JP6682304B2 - 高周波半導体増幅器用パッケージおよび高周波半導体増幅器 - Google Patents
高周波半導体増幅器用パッケージおよび高周波半導体増幅器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6682304B2 JP6682304B2 JP2016045687A JP2016045687A JP6682304B2 JP 6682304 B2 JP6682304 B2 JP 6682304B2 JP 2016045687 A JP2016045687 A JP 2016045687A JP 2016045687 A JP2016045687 A JP 2016045687A JP 6682304 B2 JP6682304 B2 JP 6682304B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator layer
- semiconductor amplifier
- high frequency
- frequency semiconductor
- package
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Microwave Amplifiers (AREA)
Description
図1(a)は本実施形態にかかる高周波半導体増幅器の模式斜視図、図1(b)はその内部の模式斜視図、である。
高周波半導体増幅器10は、(高周波半導体増幅器用)パッケージ12と、半導体素子90と、キャパシタ80(80a、80b、80c、80d)と、蓋部99と、を有する。
なお、図2(a)、(b)には、高周波半導体増幅器内の配置や接続を説明するために、パッケージ12に半導体素子90の一例であるMMIC90aおよびキャパシタ80a〜80dが搭載されているものとする。なお、本図の構成は略左右対称とするが、本発明はこれに限定されない。
枠部20のリセス部23は、第1の絶縁体層30に設けられ金属板70の一部が露出する第1のリセス部33と、第2の絶縁体層40に設けられ直流バイアス配線部60の一部および金属板70の一部が露出する第2のリセス部43と、を含む。
高周波半導体増幅器110は、パッケージ112と、MMIC190aと、キャパシタ180a〜180dと、蓋部199と、を有する。
パッケージ12において、第1の直線55に沿ったキャビティの長さをbとし、第2の直線56に沿ったキャビティの幅をaとする。すなわち、キャビティのサイズは、実質的に枠部20で囲まれた領域となる。
なお、図6には、高周波半導体増幅器10内の配置や接続を説明するために、パッケージ12にMMIC90aおよびキャパシタ80a〜80dが搭載されているものとする。
12 (高周波半導体増幅器用)パッケージ、
20 枠部、
21 内側面、
22 外側面、
23 リセス部、
24 スルーホール、
26 導電体層、
28 内側面、
30 第1の絶縁体層、
31 上面、
32 下面、
33 第1のリセス部、
40 第2の絶縁体層、
41 上面、
43 第2のリセス部、
44a、44b 第3のリセス部、
49 外側面、
50 信号配線部、
52a (入力)リード、52b (出力)リード、
55 第1の直線、
56 第2の直線、
60 直流バイアス配線部、
62a (ゲートバイアス)リード、62b (ドレインバイアス)リード、
64、65 段間配線部、
70 金属板、
80a〜80d キャパシタ、
90 半導体素子、
a キャビティ幅、
b キャビティ長
Claims (8)
- 第1の絶縁体層と、前記第1の絶縁体層の上面に積層された第2の絶縁体層と、を含む枠部であって、前記第1の絶縁体層には第1のリセス部が設けられた、枠部と、
前記第1の絶縁体層の前記上面に設けられ、信号が伝搬する第1の直線に沿って配置された信号配線部と、
前記第1の絶縁体層の前記上面に設けられ、一部が前記第1のリセス部に隣接しかつ前記枠部内に露出する直流バイアス配線部と、
前記第1の絶縁体層の下面に接合された金属板と、
を備え、
前記第1のリセス部は、前記第1の直線に沿いかつ前記枠部の外側面に向かって後退する、高周波半導体増幅器用パッケージ。 - 前記枠部は前記第2の絶縁体層の表面から前記金属板に到達するスルーホールを有し、前記スルーホール内には導電層が充填された請求項1記載の高周波半導体増幅器用パッケージ。
- 前記第1の絶縁体層の前記上面に設けられた段間配線部を有する、請求項1または2に記載の高周波半導体増幅器用パッケージ。
- 前記第2の絶縁体層には第2のリセス部が設けられ、
前記直流バイアス配線部の前記一部が前記第2のリセス部に露出する、請求項1〜3のいずれか1つに記載の高周波半導体増幅器用パッケージ。 - 前記信号配線部の一部および前記直流バイアス配線部の他の一部は、前記第1の直線に平行にかつ前記第2の絶縁体層の外側面から外側に向かって突出する請求項4記載の高周波半導体増幅器用パッケージ。
- 前記信号配線部の前記一部および前記直流バイアス配線部の前記他の一部に接続されたリードをさらに備えた請求項5記載の高周波半導体増幅器用パッケージ。
- 前記第2の絶縁体層は第3のリセス部をさらに有し、前記信号配線部の前記一部は前記第3のリセス部に露出する請求項4〜6のいずれか1つに記載の高周波半導体増幅器用パッケージ。
- 請求項4〜7のいずれか1つに記載の高周波半導体増幅器用パッケージと、
前記枠部に囲まれ、前記金属板の表面に接合された半導体素子と、
