the work facing upward. There is. On the front surface Wa of the work W facing downward in FIG. 1, for example, a large number of devices are formed, and a protective tape (not shown) is attached to protect the device.

搬送ユニット1の吸引保持手段2は、板状ワークWを吸引保持する吸引パッド20と、板状ワークWに接近および離間する方向(Z軸方向)に移動可能に吸引パッド20を支持するガイド軸21と、ガイド軸21が挿通される貫通孔230を有しガイド軸21を支持する支持プレート23とを備えている。吸引パッド20は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材からなり板状ワークWを吸着する吸着部200と、吸着部200を支持する枠体201とを備える。吸着部200には、連通路290の一端が連通しており、連通路290のもう一端は、真空発生装置及びコンプレッサー等からなる吸引源29に接続されている。そして、吸引源29が吸引を行うことで生み出された吸引力が、連通路290を介して吸着部200の露出面であり枠体201の下面と面一に形成されている保持面200aに伝達されることで、吸引パッド20は保持面200aで板状ワークWを吸引保持することができる。   The suction holding means 2 of the transport unit 1 includes a suction pad 20 that suction-holds the plate-shaped work W, and a guide shaft that supports the suction pad 20 so as to be movable in a direction toward and away from the plate-shaped work W (Z-axis direction). 21 and a support plate 23 having a through hole 230 through which the guide shaft 21 is inserted and supporting the guide shaft 21. The suction pad 20 has, for example, a circular outer shape, and includes a suction unit 200 that is made of a porous member and that suctions the plate-shaped work W, and a frame body 201 that supports the suction unit 200. One end of a communication passage 290 communicates with the adsorption unit 200, and the other end of the communication passage 290 is connected to a suction source 29 including a vacuum generator, a compressor, and the like. Then, the suction force generated by the suction of the suction source 29 is transmitted to the holding surface 200a, which is the exposed surface of the suction portion 200 and is flush with the lower surface of the frame body 201, through the communication passage 290. As a result, the suction pad 20 can suck and hold the plate-shaped work W on the holding surface 200a.

吸引パッド20は、図1、2に示すガイド軸21の下端210bに固定されており、ガイド軸21によって支持されている。例えば、ガイド軸21は、鉛直方向(Z軸方向)の軸方向を有する基軸部210と、基軸部210の上端210a側においてガイド軸21の径方向(基軸部210の軸方向と水平方向に直交する方向)外向きに延出される頭部211とを備えている。すなわち、ガイド軸21は、その縦断面が略T字状になる。   The suction pad 20 is fixed to the lower end 210b of the guide shaft 21 shown in FIGS. 1 and 2, and is supported by the guide shaft 21. For example, the guide shaft 21 includes a base shaft portion 210 having a vertical (Z-axis direction) axial direction, and a radial direction of the guide shaft 21 on the side of the upper end 210a of the base shaft portion 210 (which is orthogonal to the axial direction of the base shaft portion 210 in the horizontal direction). Direction) and a head portion 211 extending outward. That is, the guide shaft 21 has a substantially T-shaped vertical cross section.

図1に示す支持プレート23は、例えば、外形が円形の平板状に形成されており、その外周部には、厚み方向(Z軸方向)に貫通して形成されガイド軸21が挿通される貫通孔230が設けられている。貫通孔230は、例えば、支持プレート23の外周部に周方向に一定の間隔をおいて複数(例えば90度間隔で4箇所、図1においては、2箇所のみ図示)箇所形成されている。各ガイド軸21(本実施形態においては計4つ、図1においては、2つのみ図示)の基軸部210は、各貫通孔230にそれぞれ遊嵌しており、ガイド軸21は支持プレート23に対してZ軸方向に移動可能になっている。ガイド軸21の頭部211は、支持プレート23に形成された貫通孔230を貫通しないように、貫通孔230の直径よりも大径に形成されている。図1に示すように、ガイド軸21の基軸部210は、少なくとも支持プレート23の厚み以上の長さを有しており、吸引パッド20が板状ワークWに接触していない状態において、ガイド軸21が挿通された状態の支持プレート23の下面23bとガイド軸21の下端210bに固定された状態の吸引パッド20の上面201bとの間には、所定幅の隙間が形成される。   The support plate 23 shown in FIG. 1 is formed, for example, in the shape of a flat plate having a circular outer shape, and the outer periphery of the support plate 23 is formed so as to penetrate in the thickness direction (Z axis direction) and the guide shaft 21 is inserted therethrough. A hole 230 is provided. The through holes 230 are formed, for example, at a plurality of positions (for example, four positions at 90 ° intervals, only two positions are shown in FIG. 1) at regular intervals in the circumferential direction on the outer peripheral portion of the support plate 23. The base shaft portions 210 of the guide shafts 21 (a total of four in this embodiment, only two in FIG. 1) are loosely fitted in the respective through holes 230, and the guide shafts 21 are attached to the support plate 23. On the other hand, it is movable in the Z-axis direction. The head portion 211 of the guide shaft 21 is formed with a diameter larger than the diameter of the through hole 230 so as not to penetrate the through hole 230 formed in the support plate 23. As shown in FIG. 1, the base shaft portion 210 of the guide shaft 21 has a length at least equal to or larger than the thickness of the support plate 23, and the guide shaft 21 is in a state in which the suction pad 20 is not in contact with the plate-shaped work W. A gap of a predetermined width is formed between the lower surface 23b of the support plate 23 in which 21 is inserted and the upper surface 201b of the suction pad 20 fixed to the lower end 210b of the guide shaft 21.

