JP6683461B2 - Conductive adhesive for piezoelectric element and piezoelectric element - Google Patents

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Description

本発明は、圧電素子用導電性接着剤および圧電素子に関する。   The present invention relates to a conductive adhesive for piezoelectric elements and a piezoelectric element.

圧電素子は、電圧を加えると伸長する性質を利用し、機械的な変位と電気的な変位とを相互に変換する素子であり、例えば自動車の内燃機関の燃料噴射装置等の圧電駆動素子(圧電アクチュエータ)として好適に用いられている。また、近年、圧電素子を小型化しつつより大きな変位量を確保する目的で、圧電体(例えば圧電性セラミックス)と電極とからなる圧電ユニットを複数枚積層した積層型圧電素子が用いられるようになっている。この種の圧電素子は、圧電体の一面に電極が設けられた基本構造を有し、該電極には外部導体が接合されている。電極と外部導体との接合には、導電性を保持しつつ両者の接合を図るため、従来から導電性粉(例えば銀粉)をエポキシ樹脂などの加熱硬化型樹脂に分散させた導電性接着材が用いられている。この種の従来技術を開示する文献として、特許文献1、2が挙げられる。   A piezoelectric element is an element that mutually converts mechanical displacement and electrical displacement by utilizing the property of expanding when a voltage is applied. For example, a piezoelectric drive element (piezoelectric element for a fuel injection device of an internal combustion engine of an automobile) It is preferably used as an actuator). Further, in recent years, for the purpose of ensuring a larger displacement while miniaturizing the piezoelectric element, a laminated piezoelectric element in which a plurality of piezoelectric units each including a piezoelectric body (for example, piezoelectric ceramics) and electrodes are laminated has been used. ing. This type of piezoelectric element has a basic structure in which an electrode is provided on one surface of a piezoelectric body, and an external conductor is joined to the electrode. In order to bond the electrodes and the outer conductor while maintaining the conductivity, a conductive adhesive material in which conductive powder (for example, silver powder) is dispersed in a thermosetting resin such as epoxy resin has been conventionally used. It is used. Patent documents 1 and 2 are mentioned as documents which disclose this kind of prior art.

特開平11−185526号公報JP-A-11-185526 特開2005−166322号公報JP, 2005-166322, A

しかしながら、上記エポキシ樹脂からなる導電性接着材は、硬化後の弾性率および破断強度が高い傾向がある。そのため、硬化後の導電性接着材が下地である圧電体(圧電素子焼結体)の伸長を阻害し、圧電体にクラックが発生するという問題があった。一般に、圧電素子の破断強度は30〜100MPaであるため、電極に接合する導電性接着剤の破断強度は20MPa以下であることが好ましい。つまり、導電性接着剤は、硬化後に破断しやすくすることで、圧電素子に負荷をかけない(ひいてはクラック発生を抑制する)ことが求められている。また、そのような破断強度を有しつつ、接着性の維持および導電性の良い導電性接着剤が求められている。   However, the conductive adhesive made of the epoxy resin tends to have a high elastic modulus and a high breaking strength after curing. Therefore, there is a problem that the conductive adhesive after curing hinders the extension of the piezoelectric body (piezoelectric element sintered body) that is the base, and cracks occur in the piezoelectric body. Generally, the breaking strength of the piezoelectric element is 30 to 100 MPa, so that the breaking strength of the conductive adhesive bonded to the electrode is preferably 20 MPa or less. That is, the conductive adhesive is required not to apply a load to the piezoelectric element (and thus suppress the occurrence of cracks) by making it easy to break after curing. Further, there is a demand for a conductive adhesive having such breaking strength while maintaining adhesiveness and good conductivity.

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子のクラック発生を抑制し得、なおかつ接着性の維持および導電性の良い接合部を形成し得る圧電素子用導電性接着剤を提供することにある。また、そのような導電性接着剤を用いて形成された接合部を備える圧電素子の提供を他の目的とする。   The present invention has been made in view of such a point, and an object thereof is to suppress the occurrence of cracks in the piezoelectric element, and to maintain the adhesiveness and to form a bonding portion having good conductivity, and to provide a conductive adhesive for a piezoelectric element. To provide the agent. Another object is to provide a piezoelectric element including a joint portion formed by using such a conductive adhesive.

本発明によって提供される圧電素子用の導電性接着剤は、銀粉と、柔軟性エポキシ樹脂と、硬化剤とを含む。前記銀粉の少なくとも40質量%以上は、平均アスペクト比が1.4以上のフレーク状銀粉である。このように平均アスペクト比が1.4以上のフレーク状銀粉と柔軟性エポキシ樹脂とを組み合わせて用いることにより、圧電素子のクラック発生を抑制し得、なおかつ接着性の維持および導電性の良い接合部を形成し得る導電性接着剤を実現することができる。   The conductive adhesive for a piezoelectric element provided by the present invention includes silver powder, a flexible epoxy resin, and a curing agent. At least 40% by mass or more of the silver powder is flaky silver powder having an average aspect ratio of 1.4 or more. By using the flake-shaped silver powder having an average aspect ratio of 1.4 or more in combination with the flexible epoxy resin, it is possible to suppress cracking of the piezoelectric element, and to maintain the adhesiveness and the conductive portion having good conductivity. It is possible to realize a conductive adhesive that can form

ここに開示される導電性接着剤の好ましい一態様では、前記フレーク状銀粉の平均アスペクト比が1.8以上である。かかるフレーク状銀粉は、導電性の向上により効果的に寄与し得る。   In a preferable aspect of the conductive adhesive disclosed herein, the average aspect ratio of the flaky silver powder is 1.8 or more. Such flake silver powder can effectively contribute to the improvement of conductivity.

ここに開示される導電性接着剤の好ましい一態様では、前記フレーク状銀粉の平均長径が0.5μm〜10μmである。かかるフレーク状銀粉によると、より低抵抗の接合部が実現され得る。   In a preferable aspect of the conductive adhesive disclosed herein, the average major axis of the flake silver powder is 0.5 μm to 10 μm. With such flake-shaped silver powder, a lower resistance joint can be realized.

ここに開示される導電性接着剤の好ましい一態様では、前記柔軟性エポキシ樹脂は、アルキレンオキシ化したビスフェノール型エポキシ樹脂である。かかるビスフェノール型エポキシ樹脂は、破断強度の低下により効果的に寄与し得る。   In a preferable embodiment of the conductive adhesive disclosed herein, the flexible epoxy resin is an alkyleneoxylated bisphenol type epoxy resin. Such a bisphenol type epoxy resin can effectively contribute to the reduction in breaking strength.

ここに開示される導電性接着剤の好ましい一態様では、前記柔軟性エポキシ樹脂の含有量が、前記銀粉100質量部に対して5〜30質量部である。このようなエポキシ樹脂の含有量の範囲内であると、破断強度低減効果がより好適に発揮され得る。   In a preferable aspect of the conductive adhesive disclosed herein, the content of the flexible epoxy resin is 5 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the silver powder. When the content of the epoxy resin is within such a range, the effect of reducing the breaking strength can be more suitably exhibited.

ここに開示される導電性接着剤の好ましい一態様では、前記硬化剤がイミダゾール系硬化剤である。これにより、本発明の効果をより高いレベルで安定的に発揮することができる。また、イミダゾール系の硬化剤は、ポットライフ(可使時間)が長いため、作業性の観点からも好適である。   In a preferable aspect of the conductive adhesive disclosed herein, the curing agent is an imidazole curing agent. Thereby, the effects of the present invention can be stably exhibited at a higher level. Further, the imidazole-based curing agent has a long pot life (pot life) and is therefore suitable from the viewpoint of workability.

ここに開示される導電性接着剤の好ましい一態様では、前記硬化剤の含有量が、前記柔軟性エポキシ樹脂100質量部に対して15〜30質量部である。これにより、本発明の効果をより高いレベルで安定的に発揮することができる。   In a preferable aspect of the conductive adhesive disclosed herein, the content of the curing agent is 15 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the flexible epoxy resin. Thereby, the effects of the present invention can be stably exhibited at a higher level.

また、本発明により、圧電体と該圧電体の一面に設けられた電極とを備える単数または複数の圧電ユニットからなる圧電素子が提供される。この圧電素子は、前記圧電ユニットの電極と所定の外部導体との接合部あるいは該圧電ユニット同士の接合部が、ここに開示される何れかの圧電素子用導電性接着剤の硬化物により構成されている。そして、該接合部の体積抵抗率が100μΩ・cm以下であり、かつ、該接合部の破断強度が20MPa以下である。かかる圧電素子は、上記接合部の接着性および導電性を良好に維持しつつ、該接合部が破断することで圧電素子のクラック発生を有効に抑制し得る。そのため、従来得ることができなかった高性能な圧電素子を実現することができる。   Further, according to the present invention, there is provided a piezoelectric element including a single or a plurality of piezoelectric units including a piezoelectric body and an electrode provided on one surface of the piezoelectric body. In this piezoelectric element, the joint between the electrode of the piezoelectric unit and a predetermined outer conductor or the joint between the piezoelectric units is made of a cured product of any of the piezoelectric element conductive adhesives disclosed herein. ing. The volume resistivity of the joint is 100 μΩ · cm or less, and the breaking strength of the joint is 20 MPa or less. Such a piezoelectric element can effectively suppress cracking of the piezoelectric element due to breakage of the bonding portion while maintaining good adhesiveness and conductivity of the bonding portion. Therefore, it is possible to realize a high-performance piezoelectric element that could not be obtained conventionally.

