JP6691993B2 - 基板搬送用移載機及び基板移載方法 - Google Patents
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Description
前記一対のハンドを開閉方向に互いに対称に接近又は離間するように移動させる開閉機構と、
前記開閉機構に動力を伝える駆動部と、
前記駆動部の動作を制御する制御部と、を備え、
前記開閉機構は、
前記一対のハンドの開閉方向の移動量に応じて回転する回転体と、
前記回転体の回転量を検出するセンサと、を有し、
前記制御部は、前記センサからの信号に基づいて前記駆動部の動作を制御する。
が向上する。
互いに対向する一対のハンドと、
前記一対のハンドを開閉方向に互いに同じ距離だけ接近又は離間するように移動させるための開閉機構と、
前記開閉機構に動力を伝えるための駆動部と、
基板を受け取る際に前記一対のハンドがウエハ受け取り位置からウエハクランプ位置へ移動するように前記駆動部の動作を制御するとともに、前記一対のハンドが前記ウエハクランプ位置に到達したか否かを判定し、前記一対のハンドが前記ウエハクランプ位置に到達しなかったと判定した場合には、リトライ動作を、予め定められた回数を上限として、前記一対のハンドが前記ウエハクランプ位置に到達するまで繰り返すように前記駆動部の動作を制御するための制御部と、
を備える。
基板を準備する工程と、
基板の両側から、第1の位置にある互いに対向する一対のハンドを互いに同じ距離だけ接近させる工程と、
前記一対のハンドが、基板を把持する第2の位置に到達したか否かを、前記一対のハンドの移動量を計測するセンサからの信号に基づいて判定する工程と、
前記一対のハンドが前記基板を把持する第2の位置に到達しなかったと判定した場合には、前記一対のハンドを前記第1の位置へ戻した後に、基板の両側から前記第1の位置にある互いに対向する一対のハンドを互いに同じ距離だけ接近させながら、前記一対のハンドが、基板を把持する第2の位置に到達したか否かを、前記一対のハンドの移動量を計測するセンサからの信号に基づいて判定する再試行を行い、該再試行により前記一対のハンドが前記基板を把持する第2位置に到達したと判定されるか、又は、該再試行の実施回数が所定回数に到達するまで、該再試行を繰り返す工程と、
前記一対のハンドが前記基板を把持する第2の位置に到達したと判定した場合には、該基板を移載する工程と、
を有する。
前記した特徴を有する基板移載方法により、基板を移載機からウエハステージへ移載し、
前記基板のベベル部を研磨し、
前記研磨されたウエハステージ上の基板を、移載機を介して搬送機へと受け渡し、
前記搬送機により洗浄ユニットに搬送された基板を洗浄する。
基板の移載機に基板を移載する方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記基板を移載する方法は、
基板の両側から、第1の位置にある互いに対向する一対のハンドを互いに同じ距離だけ接近させる工程と、
前記一対のハンドが、基板を把持する第2の位置に到達したか否かを、前記一対のハンドの移動量を計測するセンサからの信号に基づいて判定する工程と、
前記一対のハンドが前記基板を把持する第2の位置に到達しなかったと判定した場合には、前記一対のハンドを前記第1の位置へ戻した後に、基板の両側から前記第1の位置にある互いに対向する一対のハンドを互いに同じ距離だけ接近させながら、前記一対のハンドが、基板を把持する第2の位置に到達したか否かを、前記一対のハンドの移動量を計測するセンサからの信号に基づいて判定する再試行を行い、該再試行により前記一対のハンドが前記基板を把持する第2位置に到達したと判定されるか、又は、該再試行の実施回数が所定回数に到達するまで、該再試行を繰り返す工程と、
前記一対のハンドが前記基板を把持する第2の位置に到達したと判定した場合には、該基板を移載する工程と、
を備える。
部1001及び第2研磨部1002と呼ぶことがある)と、洗浄ユニット1003と、乾燥機1004と、複数のウエハ仮置き台1008、1009と、複数の搬送機1010〜1013と、制御部1006と、を有している。
ング11の外部の汚染が防止される。
エータ83bのシリンダ部分の基端部に固定されている。また、第2の空圧式アクチュエータ83bのピストン部分の先端部は、一方のハンド811の基端部に固定されている。
は、図3Bに示すように、第2の空圧式アクチュエータ83bのピストン部分を収縮させた状態で、第2の空圧式アクチュエータ83bの基端部に設けられた突起部95がストッパ94に当接するまで、第1の空圧式アクチュエータ83aのピストン部分を伸長させる。一対のハンド811、812がウエハ受け取り位置(第1の位置)に到達すると、第1のフォトマイクロセンサ92aが「ON」となり、第2のフォトマイクロセンサ92bが「OFF」となる。その後、ロボットから一対のハンド811、812のフィンガ部811F、812F上にウエハWが受け渡される(ウエハWが準備される)。