吸引保持手段2は、ガイド軸21が吸引パッド20を支持した状態を維持し吸引パッド20を支持プレート23に近づける方向に付勢するバネ27を備えている。バネ27は、例えば自然長より伸びて戻ろうとするねじりコイルバネであり、頭部211の下面211bと支持プレート23との間に配設されており、吸引パッド20を支持プレート21に近づける方向に付勢している。例えば、図2に示すように、バネ27の内径はガイド軸21の基軸部210の外径よりも大きく、また、バネ27の外径はガイド軸21の頭部211の外径と略同一となっており、ガイド軸21の基軸部210がバネ27の中央の開口部分に挿通されることで、バネ27の上端が頭部211の下面211bに当接する状態になる。   The suction holding means 2 includes a spring 27 that maintains the state in which the guide shaft 21 supports the suction pad 20 and biases the suction pad 20 toward the support plate 23. The spring 27 is, for example, a torsion coil spring that extends from its natural length and tries to return, and is disposed between the lower surface 211 b of the head portion 211 and the support plate 23, and is attached in a direction in which the suction pad 20 approaches the support plate 21. I am energetic. For example, as shown in FIG. 2, the inner diameter of the spring 27 is larger than the outer diameter of the base shaft portion 210 of the guide shaft 21, and the outer diameter of the spring 27 is substantially the same as the outer diameter of the head portion 211 of the guide shaft 21. When the base shaft portion 210 of the guide shaft 21 is inserted into the central opening portion of the spring 27, the upper end of the spring 27 comes into contact with the lower surface 211b of the head 211.

図2に示すように、支持プレート23の外周部に形成された貫通孔230と同軸上に、バネ27をはめ込むことが可能な程度の孔径を有するバネ収容孔230aが形成されている。すなわち、バネ収容孔230aは、支持プレート23の厚み方向(Z軸方向)の中間部から支持プレート23の上面23aにかけて貫通孔230の外径が拡径されることで形成されている。バネ収容孔230aの支持プレート23の上面23aからの深さは、例えば、バネ27の自然長と略同一の深さである。図2に示すように、バネ収容孔230aにバネ27を没入させた後、支持プレート23の上方からガイド軸21をバネ27の中央の開口部分及び貫通孔230に挿通する。また、バネ27の下端側をバネ収容孔230aの環状の底面に、バネ27の上端側を頭部211の下面211bに適宜の接着剤等を用いてそれぞれ固定し、さらにガイド軸21の下端210bを吸引パッド20の上面201bに固定することで、図1に示すように、バネ27が、ガイド軸21の頭部211の下面211bと支持プレート23との間に、頭部211が支持プレート23とZ軸方向の離間する方向に移動すると拡張するように配設される。   As shown in FIG. 2, a spring accommodating hole 230a having a hole diameter such that the spring 27 can be fitted therein is formed coaxially with the through hole 230 formed in the outer peripheral portion of the support plate 23. That is, the spring accommodating hole 230a is formed by increasing the outer diameter of the through hole 230 from the middle portion of the support plate 23 in the thickness direction (Z-axis direction) to the upper surface 23a of the support plate 23. The depth of the spring accommodating hole 230a from the upper surface 23a of the support plate 23 is, for example, substantially the same as the natural length of the spring 27. As shown in FIG. 2, after the spring 27 is immersed in the spring accommodating hole 230 a, the guide shaft 21 is inserted from above the support plate 23 into the central opening portion of the spring 27 and the through hole 230. Further, the lower end side of the spring 27 is fixed to the annular bottom surface of the spring accommodating hole 230a, and the upper end side of the spring 27 is fixed to the lower surface 211b of the head portion 211 using an appropriate adhesive or the like, and the lower end 210b of the guide shaft 21 is fixed. 1 is fixed to the upper surface 201b of the suction pad 20, the spring 27 causes the head 211 to move between the lower surface 211b of the head 211 of the guide shaft 21 and the support plate 23, as shown in FIG. Is arranged so as to expand when moved in a direction away from the Z axis direction.

バネ27の配設態様は上記の態様に限定されるものではなく、例えば、バネ27を図3(A)、(B)に示すように、ガイド軸21の頭部211の下面211bと支持プレート23との間に配設するものとしてもよい。すなわち、図3(A)に示すように、バネ27の中央の開口部分と支持プレート23の貫通孔230とが重なるようにして、バネ27を支持プレート23の上面23a上に適宜の接着剤等で固定し、支持プレート23の上方からガイド軸21をバネ27の中央の開口部分及び貫通孔230に挿通する。そして、バネ27の上端側を頭部211の下面211bに適宜の接着剤等を用いて固定し、さらにガイド軸21の下端210bを吸引パッド20の上面201bに固定することで、図3(B)に示すように、バネ27が支持プレート23の内部に没入されていない状態で配設された状態になる。   The arrangement mode of the spring 27 is not limited to the above-described mode. For example, as shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B), the spring 27 is provided with the lower surface 211 b of the head 211 of the guide shaft 21 and the support plate. It may be disposed between the first and second terminals. That is, as shown in FIG. 3A, the spring 27 is placed on the upper surface 23 a of the support plate 23 with an appropriate adhesive or the like so that the central opening portion of the spring 27 and the through hole 230 of the support plate 23 overlap each other. Then, the guide shaft 21 is inserted into the central opening portion of the spring 27 and the through hole 230 from above the support plate 23. Then, the upper end side of the spring 27 is fixed to the lower surface 211b of the head portion 211 by using an appropriate adhesive or the like, and the lower end 210b of the guide shaft 21 is fixed to the upper surface 201b of the suction pad 20, so that as shown in FIG. ), The spring 27 is arranged in a state where it is not immersed in the support plate 23.