以下、本発明の好適な実施形態を説明する。なお、本明細書において特に言及している事項(例えば、導電性接着剤の組成)以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄(例えば、導電性接着剤の調製方法や接合部の形成方法等)は、当該分野における従来技術に基づく当業者の設計事項として把握され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. Note that matters other than matters particularly referred to in the present specification (for example, the composition of the conductive adhesive) and matters necessary for carrying out the present invention (for example, the method for preparing the conductive adhesive and the joint portion). The forming method, etc.) can be grasped as a design matter of those skilled in the art based on the conventional technique in the field. The present invention can be carried out based on the contents disclosed in this specification and the common general technical knowledge in the field.

<圧電素子用導電性接着剤>
ここで開示される導電性接着剤は、圧電素子用導電性接着剤であって、銀(Ag)粉と、柔軟性エポキシ樹脂と、硬化剤とを含んでいる。そして、銀粉の少なくとも40質量%以上は、平均アスペクト比が1.4以上のフレーク状銀粉である。このような特定の平均アスペクト比を有するフレーク状銀粉と柔軟性エポキシ樹脂とを含有する導電性接着剤を用いることによって、接合部の破断強度が低下し、なおかつ接着性の維持および導電性がより良く向上する。このような効果が得られる理由としては、特に限定的に解釈されるものではないが、例えば以下のように考えられる。すなわち、柔軟性エポキシ樹脂は、接合部の低破断強度化および導電性接着剤の低粘性化に寄与している。かかる導電性接着剤中に平均アスペクト比の大きいフレーク状銀粉を特定の割合で含有させることで、フレーク状銀粉の面同士が重なりやすくなり、銀粉相互の接触面積が増える。このことが導電性向上や破断強度低下に寄与するものと考えられる。以下、ここで開示される導電性接着剤の構成成分についてより詳細に説明する。
<Conductive adhesive for piezoelectric element>
The conductive adhesive disclosed herein is a conductive adhesive for piezoelectric elements, and contains silver (Ag) powder, a flexible epoxy resin, and a curing agent. And, at least 40% by mass or more of the silver powder is flaky silver powder having an average aspect ratio of 1.4 or more. By using the conductive adhesive containing the flaky silver powder having such a specific average aspect ratio and the flexible epoxy resin, the breaking strength of the joint is lowered, and the adhesiveness is maintained and the conductivity is further improved. Improve well. The reason why such an effect is obtained is not particularly limited, but it can be considered as follows, for example. That is, the flexible epoxy resin contributes to lowering the breaking strength of the joint and lowering the viscosity of the conductive adhesive. When the flaky silver powder having a large average aspect ratio is contained in such a conductive adhesive in a specific ratio, the surfaces of the flaky silver powder easily overlap with each other, and the contact area between the silver powders increases. This is considered to contribute to improvement of conductivity and reduction of breaking strength. Hereinafter, the components of the conductive adhesive disclosed herein will be described in more detail.

<銀粉>
ここで開示される導電性接着剤は、フレーク状の第1銀粉を含んでいる。ここでいうフレーク状とは、典型的には薄片状をいい、扁平状、板状、鱗片状等の主として二次元に広がった形状のものが含まれる。第1銀粉の平均アスペクト比Asは、概ね1.4以上である。導電性向上等の観点から、上記態様の導電性接着剤における第1銀粉として、平均アスペクト比Asが1.5以上の銀粉を好ましく採用することができる。例えば、平均アスペクト比Asが1.6以上の第1銀粉が好ましく、1.7以上のものがより好ましく、1.8以上のものが特に好ましい。第1銀粉の平均アスペクト比Asの上限は特に限定されないが、例えば3以下であり得る。上記平均アスペクト比Asは、好ましくは2.5以下、より好ましくは2.2以下である。例えば、平均アスペクト比Asが1.4以上2以下の第1銀粉を好ましく採用し得る。
<Silver dust>
The electrically conductive adhesive disclosed here contains the flake-shaped 1st silver powder. The flake shape as used herein typically means a flaky shape, and includes a shape that spreads mainly in two dimensions, such as a flat shape, a plate shape, and a scale shape. The average aspect ratio As of the first silver powder is approximately 1.4 or more. From the viewpoint of improving conductivity, silver powder having an average aspect ratio As of 1.5 or more can be preferably used as the first silver powder in the conductive adhesive of the above embodiment. For example, a first silver powder having an average aspect ratio As of 1.6 or more is preferable, one having 1.7 or more is more preferable, and one having 1.8 or more is particularly preferable. The upper limit of the average aspect ratio As of the first silver powder is not particularly limited, but may be 3 or less, for example. The average aspect ratio As is preferably 2.5 or less, more preferably 2.2 or less. For example, a first silver powder having an average aspect ratio As of 1.4 or more and 2 or less can be preferably adopted.

なお、この明細書中において、1種類の銀粉についての「平均アスペクト比」とは、当該1種類の銀粉に含まれる複数個の粒子の長径/短径比の平均値をいう。すなわち、この平均アスペクト比は、上記1種類の銀粉の平均的な粒子形状を示す値である。平均アスペクト比は、例えば、電子顕微鏡観察により求めることができる。具体的な手順としては、例えば、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、測定対象の銀粉に含まれる所定個数(例えば100個)の粒子を観察し、各々の粒子画像に外接する面積が最小となる長方形を描く。そして、各粒子画像に対して描かれた長方形について、その長辺の長さ(長径の値)を短辺の長さ(短径の値)で除した値を各粒子の長径/短径比(アスペクト比)として算出する。そして、上記所定個数の粒子のアスペクト比を算術平均することにより、平均アスペクト比を求めることができる。なお、各粒子のアスペクト比および平均アスペクト比は、一般的な画像解析ソフトウエアを用いて求めることができる。   In this specification, the “average aspect ratio” for one type of silver powder refers to the average value of the major axis / minor axis ratio of a plurality of particles contained in the one type of silver powder. That is, this average aspect ratio is a value indicating the average particle shape of the one type of silver powder. The average aspect ratio can be obtained by, for example, observing with an electron microscope. As a specific procedure, for example, a scanning electron microscope (SEM) is used to observe a predetermined number (for example, 100) of particles contained in the silver powder to be measured, and the area circumscribed to each particle image is minimum. Draw a rectangle. Then, with respect to the rectangle drawn for each particle image, a value obtained by dividing the length of the long side (value of the long diameter) by the length of the short side (value of the short diameter) is the ratio of the long diameter / short diameter of each particle. It is calculated as (aspect ratio). Then, the average aspect ratio can be obtained by arithmetically averaging the aspect ratios of the predetermined number of particles. The aspect ratio and average aspect ratio of each particle can be obtained by using general image analysis software.

第1銀粉の平均長径(以下、単に「L1」と表記することがある。)は、第1銀粉の平均アスペクト比Asが前記範囲(すなわち1.4μm≦As)を満たす限りにおいて特に限定されないが、典型的には0.5μm以上であり、導電性向上等の観点から、好ましくは0.7μm以上、より好ましくは1μm以上、さらに好ましくは3μm以上、特に好ましくは5μm以上である。平均長径L1が0.5μm以上の第1銀粉によると、より低抵抗な接合部が実現され得る。また、第1銀粉の平均長径L1は、例えば10μm以下であり得る。上記平均長径L1は、好ましくは9μm以下、より好ましくは8μm以下である。例えば、平均長径D1が0.7μm以上7μm以下の第1銀粉を好ましく採用し得る。   The average major axis of the first silver powder (hereinafter sometimes simply referred to as “L1”) is not particularly limited as long as the average aspect ratio As of the first silver powder satisfies the above range (that is, 1.4 μm ≦ As). It is typically 0.5 μm or more, preferably 0.7 μm or more, more preferably 1 μm or more, further preferably 3 μm or more, particularly preferably 5 μm or more, from the viewpoint of improving conductivity. With the first silver powder having an average major axis L1 of 0.5 μm or more, a lower resistance joint portion can be realized. The average major axis L1 of the first silver powder may be, for example, 10 μm or less. The average major axis L1 is preferably 9 μm or less, more preferably 8 μm or less. For example, a first silver powder having an average major axis D1 of 0.7 μm or more and 7 μm or less can be preferably used.

なお、この明細書中において、1種類の銀粉についての「平均長径」とは、当該1種類の銀粉に含まれる複数個(例えば100個)の粒子の長径の平均値をいう。各粒子の長径は、上述したアスペクト比と同様、SEMにより得られた各々の粒子画像に外接し、面積が最小となる長方形の長辺の長さの算術平均値として求めることができる。平均アスペクト比が1.00である場合、平均長径の値と平均短径の値とは一致する。   In this specification, the “average major axis” for one type of silver powder refers to the average value of the major axes of a plurality (eg, 100) of particles contained in the one type of silver powder. The major axis of each particle can be obtained as an arithmetic mean value of the lengths of the long sides of a rectangle that circumscribes each particle image obtained by SEM and has the smallest area, similarly to the above-described aspect ratio. When the average aspect ratio is 1.00, the average major axis value and the average minor axis value match.

第1銀粉の平均短径(以下、単に「L2」と表記することがある。)は、第1銀粉の平均アスペクト比Asが前記範囲を満たす限りにおいて特に限定されないが、例えば0.3μm以上、典型的には0.5μm以上(例えば1μm以上)であり得る。また、第1銀粉の平均短径L2は、例えば8μm以下、典型的には5μm以下であり得る。   The average minor axis of the first silver powder (hereinafter, may be simply referred to as “L2”) is not particularly limited as long as the average aspect ratio As of the first silver powder satisfies the above range, for example, 0.3 μm or more, It can typically be 0.5 μm or more (eg 1 μm or more). The average minor axis L2 of the first silver powder may be, for example, 8 μm or less, typically 5 μm or less.

フレーク状銀粉を用いることによる効果をよりよく発揮させる観点から、第1銀粉の平均長径L1は、平均短径L2よりも0.2μm以上大きいことが好ましく、1.5μm以上大きいことがより好ましい。また、L1からL2を減じた値(すなわちL1−L2)は、好ましくは5μm以下である。例えばL1−L2が、3μm以下であってもよい。   From the viewpoint of better exerting the effect of using the flaky silver powder, the average major axis L1 of the first silver powder is preferably 0.2 μm or more, and more preferably 1.5 μm or more, than the average minor axis L2. The value obtained by subtracting L2 from L1 (that is, L1-L2) is preferably 5 μm or less. For example, L1-L2 may be 3 μm or less.

なお、この明細書中において、1種類の銀粉についての「平均短径」とは、当該1種類の銀粉に含まれる複数個(例えば100個)の粒子の短径の平均値をいう。各粒子の短径は、上述したアスペクト比と同様、SEMにより得られた各々の粒子画像に外接し、面積が最小となる長方形の短辺の長さの算術平均値として求めることができる。平均アスペクト比が1.00である場合、平均長径の値と平均短径の値とは一致する。   In this specification, the “average short diameter” for one type of silver powder refers to the average value of the short diameters of a plurality (for example, 100) of particles contained in the one type of silver powder. The minor axis of each particle can be obtained as an arithmetic mean value of the lengths of the short sides of a rectangle that circumscribes each particle image obtained by SEM and has the smallest area, as in the aspect ratio described above. When the average aspect ratio is 1.00, the average major axis value and the average minor axis value match.

第1銀粉の平均厚み(以下、単に「D」と表記することがある。)は、第1銀粉の平均アスペクト比Asが前記範囲を満たす限りにおいて特に限定されないが、例えば0.1μm以上、典型的には0.2μm以上(例えば0.5μm以上)であり得る。また、第1銀粉の平均厚みDは、例えば1.5μm以下、典型的には0.7μm以下であり得る。   The average thickness of the first silver powder (hereinafter, may be simply referred to as “D”) is not particularly limited as long as the average aspect ratio As of the first silver powder satisfies the above range, but is, for example, 0.1 μm or more, typical. Specifically, it can be 0.2 μm or more (for example, 0.5 μm or more). Further, the average thickness D of the first silver powder may be, for example, 1.5 μm or less, typically 0.7 μm or less.

フレーク状銀粉を用いることによる効果をよりよく発揮させる観点から、第1銀粉の平均長径L1と平均厚みDとの関係が3≦(L1/D)≦20を満たすことが好ましい。このような特定の平均長径L1および平均厚みDの関係を有するフレーク状銀粉を用いることにより、導電性の向上等がより高いレベルで実現され得る。ここに開示される技術は、例えば、L1とDとの関係が、3.5≦(L1/D)≦15、より好ましくは3.5≦(L1/D)≦10、さらに好ましくは5≦(L1/D)≦10、特に好ましくは7≦(L1/D)≦10である態様で好ましく実施され得る。   From the viewpoint of better exerting the effect of using the flaky silver powder, it is preferable that the relationship between the average major axis L1 of the first silver powder and the average thickness D satisfies 3 ≦ (L1 / D) ≦ 20. By using the flake-shaped silver powder having such a specific average major axis L1 and average thickness D relationship, improvement in conductivity and the like can be realized at a higher level. In the technology disclosed herein, for example, the relationship between L1 and D is 3.5 ≦ (L1 / D) ≦ 15, more preferably 3.5 ≦ (L1 / D) ≦ 10, and further preferably 5 ≦. It can be preferably carried out in a mode in which (L1 / D) ≦ 10, particularly preferably 7 ≦ (L1 / D) ≦ 10.

なお、この明細書中において、1種類の銀粉についての「平均厚み」とは、当該1種類の銀粉に含まれる複数個(例えば100個)の粒子の厚みの平均値をいう。銀粉の平均厚みは、電子顕微鏡(SEM)観察により求めることができる。具体的な手順としては、例えば、測定対象の銀粉を樹脂で固めた試料を作製し、その試料の断面を走査型電子顕微鏡で観察する。そして、該断面に含まれる所定個数(例えば100個)の粒子の厚み(最も厚い部分における差渡し長さ)を測定し、該所定個数の粒子の厚みを算術平均することにより、平均厚みを求めることができる。   In this specification, the “average thickness” for one type of silver powder refers to the average value of the thicknesses of a plurality (for example, 100) of particles contained in the one type of silver powder. The average thickness of the silver powder can be determined by observation with an electron microscope (SEM). As a specific procedure, for example, a sample in which silver powder to be measured is hardened with a resin is prepared, and a cross section of the sample is observed with a scanning electron microscope. Then, the average thickness is obtained by measuring the thickness (transmission length in the thickest portion) of a predetermined number (for example, 100) of particles included in the cross section and arithmetically averaging the thickness of the predetermined number of particles. be able to.

第1銀粉の平均粒子径は、例えば0.5μm以上であり得る。より低い抵抗を得る観点から、平均粒子径は、2μm以上が好ましく、3μm以上がより好ましい。また、平均粒子径は、通常、10μm以下であることが適当であり、9μm以下であることが好ましい。
なお、この明細書において「平均粒子径」とは、レーザー回折・光散乱法に基づき測定した体積基準の粒度分布において、粒子径の小さな微粒子側から累積50%に相当する粒子径D50値(メジアン径ともいう。)をいう。
The average particle size of the first silver powder may be, for example, 0.5 μm or more. From the viewpoint of obtaining a lower resistance, the average particle diameter is preferably 2 μm or more, more preferably 3 μm or more. In addition, the average particle diameter is usually 10 μm or less, and preferably 9 μm or less.
In this specification, the "average particle diameter" means a particle diameter D 50 value (corresponding to cumulative 50% from the fine particle side having a small particle diameter in a volume-based particle size distribution measured based on a laser diffraction / light scattering method) ( It is also called the median diameter.).

ここに開示される導電性接着剤は、本発明の効果を損なわない範囲で、フレーク状の第1銀粉以外の銀粉(すなわち、第2以降の銀粉)を含有してもよい。第2以降の銀粉の形状(外形)は特に限定されない。例えば、平均アスペクト比が1.4未満(好ましくは1.3以下、より好ましくは1.1以下、さらに好ましくは1.05以下)の銀粉(典型的には球形銀粉)を好適に使用し得る。第2以降の銀粉を含有する場合、導電性接着剤に含まれる銀粉の全質量のうち第1銀粉の質量が40質量%以上とすることが適当であり、導電性向上の観点から、好ましくは60質量%以上、より好ましくは90質量%以上である。なかでも、導電性接着剤に含まれる銀粉の100質量%が第1銀粉である導電性接着剤が好ましい。   The conductive adhesive disclosed herein may contain silver powder other than the flake-shaped first silver powder (that is, the second and subsequent silver powders) as long as the effect of the present invention is not impaired. The shape (outer shape) of the second and subsequent silver powders is not particularly limited. For example, silver powder (typically spherical silver powder) having an average aspect ratio of less than 1.4 (preferably 1.3 or less, more preferably 1.1 or less, still more preferably 1.05 or less) can be suitably used. . When the second and subsequent silver powders are contained, it is suitable that the mass of the first silver powder is 40% by mass or more of the total mass of the silver powder contained in the conductive adhesive, and from the viewpoint of improving conductivity, it is preferable. It is 60% by mass or more, and more preferably 90% by mass or more. Among them, a conductive adhesive in which 100 mass% of the silver powder contained in the conductive adhesive is the first silver powder is preferable.

ここに開示される導電性接着剤は、本発明の効果を損なわない範囲で、銀以外の材質からなる導電性粉(以下、非銀粉ともいう。)を含有してもよい。そのような非銀粉の例として、金(Au)、銅(Cu)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、イリジウム(Ir)、オスミウム(Os)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)等の金属、およびそれらの合金;等のいずれかから実質的に構成される非銀粉が挙げられる。   The conductive adhesive disclosed herein may contain a conductive powder made of a material other than silver (hereinafter, also referred to as non-silver powder) as long as the effect of the present invention is not impaired. Examples of such non-silver powder are gold (Au), copper (Cu), platinum (Pt), palladium (Pd), ruthenium (Ru), rhodium (Rh), iridium (Ir), osmium (Os), nickel. Examples of the non-silver powder include a metal such as (Ni) and aluminum (Al), and alloys thereof.