車861、862に掛け回された環状ベルト87とを有し、一方のハンド811は、環状ベルト87の一方の直線部分に取り付けられ、他方のハンド812は、他方の直線部分に取り付けられている。この場合、環状ベルト87はその張力により一対の歯車861、862に噛み合った状態で馴染むため、開閉機構82が剛体のみから構成される場合に比べて、高い位置精度を管理することが容易である。
11 ハウジング
12 開口部
13 シャッタ
23 ウエハステージ
40 ベベル研磨部
80 移載機
811、812 一対のハンド
811F、812F フィンガ部
82 開閉機構
83 駆動部
83a、83b 空圧式アクチュエータ
84 制御部
85 回転体
861、862 一対の歯車
87 環状ベルト
90 センサ
91 ドグ
91a、91b スリット
92a、92b フォトマイクロセンサ
94 ストッパ
95 突起部
99 補助ベルト
1001 第1研磨部
1002 第2研磨部
1003 洗浄ユニット
1004 乾燥機
1005 FOUP
1006 制御部
1007 EFEM
1008、1009 ウエハ仮置き台
1010、1011、1012、1013 搬送機
Claims (6)
- 互いに対向する一対のハンドと、
前記一対のハンドを開閉方向に互いに同じ距離だけ接近又は離間するように移動させるための開閉機構と、
前記開閉機構に動力を伝えるための駆動部と、
基板を受け取る際に前記一対のハンドがウエハ受け取り位置からウエハクランプ位置へ移動するように前記駆動部の動作を制御するとともに、前記一対のハンドが前記ウエハクランプ位置に到達したか否かを判定し、前記一対のハンドが前記ウエハクランプ位置に到達しなかったと判定した場合には、リトライ動作を、予め定められた回数を上限として、前記一対のハンドが前記ウエハクランプ位置に到達するまで繰り返すように前記駆動部の動作を制御するための制御部と、
を備えたことを特徴とする基板搬送用移載機。 - 請求項1に記載の基板搬送用移載機を備えた
ことを特徴とする半導体デバイス製造装置。 - 請求項1に記載の基板搬送用移載機を備えた
ことを特徴とするベベル研磨装置。 - 移載機が実行する基板移載方法であって、
基板の両側から、第1の位置にある互いに対向する一対のハンドを互いに同じ距離だけ接近させる工程と、
前記一対のハンドが、基板を把持する第2の位置に到達したか否かを、前記一対のハンドの移動量を計測するセンサからの信号に基づいて判定する工程と、
前記一対のハンドが前記基板を把持する第2の位置に到達しなかったと判定した場合には、前記一対のハンドを前記第1の位置へ戻した後に、基板の両側から前記第1の位置にある互いに対向する一対のハンドを互いに同じ距離だけ接近させながら、前記一対のハンドが、基板を把持する第2の位置に到達したか否かを、前記一対のハンドの移動量を計測するセンサからの信号に基づいて判定する再試行を行い、該再試行により前記一対のハンドが前記基板を把持する第2位置に到達したと判定されるか、又は、該再試行の実施回数が所定回数に到達するまで、該再試行を繰り返す工程と、
前記一対のハンドが前記基板を把持する第2の位置に到達したと判定した場合には、該基板を移載する工程と、
を有することを特徴とする、基板移載方法。 - 請求項4に記載の方法により、基板を移載機からウエハステージへ移載し、
前記基板のベベル部を研磨し、
前記研磨されたウエハステージ上の基板を、移載機を介して搬送機へと受け渡し、
前記搬送機により洗浄ユニットに搬送された基板を洗浄する
ことを特徴とする、ベベル研磨方法。 - 基板の移載機に基板を移載する方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記基板を移載する方法は、
基板の両側から、第1の位置にある互いに対向する一対のハンドを互いに同じ距離だけ接近させる工程と、
前記一対のハンドが、基板を把持する第2の位置に到達したか否かを、前記一対のハンドの移動量を計測するセンサからの信号に基づいて判定する工程と、
前記一対のハンドが前記基板を把持する第2の位置に到達しなかったと判定した場合には、前記一対のハンドを前記第1の位置へ戻した後に、基板の両側から前記第1の位置にある互いに対向する一対のハンドを互いに同じ距離だけ接近させながら、前記一対のハンドが、基板を把持する第2の位置に到達したか否かを、前記一対のハンドの移動量を計測するセンサからの信号に基づいて判定する再試行を行い、該再試行により前記一対のハンドが前記基板を把持する第2位置に到達したと判定されるか、又は、該再試行の実施回数が所定回数に到達するまで、該再試行を繰り返す工程と、
前記一対のハンドが前記基板を把持する第2の位置に到達したと判定した場合には、該基板を移載する工程と、
を備えたことを特徴とする、記憶媒体。
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