図1に示すように、例えば、支持プレート23の上面23aの中央領域には、連結部材250が固定されており、支持プレート23は、連結部材250を介して吸引保持手段2が備えるアーム部25の一端の下面側に固定されている。移動手段4はアーム部25に接続されており、アーム部25を水平面上において平行移動可能又は旋回移動可能にしかつZ軸方向に上下動可能にしている。移動手段4は、例えば、アーム部25を空気圧によりZ軸方向に上下動させるエアシリンダや、モータによりボールネジを回動させることでアーム部25を平行移動させるボールネジ機構等から構成されている。   As shown in FIG. 1, for example, a connecting member 250 is fixed to a central region of the upper surface 23 a of the supporting plate 23, and the supporting plate 23 has an arm portion 25 provided in the suction holding means 2 via the connecting member 250. Is fixed to the lower surface side at one end. The moving means 4 is connected to the arm portion 25, which enables the arm portion 25 to move in parallel on the horizontal plane or to turn, and to move up and down in the Z-axis direction. The moving means 4 is composed of, for example, an air cylinder for vertically moving the arm portion 25 in the Z-axis direction by air pressure, a ball screw mechanism for moving the arm portion 25 in parallel by rotating a ball screw by a motor, and the like.

以下に、図1、図4〜5を用いて、搬送ユニット1により保持テーブル3から板状ワークWを搬出する場合の、搬送ユニット1の動作について説明する。図1に示すように、板状ワークWは、裏面Wbが上側を向いた状態で保持テーブル3の保持面3a上に吸引保持されている。まず、移動手段4により、吸引保持手段2が吸引パッド20の中心が板状ワークWの中心と略合致するように水平面上を移動し、吸引パッド20が板状ワークWの上方に位置付けられる。さらに、図4に示すように、アーム部25が−Z方向へと降下し、吸引パッド20の保持面200aと板状ワークWの裏面Wbとが接触する。   The operation of the transport unit 1 when the transport unit 1 carries out the plate-shaped work W from the holding table 3 will be described below with reference to FIGS. 1 and 4 to 5. As shown in FIG. 1, the plate-shaped work W is suction-held on the holding surface 3a of the holding table 3 with the back surface Wb facing upward. First, the moving means 4 moves the suction holding means 2 on the horizontal plane so that the center of the suction pad 20 substantially coincides with the center of the plate-like work W, and the suction pad 20 is positioned above the plate-like work W. Further, as shown in FIG. 4, the arm portion 25 descends in the −Z direction, and the holding surface 200a of the suction pad 20 and the back surface Wb of the plate-shaped work W come into contact with each other.

吸引パッド20の保持面200aと板状ワークWの裏面Wbとが接触すると、板状ワークWは吸引パッド20から−Z方向に押圧される。同時に、支持プレート23に遊嵌しているガイド軸21が、板状ワークWから吸引パッド20を介して作用する+Z方向の垂直抗力により、+Z方向に移動する。したがって、吸引パッド20を支持するガイド軸21の頭部211の下面211bが、支持プレート23の上面23aから離間する+Z方向に移動する。ガイド軸21の+Z方向への移動に伴って、自然長であるバネ27の上端側がガイド軸21の頭部211により引っ張られバネ27が+Z方向に拡張されることで、バネ27には、バネ27を自然長に戻す弾性エネルギーが蓄積される。   When the holding surface 200a of the suction pad 20 and the back surface Wb of the plate-shaped work W come into contact with each other, the plate-shaped work W is pressed by the suction pad 20 in the −Z direction. At the same time, the guide shaft 21 loosely fitted to the support plate 23 moves in the + Z direction by the + Z-direction vertical reaction force acting from the plate-shaped work W via the suction pad 20. Therefore, the lower surface 211b of the head 211 of the guide shaft 21 that supports the suction pad 20 moves in the + Z direction away from the upper surface 23a of the support plate 23. With the movement of the guide shaft 21 in the + Z direction, the upper end side of the spring 27 having a natural length is pulled by the head portion 211 of the guide shaft 21 and the spring 27 is expanded in the + Z direction. The elastic energy that returns 27 to its natural length is accumulated.

上記のようなバネ27の挙動により、吸引パッド20が板状ワークWを保持するときに、バネ27によって吸引パッド20が板状ワークWを押圧する力を弱めつつ、吸引パッド20により板状ワークWを確実に保持することができる。すなわち、吸引パッド20の中心が板状ワークWの中心と略合致した状態で吸引保持を行うためには、板状ワークWが水平方向へ移動し位置ずれが生じることを防止しつつ、板状ワークWに吸引パッド20を接触させる必要がある。したがって、吸引パッド20の保持面200aと板状ワークWの裏面Wbとの間に所定の大きさの摩擦力を発生させる必要がある。摩擦力は、吸引パッド20の保持面200aを板状ワークWの裏面Wbに強い力で押し付ければ押し付けるほど大きくなるが、板状ワークWの破損が発生する可能性も高くなる。ここで、本発明に係る搬送ユニット1においては、バネ27により、吸引パッド20から板状ワークWにバランスよく押圧する力がかかるようにし、吸引パッド20の保持面200aと板状ワークWの裏面Wbとの間に板状ワークWの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させつつも、板状ワークWの破損が発生する程の押圧力は吸引パッド20から板状ワークWにかからないようにすることが可能となる。すなわち、板状ワークWに対して吸引パッド20から過度に加わった押圧力を、バネ27を拡張させることで相殺して弱め、吸引パッド20から板状ワークWに適度な押圧力がかかるようにすることができる。なお、例えば、バネ27を吸引保持手段2に備えていない場合においては、吸引パッド20の保持面200aと板状ワークWの裏面Wbとの間に板状ワークWの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させることができる程度の押圧力を生み出すことができないため、板状ワークWが水平方向へ移動し位置ずれが生じやすくなる。   Due to the behavior of the spring 27 as described above, when the suction pad 20 holds the plate-like work W, the force of the spring 27 pressing the plate-like work W by the spring 27 is weakened while the suction pad 20 causes the plate-like work W to move. W can be reliably held. That is, in order to perform suction holding in a state where the center of the suction pad 20 is substantially aligned with the center of the plate-shaped work W, the plate-shaped work W is prevented from moving in the horizontal direction and the position is displaced, and It is necessary to bring the suction pad 20 into contact with the work W. Therefore, it is necessary to generate a frictional force of a predetermined magnitude between the holding surface 200a of the suction pad 20 and the back surface Wb of the plate-shaped work W. The frictional force increases as the holding surface 200a of the suction pad 20 is strongly pressed against the back surface Wb of the plate-shaped work W, but the plate-shaped work W is more likely to be damaged. Here, in the transport unit 1 according to the present invention, the spring 27 applies a force to the plate-like work W from the suction pad 20 in a well-balanced manner, and the holding surface 200a of the suction pad 20 and the back surface of the plate-like work W are applied. While generating a frictional force between Wb and the plate-like work W to prevent displacement of the plate-like work W, a pressing force enough to cause damage to the plate-like work W is not applied from the suction pad 20 to the plate-like work W. It becomes possible to That is, the pressing force excessively applied to the plate-shaped work W from the suction pad 20 is offset and weakened by expanding the spring 27, so that an appropriate pressing force is applied from the suction pad 20 to the plate-shaped work W. can do. Note that, for example, when the suction holding means 2 is not provided with the spring 27, the positional displacement of the plate work W is simply prevented between the holding surface 200a of the suction pad 20 and the back surface Wb of the plate work W. Since it is not possible to generate a pressing force to the extent that a frictional force can be generated, the plate-like work W moves in the horizontal direction, and a positional deviation easily occurs.

