JP6682016B2 - 熱伝導率測定装置および熱伝導率測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、材料の熱伝導率を測定するための熱伝導率測定装置および熱伝導率測定方法に関する。

従来、定常法により樹脂材料、金属材料などの測定対象物の熱物性値（特に熱伝導率）、および樹脂材料、金属材料の部材間の接触熱抵抗を測定する装置として種々の装置が知られている（特許文献１〜５）。

定常法による熱物性測定装置では、加熱部に接続された加熱側挟持部材と冷却部に接続された冷却側挟持部材との間に測定対象物を挟み込む構成を採用している。加熱側挟持部材および冷却側挟持部材は、複数箇所で温度が測定できるように構成されており、測定した温度勾配から測定対象物の熱物性値（熱伝導率など）、部材間の接触熱抵抗を求めている。

特許第５３７９７６０号 特許第３８５８６６０号19,13 特開２００８−３０９７２９号公報 特開２０１１−１０２７６８号公報 特許５５０９１９５号

定常法による熱物性（熱伝導率、接触熱抵抗など）測定装置では、複数の温度測定機構を設けた加熱側挟持部材と、複数の温度測定機構を設けた冷却側挟持部材との間に測定対象物を挟み込んだ状態を維持しながら、熱源に接続された加熱側挟持部材から、測定対象物を通って、冷却源に接続された冷却側挟持部材に一方向に熱を通過させ、両挟持部材に設けた温度測定点での測定温度から測定対象物の熱物性（熱伝導率など）を算出する。部材間の接触熱抵抗を算出する場合は、測定対象物を挟みこまず、加熱側挟持部材および冷却側挟持部材を押圧力を加えた状態で接触させ、両挟持部材に設けた温度測定点の測定温度から接触熱抵抗を算出する。

測定対象物の熱物性値の測定精度を確保するためには、加熱側挟持部材、測定対象物および冷却側挟持部材の順に通過する熱の流れが空間的に偏らないようにする必要がある。
上述の測定装置では、加熱側挟持部材と冷却側挟持部材との間に測定対象物を正常な状態で設置し、つまり加熱側挟持部材、測定対象物および冷却側挟持部材が、熱の通過する方向（鉛直方向）に沿って垂直に並ぶように設置することにより、熱の流れが偏ることなく、加熱側挟持部材、測定対象物および冷却側挟持部材を熱が通過することが可能となる。
一方、加熱側挟持部材と冷却側挟持部材との間に測定対象物を正常でない設置状態で設置した場合、つまり加熱側挟持部材、測定対象物および冷却側挟持部材が、熱の通過する方向（鉛直方向）から傾いてしまった場合には、通過する熱の流れが空間的に偏ってしまい、その結果、測定対象物の熱物性値は正確に測定できない。

加熱側挟持部材、測定対象物、冷却側挟持部材の設置異常を検知するために、例えば、特許文献１では、加熱側挟持部材および冷却側挟持部材の測定対象物と接する面と平行な方向の挟持部材の面内方向の温度ばらつきを測定できる機構を設け、面内方向の温度ばらつきが一定値以上となった場合、設置異常として検知するシステムが開示されている。

しかしながら、加熱側挟持部材、測定対象物および冷却側挟持部材の設置異常を検知するシステムを追加することによって、装置が複雑化してしまい、コストも増加する。また、設置状態に十分に注意しながら作業しなければならず、また測定を開始しなければ異常が検知できないため、設置状態によっては測定に時間がかかり、作業効率の悪い測定となってしまう。また、設定する温度ばらつきの閾値によっては、測定対象物の熱物性値を正確に測定できないという課題がある。

本発明の目的は、測定のセッティング時間、調整時間の短縮化が図れ、効率的かつ測定精度の高い熱伝導率測定装置を提供することである。

本発明の１つの形態は、
測定対象物と接触する接触端面および接触端面とは反対側にある遠位端面を有する第１挟持部材と、
測定対象物と接触する接触端面および接触端面とは反対側にある遠位端面を有し、第１挟持部材とともに測定対象物を挟持する第２挟持部材と、
第１挟持部材の遠位端面に、対向する２つの面を有する第１軸補正部材を挟んで当接する当接端面と、当接端面とは反対側にある遠位端面とを有し、第１挟持部材を加熱する加熱部材と、
第２挟持部材の遠位端面に、対向する２つの面を有する第２軸補正部材を挟んで当接する当接端面と、当接端面とは反対側にある遠位端面とを有し、第２挟持部材を冷却する冷却部材と、
第１挟持部材および第２挟持部材に設けられた複数の温度センサと、
加熱部材と冷却部材との間に押圧力を印加する押圧力印加機構と、を含み、
第１軸補正部材および第２軸補正部材の少なくとも１つの面は凸型の湾曲形状を有する湾曲面であり、他の面は平坦な平坦面であることを特徴とする熱伝導率測定装置である。

また、本発明の他の形態は、
測定対象物と接触する接触端面および接触端面とは反対側にある遠位端面を有する第１挟持部材と、
測定対象物と接触する接触端面および接触端面とは反対側にある遠位端面を有し、第１挟持部材とともに測定対象物を挟持する第２挟持部材と、
第１狭持部材の遠位端面に対向する当接端面を有し、第１狭持部材を加熱する加熱部材と、
第２狭持部材の遠位端面に対向する当接端面を有し、第２狭持部材を冷却する冷却部材と、
第１狭持部材の遠位端面と加熱部材の当接端面、または第２狭持部材の遠位端面と冷却部材の当接端面の、少なくともいずれか一方に挟まれた、遠位端面と当接端面に対向する２つの面を有する軸補正部材と、
第１挟持部材および第２挟持部材に設けられた複数の温度センサと、を含み、
軸補正部材の少なくとも１つの面は凸型の湾曲形状を有する湾曲面であることを特徴とする熱伝導率測定装置である。