前記枠部の前記第1のリセス部内に配置され、前記金属板に接合され、前記直流バイアス配線部の前記一部に接続された電極とを有するキャパシタと、
を備えた高周波半導体増幅器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016045687A JP6682304B2 (ja) | 2016-03-09 | 2016-03-09 | 高周波半導体増幅器用パッケージおよび高周波半導体増幅器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016045687A JP6682304B2 (ja) | 2016-03-09 | 2016-03-09 | 高周波半導体増幅器用パッケージおよび高周波半導体増幅器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017162971A JP2017162971A (ja) | 2017-09-14 |
JP6682304B2 true JP6682304B2 (ja) | 2020-04-15 |
Family
ID=59857292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016045687A Active JP6682304B2 (ja) | 2016-03-09 | 2016-03-09 | 高周波半導体増幅器用パッケージおよび高周波半導体増幅器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6682304B2 (ja) |
-
2016
- 2016-03-09 JP JP2016045687A patent/JP6682304B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017162971A (ja) | 2017-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6273247B2 (ja) | 高周波半導体増幅器 | |
JPH09321215A (ja) | マイクロ波回路用パッケージ | |
JP2000278009A (ja) | マイクロ波・ミリ波回路装置 | |
JP5377096B2 (ja) | 高周波パッケージ装置およびその製造方法 | |
JP6243510B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP6074695B2 (ja) | 高周波増幅回路 | |
US10396025B2 (en) | Semiconductor device and amplifier apparatus | |
US11588441B2 (en) | Semiconductor amplifier | |
JP3204241B2 (ja) | 導波管接続パッケージ | |
JP6682304B2 (ja) | 高周波半導体増幅器用パッケージおよび高周波半導体増幅器 | |
US9640530B2 (en) | Semiconductor device | |
US9219017B2 (en) | Radio frequency semiconductor device package and method for manufacturing same, and radio frequency semiconductor device | |
JPWO2007108262A1 (ja) | 送受信装置 | |
JP6445490B2 (ja) | 高周波半導体増幅器 | |
WO2021230289A1 (ja) | 伝送部品および半導体装置 | |
JP2021111793A (ja) | 半導体装置 | |
JP6412900B2 (ja) | 高周波半導体用パッケージ | |
JP3311279B2 (ja) | 超高周波用パッケージ | |
US20230163085A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2001345606A (ja) | Mmic増幅器 | |
KR20200131522A (ko) | 내부 정합형 반도체 패키지 | |
JP6557561B2 (ja) | 高周波半導体装置 | |
JPH11298108A (ja) | 回路基板およびそれを用いた電子装置 | |
JPWO2019008751A1 (ja) | 電力増幅器 | |
JP2005317660A (ja) | 電力増幅半導体装置用パッケージ及びそれを用いた電力増幅半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170907 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20170908 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171027 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190521 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6682304 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |