JP6673809B2 - Work temperature measuring device and heat treatment furnace having the same - Google Patents
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Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 116
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 101
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 33
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 30
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 6
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 6
- 229910000809 Alumel Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910001179 chromel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
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- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
本開示は、熱処理炉などの筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置およびそれを備える熱処理炉に関する。 The present disclosure relates to a work temperature measuring device for measuring the temperature of a work arranged inside a housing such as a heat treatment furnace, and a heat treatment furnace including the same.
工業用炉の中には、ワークを水平方向に搬送するだけではなく、上下に昇降させるものがある。そのような工業用炉のひとつとして熱処理炉があり、例えば、ワークを加熱処理する加熱ゾーンの下方に油冷ゾーンを備え、上方にガス冷却ゾーンを備えた焼入装置がある(例えば、特許文献1)。 Some industrial furnaces not only transport a work in the horizontal direction, but also move it up and down. As one of such industrial furnaces, there is a heat treatment furnace. For example, there is a quenching device having an oil cooling zone below a heating zone for heat-treating a work and a gas cooling zone above the heating zone (for example, Patent Document 1). 1).
このような熱処理炉において、熱処理炉内に配置されているワークの温度変化を測定するために、耐熱ボックスにデータロガーを入れた状態でワークと一緒に炉内に入れるという方法がある(例えば、特許文献2)。 In such a heat treatment furnace, there is a method in which a data logger is put in a heat-resistant box and the work is put into the furnace together with the work in order to measure a temperature change of the work placed in the heat treatment furnace (for example, Patent Document 2).
しかしながら、特許文献2のような構成では、データロガーに記録されたデータを確認するためにデータロガーを炉内から取り出す必要があり、リアルタイムでの測定はできない。
However, in the configuration as in
ワークの温度をリアルタイムで測定するためには、例えば特許文献3のように、ワークを昇降させるための昇降ピンの先端部に熱電対を設け、この熱電対をワークに接触させてワークの温度を測定するものもある。しかしながら、特許文献3のような構成では、ワークが昇降ピンの先端部から離れるとワークの温度を測定できなくなるため、測定に制限がある。 In order to measure the temperature of the work in real time, a thermocouple is provided at the tip of an elevating pin for raising and lowering the work, and the thermocouple is brought into contact with the work to reduce the temperature of the work, as in Patent Document 3, for example. Some are measured. However, in the configuration as in Patent Literature 3, since the temperature of the work cannot be measured when the work is separated from the tip of the elevating pin, the measurement is limited.
例えば特許文献4のように、外部から補償導線(配線型の熱電対)を導入するものもある。特許文献4の構成では、ワークを搬送するためのトレイにセンサ部を固定するとともに、当該センサ部に補償導線を接続し、この補償導線を炉内で巻き取り可能としている。しかしながらこのような構成では、炉内に補償導線の引き回しが必要となるため、ワークを載置したトレイの移動が、補償導線によって妨げられる場合がある。
For example, as disclosed in
本開示は、前記課題を解決するものであり、ワークの移動を妨げない構成で熱処理中のワークの温度変化をリアルタイムで測定することができるワーク温度測定装置およびそれを備える熱処理炉を提供することを目的とする。 The present disclosure solves the above-described problem, and provides a work temperature measurement device capable of measuring a temperature change of a work during heat treatment in real time with a configuration that does not hinder movement of the work, and a heat treatment furnace including the work temperature measurement device. With the goal.
本開示の一態様のワーク温度測定装置は、筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第1の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第1の導通プレートと、前記トレイを載置して昇降するための昇降エレベータに取り付けられ、前記第1の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第1の導通ロッドと、前記筐体の外部に設けられ、前記第1の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第1の温度測定器と、を備える、ワーク温度測定装置である。 A work temperature measurement device according to an embodiment of the present disclosure is a work temperature measurement device for measuring the temperature of a work disposed inside a housing, and is provided on a tray for mounting and transporting the work. A first conductive plate of a conductive material, which is fixed and electrically connected to a first thermocouple for measuring the temperature of the workpiece, and attached to a lifting elevator for mounting and lowering the tray; A first conductive rod having a contact end made of a conductive material for contacting the first conductive plate; and a first conductive rod provided outside the housing and electrically connected to the contact end of the first conductive rod. And a first temperature measuring device connected to the work temperature measuring device.
前記構成によれば、ワークの移動を妨げない構成でワークの温度をよりリアルタイムで測定することができる。 According to the above configuration, the temperature of the work can be measured in more real time with a configuration that does not hinder the movement of the work.
本開示の一態様のワーク温度測定装置は、筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第1の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第1の導通プレートと、前記筐体の内壁面に取り付けられ、前記第1の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第1の導通ロッドと、前記筐体の外部に設けられ、前記第1の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第1の温度測定器と、を備え、前記第1の導通プレートは、前記トレイを昇降させるための昇降機構により前記トレイが上昇された上昇位置において、前記第1の導通ロッドの前記接触端部との接触を維持する上下長さを有する、ワーク温度測定装置である。 A work temperature measurement device according to an embodiment of the present disclosure is a work temperature measurement device for measuring the temperature of a work disposed inside a housing, and is provided on a tray for mounting and transporting the work. A first conductive plate of a conductive material, which is fixed and electrically connected to a first thermocouple for measuring the temperature of the workpiece; and a first conductive plate attached to an inner wall surface of the housing, A first conductive rod having a contact end made of a conductive material for contacting the first conductive rod, and a first conductive rod provided outside the housing and electrically connected to the contact end of the first conductive rod. A temperature measuring device, wherein the first conductive plate contacts the contact end of the first conductive rod at a raised position where the tray is raised by a lifting mechanism for lifting and lowering the tray. Have up and down length, A chromatography peak temperature measuring device.
前記構成によれば、ワークを昇降機構で移動させてもワークの移動を妨げない構成でワークの温度をよりリアルタイムで測定することができる。 According to the configuration, it is possible to measure the temperature of the work in real time with a structure that does not hinder the movement of the work even when the work is moved by the lifting mechanism.
本開示の一態様のワーク温度測定装置は、筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第1の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第1の導通プレートと、前記トレイを載置して昇降するための昇降エレベータに取り付けられ、前記第1の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第1の導通ロッドと、前記筐体の外部に設けられ、前記第1の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第1の温度測定器と、を備え、前記第1の導通プレートは、前記昇降エレベータとは別の昇降機構により前記トレイが前記昇降エレベータから上昇された上昇位置において、前記第1の導通ロッドの前記接触端部との接触を維持する上下長さを有する、ワーク温度測定装置である。 A work temperature measurement device according to an embodiment of the present disclosure is a work temperature measurement device for measuring the temperature of a work disposed inside a housing, and is provided on a tray for mounting and transporting the work. A first conductive plate of a conductive material, which is fixed and electrically connected to a first thermocouple for measuring the temperature of the workpiece, and attached to a lifting elevator for mounting and lowering the tray; A first conductive rod having a contact end made of a conductive material for contacting the first conductive plate; and a first conductive rod provided outside the housing and electrically connected to the contact end of the first conductive rod. A first temperature measuring device connected to the first conductive plate, wherein the first conductive plate is provided in the first position at a rising position where the tray is lifted from the lifting elevator by a lifting mechanism different from the lifting elevator. Continuity lock Having upper and lower lengths which maintain contact with the contact end, a work temperature measuring device.