また、本発明の他の形態は、
測定対象物と接触する接触端面および接触端面とは反対側にある遠位端面を有する第１挟持部材と、
測定対象物と接触する接触端面および接触端面とは反対側にある遠位端面を有し、第１挟持部材とともに測定対象物を挟持する第２挟持部材と、
第１狭持部材の遠位端面に対向する当接端面を有し、第１狭持部材を加熱する加熱部材と、
第２狭持部材の遠位端面に対向する当接端面を有し、第２狭持部材を冷却する冷却部材と、
第１狭持部材の遠位端面と加熱部材の当接端面、または第２狭持部材の遠位端面と冷却部材の当接端面の、少なくともいずれか一方に挟まれた、遠位端面と当接端面に対向する２つの面を有する軸補正部材と、
第１挟持部材および第２挟持部材に設けられた複数の温度センサと、を含み、
軸補正部材の少なくとも１つの面は凸型の湾曲形状を有する湾曲面であり、他の面は平坦な平坦面であることを特徴とする熱伝導率測定装置である。

また、本発明の他の形態は、
熱伝導率測定装置を準備する工程と、
第１挟持部材と第２挟持部材との間に測定対象物を挟む工程と、
押圧力印加機構で、加熱部材と冷却部材との間に押圧力を印加する工程と、
加熱部材で第１挟持部材を加熱し、かつ冷却部材で第２挟持部材を冷却する工程と、
第１挟持部材および第２挟持部材の温度を温度センサで測定し、測定対象物の熱伝導率を検出する工程と、を含むことを特徴とする熱伝導率測定方法でもある。

本発明によれば、第１挟持部材と加熱部材との間に第１軸補正部材を挟み、第２挟持部材と冷却部材との間に第２軸補正部材を挟み、第１軸補正部材および第２軸補正部材の少なくとも１つの面を凸型湾曲形状の湾曲面、他の面を平坦面とすることにより、押圧力を加えるだけで、特別な調整なしに、加熱側挟持部材、測定対象物、冷却側挟持部材の３部材の軸を一致させることができ、測定対象物の面内方向の温度バラつきを大幅に抑制することができる。このため測定のセッティング時間、調整時間の短縮化が図れ、効率的かつ高精度の測定が可能になる。

本発明の実施の形態１にかかる熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態１にかかる他の熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態１にかかる他の熱伝導率測定装置の構成図である。 測定対象物および挟持部材が傾いた状態を示す説明図である。 正確な測定ができている場合の、挟持部材内の等温線である。 正確な測定ができていない場合の、挟持部材内の等温線である。 加熱ブロックユニットの金属ブロックの平行度が出ていないことにより加熱側挟持部材が傾いた場合の本発明の効果を示す説明図である。 挟持部材の遠位端面における接触状態を示す説明図であり、（ａ）は部分接触、（ｂ）は全面接触をそれぞれ示す。 本発明の実施の形態２にかかる熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態３にかかる熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態３にかかる加熱側軸補正部材の平面図である。 本発明の実施の形態３にかかる他の加熱側軸補正部材の平面図である。 本発明の実施の形態４にかかる熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態５にかかる熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態５にかかる熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態５にかかる他の熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態５にかかる他の熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態５にかかる他の熱伝導率測定装置の構成図である。 本発明の実施の形態５にかかる他の熱伝導率測定装置の構成図である。

実施の形態１．
図１は、全体が１００で示される、本発明の実施の形態１にかかる熱伝導率測定装置の構成図である。熱伝導率測定装置１００では、測定対象物８を挟持する加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９が、加熱ブロックユニット５と冷却ブロックユニット６との間に挟まれて、押圧力調整用ネジ１４で押圧力を印加できるようになっている。

加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９は、同じ材質を用いて同じ形状となるように構成され、測定対象物８と接触する接触端面および接触端面とは反対にある遠位端面を有するような立体形状、例えば、角柱形状や円柱形状に形成される。接触端面と遠位端面は、互いに平行な平面である。また、その材質として、比較的高い熱伝導率を有する材料、例えば、銅、アルミニウムが用いられ、これにより、測定対象物８の熱物性を精度良く測定できる。その他の材料として、アルミニウム合金、ステンレス鋼なども使用できる。

加熱ブロックユニット５は、比較的高い熱伝導率を有する材料、例えば、銅、アルミニウムなどで形成され、加熱側挟持部材７の遠位端面に、加熱側軸補正部材５１を介して当接する当接端面を有する金属ブロックと、加熱素子、例えば、セラミックヒーター、カートリッジヒーターなどで構成される。金属ブロックは、熱を拡散して温度を均等にする機能を有し、加熱素子との接合箇所には、接触熱抵抗を低減するための熱伝導グリスが必要に応じて塗布される。加熱素子は、発熱量を制御するための加熱ブロックユニット制御機器１８と接続される。

冷却ブロックユニット６は、比較的高い熱伝導率を有する材料、例えば、銅、アルミニウムなどで形成され、冷却側挟持部材９の遠位端面に、冷却側軸補正部材５２を介して当接する当接端面を有する金属ブロックと、冷却素子、例えば、水冷冷却ユニット、ペルチェ素子、ヒートシンクと冷却ファンの組合せなどで構成される。金属ブロックは、熱を拡散して温度を均等にする機能を有し、冷却素子との接合箇所には、接触熱抵抗を低減するための熱伝導グリスが必要に応じて塗布される。冷却素子は、排熱量を制御するための冷却ブロックユニット制御機器１９と接続される。

加熱側軸補正部材５１および冷却側補正部材５２は、銅、アルミニウムなどの比較的高い熱伝導率を有する材料が用いられ、これにより加熱ブロックユニットで発生した熱を加熱側挟持部材へ効率よく伝導させることができる。また、加熱側挟持部材７、測定対象物８を通過して冷却側挟持部材９に伝導してきた熱を、冷却ブロックユニット６を介して効率よく排出させることができる。

本発明の実施の形態１にかかる熱伝導率測定装置１００では、加熱側挟持部材７と加熱ブロックユニット５との間、および冷却側挟持部材９と冷却ブロックユニット６との間に、それぞれ挟んで保持される、平板状の加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２を有する。加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２は、取り外し可能でも良い。

加熱側軸補正部材５１は、加熱ブロックユニット５側の端面は平面Ｒ形状（凸型円筒面）または球面Ｒ形状（凸型球面）となっている。同様に、冷却側軸補正部材５２は冷却ブロックユニット６側の端面は平面Ｒ形状または球面Ｒ形状となっている。また、平面Ｒ形状または球面Ｒ形状に対向する面は、Ｒ面よりも相対的に平坦であることが好ましく、これにより、より精度よく測定することが可能になる。

加熱側軸補正部材５１は、加熱側挟持部材７の遠位端面全体を覆い、平面Ｒ形状の頂点が、加熱側挟持部材７の中心軸上に配置されることが好ましい。これは、冷却側軸補正部材５２も同様である。

なお、加熱ブロックユニット５の金属ブロックと加熱側軸補正部材５１との間、および冷却側軸補正部材５２と冷却ブロックユニット６の金属ブロックとの間には、接触熱抵抗を低減するために、熱伝導グリス１０がそれぞれ塗布されている。

こうした構成では、加熱ブロックユニット５で発生した熱が、加熱側軸補正部材５１を介して加熱側挟持部材７に伝達され、測定対象物８を通って冷却側挟持部材９に伝達され、冷却側軸補正部材５２を介して冷却ブロックユニット６から排出される。このように熱が一定方向に通過する際、各部材の熱伝導率および部材間の接触熱抵抗の相違に応じて、温度勾配が形成されるようになる。

加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の側面には、長手方向に沿って複数の孔が形成される。各孔には、温度センサとして熱電対４が挿入され、温度測定点が加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の軸心に一致するように固定される。これら複数の熱電対４によって垂直位置に対応した温度分布が測定可能になる。測定値は、温度測定用機器３に入力され、温度の常時モニタリングが可能となる。これらの測定値から、測定対象物８を通過した熱量を算出し、測定対象物８の熱物性値、部材間の接触熱抵抗を算出することができる。こうした演算機能は、温度測定用機器３に内蔵してもよく、またはネットワークで接続された外部コンピュータに搭載してもよい。

冷却ブロックユニット６は、土台１７の中央に設置される。土台１７の端部には、複数（図１では２本）のシャフト１５が設けられる。土台１７の上方には、支持板１２がシャフト１５の案内によって垂直方向に変位可能に設けられる。加熱ブロックユニット５は、支持板１２に取り付けられる。シャフト１５の上端には、上板１６が固定される。こうした複数のシャフト１５を設けることによって、加熱ブロックユニット５、加熱側軸補正部材５１、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９、冷却側軸補正部材５２、および冷却ブロックユニット６の垂直アライメントを確保することができる。

熱伝導率測定装置１００は、さらに、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９を介して、測定対象物８に加わる押圧力を調整するために押圧力調整機構５０を備える。押圧力調整機構５０は、例えば、加熱ブロックユニット５の上部に設置され、加熱ブロックユニット５を支持する支持板１２と、支持板１２の上に設置され、押圧力をモニタリングするためのロードセル１１と、ロードセル１１の上に設置され、ロードセル１１に押圧力を伝えるためのスペーサ１３と、上板１６に固定され、スペーサ１３を介してロードセル１１に押圧力を加えるための押圧力調整用ネジ１４で構成される。ロードセル１１によって測定された押圧力は、測定制御機器２に入力され、押圧力の常時モニタリングが可能となる。

次に、押圧力の調整方法について説明する。測定対象物８の熱物性を測定する際、加熱ブロックユニット５から与えた熱は、加熱側軸補正部材５１、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９、および冷却側軸補正部材５２を通過して、冷却ブロックユニット６に到達する。この通過する熱によって、加熱ブロックユニット５、加熱側軸補正部材５１、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９、冷却側軸補正部材５２、および冷却ブロックユニット６の各部材の温度は上昇する。各部材の温度上昇に伴い、各部材は膨張し、ロードセル１１に加わる押圧力は測定中に変化する。測定対象物８の熱物性測定では、測定対象物８に加わる押圧力を一定に制御する必要があるため、表示された押圧力に応じて、押圧力調整用ネジ１４を調整する必要がある。ここで、所定の押圧力からの変動が±５％、好ましくは、所定の押圧力からの変動が±１％であれば、測定対象物の熱物性を精度良く測定可能である。よって、本発明での「一定の押圧力」は、所定の押圧力からの変動が±５％、より好ましくは、±１％の範囲とする。このためロードセル１１に加わった押圧力をフィードバックして押圧力調整用ネジ１４を調整し、押圧力を所定の一定値に自動的に制御する押圧力制御装置を設けることが好ましい。これにより手動作業を省いて、測定の自動化が可能となる。なお、支持板１２、スペーサ１３は充分な剛性を有する金属で構成することが望ましい。

図２の熱伝導率測定装置１１０に示すように、加熱ブロックユニット５と支持板１２との間に断熱板２０を設けても構わない。これにより加熱ブロックユニット５から支持板１２に伝わる熱量を低減し、測定対象物８に伝わる熱量を増加できる。

測定対象物８の熱物性を測定する場合、測定対象物８の厚み情報も重要となる。図３の熱伝導率測定装置１２０に示すように、測定状態での、加熱側軸補正部材５１、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９、および冷却側軸補正部材５２の合計厚みを測定し、表示できる厚み表示機器２１を設けてもよい。厚み表示機器２１には、レーザ距離計、光学スケール、磁気スケールなどが用いられる。ただし、図３に示す位置でなくても、測定対象物８の厚みが算出できる位置および機構であれば、他の位置に設けてもよい。加熱側挟持部材７、冷却側挟持部材９、加熱側軸補正部材５１、および冷却側軸補正部材５２の厚みをノギス、マイクロメータなどにより事前に測定しておくことで、厚み表示機器２１に表示された厚みから、測定対象物８のより正確な厚みを算出することが可能となる。

なお、図２、３の構成は、実施の形態２〜５に記載した熱伝導率測定装置にも適用することができる。

加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９は、直径１０ｍｍ〜３０ｍｍ、高さ３０〜１００ｍｍの円柱形状とすることで、測定対象物８の熱物性値、部材間の接触熱抵抗を正確に精度良く測定できる。加熱側挟持部材７、冷却側挟持部材９の形状はこれに限定されるものではなく、四角柱等の形状でも同様の効果を得ることができる。加熱側挟持部材７、冷却側挟持部材９が測定対象物８と接触する面（接触端面）は、平坦に加工され、加工面の表面粗さはＲａが小さいほど好ましい。実験では、Ｒａ＝０．８程度に仕上げることで測定対象物８の正確な熱物性を測定することが可能となる。ただし、当接端面の表面粗さはこの値に限定されるものではない。

測定対象物８は、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の接触端面の間に挿入、固定される。測定対象物８が流体である場合、ディスペンサ、スクリーン印刷により、規定の厚みに調整されて、加熱側挟持部材７と冷却側挟持部材９との間に塗布される。なお、加熱側挟持部材７と冷却側挟持部材９は、測定対象物８自体の粘着力、接着力によって固定されてもよく、または粘着テープなどの補助部材を使用して固定してもよい。

また、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の表面から空気への熱伝達による放熱を低減するために、挟持部材７、９の周囲に断熱材を巻きつけてもよい。測定対象物８の熱物性測定時には、測定対象物８が挟み込まれた加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９は一体化して冷却ブロックユニット６上に、冷却側軸補正部材５２を介して設置され、その後、その上に加熱側軸補正部材５１を介して加熱ブロックユニット５が配置される。
このとき、押圧力調整機構の押圧力調整用ネジ１４を締めなくても、各部材、特に加熱ブロックユニット５の自重で押圧力が加わる。なお、より好ましくは、押圧力調整機構の押圧力調整用ネジ１４を締めることである。これにより、加熱側軸補正部材５１、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９、および冷却側軸補正部材５２には一定の押圧力が加えられた状態となり、この状態で熱物性の測定を開始する。

なお、図１では、加熱ブロックユニット５の金属ブロックと、加熱側軸補正部材５１との間、および冷却ブロックユニット６の金属ブロックとの間に、熱伝導グリス１０が塗布されているが、加熱側軸補正部材５１と加熱側挟持部材７との間、冷却側挟持部材９と冷却側軸補正部材５２との間にも熱伝導グリスを塗布しても構わない。

上述のように、加熱側軸補正部材５１の、加熱ブロックユニット５と接する遠位端面、および冷却側軸補正部材５２の、冷却ブロックユニット６と接する遠位端面は、平面Ｒ形状もしくは球面Ｒ形状であるが、加熱側軸補正部材５１と冷却側軸補正部材５２のいずれか一方のみが平面Ｒ形状もしくは球面Ｒ形状でも良い。なお、軸補正部材５１、５２と挟持部材７、９とが接する当接端面等の他の端面は平面形状である。

従来構造では、加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２は無く、挟持部材７、９の遠位端面は平坦であった。このため、測定対象物８の熱物性を正確に測定するためには、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９を熱が通過する際に、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の面内方向（軸に垂直な面）の温度分布が、図５の等温線グラフに示すように、熱が偏りなく軸中心対称に通過し、面内の温度バラつきをできる限り小さくする必要があった。このグラフにおいて、符号２５は熱電対４の温度測定点を示し、符号２６は特定温度の等温線を示す。

このように加熱ブロックユニット５から加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９、冷却ブロックユニット６の軸中心に熱が通過するためには、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９の３部材の軸が一致した状態、即ち加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の軸芯と測定対象物８の中心軸とが一直線上になるように設置される必要がある。

しかし、加熱ブロックユニット５および冷却ブロックユニット６に比べて、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９は小さいため、押圧力調整用ネジ１４を調整して加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９の各部材に押圧力を加えた際に、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９の３部材の軸がズレてしまうことが考えられる。現実には、機械加工、表面処理などで作製される加熱部材の当接端面、冷却部材の当接端面の平行度、平面度を考えると、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９の３部材の軸は、一直線にはならず、大小はあるものの少なからずズレていることが通常である。

図４は、その一例として、加熱ブロックユニット５の金属ブロックの平行度が出ていない例、即ち、金属ブロックの下面が水平で無い場合を示す。加熱ブロックユニット５の金属ブロックの平行度が出ていない場合、押圧力を加えると、加熱側挟持部材７の遠位端面は、金属ブロックの平行度が出ていない当接端面に倣ってしまい、加熱側挟持部材７の当接端面と測定対象物８は片当たりしてしまう。

図４に示すように加熱側挟持部材７の当接端面と測定対象物８が片当たりしている場合、矢印５５で示すように、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９を通過する熱流束は、軸中心に対象ではなく、片側に偏ってしまう。その結果、図６に示すように、熱が加熱側挟持部材７、測定対象物８および冷却側挟持部材９を中心から偏って通過してしまい、測定対象物８の面内方向の温度バラつきが大きくなり、測定対象物８の正確な熱物性測定ができない。このため測定対象物８の熱物性を正確に測定するためには、加熱側挟持部材７と接触する加熱ブロックユニット５、および冷却側挟持部材９と接触する冷却ブロックユニット６において、それぞれの平行度が出ていることなどを確認、調整する必要がある。この場合、熟練した作業が要求され、測定のセッティング時間、調整時間が長くなる。

代替として、調整作業を省いて、各部材中の熱の偏りを測定するユニットを追加し、測定した熱の偏りに応じた補正を計算上で行うことも考えられる。この場合、複雑な計算が必要となる、測定精度の低下も生じ得る。

図７は、加熱ブロックユニット５の金属ブロックの当接端面の平行度が出ていない場合に、本発明を適用した一例を示す。図７（ａ）に示すように、押圧力を加えた初期段階では、加熱ブロックユニット５の当接端面の平行度が出ていないため、加熱側挟持部材７が傾いてしまい、測定対象物８に片当たりしてしまう。この場合、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９を通過する熱流束が偏り、測定対象物８の面内方向の温度バラつきが大きいため、測定対象物８の正確な熱物性は測定できない。

しかし、熱伝導率測定装置１００では、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の遠位端面に、ブロックユニット５、６側が平面Ｒ形状（凸型円筒面）または球面Ｒ形状（凸型球面）の加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２が設けられている。このため、測定対象物８を挟み込んだ加熱側挟持部材７と冷却側挟持部材９とを、それぞれ加熱側軸補正部材５１、冷却側軸補正部材５２を介して冷却ブロックユニット６と加熱ブロックユニット５で挟み込み、押圧力調整用ネジ１４で押圧力を加えた場合、図７（ｂ）に示すように、平面Ｒ形状または球面Ｒ形状を有する加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２により安定な姿勢になろうとするため、加熱ブロックユニット５の表面に倣う動作が自然に発生する。ここで、符号２７は、押圧力調整用ネジ１４から加わる押圧力ベクトルを示す。符号２８は、押圧力が加わった際に加熱側挟持部材７の湾曲面に働く水平方向の押圧力ベクトルを示す。

この動作によって、図７（ｃ）に示すように、特別な調整なしに、押圧力調整用ネジ１４による押圧力を加えるだけで、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９の３部材の軸を一致させることができ、熱は、加熱側挟持部材７、測定対象物８および冷却側挟持部材９の軸対称に通過することが可能なり（図５参照）、測定対象物８の面内方向の温度バラつきを大幅に低減することができる。これにより、特別な調整なしに、押圧力を加えるだけで、測定対象物８の正確な熱物性が測定可能になる。

ここで、加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２のブロックユニット５、６側に平面Ｒ形状（凸型円筒面）または球面Ｒ形状（凸型球面）の湾曲面を設けたが、これは、押圧力を加え、安定な姿勢になろうとする際に働く摩擦力をできる限り小さくし、押圧力に伴って発生する押圧力ベクトルをできる限り大きくするためである。

より高い測定精度を確保するためには、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９を通過する熱量を大きくし、各熱電対での測定温度を高くする、つまり温度勾配を大きくすることが望ましい。これは、通過する熱量を大きくし、各熱電対での測定温度を高くすることで、熱電対での測定温度バラつきの影響（例えばＫ熱電対、クラス１の場合±１．５℃）を抑制することができるためである。通過熱量が小さく、温度勾配が小さい場合には、この測定温度バラつきが測定対象物の熱物性に大きく影響してしまう。

また、熱伝導グリス１０の厚みが厚い場合、熱伝導グリスの熱抵抗が大きくなってしまうため、熱伝導グリス１０は薄く塗布することが好ましい。

実験では、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の形状を、断面が４０ｍｍ×４０ｍｍ、高さが５０ｍｍの四角柱とし、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の遠位端面上に、球面Ｒ１０５０形状（半径Ｒが１０５０ｍｍの凸形状）の加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２をそれぞれ設けた。これにより測定対象物８、および部材間の接触熱抵抗の正確な熱物性値を測定することが可能であった。

なお、半径Ｒの大きさに関しては、Ｒ中央部の高さと周囲部の高さの差が、少なくとも測定対象物８の平面度よりも大きい必要がある。ただし、高さの差が大きすぎると、加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２と、ブロックユニット５、６との接触が点接触に近い状態となり、挟持部材７、９の中を通過する熱流が平行ではなる。このため、Ｒ中央部の高さと周囲部の高さの差は、熱伝導グリス１０に含有されているフィラーの粒径に対して、１０倍以下、好ましくは数倍以下にすることが好ましい。これにより、挟持部材７、９を通過する熱流はほぼ平行になり、測定精度を高くすることができる。

図８は、図７の熱伝導率測定装置１００において、断面が４０ｍｍ×４０ｍｍ、高さが５０ｍｍの加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９を用いた場合の、加熱側挟持部材７と測定対象物８との接触状態を示す。図８（ａ）は、遠位端部の上に、加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２を設けない場合であり、図８（ｂ）は設けた場合である。色の濃い部分が接触部分を示し、色の濃さが接触の強さを示す。図８（ａ）では上部が濃い黒色となり、上部で強く片当たりしていることが分かる。これに対して図８（ｂ）では、全体が薄い黒色となり、全体に均等に接触していることがわかる。

これまでの説明では、加熱側挟持部材７と冷却側挟持部材９との間に測定対象物８を挟み込み、測定対象物８の熱物性値を測定しているが、本発明は、これに加えて、測定対象物８を挟み込まない状態での測定にも大きな効果を発揮する。具体的には、測定対象物８を挟み込まず、加熱側挟持部材７と冷却側挟持部材９だけで、部材間の押圧力と接触熱抵抗を算出する場合である。接触熱抵抗を算出する場合、加熱側挟持部材７と冷却側挟持部材９の間の接触状態が測定結果に大きな影響を与える。本発明のように、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の遠位端面に加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２を設けることによって、図８に示すように、特別な調整なしに、両部材間が均一に接触する理想的な接触状態が得られる。この状態で接触熱抵抗を測定することで、接触熱抵抗を効率的に、精度良く測定することが可能となる。

熱伝導グリス１０は、内包するフィラーによって規定される程度の厚みを有し、かつ熱伝導率は数Ｗ／ｍＫ程度であるため、ある程度の熱抵抗を有する。しかし本熱伝導率測定方法においては、熱流束は、図示されている複数の熱電対を用いて測定対象物を通過した熱量を算出しているため、測定対象には熱伝導グリス１０の影響は現れない。このため、高精度な測定が可能である。

すなわち、熱伝導率測定は、加熱側挟持部材７と冷却側挟持部材９に取り付けられた熱電対４の測定温度から推定される、測定対象物８の表裏の温度差と、加熱側挟持部材７または冷却側挟持部材９、またはその双方に取り付けられた複数の熱電対４の測定温度から推定できる通過熱量とから計算される。まず、測定対象物８の表裏の温度であるが、加熱側挟持部材７に等間隔に取り付けられた熱電対４の測定温度から、測定対象物８の表面からの距離と温度の関係をグラフで示した時に、各測定点の温度は、測定対象物８の表面からの距離に比例する関係にある。このため各測定点の温度と、測定対象物８の表面からの距離から、測定対象物８の表面温度は簡単に算出できる。冷却側挟持部材９側も同様である。これらの温度の差分から、測定対象物８の表裏の温度差が求められる。

次に通過熱量であるが、たとえば加熱側挟持部材７に設けられた熱電対４の測定温度差ΔＴと、熱電対４の間の距離Ｌと、加熱側挟持部材７の断面積Ａと、加熱側挟持部材７の熱伝導率λがわかれば、通過熱量は、以下の式１：
ΔＴ×Ｌ／Ａ／λ ......（１）
から簡単に求められる。このため、加熱側挟持部材７や冷却側挟持部材９の測定対象物８と反対側に取り付けられた熱伝導グリス１０は測定結果には影響しない。

また、本発明の実施の形態１では、加熱ブロックユニット５と加熱側挟持部材７との間に加熱側軸補正部材５１を、冷却ブロックユニット６と冷却側挟持部材９との間に冷却側軸補正部材５２を、それぞれ挟み込んだ具体例を示しているが、いずれか一方でも良い。
ただし、挟持部材７、９の、測定対象物８側の端面の加工精度が低く、２つの端面が厳密に平行な平面になっていない場合であっても、双方に軸補正部材５１、５２を設けることにより、その加工精度の影響を吸収し、高い測定精度を得ることが可能となる。また、かしめ加工などで一体化された複数の部材の熱抵抗を測定する場合、この効果はより発揮される。一体化された部材は、一体化する前のそれぞれの部材の加工精度が高くても、一体化時の各部材の公差の関係や設置状態、使用する装置などによって、大小はあるが傾きが生じる。このため、一体化された部材をそのまま測定しようとすると、片当たりが生じるため、部材の熱物性値を正確に測定できない。本発明のように、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の遠位端面に加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２を設けることにより、片当たりを抑制することが可能となり、一体化された部材においても測定精度を高くすることができる。

また、本発明の実施の形態１は、熱伝導率の測定に用いる具体例を示しているが、熱抵抗の測定にも用いることができることは言うまでもない。

実施の形態２．
図９は、全体が２００で表される、本発明の実施の形態２にかかる熱伝導率測定装置の構成図であり、図９中、図２と同一符合は、同一または相当箇所を示す。

熱伝導率測定装置２００は、実施の形態１にかかる熱伝導率測定装置１１０の加熱側軸補正部材５１に代えて加熱側軸補正部材３３を、冷却側軸補正部材５２に代えて冷却側軸補正部材３４をそれぞれ備える。他の構造は熱伝導率測定装置１１０と同じである。

加熱側軸補正部材３３、冷却側軸補正部材３４では、加熱側挟持部材７および冷却側挟持部材９の遠位端面を平面形状とし、一方で、加熱ブロックユニット５および冷却ブロックユニット６の当接端面に、平面Ｒ形状（凸型円筒面）または球面Ｒ形状（凸型球面）を設けることによって、測定対象物８の面内方向の温度バラつきを抑制している。このとき、加熱側軸補正部材３３と加熱ブロックユニット５、冷却側軸補正部材３４と冷却ブロックユニット６との間は、グリスの粘着力、接着力によって固定されるか、もしくは粘着テープなどの補助部材を使用して固定される。

本発明の実施の形態２にかかる熱伝導率測定装置２００では、軸補正部材３３、３４に設けたＲ形状により、測定対象物８を挟み込んだ加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９を冷却ブロックユニット６の上に設置し、加熱ブロックユニット５を介して押圧力調整用ネジ１４で押圧力を加えた際に、熱伝導率測定装置１００と同様（図７参照）に、特別な調整なしに、押圧力調整用ネジ１４による押圧力を加えるだけで、加熱側挟持部材７、測定対象物８、冷却側挟持部材９の３部材の軸を一致させることができ、加熱側挟持部材７、測定対象物８、および冷却側挟持部材９の軸中心を熱が通過し、測定対象物８の正確な熱物性測定が可能となる。

なお、加熱側軸補正部材３３、冷却側軸補正部材３４の半径Ｒの大きさに関しては、実施の形態１と同様に、Ｒ中央部の高さと周囲部の高さの差が、少なくとも測定対象物８の平面度よりも大きい必要がある。ただし、高さの差が大きすぎると、加熱側軸補正部材３３と加熱側挟持部材７、冷却側軸補正部材３４と冷却側挟持部材９との接触が点接触に近い状態となり、挟持部材７、９の中を通過する熱流が平行ではなる。このため、Ｒ中央部の高さと周囲部の高さの差は、熱伝導グリス１０に含有されているフィラーの粒径に対して、１０倍以下、好ましくは数倍以下であることが好ましい。これにより、挟持部材７、９を通過する熱流はほぼ平行になり、測定精度を高くすることができる。

なお、図９では、軸補正部材３３、３４の遠位端面は平坦としたが、平面Ｒ形状や球面Ｒ形状としてもよい。遠位端面に平面Ｒ形状や球面Ｒ形状を設けた軸補正部材３３、３４を使用することで、測定精度を高くすることができる。

実施の形態３．
図１０は、全体が３００で表される、本発明の実施の形態３にかかる熱伝導率測定装置の構成図であり、図１０中、図２と同一符合は、同一または相当箇所を示す。

熱伝導率測定装置３００は、実施の形態１にかかる熱伝導率測定装置１１０の加熱側軸補正部材５１に代えて加熱側軸補正部材１５１を、冷却側軸補正部材５２に代えて冷却側軸補正部材１５２をそれぞれ備える。他の構造は熱伝導率測定装置１１０と同じである。

図１０に示すように、加熱側軸補正部材１５１は、実施の形態１の加熱側軸補正部材５１の両側に、加熱側挟持部材７の側面に接する凸型の突起部１５５を有する構造となっている。同様に、冷却側軸補正部材１５２は、冷却側軸補正部材５２の両側に、冷却側挟持部材９の側面に接する凸型の突起部１５５を有する構造となっている。

このように加熱側軸補正部材１５１および冷却側軸補正部材１５２が突起部１５５、１５６を有することにより、熱伝導率測定装置３００に、挟持部材７、９に挟まれた測定対象物８を設置する場合に、設置場所の位置ずれを防止することができる。これにより、設置時間を短縮でき、かつ高い精度で測定が可能になる。

なお、図１０では、加熱側軸補正部材１５１および冷却側軸補正部材１５２は、両側に一組（２つ）の突起部を有するが、突起部の数や形状はこれらに限定されるものではない。図１１は、加熱側挟持部材７が四角柱の場合に用いる加熱側軸補正部材１５１を、加熱側挟持部材７側から見た場合の平面図である。斜線で示した部分が突起部１５５であり、突起部１５５は、加熱側挟持部材７の遠位端部を囲むように設けられている。

また、図１２は、同じく加熱側挟持部材７が四角柱の場合に用いる他の加熱側軸補正部材１５１を、加熱側挟持部材７側から見た場合の平面図である。斜線で示した部分が突起部１５５であり、突起部１５５は、加熱側挟持部材７の両側を挟むように設けられている。

図１１、１２は、加熱側挟持部材７側に設ける加熱側軸補正部材１５１を示すが、冷却側挟持部材９側に設ける冷却側軸補正部材１５２も同一形状としても良い。

なお、本実施の形態３では、加熱側挟持部材７と冷却側挟持部材９との間に測定対象物８を挟み込み、測定対象物の熱物性値を測定する場合の具体例を示したが、金属部材間の接触熱抵抗など測定対象物８を挟み込まない状態での測定する場合でも、このような突起部を有することで、設定工程を容易にすることができる。また、ここでは、熱伝導率の測定に用いる具体例を示しているが、熱抵抗の測定に用いることができることは言うまでもない。

実施の形態４．
図１３は、全体が４００で表される、本発明の実施の形態４にかかる熱伝導率測定装置の構成図であり、図１３中、図９と同一符合は、同一または相当箇所を示す。

熱伝導率測定装置４００は、実施の形態２にかかる熱伝導率測定装置２００の加熱側軸補正部材３３に代えて加熱側軸補正部材１３３を、冷却側軸補正部材３４に代えて冷却側軸補正部材１３４をそれぞれ備える。他の構造は熱伝導率測定装置２００と同じである。

このように加熱側軸補正部材１３３および冷却側軸補正部材１３４が突起部１３５、１３６を有することにより、熱伝導率測定装置４００に、挟持部材７、９に挟まれた測定対象物８を設置する場合に、位置ずれを防止することができる。これにより、設置時間を短縮でき、かつ高い精度で測定が可能になる。

突起部１３５、１３６の形状は、実施の形態３で述べたような他の形状（例えば図１１、１２）でも構わない。

実施の形態５.
図１４、１５は、全体が５００、５５０で表される、本発明の実施の形態５にかかる熱伝導率測定装置の構成図であり、図２に示す実施の形態１にかかる熱伝導率測定装置１１０の変形例である。図１４、１５中、図２と同一符合は、同一または相当箇所を示す。

熱伝導率測定装置１１０では、加熱ブロックユニット５と加熱側挟持部材７との間、および冷却ブロックユニット６と冷却側挟持部材９との間の双方に、それぞれ設けられた加熱側軸補正部材５１、冷却側軸補正部材５２を、本発明の実施の形態５にかかる熱伝導率測定装置５００、５５０では、いずれか一方としたものである。

また、図１６、１７は、全体が６００、６５０で表される、本発明の実施の形態５にかかる他の熱伝導率測定装置の構成図であり、図９に示す実施の形態２にかかる熱伝導率測定装置２００の変形例である。図１６、１７中、図９と同一符合は、同一または相当箇所を示す。

熱伝導率測定装置２００では、加熱ブロックユニット５と加熱側挟持部材７との間、および冷却ブロックユニット６と冷却側挟持部材９との間の双方に、それぞれ設けられた加熱側軸補正部材３３、冷却側軸補正部材３４を、本発明の実施の形態５にかかる熱伝導率測定装置６００、６５０では、いずれか一方としたものである。

また、図１８、１９は、全体が７００、７５０で表される、本発明の実施の形態５にかかる他の熱伝導率測定装置の構成図であり、熱伝導率測定装置１１０と熱伝導率測定装置２００を組み合わせた変形例である。図１８、１９中、図２、９と同一符合は、同一または相当箇所を示す。

熱伝導率測定装置７００では、加熱ブロックユニット５と加熱側挟持部材７との間に加熱側軸補正部材５１が設けられ、冷却ブロックユニット６と冷却側挟持部材９との間に冷却側軸補正部材３４が設けられている。一方、熱伝導率測定装置７５０では、加熱ブロックユニット５と加熱側挟持部材７との間に加熱側軸補正部材３３が設けられ、冷却ブロックユニット６と冷却側挟持部材９との間に冷却側軸補正部材５１が設けられている。

本発明の実施の形態５にかかる熱伝導率測定装置５００、５５０、６００、６５０、７００、７５０のように、必要に応じて、加熱側軸補正部材５１および冷却側軸補正部材５２のいずれか一方、加熱側軸補正部材３３および冷却側軸補正部材３４のいずれか一方、またはこれらの組み合わせを用いても良く、このような変形例も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。

２ 測定制御機器、３ 温度測定用機器、４ 熱電対、５ 加熱ブロックユニット、６ 冷却ブロックユニット、７ 加熱側挟持部材、８ 測定対象物、９ 冷却側挟持部材、１０ 熱伝導グリス、１１ ロードセル、１２ 支持板、１３ スペーサ、１４ 押圧力調整用ネジ、１５ シャフト、１６ 上板、１７ 土台、１８ 加熱ブロックユニット制御機器、１９ 冷却ブロックユニット制御機器、２０ 断熱板、２１ 厚み表示機器、２５ 温度測定点、２６ 等温線、２７ 押圧力ベクトル、５１ 加熱側軸補正部材、５２ 冷却側軸補正部材、１００ 熱伝導率測定装置。

Claims (17)

1. 測定対象物と接触する接触端面および該接触端面とは反対側にある遠位端面を有する第１挟持部材と、
   測定対象物と接触する接触端面および該接触端面とは反対側にある遠位端面を有し、該第１挟持部材とともに測定対象物を挟持する第２挟持部材と、
   該第１狭持部材の遠位端面に対向する当接端面を有し、該第１狭持部材を加熱する加熱部材と、
   該第２狭持部材の遠位端面に対向する当接端面を有し、該第２狭持部材を冷却する冷却部材と、
   該第１狭持部材の遠位端面と該加熱部材の当接端面、または該第２狭持部材の遠位端面と該冷却部材の当接端面の、少なくともいずれか一方に挟まれた、該遠位端面と該当接端面に対向する２つの面を有する軸補正部材と、
   該第１挟持部材および該第２挟持部材に設けられた複数の温度センサと、を含み、
   該軸補正部材の少なくとも１つの面は凸型の湾曲形状を有する湾曲面であることを特徴とする熱伝導率測定装置。
2. 上記第１狭持部材の遠位端面と上記加熱部材の当接端面に挟まれ、該遠位端面と該当接端面に対向する２つの面を有する第１軸補正部材と、
   上記第２狭持部材の遠位端面と上記冷却部材の当接端面に挟まれ、該遠位端面と該当接端面に対向する２つの面を有する第２軸補正部材と、を含み、
   該第１軸補正部材の少なくとも１つの面および該第２軸補正部材の少なくとも１つの面は、凸型の湾曲形状を有する湾曲面であることを特徴とする請求項１に記載の熱伝導率測定装置。
3. 上記第１軸補正部材は、上記加熱部材と接する湾曲面を有し、
   上記第２軸補正部材は、上記冷却部材と接する湾曲面を有することを特徴とする請求項２に記載の熱伝導率測定装置。
4. 上記第１軸補正部材は、上記第１挟持部材に接する湾曲面を有し、
   上記第２軸補正部材は、上記第２挟持部材に接する湾曲面を有することを特徴とする請求項２に記載の熱伝導率測定装置。
5. 上記第１軸補正部材は、上記加熱部材と接する湾曲面を有し、
   上記第２軸補正部材は、上記第２挟持部材に接する湾曲面を有することを特徴とする請求項２に記載の熱伝導率測定装置。
6. 上記第１軸補正部材は、上記第１狭持部材に接する湾曲面を有し、
   上記第２軸補正部材は、上記冷却部材に接する湾曲面を有することを特徴とする請求項２に記載の熱伝導率測定装置。
7. 測定対象物と接触する接触端面および該接触端面とは反対側にある遠位端面を有する第１挟持部材と、
   測定対象物と接触する接触端面および該接触端面とは反対側にある遠位端面を有し、該第１挟持部材とともに測定対象物を挟持する第２挟持部材と、
   該第１狭持部材の遠位端面に対向する当接端面を有し、該第１狭持部材を加熱する加熱部材と、
   該第２狭持部材の遠位端面に対向する当接端面を有し、該第２狭持部材を冷却する冷却部材と、
   該第１狭持部材の遠位端面と該加熱部材の当接端面、または該第２狭持部材の遠位端面と該冷却部材の当接端面の、少なくともいずれか一方に挟まれた、該遠位端面と該当接端面に対向する２つの面を有する軸補正部材と、
   該第１挟持部材および該第２挟持部材に設けられた複数の温度センサと、を含み、
   該軸補正部材の少なくとも１つの面は凸型の湾曲形状を有する湾曲面であり、他の面は平坦な平坦面であることを特徴とする熱伝導率測定装置。
8. 上記第１狭持部材の遠位端面と上記加熱部材の当接端面に挟まれ、該遠位端面と該当接端面に対向する２つの面を有する第１軸補正部材と、
   上記第２狭持部材の遠位端面と上記冷却部材の当接端面に挟まれ、該遠位端面と該当接端面に対向する２つの面を有する第２軸補正部材と、を含み、
   該第１軸補正部材の少なくとも１つの面および該第２軸補正部材の少なくとも１つの面は凸型の湾曲形状を有する湾曲面であり、他の面は平坦面であることを特徴とする請求項７に記載の熱伝導率測定装置。
9. 上記第１軸補正部材は、上記第１挟持部材に接する平坦面と、上記加熱部材と接する湾曲面とを有し、
   上記第２軸補正部材は、上記第２挟持部材に接する平坦面と、上記冷却部材と接する湾曲面とを有することを特徴とする請求項７に記載の熱伝導率測定装置。
10. 上記第１軸補正部材は、上記第１挟持部材に接する湾曲面と、上記加熱部材と接する平坦面とを有し、
    上記第２軸補正部材は、上記第２挟持部材に接する湾曲面と、上記冷却部材と接する平坦面とを有することを特徴とする請求項７に記載の熱伝導率測定装置。
11. 上記第１軸補正部材は、上記第１挟持部材に接する平坦面と、上記加熱部材と接する湾曲面とを有し、
    上記第２軸補正部材は、上記第２挟持部材に接する湾曲面と、上記冷却部材と接する平坦面とを有することを特徴とする請求項７に記載の熱伝導率測定装置。
12. 上記第１軸補正部材は、上記第１挟持部材に接する湾曲面と、上記加熱部材と接する平坦面とを有し、
    上記第２軸補正部材は、上記第２挟持部材に接する平坦面と、上記冷却部材と接する湾曲面とを有することを特徴とする請求項７に記載の熱伝導率測定装置。
13. 上記湾曲面は、平面Ｒ形状または球面Ｒ形状であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の熱伝導率測定装置。
14. 上記第１挟持部材または上記加熱部材に接する上記第１軸補正部材の平坦面は、該第１挟持部材の側面に接触する突起部を有し、
    上記第２挟持部材または上記冷却部材に接する上記第２軸補正部材の平坦面は、該第２挟持部材の側面に接触する突起部を有することを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の熱伝導率測定装置。
15. 上記突起部は、上記第１挟持部材または上記加熱部材の対向する１組の側面または全ての側面に沿って設けられ、および上記第２挟持部材または上記冷却部材の対向する１組の側面または全ての側面に沿って設けられたことを特徴とする請求項１４に記載の熱伝導率測定装置。
16. 上記加熱部材と上記冷却部材との間に押圧力を印加する押圧力印加機構を含むことを特徴とする、請求項１〜１５のいずれかに記載の熱伝導率測定装置。
17. 請求項１〜１６のいずれかに記載の熱伝導率測定装置を準備する工程と、
    上記第１挟持部材と上記第２挟持部材との間に上記測定対象物を挟む工程と、
    上記押圧力印加機構で、上記加熱部材と上記冷却部材との間に押圧力を印加する工程と、
    該加熱部材で該第１挟持部材を加熱し、かつ該冷却部材で該第２挟持部材を冷却する工程と、
    該第１挟持部材および該第２挟持部材の温度を上記温度センサで測定し、該測定対象物の熱伝導率を検出する工程と、を含むことを特徴とする熱伝導率測定方法。

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