上記非銀粉の含有量は、導電性接着剤に含まれる導電性粉の全質量のうち、例えば30質量%以下とすることが適当であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは10質量%以下である。ここに開示される技術は、導電性接着剤に含まれる導電性粉の全質量のうち銀粉の合計割合が90質量%よりも大きい態様で好ましく実施され得る。上記銀粉の割合は、より好ましくは95質量%以上、さらに好ましくは98質量%以上、特に好ましくは99質量%以上である。なかでも、導電性接着剤に含まれる導電性粉の100質量%が銀粉である導電性接着剤が好ましい。   The content of the non-silver powder is appropriately 30% by mass or less, preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass, of the total mass of the conductive powder contained in the conductive adhesive. It is the following. The technique disclosed herein can be preferably implemented in a mode in which the total proportion of silver powder is greater than 90% by mass based on the total mass of the conductive powder contained in the conductive adhesive. The proportion of the silver powder is more preferably 95% by mass or more, further preferably 98% by mass or more, and particularly preferably 99% by mass or more. Above all, a conductive adhesive in which 100 mass% of the conductive powder contained in the conductive adhesive is silver powder is preferable.

<柔軟性エポキシ樹脂>
ここで開示される導電性接着剤は、上述した銀粉の他に、柔軟性エポキシ樹脂を含有する。ここでいう「柔軟性エポキシ樹脂」とは、25℃において液状を呈する熱硬化性のエポキシ樹脂であって、該エポキシ樹脂5質量部にイミダゾール(例えばエポキシ・イミダゾールアダクト)1質量部を加えて加熱硬化した場合に、該硬化物の引っ張り法(温度25℃、周波数1.0Hz)により測定した動的弾性率が900MPa以下の値を示すエポキシ樹脂をいう。好ましい一態様では、該硬化物の動的弾性率が890MPa以下であり得る。このような動的弾性率測定を行うのに適した装置として、株式会社日立ハイテクサイエンス社製の粘弾性測定装置DMA7100を例示することができる。柔軟性エポキシ樹脂は、接合部に良好な接着性や耐屈曲性(柔軟性)、耐久性を付与するための成分である。
<Flexible epoxy resin>
The conductive adhesive disclosed herein contains a flexible epoxy resin in addition to the silver powder described above. The "flexible epoxy resin" as used herein is a thermosetting epoxy resin which is liquid at 25 ° C., and 1 part by mass of imidazole (eg, epoxy-imidazole adduct) is added to 5 parts by mass of the epoxy resin and heated. An epoxy resin that, when cured, has a dynamic elastic modulus of 900 MPa or less measured by a tensile method (temperature: 25 ° C., frequency: 1.0 Hz) of the cured product. In a preferred embodiment, the cured product may have a dynamic elastic modulus of 890 MPa or less. As an apparatus suitable for performing such dynamic elastic modulus measurement, a viscoelasticity measuring apparatus DMA7100 manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd. can be exemplified. The flexible epoxy resin is a component for imparting good adhesion, flex resistance (flexibility), and durability to the joint.

柔軟性エポキシ樹脂の材質は、加熱硬化後の動的弾性率が前記範囲を満たす限りにおいて特に制限はない。例えば、アルキレンオキシ化したビスフェノール型エポキシ樹脂が好ましく用いられる。なお、ここでいう「ビスフェノール型エポキシ樹脂」とは、ビスフェノール類とエピクロヒドリン等との反応によって得られるエポキシ樹脂をいう。また、「アルキレンオキシ化したビスフェノール型エポキシ樹脂」とは、ビスフェノール型エポキシ樹脂を構成する芳香環に直接結合した酸素原子に、1つ以上のエーテル結合を含む炭化水素基が結合したものをいう。上記芳香環においては、芳香環を構成する原子に結合した水素原子が、それぞれ独立して、アルキル基(炭素原子数1〜10の直鎖または分岐)、ハロゲン原子(例えば、F,Cl,Br)等で置換された化合物であってもよい。かかる芳香環に直接結合した酸素原子に、2つ以上のエーテル結合を含む炭化水素基が結合した化合物を好適に用いることができる。エーテル結合を含む炭化水素基としては、(−ROR’−)の構造を有する基や、アルキレンオキシ基(−RO−)の繰り返し単位を有する炭化水素基、例えばアルキレンオキサイド基(−(RO)−R’)等が挙げられる。エーテル結合を含む炭化水素基は、芳香環に直接結合した酸素原子に直接結合していてもよく、アセタール結合等を介して結合していてもよい。 The material of the flexible epoxy resin is not particularly limited as long as the dynamic elastic modulus after heat curing satisfies the above range. For example, an alkyleneoxylated bisphenol type epoxy resin is preferably used. The term "bisphenol type epoxy resin" as used herein means an epoxy resin obtained by reacting bisphenols with epichlorohydrin or the like. Further, the “alkyleneoxylated bisphenol type epoxy resin” refers to a compound in which a hydrocarbon group containing one or more ether bonds is bonded to an oxygen atom directly bonded to an aromatic ring constituting the bisphenol type epoxy resin. In the above aromatic ring, the hydrogen atoms bonded to the atoms constituting the aromatic ring are each independently an alkyl group (linear or branched having 1 to 10 carbon atoms), a halogen atom (for example, F, Cl, Br). ) And the like may be substituted. A compound in which a hydrocarbon group containing two or more ether bonds is bonded to the oxygen atom directly bonded to the aromatic ring can be preferably used. Examples of the hydrocarbon group containing an ether bond include a group having a structure of (-ROR'-) and a hydrocarbon group having a repeating unit of an alkyleneoxy group (-RO-), for example, an alkylene oxide group (-(RO) n. -R ') etc. are mentioned. The hydrocarbon group containing an ether bond may be directly bonded to the oxygen atom directly bonded to the aromatic ring, or may be bonded via an acetal bond or the like.

ここに開示される技術にとり好ましい柔軟性エポキシ樹脂の具体例として、下記一般式(1)で表されるポリアルキレンオキシ化したビスフェノール型エポキシ樹脂が挙げられる。

Figure 0006683461
ここで上記一般式(1)中、R〜Rは、それぞれ独立に、水素原子またはメチル基であり得る。R〜Rは同じであってもよく異なっていてもよい。R〜Rのすべてがメチル基であるものが好ましい。Xは、アルキレンオキサイド基、炭素原子数2〜20(好ましくは2〜15)のアルキレン基、炭素原子数3以上(好ましくは4以上)のアルキル基からなる群から選択される基である。アルキレンオキサイド基としては、エチレンオキシエチル基、ジ(エチレンオキシ)エチル基、トリ(エチレンオキシ)エチル基、テトラ(エチレンオキシ)エチル基、プロピレンオキシプロピル基、ジ(プロピレンオキシ)プロピル基、トリ(プロピレンオキシ)プロピル基、テトラ(プロピレンオキシ)プロピル基、ブチレンオキシブチル基、ジ(ブチレンオキシ)ブチル基、トリ(ブチレンオキシ)ブチル基、テトラ(ブチレンオキシ)ブチル基、エチレンオキドとプロピレンオキドとの付加重合により得られる基;等が挙げられる。式中のnは自然数であり、n=1〜20、好ましくはn=2〜5であり得る。 Specific examples of the flexible epoxy resin preferable for the technology disclosed herein include polyalkyleneoxylated bisphenol epoxy resins represented by the following general formula (1).
Figure 0006683461
Here, in the general formula (1), R 1 to R 4 may be each independently a hydrogen atom or a methyl group. R 1 to R 4 may be the same or different. It is preferable that all of R 1 to R 4 are methyl groups. X is a group selected from the group consisting of an alkylene oxide group, an alkylene group having 2 to 20 carbon atoms (preferably 2 to 15) and an alkyl group having 3 or more carbon atoms (preferably 4 or more). As the alkylene oxide group, ethyleneoxyethyl group, di (ethyleneoxy) ethyl group, tri (ethyleneoxy) ethyl group, tetra (ethyleneoxy) ethyl group, propyleneoxypropyl group, di (propyleneoxy) propyl group, tri (ethyleneoxy) ethyl group Of propyleneoxy) propyl group, tetra (propyleneoxy) propyl group, butyleneoxybutyl group, di (butyleneoxy) butyl group, tri (butyleneoxy) butyl group, tetra (butyleneoxy) butyl group, ethylene oxide and propylene oxide Groups obtained by addition polymerization; and the like. In the formula, n is a natural number and may be n = 1 to 20, preferably n = 2 to 5.

柔軟性エポキシ樹脂のエポキシ当量(すなわち1当量のエポキシ基を含むエポキシ樹脂の質量)は特に限定されないが、典型的には100g/当量〜600g/当量であり得る。柔軟性向上の観点から、好ましくは300g/当量〜500g/当量、より好ましくは400g/当量〜450g/当量である。   The epoxy equivalent of the flexible epoxy resin (that is, the mass of the epoxy resin containing one equivalent of epoxy group) is not particularly limited, but can be typically 100 g / equivalent to 600 g / equivalent. From the viewpoint of improving flexibility, the amount is preferably 300 g / equivalent to 500 g / equivalent, and more preferably 400 g / equivalent to 450 g / equivalent.

特に限定するものではないが、柔軟性エポキシ樹脂の含有量は、銀粉100質量部に対して、例えば30質量部以下とすることができる。破断容易性および導電性等の観点から、銀粉100質量部に対する柔軟性エポキシ樹脂の含有量を20質量部以下とすることが好ましく、15質量部以下とすることがさらに好ましい。また、より高い接着性や耐久性を実現する観点から、銀粉100質量部に対する柔軟性エポキシ樹脂の含有量を5質量部以上とすることが適当であり、例えば10質量部以上であってもよい。
また、導電性接着剤全体に占める柔軟性エポキシ樹脂の含有量は、例えば4質量%以上、好ましくは8質量%以上、より好ましくは10質量%以上であって、25質量%以下、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下とするとよい。上記範囲を満たすことで、接着性や耐久性に優れ、なおかつ導電性や破断容易性に優れた接合部を安定的に実現することができる。
Although not particularly limited, the content of the flexible epoxy resin can be, for example, 30 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the silver powder. From the viewpoint of breakability and conductivity, the content of the flexible epoxy resin is preferably 20 parts by mass or less, more preferably 15 parts by mass or less, based on 100 parts by mass of the silver powder. Further, from the viewpoint of achieving higher adhesiveness and durability, it is appropriate that the content of the flexible epoxy resin is 5 parts by mass or more based on 100 parts by mass of the silver powder, and may be, for example, 10 parts by mass or more. .
The content of the flexible epoxy resin in the whole conductive adhesive is, for example, 4% by mass or more, preferably 8% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and 25% by mass or less, preferably 20% by mass or less. It is good to set it as the mass% or less, more preferably 15 mass% or less. By satisfying the above range, it is possible to stably realize a bonded portion which is excellent in adhesiveness and durability, as well as excellent in conductivity and easiness of breakage.

<硬化剤>
ここで開示される導電性接着剤は、上述した銀粉および柔軟性エポキシ樹脂の他に、硬化剤を含有する。硬化剤は、導電性接着剤の加熱硬化時に上記柔軟性エポキシ樹脂と反応して水酸基を生成する成分であり得る。例えば、上記柔軟性エポキシ樹脂のエポキシ基と反応して架橋構造を形成し、当該架橋構造の末端に水酸基を生成する成分であり得る。かかる硬化剤としては、エポキシ樹脂と反応する官能基を含む化合物、例えば、イミダゾール系硬化剤およびその誘導体、脂肪族アミン、ポリエーテルアミン、芳香族アミン等のアミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤、フェノール系硬化剤、アミド系硬化剤、イソシアネート系硬化剤、有機ホスフィン類等が例示される。これらの化合物は1種を単独で用いてもよく、2種以上を適宜組み合わせて用いることもできる。
<Curing agent>
The conductive adhesive disclosed herein contains a curing agent in addition to the above-mentioned silver powder and flexible epoxy resin. The curing agent may be a component that reacts with the flexible epoxy resin to generate a hydroxyl group when the conductive adhesive is heated and cured. For example, it may be a component that reacts with the epoxy group of the flexible epoxy resin to form a crosslinked structure and forms a hydroxyl group at the terminal of the crosslinked structure. As such a curing agent, a compound containing a functional group that reacts with an epoxy resin, for example, an imidazole-based curing agent and its derivative, an amine-based curing agent such as an aliphatic amine, a polyether amine, an aromatic amine, an acid anhydride-based curing agent. Agents, phenol-based curing agents, amide-based curing agents, isocyanate-based curing agents, organic phosphines and the like. These compounds may be used alone or in appropriate combination of two or more.

イミダゾール系硬化剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウム・トリメリテート、エポキシ・イミダゾールアダクト等が例示される。
アミン系硬化剤としては、例えば、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラアミン等の鎖状脂肪族ポリアミン;N−アミノエチルピペラジン、メンセンジアミン、イソフオロンジアミン等の環状脂肪族ポリアミン;m−キシレンジアミン等の脂肪芳香族アミン;メタンフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタン等の芳香族アミン等が例示される。
酸無水物系硬化剤としては、例えば、無水フタル酸、無水トリメット酸、無水ピロメット酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸等が例示される。
なかでもイミダゾール系の硬化剤およびその誘導体は、より低抵抗かつ破断容易性に優れた接合部を得る観点から好ましい。
Examples of the imidazole-based curing agent include 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, and epoxy-imidazole adduct.
Examples of the amine-based curing agent include linear aliphatic polyamines such as diethylenetriamine and triethylenetetraamine; cyclic aliphatic polyamines such as N-aminoethylpiperazine, mensendiamine, and isophoronediamine; and fats such as m-xylenediamine. Aromatic amines; aromatic amines such as methanephenylenediamine and diaminodiphenylmethane are exemplified.
Examples of the acid anhydride-based curing agent include phthalic anhydride, trimetic anhydride, pyrometic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride and the like.
Among them, the imidazole-based curing agent and its derivative are preferable from the viewpoint of obtaining a joint having lower resistance and excellent breakability.

特に限定するものではないが、硬化剤の含有量は、柔軟性エポキシ樹脂100質量部に対して、例えば15質量部以上である。硬化剤の含有量を15質量部以上とすることで、硬化反応を比較的短時間で安定的に行うことができる。この点からは、柔軟性エポキシ樹脂100質量部に対する硬化剤の含有量は、好ましくは20質量部以上である。また、柔軟性エポキシ樹脂100質量部に対する硬化剤の含有量は、30質量部以下とすることが好ましい。硬化剤の含有量を30質量部以下とすることで、未反応の硬化剤が接合部中に残存し難くなり、体積抵抗率をより低減することができる。低抵抗の観点からは、柔軟性エポキシ樹脂100質量部に対する硬化剤の含有量は、好ましくは25質量部以下(例えば22質量部以下)である。   Although not particularly limited, the content of the curing agent is, for example, 15 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the flexible epoxy resin. By setting the content of the curing agent to 15 parts by mass or more, the curing reaction can be stably performed in a relatively short time. From this point, the content of the curing agent with respect to 100 parts by mass of the flexible epoxy resin is preferably 20 parts by mass or more. Further, the content of the curing agent with respect to 100 parts by mass of the flexible epoxy resin is preferably 30 parts by mass or less. By setting the content of the curing agent to 30 parts by mass or less, it becomes difficult for the unreacted curing agent to remain in the joint portion, and the volume resistivity can be further reduced. From the viewpoint of low resistance, the content of the curing agent with respect to 100 parts by mass of the flexible epoxy resin is preferably 25 parts by mass or less (for example, 22 parts by mass or less).

<その他の成分>
ここで開示される導電性接着剤は、必要に応じて、有機系分散媒(典型的には有機溶剤)を含有してもよい。これにより、ペーストの粘度やチキソ性を調整し得、作業性や塗工性を向上することができる。有機系分散媒としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール等のグリコール系溶剤;エチレングリコールモノメチルエーテル(メチルセロソルブ)、エチレングリコールモノエチルエーテル(セロソルブ)、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(ブチルカルビトール)、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、3−メチル−3−メトキシブタノール等のグリコールエーテル系溶剤;1,7,7−トリメチル−2−アセトキシ−ビシクロ−[2,2,1]−ヘプタン、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタジオールモノイソブチレート等のエステル系溶剤;ターピネオール、ジヒドロターピネオール、ジヒドロターピニルプロピオネート、ベンジルアルコール等のアルコール系溶剤;トルエン、キシレン等の炭化水素系溶剤;その他ミネラルスピリット等の高沸点を有する有機溶剤等が例示される。
<Other ingredients>
The conductive adhesive disclosed herein may contain an organic dispersion medium (typically an organic solvent), if necessary. Thereby, the viscosity and thixotropy of the paste can be adjusted, and the workability and coatability can be improved. Examples of the organic dispersion medium include glycol solvents such as ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol; ethylene glycol monomethyl ether (methyl cellosolve), ethylene glycol monoethyl ether (cellosolve), diethylene glycol monobutyl ether (butyl carbitol), diethylene glycol monobutyl ether. Glycol ether solvents such as acetate, dipropylene glycol methyl ether, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol phenyl ether, and 3-methyl-3-methoxybutanol; 1,7,7-trimethyl-2-acetoxy-bicyclo- [ Esters such as 2,2,1] -heptane and 2,2,4-trimethyl-1,3-pentadiol monoisobutyrate Solvent; terpineol, dihydro terpineol, dihydro terpineol propionate, alcohol solvents such as benzyl alcohol; toluene, hydrocarbon solvents such as xylene; organic solvent having a high boiling point, such as other mineral spirits and the like.

ここで開示される導電性接着剤は、本発明の効果を損なわない範囲で、界面活性剤、分散剤、増粘剤、導電補助剤、消泡剤、可塑剤、安定剤、酸化防止剤、顔料等の、導電性接着剤(典型的には圧電素子用導電性接着剤)に用いられ得る公知の添加剤を、必要に応じてさらに含有してもよい。   The conductive adhesive disclosed herein is a surfactant, a dispersant, a thickener, a conductive auxiliary agent, a defoaming agent, a plasticizer, a stabilizer, an antioxidant, within a range that does not impair the effects of the present invention. A known additive that can be used for a conductive adhesive (typically, a conductive adhesive for a piezoelectric element) such as a pigment may be further contained as necessary.

上記添加剤の例としては、チタンジイソプロポキシビスエチルアセトアセテート、テトライソプロピルチタネート、テトラノルマルブチルチタネート、ブチルチタネートダイマー、テトラオクチルチタネート、チタンアセチルアセトネート、チタンテトラアセチルアセトネート、チタンエチルアセトアセテート、リン酸チタン化合物、チタンオクチレングリコレート、チタンラクテートアンモニウム塩、チタンラクテート、チタントリエタノールアミネート等の有機チタン化合物;ジルコニウムテトラアセチルアセトナート、ルコニウムテトラアセチルアセトネート、ジルコニウムジブトキシビスエチルアセトアセテート、ノルマルプロピルジルコネート、ノルマルブチルジルコネート、ジルコニウムモノアセチルアセトネート等の有機ジルコニウム化合物;アルミニウムイソプロピレート、アルミニウムエチレート、アルミニウムエチルアセトアセテートジイソプロピレート、アルミニウムトリスエチルアセトアセテート、アルミニウムトリスアセチルアセトネート、アルミニウムビスエチルアセトアセテート、モノアセチルアセトネート、アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート等の有機アルミニウム化合物;モノブチルスズトリス2−エチルヘキサノエート、オクチル酸スズ、モノブチルスズオキシド、ジブチルスズオキシド、ジブチルスズラウレート、ジブチルスズジアセテート、モノブチルスズヒドロキシオキサイド等の有機スズ化合物が挙げられる。
銀粉を100質量部としたときに、上記添加剤の含有量は、概ね10質量部以下(例えば0.5質量部〜10質量部)、典型的には5質量部以下(例えば1質量部〜5質量部)であり得る。
また、柔軟性エポキシ樹脂を100質量部としたときに、上記添加剤の含有量は、概ね5質量部以上(例えば5質量部〜40質量部)、好ましくは10質量部以上(例えば10質量部〜35質量部)、より好ましくは20質量部以上(例えば20質量部〜30質量部)であり得る。これにより、本発明の効果をより高いレベルで奏することができる。
Examples of the additives, titanium diisopropoxy bis ethyl acetoacetate, tetraisopropyl titanate, tetra-normal butyl titanate, butyl titanate dimer, tetraoctyl titanate, titanium acetylacetonate, titanium tetraacetylacetonate, titanium ethylacetoacetate, Organic titanium compounds such as titanium phosphate compounds, titanium octylene glycolate, titanium lactate ammonium salt, titanium lactate, and titanium triethanolaminate; zirconium tetraacetylacetonate, ruconium tetraacetylacetonate, zirconium dibutoxybisethylacetoacetate. , Normal propyl zirconate, normal butyl zirconate, zirconium monoacetylacetonate, etc. Aluminum compounds such as aluminum isopropylate, aluminum ethylate, aluminum ethylacetoacetate diisopropylate, aluminum trisethylacetoacetate, aluminum trisacetylacetonate, aluminum bisethylacetoacetate, monoacetylacetonate, acetoalkoxyaluminum diisopropylate. Organoaluminum compound; Organotin compounds such as monobutyltin tris2-ethylhexanoate, tin octylate, monobutyltin oxide, dibutyltin oxide, dibutyltin laurate, dibutyltin diacetate, and monobutyltin hydroxyoxide.
When the silver powder is 100 parts by mass, the content of the additive is generally 10 parts by mass or less (for example, 0.5 parts by mass to 10 parts by mass), typically 5 parts by mass or less (for example, 1 part by mass to 1 part by mass). 5 parts by weight).
When the flexible epoxy resin is 100 parts by mass, the content of the additive is generally 5 parts by mass or more (for example, 5 parts by mass to 40 parts by mass), preferably 10 parts by mass or more (for example, 10 parts by mass). ˜35 parts by mass), more preferably 20 parts by mass or more (eg 20 parts by mass to 30 parts by mass). Thereby, the effect of the present invention can be exhibited at a higher level.

<導電性接着剤の調製>
このような導電性接着剤は、上述した材料を所定の含有率(質量比)になるよう秤量し、均質に撹拌混合することによって調製することができる。材料の撹拌混合は、従来公知の種々の攪拌混合装置、例えば三本ロールミル、マグネチックスターラー、プラネタリーミキサー、ディスパー等を用いて行うことができる。
<Preparation of conductive adhesive>
Such a conductive adhesive can be prepared by weighing the above-mentioned materials so as to have a predetermined content rate (mass ratio) and uniformly stirring and mixing them. The materials can be stirred and mixed by using various conventionally known stirring and mixing devices such as a three-roll mill, a magnetic stirrer, a planetary mixer, and a disper.

<接合>
ここで開示される導電性接着剤は、圧電体と該圧電体の一面に設けられた電極とを備える単数または複数の圧電ユニットからなる圧電素子において、圧電ユニットの電極と所定の外部導体との接合あるいは圧電ユニット同士の接合に好適に用いられる。接合方法としては、従来のこの種の導電性接着剤と同様に行うことができる。例えば、圧電ユニットの電極と所定の外部導体とを接合する場合、接合対象である圧電ユニットの電極と外部導体の被接合部分とを相互に接触・接続し、当該接続した部分に導電性接着剤を塗布する。あるいは、圧電ユニットの電極上に導電性接着剤を塗布し、その上に外部導体の被接合部分を接触・接続する。そして、かかる塗布物を適当な温度(典型的には150〜250℃、好ましくは160〜240℃、例えば180〜220℃)で、所定時間(典型的には1〜60分、例えば20〜40分)乾燥させる。これによって、上記塗布物を硬化させて、圧電ユニットの電極と外部導体との接合部を形成することができる。
<Join>
The conductive adhesive disclosed herein is a piezoelectric element composed of a single or a plurality of piezoelectric units provided with a piezoelectric body and an electrode provided on one surface of the piezoelectric body, and is composed of an electrode of the piezoelectric unit and a predetermined outer conductor. It is preferably used for joining or joining piezoelectric units. The joining method can be performed in the same manner as the conventional conductive adhesive of this type. For example, when the electrode of the piezoelectric unit and a predetermined outer conductor are joined, the electrode of the piezoelectric unit to be joined and the portion to be joined of the outer conductor are contacted and connected to each other, and a conductive adhesive is applied to the connected portion. Apply. Alternatively, a conductive adhesive is applied on the electrodes of the piezoelectric unit, and the joined portion of the outer conductor is contacted and connected thereon. Then, the coated article is kept at an appropriate temperature (typically 150 to 250 ° C., preferably 160 to 240 ° C., for example 180 to 220 ° C.) for a predetermined time (typically 1 to 60 minutes, for example 20 to 40). Min) Dry. As a result, the coating material can be cured to form a joint between the electrode of the piezoelectric unit and the external conductor.

このようにして形成された接合部は、平均アスペクト比As1.4以上のフレーク状銀粉と柔軟性エポキシ樹脂とを含有する導電性接着剤を用いて形成されていることから、低抵抗なものとなり得る。典型的には、当該接合部の体積抵抗率が100μΩ・cm以下、好ましくは80μΩ・cm以下、より好ましくは60μΩ・cm以下、さらに好ましくは50μΩ・cm以下、特に好ましくは30μΩ・cm以下であり得る。また、かかる接合部は、従来に比して、低い破断強度を示すものであり得る。例えば、加熱硬化直後の初期破断強度が20MPa以下、より好ましくは18MPa以下、さらに好ましくは16MPa以下、特に好ましくは13MPa以下であり得る。さらに、上記接合部は、高温環境下で放置すると、さらに破断強度が低下傾向となり得る。例えば、180℃で300時間保持した後の破断強度が10MPa以下であり得る。なお、本明細書において体積抵抗率は、一般的な抵抗率計を用いて4探針法で測定した値が採用され得る。また、破断強度は、一般的な引張試験機を用いて室温にて引張速度0.5mm/minで測定した値が採用され得る。   The joint thus formed has a low resistance because it is formed by using a conductive adhesive containing flake-shaped silver powder having an average aspect ratio As1.4 or more and a flexible epoxy resin. obtain. Typically, the volume resistivity of the junction is 100 μΩ · cm or less, preferably 80 μΩ · cm or less, more preferably 60 μΩ · cm or less, further preferably 50 μΩ · cm or less, and particularly preferably 30 μΩ · cm or less. obtain. Further, such a joint portion may exhibit a lower breaking strength than the conventional one. For example, the initial breaking strength immediately after heat curing may be 20 MPa or less, more preferably 18 MPa or less, further preferably 16 MPa or less, and particularly preferably 13 MPa or less. Furthermore, if the joint is left in a high temperature environment, the breaking strength may tend to further decrease. For example, the breaking strength after holding at 180 ° C. for 300 hours may be 10 MPa or less. In the present specification, the volume resistivity may be a value measured by a four-probe method using a general resistivity meter. Further, as the breaking strength, a value measured at room temperature at a pulling rate of 0.5 mm / min using a general tensile tester can be adopted.

<圧電素子>
ここに開示される技術によると、圧電体と該圧電体の一面に設けられた電極とを備える単数または複数の圧電ユニットからなる圧電素子が提供され得る。この圧電素子は、圧電ユニットの電極と所定の外部導体との接合部あるいは該圧電ユニット同士の接合部が、前述した圧電素子用導電性接着剤の硬化物により構成されており、該接合部の体積抵抗率が100μΩ・cm以下であり、かつ、破断強度が20MPa以下である。かかる圧電素子は、接合部の体積抵抗率および破断強度が従来に比して低いため、より高性能(例えば圧電体にクラックが生じ難く、なおかつ低抵抗)なものであり得る。
<Piezoelectric element>
According to the technology disclosed herein, it is possible to provide a piezoelectric element including a single or a plurality of piezoelectric units each including a piezoelectric body and an electrode provided on one surface of the piezoelectric body. In this piezoelectric element, the joint between the electrode of the piezoelectric unit and a predetermined outer conductor or the joint between the piezoelectric units is made of a cured product of the above-mentioned conductive adhesive for piezoelectric element. The volume resistivity is 100 μΩ · cm or less, and the breaking strength is 20 MPa or less. Such a piezoelectric element may have higher performance (for example, a piezoelectric body is less likely to be cracked and has a low resistance) because the volume resistivity and the breaking strength of the bonded portion are lower than those of the related art.

ここで開示される圧電素子の好適例として、接合部の体積抵抗率が100μΩ・cm以下であり、かつ破断強度が20MPa以下であるもの;接合部の体積抵抗率が80μΩ・cm以下であり、かつ破断強度が18MPa以下であるもの;接合部の体積抵抗率が600μΩ・cm以下であり、かつ破断強度が16MPa以下であるもの;接合部の体積抵抗率が40μΩ・cm以下であり、かつ破断強度が13MPa以下であるもの;等が挙げられる。このような所定範囲内の接合部の体積抵抗率および破断強度を両立して有することにより、従来得ることができなかった高性能な圧電素子を実現することができる。   As a preferred example of the piezoelectric element disclosed herein, a volume resistivity of the joint is 100 μΩ · cm or less and a breaking strength is 20 MPa or less; the volume resistivity of the joint is 80 μΩ · cm or less, And the breaking strength is 18 MPa or less; the volume resistivity of the joint is 600 μΩ · cm or less and the fracture strength is 16 MPa or less; the volume resistivity of the joint is 40 μΩ · cm or less and the fracture is Those having a strength of 13 MPa or less; and the like. By having both the volume resistivity and the breaking strength of the joint portion within such a predetermined range, it is possible to realize a high-performance piezoelectric element that could not be obtained conventionally.

以下、本発明に関するいくつかの実施例を説明するが、本発明を係る実施例に示すものに限定することを意図したものではない。   Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described, but the present invention is not intended to be limited to those shown in the embodiments.

導電性接着剤の構成成分として、以下の材料を準備した。
<銀粉(6種類)>
・フレーク状銀粉1(福田金属箔粉工業株式会社製「AgC−A」:平均長径3.5μm、平均短径2μm、平均厚み0.6μm、平均アスペクト比As1.8、平均長径/平均厚み5.8)
・フレーク状銀粉2(DOWAエレクトロニクス株式会社製「FA−D−2」:平均長径5μm、平均短径2.5μm、平均厚み0.5μm、平均アスペクト比As2、平均長径/平均厚み8.3)
・フレーク状銀粉3(DOWAエレクトロニクス株式会社製「FA−D−3」:平均長径7μm、平均短径4μm、平均厚み0.7μm、平均アスペクト比As1.8、平均長径/平均厚み10)
・フレーク状銀粉4(株式会社徳力化学研究所製「TC703S」:平均長径0.7μm、平均短径0.5μm、平均厚み0.2μm、平均アスペクト比As1.4、平均長径/平均厚み3.5)
・フレーク状銀粉5(株式会社徳力化学研究所製「TC910」:平均長径0.9μm、平均短径0.8μm、平均厚み0.4μm、平均アスペクト比As1.1、平均長径/平均厚み2.25)
・球状銀粉(DOWAエレクトロニクス株式会社製「AG2−8」)
<エポキシ樹脂(4種類)>
・柔軟性エポキシ樹脂1(DIC株式会社製「EPICLON EXA4816」:ポリアルキレンオキシ化ビスフェノールA、エポキシ当量400)
かかる柔軟性エポキシ樹脂1の前記動的弾性率は890MPaである。
・柔軟性エポキシ樹脂2(DIC株式会社製「EPICLON 4850−150」:ポリアルキレンオキシ化ビスフェノールA、エポキシ当量450)
・非柔軟性エポキシ樹脂1(DIC株式会社製「HP4710」:エポキシ当量172)
・非柔軟性エポキシ樹脂2(DIC株式会社製「HP7200」:エポキシ当量258)
<硬化剤>
・味の素ファインテクノ株式会社製「PN50」:エポキシ・イミダゾールアダクト
<添加剤>
・マツモトファインケミカル株式会社製:ジルコニウムテトラアセチルアセトナート
<溶剤>
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセタート
The following materials were prepared as constituent components of the conductive adhesive.
<Silver powder (6 types)>
Flake silver powder 1 ("AgC-A" manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd .: average major axis 3.5 µm, average minor axis 2 µm, average thickness 0.6 µm, average aspect ratio As 1.8, average major axis / average thickness 5 .8)
Flake silver powder 2 (“FA-D-2” manufactured by DOWA Electronics Co., Ltd .: average major axis 5 μm, average minor axis 2.5 μm, average thickness 0.5 μm, average aspect ratio As2, average major axis / average thickness 8.3)
-Flake silver powder 3 ("FA-D-3" manufactured by DOWA Electronics Co., Ltd .: average major axis 7 µm, average minor axis 4 µm, average thickness 0.7 µm, average aspect ratio As 1.8, average major axis / average thickness 10)
-Flake silver powder 4 ("TC703S" manufactured by Tokuriki Kagaku Kenkyusho Co., Ltd .: average major axis 0.7 µm, average minor axis 0.5 µm, average thickness 0.2 µm, average aspect ratio As1.4, average major axis / average thickness 3. 5)
Flake silver powder 5 (“TC910” manufactured by Tokuriki Kagaku Kenkyusho Co., Ltd .: average major axis 0.9 μm, average minor axis 0.8 μm, average thickness 0.4 μm, average aspect ratio As1.1, average major axis / average thickness 2. 25)
・ Spherical silver powder (“AG2-8” manufactured by DOWA Electronics Co., Ltd.)
<Epoxy resin (4 types)>
-Flexible epoxy resin 1 ("EPICLON EXA4816" manufactured by DIC Corporation: polyalkyleneoxylated bisphenol A, epoxy equivalent 400)
The dynamic elastic modulus of the flexible epoxy resin 1 is 890 MPa.
-Flexible epoxy resin 2 ("EPICLON 4850-150" manufactured by DIC Corporation: polyalkyleneoxylated bisphenol A, epoxy equivalent 450)
-Non-flexible epoxy resin 1 ("HP4710" manufactured by DIC Corporation: epoxy equivalent 172)
-Non-flexible epoxy resin 2 ("HP7200" manufactured by DIC Corporation: epoxy equivalent 258)
<Curing agent>
・ "PN50" manufactured by Ajinomoto Fine-Techno Co., Ltd .: Epoxy-imidazole adduct <additive>
・ Matsumoto Fine Chemical Co., Ltd .: Zirconium tetraacetylacetonate <solvent>
・ Diethylene glycol monobutyl ether acetate

上記材料を表1に示す組成比(質量部)になるよう混合して導電性接着剤(例1〜18)を調製した。   The above materials were mixed so as to have the composition ratio (parts by mass) shown in Table 1 to prepare conductive adhesives (Examples 1 to 18).

Figure 0006683461
Figure 0006683461

<体積抵抗率の測定>
各例の導電性接着剤をガラス基板の表面に印刷し、200℃で30分間の加熱乾燥を行うことによって基板上に導電性接着剤の加熱硬化膜を形成した。この加熱硬化膜の体積抵抗率を、株式会社三菱化学アナリテック製の抵抗率計(型式:ロレスタGP MCP−T610)を用いて4探針法で測定した。結果を表1の「体積抵抗率」の欄に示す。圧電素子用導電性接着剤の体積抵抗率としては、100μΩ・cm以下であることが好ましい。
<Measurement of volume resistivity>
The conductive adhesive of each example was printed on the surface of a glass substrate, and heat-dried at 200 ° C. for 30 minutes to form a heat-cured film of the conductive adhesive on the substrate. The volume resistivity of this heat-cured film was measured by a 4-probe method using a resistivity meter (model: Loresta GP MCP-T610) manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd. The results are shown in the "Volume resistivity" column of Table 1. The volume resistivity of the conductive adhesive for a piezoelectric element is preferably 100 μΩ · cm or less.