前記構成によれば、ワークを昇降エレベータで移動させてもワークの移動を妨げない構成でワークの温度をよりリアルタイムで測定することができる。 According to the above configuration, it is possible to measure the temperature of the work in real time with a configuration that does not hinder the movement of the work even when the work is moved by the elevator.
前記ワーク温度測定装置において、前記第1の導通ロッドは、前記接触端部を前記第1の導通プレートに押し付ける方向に付勢する付勢部を備え、前記付勢部は、前記接触端部と一体的に回転可能な状態で前記昇降エレベータに取り付けられた重りであり、前記接触端部が前記第1の導通プレートと接触状態にあるときに、前記付勢部はその自重によって、前記接触端部を前記第1の導通プレートに押し付ける方向に回転付勢してもよい。これにより、第1の導通ロッドと第1の導通プレートの接触状態をより確実に確保することができ、温度測定の信頼性を向上させることができる。また、簡易な構成により付勢部を実現することができる。 In the work temperature measuring device, the first conductive rod includes an urging portion that urges the contact end portion in a direction of pressing the contact end portion against the first conductive plate, and the urging portion includes the contact end portion. A weight attached to the lift elevator so as to be integrally rotatable, and when the contact end is in contact with the first conductive plate, the biasing portion causes the contact end by its own weight. The portion may be rotationally biased in a direction in which the portion is pressed against the first conductive plate. Thereby, the contact state between the first conductive rod and the first conductive plate can be more reliably ensured, and the reliability of the temperature measurement can be improved. Further, the urging portion can be realized with a simple configuration.
前記ワーク温度測定装置において、前記トレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第2の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第2の導通プレートと、前記熱処理炉の内壁面に取り付けられ、前記第2の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第2の導通ロッドと、前記熱処理炉の外部に設けられ、前記第2の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第2の温度測定器と、を備え、前記第2の導通ロッドは、前記接触端部が前記第2の導通プレートに接触するときに、前記第2の導通プレートを前記第2の温度測定器に電気的に接続してもよい。これにより、トレイが昇降エレベータから離れた状態であっても第2の導通プレートが第2の導通ロッドに接触する位置であれば、ワークの温度をリアルタイムで測定することができる。 In the work temperature measuring device, a second conductive plate of a conductive material fixed to the tray and electrically connected to a second thermocouple for measuring the temperature of the work, and on an inner wall surface of the heat treatment furnace. A second conductive rod mounted and having a contact end of a conductive material for contacting the second conductive plate; and a contact end of the second conductive rod provided outside the heat treatment furnace. A second temperature measuring device electrically connected to the second conductive rod, wherein the second conductive rod connects the second conductive plate when the contact end contacts the second conductive plate. It may be electrically connected to the second temperature measuring device. Thus, even when the tray is away from the elevator, the temperature of the work can be measured in real time as long as the second conductive plate is in a position where it comes into contact with the second conductive rod.
本開示の一態様の熱処理炉は、前記ワーク温度測定装置を用いて前記ワークの温度測定を行う熱処理炉であって、前記ワーク温度測定装置と、前記トレイ、前記昇降エレベータおよび/又は前記昇降機構とを備える、熱処理炉である。前記構成によれば、ワークの移動を妨げない構成でワークの温度をリアルタイムで測定することができる。 A heat treatment furnace according to an embodiment of the present disclosure is a heat treatment furnace that measures the temperature of the work using the work temperature measurement device, wherein the work temperature measurement device, the tray, the lift elevator, and / or the lift mechanism A heat treatment furnace comprising: According to the above configuration, the temperature of the work can be measured in real time with a configuration that does not hinder the movement of the work.
前記熱処理炉において、前記ワークを加熱処理する加熱ゾーンと、前記加熱ゾーンの側方に設けられた中継ゾーンと、前記中継ゾーンの下方および上方に設けられ、前記加熱ゾーンで加熱処理された前記ワークを冷却処理する下方冷却ゾーンおよび上方冷却ゾーンとを備え、前記トレイは、前記加熱ゾーンと前記中継ゾーンの間で前記ワークを載置して搬送し、前記昇降エレベータは、前記中継ゾーンと前記下方冷却ゾーンの間で前記トレイを載置して昇降し、前記昇降機構は、前記昇降エレベータによる昇降とは独立して前記中継ゾーンと前記上方冷却ゾーンの間で前記トレイを昇降させてもよい。このような構成によれば、ワークが中継ゾーンにあるとき、中継ゾーンから下方に移動するときあるいは中継ゾーンから上方に移動するときでも、トレイに載置されているワークの温度をリアルタイムで測定することができる。 In the heat treatment furnace, a heating zone that heat-treats the work, a relay zone provided on a side of the heating zone, and the work that is provided below and above the relay zone and that is heat-treated in the heating zone. A lower cooling zone and an upper cooling zone for performing a cooling process, the tray mounts and transports the work between the heating zone and the relay zone, and the elevating elevator includes the relay zone and the lower The tray may be placed and raised and lowered between the cooling zones, and the lifting mechanism may raise and lower the tray between the relay zone and the upper cooling zone independently of lifting and lowering by the lifting elevator. According to such a configuration, the temperature of the work placed on the tray is measured in real time even when the work is in the relay zone, moves downward from the relay zone, or moves upward from the relay zone. be able to.
本開示によれば、ワークの移動を妨げない構成でワークの温度変化をリアルタイムで測定することができる。特にワークを上昇、下降させる場合でも温度変化を途切れることなく測定することができ、例えば焼き入れ処理のためにワークを油槽に下降して急冷させる時の温度変化がその場で分かる。 According to the present disclosure, a temperature change of a work can be measured in real time with a configuration that does not hinder movement of the work. In particular, even when the work is raised or lowered, the temperature change can be measured without interruption. For example, the temperature change when the work is lowered into the oil tank for quenching and rapidly cooled can be found on the spot.
以下、本開示に係る熱処理炉(筐体)およびワーク温度測定装置の好適な実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。本開示は、以下の実施形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本開示に含まれる。 Hereinafter, preferred embodiments of a heat treatment furnace (casing) and a work temperature measuring device according to the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings. The present disclosure is not limited to the specific configurations of the following embodiments, but includes configurations based on similar technical ideas.
(実施形態1)
図1は、実施形態1における熱処理炉2の概略構成を示す図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a
熱処理炉2は、ワークWを内部に配置する筐体の一例であり、本実施形態1では、ワークW(例えば、金網製のバスケットに収納された自動車エンジン用歯車)を焼き入れする熱処理炉である。本実施形態1の熱処理炉2は、ワークWの加熱処理に加えて冷却処理を行う機能を有するとともに、複数の空間を構成する多室型熱処理炉として構成されている。
The
図1に示すように、熱処理炉2は、加熱ゾーン4と、中継ゾーン6と、下方冷却ゾーン(油冷ゾーン)8と、上方冷却ゾーン(ガス冷却ゾーン)10と、トレイ12と、昇降エレベータ14と、昇降機構16と、導通プレート18と、導通ロッド20と、熱電対22と、温度測定器24と、補償導線26とを備える。
As shown in FIG. 1, the
図1に示す熱処理炉2は、加熱ゾーン4にてワークWを加熱処理するとともに、加熱処理したワークWを中継ゾーン6に水平搬送した後、昇降エレベータ14により下方冷却ゾーン8まで下降あるいは昇降機構16により上方冷却ゾーン10まで上昇させて、冷却処理する。
The
本開示の発明は特に、トレイ12に導通プレート18を設け、昇降エレベータ14に導通ロッド20を設けている。導通プレート18と導通ロッド20を接触させて導通させることで、導通プレート18に接続された熱電対22と、導通ロッド20に接続された温度測定器24とを電気的に接続するものである。このような構成により、ワークWが中継ゾーン6にある時あるいは中継ゾーン6から下方又は上方へ移動するときでも、導通プレート18と導通ロッド20の接触を確保して導通させることで、熱処理炉2内に配置されているワークWの温度を温度測定器24によりリアルタイムで測定可能としている。
In particular, the invention of the present disclosure includes a
上述した熱処理炉2内のワークWの温度を測定するための「ワーク温度測定装置」は、導通プレート18、導通ロッド20、熱電対22、温度測定器24および補償導線26により構成される。
The “work temperature measuring device” for measuring the temperature of the work W in the
以下、熱処理炉2およびワーク温度測定装置のそれぞれの構成要素について説明する。
Hereinafter, respective components of the
加熱ゾーン4は、ワークWを加熱処理するための空間である。加熱ゾーン4は、ワークWを真空中あるいは大気圧以下の減圧雰囲気で所定温度(例えば1350℃)まで加熱する。図1では、加熱ゾーン4ではなく中継ゾーン6にワークWが配置されている状態を例示する。
The
中継ゾーン6は、加熱ゾーン4の側方に設けられた空間である。中継ゾーン6と加熱ゾーン4の間の壁面には開口5aが設けられ、それぞれの空間を密閉可能に閉じる扉5が設けられている。開口5aの上方には、扉5を収納する戸袋7が設けられている。扉5は戸袋7の上方よりチェーン5b等で吊るされ、そのチェーン5bを外部から昇降機構5cで巻き取り、送り出しすることで昇降する。中継ゾーン6は、加熱ゾーン4で加熱処理されたワークWが下方冷却ゾーン8又は上方冷却ゾーン10へ移動する際の中継地点となる空間である。図1の例では、中継ゾーン6の下方に下方冷却ゾーン8が設けられ、中継ゾーン6の上方に上方冷却ゾーン10が設けられている。下方冷却ゾーン8および上方冷却ゾーン10は、中継ゾーン6に連続した一体的な空間として形成されている。また、加熱ゾーン4と外部との間の壁面にも開口51aが設けられており、扉51によって開閉可能である。扉51は前述した扉5と同様に、チェーン51b、昇降機構51cによって昇降する。
The
下方冷却ゾーン8は、中継ゾーン6の下方においてワークWを冷却処理するための空間である。本実施形態1の下方冷却ゾーン8は、油冷式の冷却処理を行う機能を有しており、所定温度(例えば120℃)の油が充填されている。ワークWが下方冷却ゾーン8内の油に浸漬されることにより、ワークWが冷却され、焼き入れ処理される。
The
上方冷却ゾーン10は、中継ゾーン6の上方においてワークWを冷却処理するための空間である。本実施形態1の上方冷却ゾーン10は、ガス冷却式の冷却処理を行う機能を有しており、所定温度(例えば常温)の冷却ガス(例えばN2(150kPa(abs)))を吹き付け可能に構成されている。ワークWを上方冷却ゾーン10に配置した状態で上方冷却ゾーン10内に冷却ガスを吹き付けることにより、ワークWが冷却され、焼き入れ処理される。
The
油冷式の冷却処理は、ガス冷却式の冷却処理よりも冷却速度が速い。よって、ワークWの種類ごとに望まれる材料特性等を考慮して、下方冷却ゾーン8の冷却処理および上方冷却ゾーン10の冷却処理のうちのいずれか、あるいはその両方を選択することができる。
The cooling rate of the oil-cooled cooling process is faster than that of the gas-cooled cooling process. Therefore, it is possible to select one or both of the cooling process of the
トレイ12は、熱処理炉2内でワークWを載置して搬送するための部材である。トレイ12は、ワークWが加熱ゾーン4、中継ゾーン6、下方冷却ゾーン8、上方冷却ゾーン10にあるときおよびそれらの空間を移動するときにワークWを下方から支持する。
The
本実施形態1のトレイ12は、図1に示すようにL字状の断面を有して構成される。トレイ12は、水平方向に延びる底面部12aと、鉛直方向に延びる側面部12bとを有する。底面部12aは、ワークWを載置するための底面を構成する。側面部12bは、後述する導通プレート18を固定するための側面を構成する。
The
導通プレート18は、トレイ12の側面部12bに固定された金属製のプレート状の部材である。導通プレート18は、導通ロッド20とともに熱電対を構成するように2枚1組で設けられ、2枚それぞれが、後述する温度測定用の熱電対22に用いている金属と同じ種類の金属(例えばクロメルとアルメル)で形成され、導電性材質である。
The
導通プレート18は、熱電対22を、熱処理炉2の外部に設けられた温度測定器24に電気的に接続するために設けられる。図1に示すように、導通プレート18は上下方向に延びるプレートとして、トレイ12の側面部12bの背面側に固定されている。「背面」とは、トレイ12の側面部12bにおいて、ワークWが載置される側とは反対側に面した側面である。
The
昇降エレベータ14は、ワークWを載置したトレイ12を昇降させるためのものである。本実施形態1の昇降エレベータ14は、トレイ12を載置した状態で中継ゾーン6と下方冷却ゾーン8の間を昇降する。昇降エレベータ14は図示しない昇降機構によって昇降される。
The elevating
昇降エレベータ14は、トレイ12と同様にL字型の断面を有して構成される。昇降エレベータ14は、例えば水平方向に延びる2本のフォーク状の底面部14a(図1では手前側の1本のみを図示)と、鉛直方向に延びる側面部14bとを有する。底面部14aは、トレイ12を載置するための底面を構成する。側面部14bは、導通ロッド20を取り付けるための側面を構成する。
The
導通ロッド20は、導通プレート18とともに熱電対を構成する部材であり、導通プレート18と同様に2本1組で設けられる。導通ロッド20の導通部分(後述する接触端部20a)は、導通プレート18と同じ種類の金属(例えばクロメルとアルメル)で形成されており、導電性材質である。導通ロッド20は、導通プレート18に接触して導通するように昇降エレベータ14の側面部14bに取り付けられている。導通ロッド20は、昇降エレベータ14の側面部14bから正面側に突出して導通プレート18に接触する接触端部20aを有する。「正面」とは、昇降エレベータ14の側面部14bにおいて、トレイ12が載置される側に面した側面である。
The
接触端部20aには、補償導線26が電気的に接続されている。補償導線26は、熱電対22と同じ種類の金属(例えばクロメルとアルメル)で形成される。補償導線26は、温度測定器24に電気的に接続されている。接触端部20aは、補償導線26を介して温度測定器24に接続される。
The compensating
導通ロッド20の詳細な構成については後述する。
The detailed configuration of the
昇降機構16は、昇降エレベータ14とは別で、ワークWを載置したトレイ12を昇降させるための昇降機構である。昇降機構16は、昇降エレベータ14による昇降とは独立して、トレイ12を中継ゾーン6と上方冷却ゾーン10の間で昇降させる機能を有する。昇降機構16は例えば、トレイ12を把持可能な把持アームにより構成されており、把持したトレイ12を昇降エレベータ14の底面部14aから持ち上げることで、中継ゾーン6から上方冷却ゾーン10へ上昇させることができる。詳しくは図8に示すように、定位置(図8(a))から4本のアーム17(図8では手前側の2本のみを図示)を開いたまま下降する(図8(b))。その後、アーム17を閉じてトレイ12の底面部12aの下方に先端のツメを位置させ(図8(c))、その状態で上昇する(図8(d))。
The
図1に戻ると、熱電対22は、ワークWと温度測定器24の間を電気的に接続するために使用される配線型の熱電対である。熱電対22は、図1に示すように複数本設けられるとともに、ワークWの測定ポイントPと導通プレート18の間に接続される。図1では、3本の熱電対22の先端の接点がワークWの測定ポイントPに取り付けられている。熱電対22は、導通プレート18、導通ロッド20(接触端部20a)および補償導線26を介して温度測定器24に電気的に接続される。
Returning to FIG. 1, the
温度測定器24は、ワークWの温度を熱電対により測定するための温度測定器である。温度測定器24は、図1に示すように補償導線26を介して導通ロッド20の接触端部20aに電気的に接続されている。温度測定器24は、補償導線26、導通ロッド20の接触端部20a、導通プレート18および熱電対22を介してワークWに電気的に接続されることで、トレイ12に載置されているワークWの測定ポイントPの温度を測定することができる。
The
補償導線26は、導通ロッド20の接触端部20aと温度測定器24を電気的に接続するための補償導線である。本実施形態1の補償導線26は、伸縮可能な補償導線(例えばコイル状に巻いたもの)により構成されている。このため、昇降エレベータ14が下降した場合でも、接触端部20aとの電気的な接続が確保される。
The compensating
このように構成される熱処理炉2の運転例について、図2〜4Bを用いて説明する。
An operation example of the
まず、図2に示すようにワークWを加熱室4へ搬入する。具体的には、扉51を上昇させて開き、開口51aからトレイ12の底面部12a上に載置された状態のワークWを熱処理炉2の内部へ搬入する。その後、扉51を下降させて開口51aを閉じる。トレイ12およびワークWの搬入には、トレイ12の底面部12aを載せるローラ(図示せず)を外部から回転駆動させるなど、どのような搬送機構であってもよい。
First, the work W is carried into the
次に、ワークWの加熱処理を行う。具体的には、扉5と扉51により加熱ゾーン4を密閉した状態で、加熱ゾーン4内を真空状態あるいは減圧雰囲気にした後に、所定の加熱ガス(例えば、N2ガス)を導入する。これにより、加熱ゾーン4内のワークWを所定温度(例えば、1200℃)まで加熱する。
Next, the work W is subjected to a heat treatment. Specifically, a predetermined heating gas (for example, N 2 gas) is introduced after the inside of the
次に、トレイ12を中継ゾーン6に移動させる。具体的には、扉5を上昇させて開き、加熱ゾーン4で加熱処理されたワークWを開口5aから中継ゾーン6に向けて水平移動させる。トレイ12の移動には、前述した図示しない搬送機構を利用する。これにより、図3に示すように加熱ゾーン4の側方に設けられた中継ゾーン6にトレイ12およびワークWが配置される。そして、扉5を下降させて開口5aを閉じる。
Next, the
図3に示すように、中継ゾーン6に搬送されたトレイ12は、昇降エレベータ14の底面14a上に載置される。このとき、トレイ12に固定された導通プレート18と、昇降エレベータ14に取り付けられた導通ロッド20の接触端部20aとが接触する。これにより、ワークWと温度測定器24とが、熱電対22、導通プレート18、導通ロッド20の接触端部20aおよび補償導線26を介して電気的に接続された状態となり、温度測定器24によりワークWの温度測定が可能な状態となる。
As shown in FIG. 3, the
上記方法によれば、導通プレート18と導通ロッド20の接触による接点式の温度測定方法であるため、導通プレート18と導通ロッド20の代わりに補償導線などで電気的な接続をとる場合に比べて、熱処理炉2内におけるトレイ12の移動を妨げないように構成することができる。これにより、熱処理炉2内でトレイ12をスムーズに移動させることができる。
According to the above-described method, since the contact-type temperature measurement method is performed by contact between the
次に、トレイ12を下方冷却ゾーン8又は上方冷却ゾーン10へ移動させる。前述したように、ワークWの望まれる材料特性などに応じて下方冷却ゾーン8の冷却処理および/又は上方冷却ゾーン10の冷却処理が選択される。
Next, the
例示として、下方冷却ゾーン8へ下降させた状態を図4Aに示し、上方冷却ゾーン10へ上昇させた状態を図4Bに示す。
By way of example, FIG. 4A shows a state of being lowered to the
図4Aに示すようにトレイ12を下方冷却ゾーン8へ下降させるには、昇降エレベータ14を下降させることにより、ワークWを載置したトレイ12を一体的に下降させる。これにより、トレイ12が下方冷却ゾーン8に配置され、トレイ12に載置されたワークWが下方冷却ゾーン8内の冷却用の油に浸漬される。下方冷却ゾーン8内の冷却用の油に浸漬されることによりワークWが冷却され、焼き入れ処理される。
In order to lower the
昇降エレベータ14の下降に伴って補償導線26も伸びて延長されている。このように補償導線26を伸縮式に構成することで、昇降エレベータ14が下降しても接触端部20aと温度測定器24の電気的な接続が安定的に確保される。下方冷却ゾーン8に移動する前の状態(図3に示す状態)では、補償導線26は縮んでいるため、トレイ12の搬送を妨げないように構成することができる。
As the
図4Aに示すように、トレイ12およびワークWを下方冷却ゾーン8に下降させた場合であっても導通プレート18と接触端部20aの接触状態が確保されており、温度測定器24によりワークWの温度を測定可能な状態にある。このような接触状態は、トレイ12に導通プレート18を固定しながら、トレイ12を載置する昇降エレベータ14に接触端部20aを取り付けて、導通プレート18と接触端部20aを接触させているために確保することができる。これにより、中継ゾーン6から下方冷却ゾーン8へ下降している間、および、下方冷却ゾーン8で冷却処理されている間において、ワークWの温度をリアルタイムで測定することができる。
As shown in FIG. 4A, even when the
一方で、図4Bに示すように、トレイ12を上方冷却ゾーン10へ上昇させるには、昇降機構16を駆動することにより、ワークWを載置したトレイ12を昇降エレベータ14の底面部14aから上昇させる。このとき、トレイ12の導通プレート18は、接触端部20aと接触状態を維持したまま、摺動して上昇していく。摺動を滑らかにするため、接触端部20aには同じ材質のローラー(図示せず)を付けてもよい。
On the other hand, as shown in FIG. 4B, in order to raise the
上方冷却ゾーン10においてトレイ12に載置されたワークWは、所定の冷却ガスが吹き付けられることにより冷却され、焼入れ処理される。
The work W placed on the
図4Bに示すように、トレイ12を上方冷却ゾーン10に上昇させた場合であっても導通プレート18と接触端部20aの接触状態が確保されている。このような接触状態は、トレイ12に固定された導通プレート18が、トレイ12が昇降機構16による上昇位置にあっても導通ロッド20の接触端部20aとの接触を維持できる上下長さを有することにより、確保することができる。これにより、中継ゾーン6から上方冷却ゾーン10へ上昇している間、および、上方冷却ゾーン10で冷却処理されている間において、ワークWの温度をリアルタイムで測定することができる。
As shown in FIG. 4B, even when the
下方冷却ゾーン8又は上方冷却ゾーン10での冷却処理が終了したワークWはその後、中継ゾーン6に戻される。その後、扉5を開き、ワークWを載置しているトレイ12を加熱室4へ移動させ、扉5を閉め、さらに扉51を開いた後、熱処理炉2の外部に搬出する。
The work W that has completed the cooling process in the
上述した導通プレート18および導通ロッド20を設けることにより、中継ゾーン6、下方冷却ゾーン8および上方冷却ゾーン10にあるトレイ12又はその間を移動するトレイ12に載置されているワークWの温度を熱電対方式によりリアルタイムで測定することができる。
By providing the
本実施形態1のワーク温度測定装置は、熱処理炉2(筐体)の内部に配置されているワークWの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、(第1の)導通プレート18と、(第1の)導通ロッド20と、(第1の)温度測定器24とを備える。導通プレート18は、ワークWを載置して搬送するためのトレイ12に固定され、ワークWの温度測定用の(第1の)熱電対22に電気的に接続された導電性材質(本実施形態1では熱電対22と同じ材質)のプレートである。導通ロッド20は、トレイ12を載置して昇降するための昇降エレベータ14に取り付けられ、導通プレート18と接触するための導電性材質(本実施形態1では熱電対22と同じ材質)の接触端部20aを有する。温度測定器24は、熱処理炉2の外部に設けられ、導通ロッド20の接触端部20aに電気的に接続される測定器である。導通プレート18は、昇降エレベータ14とは別の昇降機構16によりトレイ12が昇降エレベータ14から上昇された上昇位置において、導通ロッド20の接触端部20aとの接触を維持する上下長さを有する。
The work temperature measurement device of the first embodiment is a work temperature measurement device for measuring the temperature of a work W disposed inside the heat treatment furnace 2 (casing), and includes a (first)
このような構成によれば、導通プレート18と導通ロッド20の接触により、熱電対22を温度測定器24に電気的に接続して、ワークWの温度を測定することができる。このため、トレイ12が昇降エレベータ14に載置されている状態のときに、トレイ12に載置されているワークWの温度をリアルタイムで測定することができる。また、導通プレート18はトレイ12が上昇された上昇位置でも接触端部20aとの接触を維持する上下長さを有するため、トレイ12が昇降エレベータ14から上昇した場合でも、上昇する途中でも、トレイ12に載置されているワークWの温度をリアルタイムで測定することができる。
According to such a configuration, by the contact between the
さらに、導通プレート18と導通ロッド20の接触により電気的な接続を確保するという接点式の温度測定であるため、トレイ12と昇降エレベータ14の間に補償導線などを設ける場合とは異なり、トレイ12およびワークWの移動を妨げることなく、ワークWをスムーズに移動させることができる。このようにして、ワークWの移動を妨げない構成でワークWの温度をリアルタイムで測定することができる。
Further, since the contact-type temperature measurement is performed to secure electrical connection by contact between the
また、本実施形態1のワーク温度測定装置によれば、導通ロッド20の接触端部20aと温度測定器24とを電気的に接続する補償導線26は例えば渦巻き状に巻かれ、伸縮可能に構成される。
Further, according to the work temperature measuring device of the first embodiment, the compensating
上記構成によれば、補償導線26を伸縮可能に構成することにより、昇降エレベータ14が下降するときでも、補償導線26による接触端部20aと温度測定器24との電気的な接続を確実に確保することができる。
According to the above configuration, by configuring the compensating
上述したワーク温度測定装置を備える本実施形態1の熱処理炉2は、当該ワーク温度測定装置を用いてワークWの温度測定を行う熱処理炉2であって、ワーク温度測定装置と、前述したトレイ12、昇降エレベータ14および昇降機構16とをさらに備える。
The
このような構成によれば、前述したワーク温度測定装置を備えているため、ワークWの移動を妨げない構成でワークWの温度をリアルタイムで測定することができる。 According to such a configuration, since the work temperature measuring device described above is provided, the temperature of the work W can be measured in real time with a configuration that does not hinder the movement of the work W.
また本実施形態1の熱処理炉2はさらに、加熱ゾーン4と、中継ゾーン6と、下方冷却ゾーン8および上方冷却ゾーン10とを備える。加熱ゾーン4は、ワークWを加熱処理する空間を構成する。中継ゾーン6は、加熱ゾーン4の側方に設けられた空間を構成する。下方冷却ゾーン8および上方冷却ゾーン10は、中継ゾーン6の下方および上方に設けられた空間を構成し、加熱ゾーン4で加熱処理されたワークWを冷却処理する。トレイ12は、加熱ゾーン4と中継ゾーン6の間でワークWを載置して搬送する。昇降エレベータ14は、中継ゾーン6と下方冷却ゾーン8の間でトレイ12を載置して昇降する。昇降機構16は、昇降エレベータ14による昇降とは独立して中継ゾーン6と上方冷却ゾーン10の間でトレイ12を昇降させる。
Further, the
このような構成によれば、トレイ12の導通プレート18と昇降エレベータ14の導通ロッド20が接触することにより、ワークWが中継ゾーン6にあるとき又は中継ゾーン6から下方に移動するときでもワークWの温度をリアルタイムで測定することができる。また、トレイ12が中継ゾーン6から上方に移動するときでも、導通プレート18が上下長さを有しているため、トレイ12に載置されているワークWの温度をリアルタイムで測定することができる。
According to such a configuration, when the
次に、導通ロッド20の詳細な構成について、図5、6A、6Bを用いて説明する。
Next, a detailed configuration of the
図5、6A、6Bでは導通ロッド20を1つだけ図示するが、実際には、測定に用いる配線の数に合わせて複数の導通ロッド20をトレイ12の側面部12bに取り付けている。図1に示す例では、ワークWに測定ポイントPが3カ所あり、測定ポイントPのそれぞれに対する熱電対として配線が2本でセットとなっている(図1では2本の熱電対22を1本にまとめて図示)。よって、図9に示すように昇降エレベータ14の側面部14bには導通ロッド20が横に並べて6つ取り付けられている。また図10に示すように、トレイ12の側面部12bにも、6つの導通ロッド20に対応する位置に導通プレート18が横に並べて6つ取り付けられている。
Although only one
図5に示すように、導通プレート18はトレイ12の側面部12bに対して絶縁プレート18aを挟んで取り付けられている。導通プレート18には、ワークWの温度測定に用いる熱電対22の2本のうち1本が接続部18bに取り付けられている。接続部18bは例えば、導通プレート18の表面から突出したねじ部とそれに螺合する六角ナットにより構成される。接続部18bに接続されない熱電対22のもう1本は、ワークWの測定ポイントPに接続されている。
As shown in FIG. 5, the
導通プレート18に接触される導通ロッド20は、昇降エレベータ14の側面部14bに回転可能に取り付けられた機構である。具体的には、導通ロッド20は、接触端部20aを一端に有するL字状のプレート20cにより構成されている。プレート20cの他端には、重り20bが設けられている。重り20bは後述するように、接触端部20aを導通プレート18に押し付ける方向に付勢するための付勢部の一例である。接触端部20aには、前述した補償導線26が接続されている。また、接触端部20aとプレート20cの間には、絶縁プッシュ20eによって電気的に絶縁されている。また、接触端部20aの材質は、熱電対22に用いている材質と同じである。
The
プレート20cは、その回転中心となる折曲部分に回転軸20dが挿通されている。回転軸20dは、昇降エレベータ14の側面部14bに固定された棒状の突起であり、プレート20cは回転軸20dを中心として回転可能に構成される。
The
さらに、昇降エレベータ14の側面部14bには、プレート20cの回転位置を規制するためのストッパとして突起14cが固定されている。これらの周囲の様子は図9で示される。
Further, a
このような構成を有する導通ロッド20について、導通プレート18と接触していない非接触状態を図6Aに示し、導通プレート18と接触している接触状態を図6Bに示す。
FIG. 6A shows a non-contact state where the
図6Aに示すように、導通ロッド20と導通プレート18の非接触状態においては、重り20bの自重Sによって、導通ロッド20のプレート20cが突起14cに当接した状態で静止している(第1の回転位置)。
As shown in FIG. 6A, in a non-contact state between the
一方で、図6Bに示すように、導通プレート18が導通ロッド20の接触端部20aに接触している状態においては、プレート20cは、導通プレート18からの押付により、突起14cから離れる方向に回転された位置に維持される(第2の回転位置)。
On the other hand, as shown in FIG. 6B, in a state where the
図6Bに示す第2の回転位置において、重り20bはその自重Sによって、接触端部20aを導通プレート18に押し付ける方向Dにプレート20cを回転付勢している。このような構成により、接触端部20aと導通プレート18との接触をより確実に確保することができ、トレイ12の搬送時の振動や位置ずれなどにも対応することができる。また、接触端部20aを付勢する付勢部として重り20bの自重Sを利用することにより、簡易な構成により付勢部を実現することができる。
In the second rotation position shown in FIG. 6B, the
以上、上述の実施形態1を挙げて本開示の発明を説明したが、本開示の発明は上述の実施形態1に限定されない。例えば、上記実施形態1では、ワークWの冷却処理を行う冷却ゾーンとして、下方冷却ゾーン8および上方冷却ゾーン10の2つを設ける場合について説明したが、このような場合に限らない。図11に示すような上方冷却ゾーン10だけの場合や、図12に示すような下方冷却ゾーン8だけの場合であってもよい。また、上方や下方に設けられるのが、冷却以外の目的を持ったもの(例えば、温度の異なる加熱ゾーン)であってもよい。
As described above, the invention of the present disclosure has been described with reference to the first embodiment, but the invention of the present disclosure is not limited to the first embodiment. For example, in the first embodiment, a case has been described in which two
また上記実施形態1では、筐体の一例として工業用炉の一種である熱処理炉2について説明したが、このような熱処理炉に限らず、焼入油槽、多室型の加熱装置などにも適用可能である。このような場合であっても、ワークWを内部に配置している筐体の中に上記実施形態1と同様に導通ロッドと導通プレートを設けることにより、筐体内におけるワークWの温度変化をリアルタイムで測定することができる。
In the first embodiment, the
また上記実施形態1では、図9、図10に示すように、複数の導通プレート18と複数の導通ロッド20をそれぞれ横に並べて配置したが、上昇させる高さがそれほど高くない場合には、それぞれを縦に並べて配置してもよい。そうすれば、数多くの測定ポイントが測定できる。
In the first embodiment, as shown in FIGS. 9 and 10, the plurality of
また上記実施形態1では、接触端部20aを付勢する付勢部として重り20bを備える場合について説明したが、このような場合に限らず、付勢部を設けない場合であってもよい(例えば、導通ロッドおよび接触端部が回転できない状態で昇降エレベータ14に固定される構成)。
In the first embodiment, the case where the
また上記実施形態1では、接触端部20aを付勢する付勢部が接触端部20aと一体的に回転可能な重り20bである場合について説明したが、このような場合に限らない。接触端部20aを導通プレート18に押し付ける方向に付勢するものであれば、任意の付勢部であってもよい。例えば、ばねによって接触端部20aを導通プレート18に押し付ける構成としてもよい。このような構成は、加熱室4の内部は高温になるので、バネが熱伸びして弾力を失わない程度の場合に有効である。
Further, in the first embodiment, the case where the urging portion for urging the
また上記実施形態1では、導通プレート18および導通ロッド20をワークWの片側のみに設ける場合について説明したが、このような場合に限らない。図7に示す例では、導通プレート18および導通ロッド20に加えて、別の導通プレート28および導通ロッド30を設けている。
In the first embodiment, the case where the
図7に示す熱処理炉32では、トレイ34はコの字型の断面を有して構成されている。トレイ34は、ワークWを載置するための底面部34aと、前述した導通プレート18を固定するための第1の側面部34bとに加えて、第2の側面部34cを備える。
In the
第2の側面部34cは、第1の側面部34bに対向する位置に設けられており、第1の側面部34bと同様に上下方向に延びて配置されている。第2の側面部34cには、ワークWを熱処理炉2に挿入する側とは反対側の側面に導通プレート28が固定されている。導通プレート28は、後述する導通ロッド30と熱電対を構成するように、後述する熱電対42と同じ材質の金属(例えばクロメルとアルメル)で形成されており、導電性材質である。導通プレート28には、複数の熱電対42が電気的に接続されている。
The second
加熱ゾーン4における側壁のうち、中継ゾーン6に対向する側壁である内壁面36には、導通ロッド30が固定されている。内壁面36は例えば、図7に示すように加熱ゾーン4内にアクセスするための横開き式の扉52であってもよい。
The conducting
導通ロッド30は、導通プレート28に向かって突出した接触端部30aを有する。接触端部30aは導通プレート28とともに熱電対を構成するように、熱電対42と同種の金属(例えばクロメルとアルメル)で構成されており、導電性材質である。
The
導通ロッド30の接触端部30aには補償導線38が接続されている。補償導線38は、温度測定器24とは別に熱処理炉2の外部に設けられた温度測定器40に電気的に接続されている。
A
このような構成によれば、トレイ34が昇降エレベータ14とは分離されて加熱ゾーン4に配置されている場合であっても、導通プレート28が導通ロッド30の接触端部30aに接触する状態とし、中継ゾーン6、下方冷却ゾーン8、上方冷却ゾーン10だけでなく、加熱室4においてもワークWの温度を温度測定器40によりリアルタイムで測定することができる。
According to such a configuration, even when the
このように、図7に示す熱処理炉32のワーク温度測定装置は、(第1の)導通プレート18、(第1の)導通ロッド20および(第1の)温度測定器24に加えて、(第2の)導通プレート28、(第2の)導通ロッド30および(第2の)温度測定器40を備える。導通プレート28は、トレイ34に固定されるとともに、ワークWの温度測定用の(第2の)熱電対42に電気的に接続された導電性材質のプレートである。導通ロッド30は、熱処理炉2の内壁面36に取り付けられ、導通プレート28と接触するための導電性材質の接触端部30aを有する。温度測定器40は、熱処理炉2の外部に設けられ、導通ロッド30の接触端部30aに電気的に接続される。ここで、導通ロッド30は、接触端部30aが導通プレート28に接触するときに、導通プレート28を温度測定器40に電気的に接続する。
As described above, the work temperature measuring device of the
このような構成によれば、導通プレート28と導通ロッド30を設けることにより、トレイ34が昇降エレベータ14から離れた状態であっても導通プレート28が導通ロッド30に接触する位置であれば、ワークWの温度変化をリアルタイムで測定することができる。
According to such a configuration, by providing the
(実施形態2)
本開示に係る実施形態2の熱処理炉60について説明する。実施形態2では、主に実施形態1と異なる点について説明する。実施形態2においては、実施形態1と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施形態2では、実施形態1と重複する記載は省略する。
(Embodiment 2)
A
図13は、本開示に係る実施形態2の熱処理炉60の概略構成を示すブロック図である。
FIG. 13 is a block diagram illustrating a schematic configuration of the
実施形態2では、ワークWを熱処理炉60内に搬入するための扉52を中継ゾーン6に設ける点が、実施形態1と異なる。
The second embodiment is different from the first embodiment in that a
図13に示すように、中継ゾーン6の1つの側面に、横扉52が戸袋72とともに設けられている。このような構成において、横扉52を開き、中継ゾーン6にあるトレイ12の底面部12aにワークWが横から載置される(矢印M1)。横扉52を閉じ、扉5を開き、そのままワークWが加熱ゾーン4に送られて(矢印M2)、扉5を閉じて加熱される。その後、扉5を開き、中継ゾーン6にワークWが戻される(矢印M3)。そして、扉5を閉じ、ワークWを下降もしくは上昇させ、下方冷却ゾーン8もしくは上方冷却ゾーン10で焼入れ処理した後、ワークWを上昇もしくは下降させ、中継ゾーン6に戻す。その後、横扉52を開き、ワークWを熱処理炉60の外部に取り出す(矢印M4)。
As shown in FIG. 13, a
このような構成であっても、実施形態1の熱処理炉2と同様に、ワークWの移動を妨げない構成で熱処理中のワークWの温度変化をリアルタイムで測定することができる。
Even with such a configuration, similarly to the
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。 Note that by appropriately combining any of the various embodiments described above, the effects of the respective embodiments can be achieved.
本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。また、各実施形態における要素の組合せや順序の変化は、本開示の範囲及び思想を逸脱することなく実現し得るものである。 Although the present disclosure has been fully described in connection with preferred embodiments with reference to the accompanying drawings, various variations and modifications will be apparent to those skilled in the art. It is to be understood that such changes and modifications are included therein unless they depart from the scope of the present disclosure as set forth in the appended claims. In addition, combinations of elements and changes in the order in each embodiment can be realized without departing from the scope and spirit of the present disclosure.
本開示は、熱処理炉などの筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置およびそれを備える熱処理炉であれば適用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present disclosure is applicable to any work temperature measuring device for measuring the temperature of a work disposed inside a housing such as a heat treatment furnace, and any heat treatment furnace including the same.
2、60 熱処理炉
4 加熱ゾーン
5、51、52 扉
5a 開口
5b チェーン
5c 昇降機構
51 扉
51a 開口
51b チェーン
51c 昇降機構
6 中継ゾーン
7 戸袋
71、72 戸袋
8 下方冷却ゾーン
10 上方冷却ゾーン
12 トレイ
12a 底面部
12b 側面部
14 昇降エレベータ
14a 底面部
14b 側面部
14c 突起
16 昇降機構
17 把持アーム
18 (第1の)導通プレート
18a 絶縁プレート
18b 接続部
20 (第1の)導通ロッド
20a 接触端部
20b 重り
20c プレート
20d 回転軸
20e 絶縁プッシュ
22 (第1の)熱電対
24 (第1の)温度測定器
26 (第1の)補償導線
28 (第2の)導通プレート
30 (第2の)導通ロッド
30a 接触端部
32 熱処理炉
34 トレイ
34a 底面部
34b 第1の側面部
34c 第2の側面部
36 内壁面
38 (第2の)補償導線
40 (第2の)温度測定器
42 (第2の)熱電対
W ワーク
S 自重
P 測定ポイント
2, 60
Claims (7)
前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第1の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第1の導通プレートと、
前記トレイを載置して昇降するための昇降エレベータに取り付けられ、前記第1の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第1の導通ロッドと、
前記筐体の外部に設けられ、前記第1の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第1の温度測定器と、を備え、
前記第1の導通ロッドの前記接触端部と前記第1の導通プレートは2つずつ設けられており、互いに接触する前記第1の導通ロッドの前記接触端部と前記第1の導通プレートの1組を同じ種類の金属で構成するとともに同じ種類の金属による前記第1の熱電対の配線に接続し、かつ、各組を異なる種類の金属で構成し、
前記第1の導通プレートは、前記トレイが前記昇降エレベータを収容したゾーンに進入する進入方向に向けて露出し、前記第1の導通ロッドの前記接触端部は、前記進入方向の逆向きに突出する、ワーク温度測定装置。 A work temperature measuring device for measuring the temperature of a work arranged inside the housing,
A first conductive plate of a conductive material fixed to a tray for mounting and transporting the work, and electrically connected to a first thermocouple for measuring the temperature of the work;
A first conductive rod attached to a lift elevator for mounting and lowering the tray and having a contact end made of a conductive material for contacting the first conductive plate;
A first temperature measuring device provided outside the housing and electrically connected to the contact end of the first conductive rod;
The contact end of the first conductive rod and the first conductive plate are provided two by two, and the contact end of the first conductive rod and one of the first conductive plates contacting each other. A pair is made of the same type of metal and connected to the wiring of the first thermocouple made of the same type of metal, and each pair is made of a different type of metal ;
The first conductive plate is exposed in an approach direction in which the tray enters the zone in which the elevator is housed, and the contact end of the first conductive rod projects in a direction opposite to the approach direction. A work temperature measuring device.