吸引パッド20が板状ワークWに接触した後、吸引源29が吸引することで生み出された吸引力が保持面200aへと伝達されることで、吸引パッド20が板状ワークWを吸引保持する。同時に、保持テーブル3による板状ワークWの吸引保持を解除する。さらに、図5に示すように、アーム部25が+Z方向へと上昇することで、搬送ユニット1によって、板状ワークWが保持テーブル3から搬出される。板状ワークWが保持テーブル3の保持面3aから離れると、バネ27に蓄えられていた弾性エネルギーにより拡張されていたバネ27が自然長に戻り、これに伴って板状ワークWに接触した状態で吸引保持する吸引パッド20が支持プレート23に近付くように+Z方向に移動する。   After the suction pad 20 contacts the plate-shaped work W, the suction force generated by the suction source 29 is transmitted to the holding surface 200a, so that the suction pad 20 sucks and holds the plate-shaped work W. .. At the same time, the suction holding of the plate-shaped work W by the holding table 3 is released. Further, as shown in FIG. 5, the plate-shaped work W is unloaded from the holding table 3 by the transport unit 1 by the arm portion 25 rising in the + Z direction. When the plate-shaped work W separates from the holding surface 3a of the holding table 3, the spring 27 expanded by the elastic energy stored in the spring 27 returns to its natural length, and accordingly, the plate-shaped work W comes into contact with the plate-shaped work W. The suction pad 20 that holds by suction moves in the + Z direction so as to approach the support plate 23.

(実施形態2)
図6に示す本発明に係る搬送ユニット1Aは、図1に示す搬送ユニットの吸引保持手段2の構成の一部である吸引パッド20を、図6に示すベルヌーイタイプの吸引パッド26に変更した吸引保持手段2Aを備える装置である。吸引保持手段2の吸引パッド20と吸引保持手段2Aの吸引パッド26との構成の違い以外については、搬送ユニット1と搬送ユニット1Aとは同様に構成されている。
(Embodiment 2)
In the transport unit 1A according to the present invention shown in FIG. 6, the suction pad 20 which is a part of the configuration of the suction holding means 2 of the transport unit shown in FIG. 1 is changed to a Bernoulli type suction pad 26 shown in FIG. This is a device including a holding means 2A. The transport unit 1 and the transport unit 1A have the same configuration except that the suction pad 20 of the suction holding unit 2 and the suction pad 26 of the suction holding unit 2A are different in configuration.

吸引パッド26は、ガイド軸21の下端210bに固定されており、ガイド軸21によって支持されている。吸引パッド26は、例えば、エア噴出口260cからエアを噴出することで負圧を生成し非接触で板状ワークWを吸引する吸引生成部260と、吸引生成部260により吸引される板状ワークWの外周領域に接触して板状ワークWが水平方向に移動することを制限する接触部261と、吸引生成部260と接触部261とが配設される基板部264とを備えている。   The suction pad 26 is fixed to the lower end 210b of the guide shaft 21 and is supported by the guide shaft 21. The suction pad 26 includes, for example, a suction generation unit 260 that generates a negative pressure by ejecting air from the air ejection port 260c and sucks the plate-shaped work W in a non-contact manner, and a plate-shaped work that is suctioned by the suction generation unit 260. It is provided with a contact portion 261 that restricts the movement of the plate-like workpiece W in the horizontal direction by coming into contact with the outer peripheral region of W, and a substrate portion 264 on which the suction generation portion 260 and the contact portion 261 are arranged.

外形が円形の板状の基板部264は、その中心から外周部に向かって徐々に+Z方向に反っていくことで、僅かに碗状に湾曲している。すなわち、板状ワークWの吸引保持を行う際に、板状ワークWに非接触で相対する基板部264の吸引面264aは中凹に湾曲している。なお、基板部264の形状及び構成は、本実施形態における形状に限定されるものではない。例えば、基板部264は、その外形が円形平板状や円環状に形成されていてもよく、また、円環状部材や直線部材等の複数の部材から構成されていてもよい。   The plate-shaped base plate portion 264 having a circular outer shape is curved in a slightly bowl-like shape by gradually curving from the center toward the outer peripheral portion in the + Z direction. That is, when the plate-shaped work W is suction-held, the suction surface 264a of the substrate portion 264 that faces the plate-shaped work W in a non-contact manner is curved inward. The shape and configuration of the substrate portion 264 are not limited to the shape in this embodiment. For example, the substrate portion 264 may have an outer shape formed in a circular flat plate shape or an annular shape, or may be configured by a plurality of members such as an annular member and a linear member.