<破断強度の測定>
アプリケータを用いて各例の導電性接着剤を膜厚120μmの膜状に成形し、200℃で30分間の加熱乾燥を行うことによって10mm×30mmの試験片を作製した。そして、硬化直後の試験片を引張試験機(株式会社オリエンテック製、引張・圧縮試験機RTC−1210)を用いて下記条件にて引っ張り、破断強度(初期破断強度)を測定した。また、試験片を180℃で100時間保持した後の破断強度と、180℃で300時間保持した後の破断強度を同様の手順で測定した。結果を表1の「初期破断強度」、「100時間後破断強度」、「300時間後破断強度」の欄に示す。圧電素子用導電性接着剤の破断強度としては、20MPa以下であることが好ましい。
引張速度:0.5mm/min
標線間距離(測定距離):20mm
測定温度:室温
<Measurement of breaking strength>
A conductive adhesive of each example was formed into a film having a film thickness of 120 μm using an applicator, and heat-dried at 200 ° C. for 30 minutes to prepare a 10 mm × 30 mm test piece. Then, the test piece immediately after curing was pulled under the following conditions using a tensile tester (a tensile / compression tester RTC-1210 manufactured by Orientec Co., Ltd.), and the breaking strength (initial breaking strength) was measured. Further, the breaking strength after holding the test piece at 180 ° C. for 100 hours and the breaking strength after holding at 180 ° C. for 300 hours were measured by the same procedure. The results are shown in the columns of "Initial breaking strength", "100 hour breaking strength", and "300 hour breaking strength" in Table 1. The breaking strength of the conductive adhesive for a piezoelectric element is preferably 20 MPa or less.
Tensile speed: 0.5mm / min
Gauge distance (measurement distance): 20 mm
Measurement temperature: room temperature

<接着性試験>
アルミナ基板の表面に銀膜の焼結体を形成した。かかる銀膜上に各例の導電性接着剤を印刷し、200℃で30分間の加熱乾燥を行うことによって銀膜上に導電性接着剤の加熱硬化膜を形成した。次いで、180℃で300時間保持した後、加熱硬化膜にセロハンテープ(登録商標:ニチバン株式会社製CT−24)を貼付し、荷重を加えて密着させた。そして、セロハンテープを剥がし、加熱硬化膜が銀膜から剥がれなかったものを「○」、加熱硬化膜が銀膜から剥がれたものを「×」と評価した。結果を表1の「300時間後接着性」の欄に示す。
<Adhesion test>
A silver film sintered body was formed on the surface of the alumina substrate. The conductive adhesive of each example was printed on the silver film, and heat-dried at 200 ° C. for 30 minutes to form a heat-cured film of the conductive adhesive on the silver film. Next, after holding at 180 ° C. for 300 hours, cellophane tape (registered trademark: CT-24 manufactured by Nichiban Co., Ltd.) was attached to the heat-cured film, and a load was applied to bring them into close contact. Then, the cellophane tape was peeled off, and the one in which the heat-cured film was not peeled from the silver film was evaluated as "◯", and the one in which the heat-cured film was peeled from the silver film was evaluated as "x". The results are shown in the column of "Adhesion after 300 hours" in Table 1.

表1に示すように、平均アスペクト比As1.1の銀粉を用いた例5は、体積抵抗率が150μΩ・cm以上となり、例1〜4に比べて導電性が不足していた。また、フレーク状銀粉と球形銀粉との質量比を20:80とした例9は、例1、6〜8に比べて、体積抵抗率および初期破断強度がいずれも増大傾向となった。さらに、平均アスペクト比As1.4以上のフレーク状銀粉と非柔軟性エポキシ樹脂とを用いた例17、18は、例12、15に比べて、体積抵抗率および初期破断強度がいずれも増大傾向となった。
これに対し、銀粉と柔軟性エポキシ樹脂とを含み、銀粉の少なくとも40質量%以上を平均アスペクト比As1.4以上のフレーク状銀粉とした例1〜4、6〜8、10〜16は、体積抵抗率がいずれも100μΩ・cm以下となり、良好な導電性を示した。また、初期破断強度がいずれも20MPa以下となり、良好な破断容易性を示した。さらに、300時間後破断強度がいずれも10MPa以下となり、高温環境下で放置すると、さらに破断強度が低下傾向となった。また、300時間後接着性も良好であった。
以上から、銀粉と柔軟性エポキシ樹脂と硬化剤とを含み、銀粉の少なくとも40質量%以上を平均アスペクト比As1.4以上のフレーク状銀粉とすることで、破断強度20MPa以下を達成でき、なおかつ接着性の維持および導電性の良い接合部を形成し得る圧電素子用導電性接着剤を実現できることが確かめられた。
As shown in Table 1, Example 5 using silver powder having an average aspect ratio As1.1 had a volume resistivity of 150 μΩ · cm or more, and lacked conductivity as compared with Examples 1 to 4. Further, in Example 9 in which the mass ratio of the flake-shaped silver powder and the spherical silver powder was 20:80, both the volume resistivity and the initial breaking strength tended to increase as compared with Examples 1 and 6 to 8. Furthermore, in Examples 17 and 18 using the flaky silver powder having an average aspect ratio As1.4 or more and the non-flexible epoxy resin, both the volume resistivity and the initial breaking strength tend to increase as compared with Examples 12 and 15. became.
On the other hand, Examples 1-4, 6-8, 10-16 which contain silver powder and a flexible epoxy resin, and made at least 40 mass% or more of the silver powder into flake silver powder with an average aspect ratio As1.4 or more, All the resistivities were 100 μΩ · cm or less, indicating good conductivity. In addition, the initial breaking strength was 20 MPa or less in all cases, indicating good easiness of breaking. Further, the breaking strength after 300 hours was 10 MPa or less, and when left in a high temperature environment, the breaking strength tended to further decrease. Also, the adhesiveness was good after 300 hours.
From the above, by using at least 40% by mass or more of silver powder as a flake-shaped silver powder having an average aspect ratio As1.4 or more, which contains silver powder, a flexible epoxy resin, and a curing agent, a breaking strength of 20 MPa or less can be achieved, and adhesion is achieved. It was confirmed that it is possible to realize a conductive adhesive for a piezoelectric element, which can maintain the property and form a joint having good conductivity.

以上、本発明を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、本発明はその主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
The present invention has been described in detail above, but these are merely examples, and the present invention can be modified in various ways without departing from the gist thereof.

Claims (8)

圧電素子に用いられる導電性接着剤であって、
銀粉と、柔軟性エポキシ樹脂と、硬化剤とを含み、
前記銀粉の少なくとも40質量%は、平均アスペクト比が1.4以上のフレーク状銀粉であり、
前記柔軟性エポキシ樹脂の含有量が、前記銀粉100質量部に対して5〜30質量部である、圧電素子用導電性接着剤。
A conductive adhesive used for a piezoelectric element,
Contains silver powder, a flexible epoxy resin, and a curing agent,
Wherein at least 40 wt% of silver powder, the average aspect ratio of Ri 1.4 or more flaky silver powder der,
The content of the flexible epoxy resin, the silver powder Ru 5-30 parts by der respect to 100 parts by mass, the conductive adhesive piezoelectric element.
前記フレーク状銀粉の平均アスペクト比が1.8以上である、請求項1に記載の圧電素子用導電性接着剤。   The conductive adhesive for a piezoelectric element according to claim 1, wherein the flake-shaped silver powder has an average aspect ratio of 1.8 or more. 前記フレーク状銀粉の平均長径が0.5μm〜10μmである、請求項1または2に記載の圧電素子用導電性接着剤。   The conductive adhesive for a piezoelectric element according to claim 1, wherein the flake-shaped silver powder has an average major axis of 0.5 μm to 10 μm. 前記柔軟性エポキシ樹脂は、アルキレンオキシ化したビスフェノール型エポキシ樹脂である、請求項1〜3の何れか一つに記載の圧電素子用導電性接着剤。   The conductive adhesive for a piezoelectric element according to claim 1, wherein the flexible epoxy resin is an alkylene-oxylated bisphenol type epoxy resin. 前記柔軟性エポキシ樹脂が、下記式(1):
Figure 0006683461
(ただし、式(1)において、R 〜R は、それぞれ独立に、水素原子またはメチル基であり、Xは、アルキレンオキサイド基、炭素原子数2〜20のアルキレン基、炭素原子数3以上のアルキル基からなる群から選択される基であり、nは、1〜20である。)で表されるポリアルキレンオキシ化したビスフェノール型エポキシ樹脂である、請求項1〜4の何れか一つに記載の圧電素子用導電性接着剤。
The flexible epoxy resin has the following formula (1):
Figure 0006683461
(In the formula (1), R 1 to R 4 are each independently a hydrogen atom or a methyl group, and X is an alkylene oxide group, an alkylene group having 2 to 20 carbon atoms, or 3 or more carbon atoms. Is a group selected from the group consisting of alkyl groups, and n is 1 to 20.), which is a polyalkyleneoxylated bisphenol epoxy resin represented by the formula 1. The electrically conductive adhesive for a piezoelectric element according to item 1.
前記硬化剤がイミダゾール系硬化剤である、請求項1〜5の何れか一つに記載の圧電素子用導電性接着剤。   The conductive adhesive for a piezoelectric element according to claim 1, wherein the curing agent is an imidazole-based curing agent. 前記硬化剤の含有量が、前記柔軟性エポキシ樹脂100質量部に対して15〜30質量部である、請求項1〜6の何れか一つに記載の圧電素子用導電性接着剤。   Content of the said hardening | curing agent is 15-30 mass parts with respect to 100 mass parts of said flexible epoxy resins, The electroconductive adhesive agent for piezoelectric elements as described in any one of Claims 1-6. 圧電体と該圧電体の一面に設けられた電極とを備える単数または複数の圧電ユニットからなる圧電素子であって、
前記圧電ユニットの電極と所定の外部導体との接合部あるいは該圧電ユニット同士の接合部が、請求項1〜7の何れか一つに記載の圧電素子用導電性接着剤の硬化物により構成されており、
該接合部の体積抵抗率が100μΩ・cm以下であり、かつ、破断強度が20MPa以下である、圧電素子。
A piezoelectric element comprising a single or a plurality of piezoelectric units having a piezoelectric body and an electrode provided on one surface of the piezoelectric body,
The joint between the electrode of the piezoelectric unit and a predetermined outer conductor or the joint between the piezoelectric units is made of a cured product of the conductive adhesive for a piezoelectric element according to any one of claims 1 to 7. And
A piezoelectric element in which the volume resistivity of the joint is 100 μΩ · cm or less and the breaking strength is 20 MPa or less.
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