非接触で板状ワークWを吸引する吸引生成部260は、例えば、基板部264の吸引面264aの中央領域に1つ配設されている。例えば、外形が円盤状の吸引生成部260の内部には、エア供給路260bが形成されており、エア供給路260bは、吸引生成部260の底面に形成された円環形のエア噴出口260cに連通している。また、エア供給路260bには、コンプレッサー等からなるエア供給源28に連通する連通路280の一端が接続されている。なお、例えば、エア供給路260bには、エア供給源28から吸引生成部260に供給されたエアを加速させる環状オリフィス等が形成されていてもよい。   For example, one suction generation unit 260 that sucks the plate-shaped workpiece W in a non-contact manner is arranged in the central region of the suction surface 264a of the substrate unit 264. For example, an air supply path 260b is formed inside the suction generation section 260 having a disk-shaped outer shape, and the air supply path 260b is connected to a ring-shaped air ejection port 260c formed on the bottom surface of the suction generation section 260. It is in communication. Further, one end of a communication passage 280, which communicates with the air supply source 28 such as a compressor, is connected to the air supply passage 260b. Note that, for example, the air supply passage 260b may be formed with an annular orifice or the like that accelerates the air supplied from the air supply source 28 to the suction generation unit 260.

板状ワークWが水平方向に移動することを制限する接触部261は、例えば、ゴム又はスポンジ等を柱状に形成したものであり、基板部264の吸引面264aの外周部に、周方向に一定の間隔をおいて複数(例えば90度間隔で4つ、図6においては、2つのみ図示)固定されている。各接触部261の下端面は、吸引生成部260よりも下方の高さ位置に位置している。   The contact portion 261 that restricts the horizontal movement of the plate-shaped workpiece W is, for example, a columnar member made of rubber or sponge, and is fixed in the circumferential direction on the outer peripheral portion of the suction surface 264a of the substrate portion 264. A plurality of them (for example, four at 90-degree intervals, only two in FIG. 6) are fixed at intervals. The lower end surface of each contact portion 261 is located at a height position below the suction generation portion 260.

以下に、図6〜8を用いて、搬送ユニット1Aにより保持テーブル3から板状ワークWを搬出する場合の、搬送ユニット1Aの動作について説明する。   The operation of the transport unit 1A when the transport unit 1A carries out the plate-shaped work W from the holding table 3 will be described below with reference to FIGS.

図6に示すように、板状ワークWは、裏面Wbが上側を向いた状態で保持テーブル3の保持面3a上に吸引保持されている。まず、移動手段4により、吸引保持手段2Aが、吸引パッド26の中心が板状ワークWの中心と略合致するように水平面上を移動し、吸引パッド26が板状ワークWの上方に位置付けられる。さらに、図7に示すように、アーム部25が−Z方向へと降下し、接触部261が板状ワークWの外周領域に接触しかつ吸引生成部260と板状ワークWの裏面Wbとが接触しない程度の位置まで吸引パッド26が−Z方向へ降下する。   As shown in FIG. 6, the plate-shaped work W is suction-held on the holding surface 3a of the holding table 3 with the back surface Wb facing upward. First, the moving means 4 moves the suction holding means 2A on the horizontal plane so that the center of the suction pad 26 substantially coincides with the center of the plate-like work W, and the suction pad 26 is positioned above the plate-like work W. .. Further, as shown in FIG. 7, the arm portion 25 descends in the −Z direction, the contact portion 261 comes into contact with the outer peripheral region of the plate-shaped workpiece W, and the suction generation unit 260 and the back surface Wb of the plate-shaped workpiece W are separated. The suction pad 26 descends in the -Z direction to a position where it does not contact.

吸引パッド26の接触部261と板状ワークWの裏面Wbとが接触すると、板状ワークWは吸引パッド26から−Z方向に押圧される。同時に、支持プレート23に遊嵌しているガイド軸21が、板状ワークWから吸引パッド26を介して作用する垂直抗力により、+Z方向に移動する。したがって、吸引パッド26を支持するガイド軸21の頭部211の下面211bが支持プレート23の上面23aとの間が離間する+Z方向に移動する。ガイド軸21の+Z方向への移動に伴って、自然長であるバネ27の上端側がガイド軸21の頭部211により引っ張られ+Z方向に拡張されることで、バネ27には、バネ27を自然長に戻す弾性エネルギーが蓄積される。   When the contact portion 261 of the suction pad 26 and the back surface Wb of the plate-shaped work W come into contact with each other, the plate-shaped work W is pressed by the suction pad 26 in the −Z direction. At the same time, the guide shaft 21 loosely fitted to the support plate 23 moves in the + Z direction by the vertical reaction force acting from the plate-shaped work W via the suction pad 26. Therefore, the lower surface 211b of the head portion 211 of the guide shaft 21 that supports the suction pad 26 moves in the + Z direction in which it is separated from the upper surface 23a of the support plate 23. With the movement of the guide shaft 21 in the + Z direction, the upper end side of the spring 27 having a natural length is pulled by the head portion 211 of the guide shaft 21 and expanded in the + Z direction, so that the spring 27 naturally moves. The elastic energy that returns to the length is accumulated.

上記のようなバネ27の挙動により、吸引パッド26が板状ワークWを保持するときに、バネ27によって吸引パッド26の接触部261が板状ワークWを押圧する力を弱めつつ、吸引パッド26により板状ワークWを確実に保持することができる。すなわち、吸引パッド26の中心が板状ワークWの中心と略合致した状態で吸引保持を行うためには、板状ワークWが水平方向への移動し位置ずれが生じることを防止しつつ吸引パッド26の接触部261を板状ワークWの裏面Wbに接触させる必要がある。したがって、吸引パッド26の接触部261と板状ワークWの裏面Wbとの間に所定の大きさの摩擦力を発生させる必要がある。摩擦力は、吸引パッド26の接触部261を板状ワークWの裏面Wbに強い力で押し付ければ押し付けるほど大きくなるが、板状ワークWの破損が発生する可能性も高くなる。ここで、本発明に係る搬送ユニット1Aにおいては、バネ27により、吸引パッド26の接触部261から板状ワークWにバランスよく押圧する力がかかるようにし、吸引パッド26の接触部261と板状ワークWの裏面Wbとの間に板状ワークWの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させつつも、板状ワークWの破損が発生する程の押圧力は吸引パッド26から板状ワークWにかからないようにすることが可能となる。すなわち、板状ワークWに対して吸引パッド26から過度に加わった押圧力を、バネ27を拡張させることで相殺して弱め、吸引パッド26から板状ワークWに適度な押圧力がかかるようにすることができる。なお、例えば、バネ27を吸引保持手段2Aに備えていない場合においては、吸引パッド26の接触部261と板状ワークWの裏面Wbとの間に板状ワークWの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させることができる程度の押圧力を生み出すことができないため、板状ワークWが水平方向への移動し位置ずれが生じやすくなる。   Due to the behavior of the spring 27 as described above, when the suction pad 26 holds the plate-like work W, the force of the contact portion 261 of the suction pad 26 pressing the plate-like work W by the spring 27 is weakened, and the suction pad 26 is reduced. Thereby, the plate-shaped work W can be reliably held. That is, in order to perform suction holding in a state where the center of the suction pad 26 is substantially aligned with the center of the plate-shaped work W, the suction pad is prevented while preventing the plate-shaped work W from moving in the horizontal direction and being displaced. It is necessary to contact the contact portion 261 of 26 with the back surface Wb of the plate-shaped work W. Therefore, it is necessary to generate a predetermined amount of frictional force between the contact portion 261 of the suction pad 26 and the back surface Wb of the plate-shaped work W. The frictional force increases as the contact portion 261 of the suction pad 26 is pressed against the back surface Wb of the plate-like work W with a stronger force, but the plate-like work W is more likely to be damaged. Here, in the transport unit 1A according to the present invention, the spring 27 applies a well-balanced force to the plate-shaped workpiece W from the contact part 261 of the suction pad 26, and the contact part 261 of the suction pad 26 and the plate-shaped work W While generating a frictional force between the back surface Wb of the work W and the back surface Wb of the work W, a pressing force enough to damage the work W is applied from the suction pad 26 to the work W. It becomes possible not to hit W. That is, the pressing force excessively applied to the plate-like work W from the suction pad 26 is offset and weakened by expanding the spring 27, so that the pressing force is appropriately applied to the plate-like work W from the suction pad 26. can do. Note that, for example, when the suction holding means 2A is not provided with the spring 27, the positional displacement of the plate-shaped work W is simply prevented between the contact portion 261 of the suction pad 26 and the back surface Wb of the plate-shaped work W. Since it is not possible to generate a pressing force to the extent that a frictional force can be generated, the plate-shaped work W moves in the horizontal direction and a positional deviation easily occurs.

吸引パッド26がZ軸方向の所定の位置まで降下した後、エア供給源28が、高圧エアを連通路280を介して吸引パッド26内部のエア供給路260bに供給する。吸引パッド26に供給されたエアは、エア供給路260b内で例えば図示しない環状オリフィスを通って加速され、エア噴出口260cから板状ワークWの裏面Wb上に噴出する。エア噴出口260cから噴出した高圧エアは、吸引パッド26と板状ワークWとの間を板状ワークWの中心から放射方向に流れて行き大気へ放出される。そのため、吸引パッド26の吸引面264aと板状ワークWの裏面Wbとの間の隙間を高圧エアが高速で放射方向に向かって流動することで、吸引生成部260を中心としてベルヌーイ効果による負圧が生成され、吸引パッド26が非接触状態で板状ワークWを吸引保持する。なお、本実施形態2においては、吸引生成部260は、例えば、基板部264の吸引面264aの中央領域に1つ配設されているが、基板部264の吸引面264aの外周部に周方向に一定の間隔をおいて複数配設するものとしてもよい。この場合においては、各接触部261と吸引生成部260とは、吸引面264aの外周部に周方向に交互に配設されることになる。また、吸引生成部260は、板状ワークWとの間にエア供給源28から供給された高圧エアによる旋回流を形成することで板状ワークWを吸引する負圧を生成できるように構成されていてもよい。   After the suction pad 26 descends to a predetermined position in the Z-axis direction, the air supply source 28 supplies high-pressure air to the air supply passage 260b inside the suction pad 26 via the communication passage 280. The air supplied to the suction pad 26 is accelerated in the air supply path 260b through, for example, an annular orifice (not shown), and is ejected from the air ejection port 260c onto the back surface Wb of the plate-shaped work W. The high-pressure air ejected from the air ejection port 260c flows between the suction pad 26 and the plate-like work W in the radial direction from the center of the plate-like work W and is discharged to the atmosphere. Therefore, the high-pressure air flows in the gap between the suction surface 264a of the suction pad 26 and the back surface Wb of the plate-like work W at a high speed in the radial direction, so that the negative pressure due to the Bernoulli effect is centered around the suction generation unit 260. Is generated, and the plate-like work W is held by suction with the suction pad 26 in a non-contact state. In the second embodiment, for example, one suction generation unit 260 is arranged in the central region of the suction surface 264a of the substrate unit 264, but the suction generation unit 260 is arranged at the outer peripheral portion of the suction surface 264a of the substrate unit 264 in the circumferential direction. It is also possible to dispose a plurality of them at regular intervals. In this case, the contact portions 261 and the suction generation portion 260 are alternately arranged in the circumferential direction on the outer peripheral portion of the suction surface 264a. The suction generator 260 is configured to generate a negative flow for sucking the plate-like work W by forming a swirl flow with the plate-like work W by the high-pressure air supplied from the air supply source 28. May be.

吸引パッド26が板状ワークWを非接触で吸引保持した後、保持テーブル3による板状ワークWの吸引保持を解除する。さらに、図8に示すように、アーム部25が+Z方向へと上昇することで、搬送ユニット1Aによって、板状ワークWが保持テーブル3から搬出される。板状ワークWが保持テーブル3の保持面3aから離れると、バネ27に蓄えられていた弾性エネルギーにより拡張されていたバネ27が自然長に戻り、これに伴って、板状ワークWを非接触で吸引保持する吸引パッド26が、支持プレート23に近付くように+Z方向に移動する。   After the suction pad 26 suction-holds the plate-shaped work W in a non-contact manner, the suction-holding of the plate-shaped work W by the holding table 3 is released. Further, as shown in FIG. 8, the plate-shaped workpiece W is unloaded from the holding table 3 by the transport unit 1A by moving the arm portion 25 upward in the + Z direction. When the plate-shaped work W separates from the holding surface 3a of the holding table 3, the spring 27 expanded by the elastic energy stored in the spring 27 returns to the natural length, and accordingly, the plate-shaped work W does not contact. The suction pad 26, which is suction-held by, moves in the + Z direction so as to approach the support plate 23.

なお、本発明に係る搬送ユニットは上記実施形態1及び実施形態2に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている各実施形態の搬送ユニットの各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。   The transport unit according to the present invention is not limited to the above-described first and second embodiments, and the size and shape of each configuration of the transport unit according to each embodiment illustrated in the accompanying drawings are also included. However, the present invention is not limited to this, and can be appropriately changed within the range in which the effects of the present invention can be exhibited.

例えば、図9に示す本発明に係る搬送ユニット1Bは、図6に示す搬送ユニット1Aの吸引保持手段2Aの構成の一部であるバネ27をバネ24に変更しかつバネの配設箇所を変更した吸引保持手段2Bを備える装置である。バネ27をバネ24に変更した点及びバネの配設箇所の違い以外の構成については、搬送ユニット1Aと搬送ユニット1Bとは同様に構成されている。バネ24は、例えば、自然長より収縮して戻ろうとする方向、すなわち、吸引パッド26を支持プレート21に近づける方向に付勢されたバネであって、バネ24の上端側を支持プレート23の下面23bに接着して固定し、さらにバネ24の下端側を基板部264の上面264bに接着して固定することで、支持プレート23と吸引パッド26との間に、頭部21が支持プレート23と離間する方向に移動すると収縮するように配設される。   For example, in the transport unit 1B according to the present invention shown in FIG. 9, the spring 27, which is a part of the structure of the suction holding means 2A of the transport unit 1A shown in FIG. 6, is replaced with the spring 24 and the location of the spring is changed. The device is provided with the suction holding means 2B. The transport unit 1A and the transport unit 1B are configured in the same manner except that the spring 27 is changed to the spring 24 and the configuration of the spring is different. The spring 24 is, for example, a spring biased in a direction in which it contracts from its natural length and tries to return, that is, a direction in which the suction pad 26 approaches the support plate 21, and the upper end side of the spring 24 is the lower surface of the support plate 23. 23 b by adhering and fixing the lower end side of the spring 24 to the upper surface 264 b of the base plate portion 264 by adhering and fixing the lower end side of the spring 24 between the supporting plate 23 and the suction pad 26. It is arranged so that it contracts when it moves in the separating direction.

図9に示す吸引パッド26の接触部261と板状ワークWの裏面Wbとが接触すると、板状ワークWは吸引パッド26から−Z方向に押圧される。同時に、支持プレート23に遊嵌しているガイド軸21が、板状ワークWから吸引パッド26を介して作用する垂直抗力により、+Z方向に移動する。したがって、吸引パッド26を支持するガイド軸21の頭部211が支持プレート23の上面23aから離間する+Z方向に移動する。ガイド軸21の+Z方向への移動に伴って、自然長であるバネ24は収縮する。本発明に係る搬送ユニット1Bにおいては、上記のように挙動するバネ24により、吸引パッド26の接触部261から板状ワークWにバランスよく押圧する力がかかるようにし、吸引パッド26の接触部261と板状ワークWの裏面Wbとの間に板状ワークWの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させつつも、板状ワークWの破損が発生する程の押圧力は吸引パッド26から板状ワークWにかからないようにすることが可能となる。   When the contact portion 261 of the suction pad 26 shown in FIG. 9 and the back surface Wb of the plate-shaped work W come into contact with each other, the plate-shaped work W is pressed from the suction pad 26 in the −Z direction. At the same time, the guide shaft 21 loosely fitted to the support plate 23 moves in the + Z direction by the vertical reaction force acting from the plate-shaped work W via the suction pad 26. Therefore, the head portion 211 of the guide shaft 21 that supports the suction pad 26 moves in the + Z direction, which is separated from the upper surface 23 a of the support plate 23. As the guide shaft 21 moves in the + Z direction, the spring 24 having a natural length contracts. In the transport unit 1B according to the present invention, the spring 24 that behaves as described above exerts a force that presses the plate-shaped workpiece W in a well-balanced manner from the contact portion 261 of the suction pad 26, and the contact portion 261 of the suction pad 26. While generating a frictional force between the plate-like work W and the back surface Wb of the plate-like work W to prevent displacement of the plate-like work W, the pressing force enough to cause damage to the plate-like work W is applied from the suction pad 26. It is possible to prevent the work W from being applied.

1:搬送ユニット
2:吸引保持手段
20:吸引パッド 200:吸着部 200a:保持面 201:枠体
21:ガイド軸 210:基軸部 211:頭部 211b:頭部の下面
23:支持プレート 230:貫通孔 230a:バネ収容孔
25:アーム部 250:連結部材
27:バネ
29:吸引源 290:連通路
4:移動手段
3:保持テーブル 3a:保持テーブルの保持面
W:板状ワーク
1A:搬送ユニット 2A:吸引保持手段
26:ベルヌーイタイプの吸引パッド 260:吸引生成部 260b:エア供給路 260c:エア噴出口261:接触部 264:基板部 28:エア供給源 280:エア供給路
1B:搬送ユニット 2B:吸引保持手段 24:バネ
1: Transport unit 2: Suction holding means 20: Suction pad 200: Suction part 200a: Holding surface 201: Frame 21: Guide shaft 210: Base shaft part 211: Head part 211b: Lower surface 23 of head part: Support plate 230: Penetration Hole 230a: Spring accommodation hole 25: Arm part 250: Connection member 27: Spring 29: Suction source 290: Communication path 4: Moving means 3: Holding table 3a: Holding surface of holding table W: Plate-shaped work
1A: Transport unit 2A: Suction holding means
26: Bernoulli-type suction pad 260: suction generation section 260b: air supply path 260c: air ejection port 261: contact section 264: substrate section 28: air supply source 280: air supply path 1B: transport unit 2B: suction holding means 24 :Spring

Claims (4)

板状ワークを搬送する搬送ユニットであって、
板状ワークを吸引保持する吸引保持手段と、該吸引保持手段を移動させる移動手段とを備え、
該吸引保持手段は、板状ワークを吸引保持する吸引パッドと、該板状ワークに接近および離間する方向に移動可能に該吸引パッドを支持するガイド軸と、該ガイド軸が挿通される貫通孔を有し該ガイド軸を支持する支持プレートと、該ガイド軸が該吸引パッドを支持した状態を維持し該吸引パッドを該支持プレートに近づける方向に付勢するバネと、を備え、
該吸引パッドが板状ワークを保持するときに、該バネによって該吸引パッドが板状ワークを押圧する力を弱めることを特徴とする搬送ユニット。
A transport unit for transporting a plate-shaped work,
A suction holding means for sucking and holding the plate-like work, and a moving means for moving the suction holding means,
The suction holding means includes a suction pad for sucking and holding a plate-like work, a guide shaft movably supporting the suction pad in a direction approaching and separating from the plate-like work, and a through hole through which the guide shaft is inserted. A support plate for supporting the guide shaft, and a spring for maintaining the state in which the guide shaft supports the suction pad and urging the suction pad in a direction to approach the suction plate.
A transport unit, wherein when the suction pad holds a plate-like work, the force of the suction pad pressing the plate-like work is weakened by the spring.
前記ガイド軸は上端側に径方向外向きに延出される頭部を備え、
前記バネは、該頭部の下面と前記支持プレートとの間に該頭部が該支持プレートと離間する方向に移動すると拡張するように配設される請求項1記載の搬送ユニット。
The guide shaft has a head portion that extends outward in the radial direction on the upper end side,
The transport unit according to claim 1, wherein the spring is arranged between the lower surface of the head and the support plate so as to expand when the head moves in a direction in which the head is separated from the support plate.
前記バネは、前記支持プレートと前記吸引パッドとの間に、該吸引パッドが該支持プレートから離間する方向に移動すると収縮するように配設される請求項1記載の搬送ユニット。   The transport unit according to claim 1, wherein the spring is arranged between the support plate and the suction pad so as to contract when the suction pad moves in a direction away from the support plate. 前記吸引パッドは、エア噴出口からエアを噴出することで負圧を生成し非接触で板状ワークを吸引する吸引生成部と、該吸引生成部により吸引される板状ワークの外周領域に接触して板状ワークが水平方向に移動することを制限する接触部と、を備え、
該吸引パッドで板状ワークを保持するときに、前記バネによって該吸引パッドの該接触部が板状ワークを押圧する力を弱めることを特徴とする請求項1から3に記載の搬送ユニット。
The suction pad is in contact with a suction generation unit that generates a negative pressure by ejecting air from an air ejection port and sucks a plate-like work in a non-contact manner, and an outer peripheral region of the plate-like work sucked by the suction generation unit. And a contact portion for restricting the horizontal movement of the plate-like work,
4. The transport unit according to claim 1, wherein when the suction pad holds the plate-shaped work, the force of the contact portion of the suction pad to press the plate-shaped work is weakened by the spring.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI656108B (en) * 2018-03-29 2019-04-11 中國砂輪企業股份有限公司 Porous ceramic plate, preparation method thereof and application thereof
JP7339860B2 (en) * 2019-11-15 2023-09-06 株式会社ディスコ processing equipment

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004235622A (en) * 2003-01-09 2004-08-19 Disco Abrasive Syst Ltd Transport apparatus for plate-like object
JP4075002B2 (en) * 2004-06-28 2008-04-16 村田機械株式会社 Overhead traveling car
JP4745945B2 (en) * 2006-12-04 2011-08-10 リンテック株式会社 Conveying device, sheet sticking device using the same, and sheet peeling device
JP4777317B2 (en) * 2007-08-30 2011-09-21 株式会社ディスコ Wafer transfer method
JP5001133B2 (en) * 2007-12-26 2012-08-15 株式会社ディスコ Wafer transfer device
JP5254832B2 (en) * 2009-02-04 2013-08-07 株式会社ディスコ Wafer holding mechanism
JP5705052B2 (en) * 2011-07-26 2015-04-22 株式会社新川 Die bonding equipment
US9190307B2 (en) * 2012-02-16 2015-11-17 Asm Technology Singapore Pte Ltd Apparatus for transferring a solar wafer or solar cell during its fabrication
JP6162568B2 (en) * 2013-10-17 2017-07-12 株式会社ディスコ Grinding apparatus and wafer unloading method
JP6254432B2 (en) * 2013-12-10 2017-12-27 株式会社東京精密 Prober system

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