前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第1の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第1の導通プレートと、
前記筐体の内壁面に取り付けられ、前記第1の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第1の導通ロッドと、
前記筐体の外部に設けられ、前記第1の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第1の温度測定器と、を備え、
前記第1の導通プレートは、前記トレイを昇降させるための昇降機構により前記トレイが上昇された上昇位置において、前記第1の導通ロッドの前記接触端部との接触を維持する上下長さを有し、
前記第1の導通ロッドの前記接触端部と前記第1の導通プレートは2つずつ設けられており、互いに接触する前記第1の導通ロッドの前記接触端部と前記第1の導通プレートの1組を同じ種類の金属で構成するとともに同じ種類の金属による前記第1の熱電対の配線に接続し、かつ、各組を異なる種類の金属で構成し、
前記第1の導通プレートは、前記トレイが前記昇降機構を収容したゾーンに進入する進入方向に向けて露出し、前記第1の導通ロッドの前記接触端部は、前記進入方向の逆向きに突出する、ワーク温度測定装置。 A work temperature measuring device for measuring the temperature of a work arranged inside the housing,
A first conductive plate of a conductive material fixed to a tray for mounting and transporting the work, and electrically connected to a first thermocouple for measuring the temperature of the work;
A first conductive rod attached to an inner wall surface of the housing and having a contact end made of a conductive material for contacting the first conductive plate;
A first temperature measuring device provided outside the housing and electrically connected to the contact end of the first conductive rod;
The first conductive plate has a vertical length that maintains contact with the contact end of the first conductive rod at a raised position where the tray is raised by a lifting mechanism for lifting and lowering the tray. And
The contact end of the first conductive rod and the first conductive plate are provided two by two, and the contact end of the first conductive rod and one of the first conductive plates contacting each other. A pair is made of the same type of metal and connected to the wiring of the first thermocouple made of the same type of metal, and each pair is made of a different type of metal ;
The first conductive plate is exposed in an approach direction in which the tray enters the zone in which the lifting mechanism is housed, and the contact end of the first conductive rod projects in a direction opposite to the approach direction. A work temperature measuring device.
前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第1の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第1の導通プレートと、
前記トレイを載置して昇降するための昇降エレベータに取り付けられ、前記第1の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第1の導通ロッドと、
前記筐体の外部に設けられ、前記第1の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第1の温度測定器と、を備え、
前記第1の導通プレートは、前記昇降エレベータとは別の昇降機構により前記トレイが前記昇降エレベータから上昇された上昇位置において、前記第1の導通ロッドの前記接触端部との接触を維持する上下長さを有し、
前記第1の導通ロッドの前記接触端部と前記第1の導通プレートは2つずつ設けられており、互いに接触する前記第1の導通ロッドの前記接触端部と前記第1の導通プレートの1組を同じ種類の金属で構成するとともに同じ種類の金属による前記第1の熱電対の配線に接続し、かつ、各組を異なる種類の金属で構成し、
前記第1の導通プレートは、前記トレイが前記昇降エレベータおよび前記昇降機構を収容したゾーンに進入する進入方向に向けて露出し、前記第1の導通ロッドの前記接触端部は、前記進入方向の逆向きに突出する、ワーク温度測定装置。 A work temperature measuring device for measuring the temperature of a work arranged inside the housing,
A first conductive plate of a conductive material fixed to a tray for mounting and transporting the work, and electrically connected to a first thermocouple for measuring the temperature of the work;
A first conductive rod attached to a lift elevator for mounting and lowering the tray and having a contact end made of a conductive material for contacting the first conductive plate;
A first temperature measuring device provided outside the housing and electrically connected to the contact end of the first conductive rod;
The first conductive plate is vertically moved to maintain contact with the contact end of the first conductive rod at a raised position where the tray is lifted from the lift elevator by a lift mechanism different from the lift elevator. Has a length,
The contact end of the first conductive rod and the first conductive plate are provided two by two, and the contact end of the first conductive rod and one of the first conductive plates contacting each other. A pair is made of the same type of metal and connected to the wiring of the first thermocouple made of the same type of metal, and each pair is made of a different type of metal ;
The first conductive plate is exposed in an approach direction in which the tray enters a zone in which the elevator and the elevator mechanism are accommodated, and the contact end of the first conductive rod is configured to be in the approach direction. A work temperature measuring device that projects in the opposite direction .
前記付勢部は、前記接触端部と一体的に回転可能な状態で取り付けられた重りであり、
前記接触端部が前記第1の導通プレートと接触状態にあるときに、前記付勢部はその自重によって、前記接触端部を前記第1の導通プレートに押し付ける方向に回転付勢する、請求項1から3のいずれか1つに記載のワーク温度測定装置。 The first conductive rod includes a biasing unit that biases the contact end in a direction of pressing the contact end against the first conductive plate,
The urging portion is a weight attached so as to be rotatable integrally with the contact end portion,
When the contact end is in contact with the first conductive plate, the biasing portion urges the contact end to rotate in a direction of pressing the contact end against the first conductive plate by its own weight. 4. The work temperature measuring device according to any one of 1 to 3.
前記熱処理炉の内壁面に取り付けられ、前記第2の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第2の導通ロッドと、
前記熱処理炉の外部に設けられ、前記第2の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第2の温度測定器と、を備え、
前記第2の導通ロッドは、前記接触端部が前記第2の導通プレートに接触するときに、前記第2の導通プレートを前記第2の温度測定器に電気的に接続し、
前記第2の導通ロッドの前記接触端部と前記第2の導通プレートは2つずつ設けられており、互いに接触する前記第2の導通ロッドの前記接触端部と前記第2の導通プレートの1組を同じ種類の金属で構成するとともに同じ種類の金属による前記第2の熱電対の配線に接続し、かつ、各組を異なる種類の金属で構成した、請求項1から4のいずれか1つに記載のワーク温度測定装置。 A second conductive plate of a conductive material fixed to the tray and electrically connected to a second thermocouple for measuring the temperature of the work;
A second conductive rod attached to the inner wall surface of the heat treatment furnace and having a contact end made of a conductive material for contacting the second conductive plate;
A second temperature measuring device provided outside the heat treatment furnace and electrically connected to the contact end of the second conductive rod;
The second conductive rod electrically connects the second conductive plate to the second temperature measuring device when the contact end contacts the second conductive plate;
The contact end of the second conductive rod and the second conductive plate are provided two by two, and the contact end of the second conductive rod and one of the second conductive plates that are in contact with each other are provided. 5. The semiconductor device according to claim 1, wherein the sets are made of the same kind of metal, connected to the wiring of the second thermocouple made of the same kind of metal, and each set is made of a different kind of metal. 2. The work temperature measuring device according to 1.
前記トレイは、前記加熱ゾーンと前記中継ゾーンの間で前記ワークを載置して搬送し、
前記昇降エレベータは、前記中継ゾーンと前記下方冷却ゾーンの間で前記トレイを載置して昇降し、
前記昇降機構は、前記昇降エレベータによる昇降とは独立して前記中継ゾーンと前記上方冷却ゾーンの間で前記トレイを昇降させる、熱処理炉。 A heating zone for heating the work, a relay zone provided on the side of the heating zone, and a lower portion provided below and above the relay zone for cooling the work heated in the heating zone. The heat treatment furnace according to claim 6, comprising a cooling zone and an upper cooling zone,
The tray mounts and transports the work between the heating zone and the relay zone,
The elevating elevator places the tray between the relay zone and the lower cooling zone and moves up and down,
The heat treatment furnace, wherein the lifting mechanism lifts and lowers the tray between the relay zone and the upper cooling zone independently of lifting and lowering by the lifting elevator.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016233205A JP6673809B2 (en) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | Work temperature measuring device and heat treatment furnace having the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016233205A JP6673809B2 (en) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | Work temperature measuring device and heat treatment furnace having the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018091658A JP2018091658A (en) | 2018-06-14 |
JP6673809B2 true JP6673809B2 (en) | 2020-03-25 |
Family
ID=62565555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016233205A Active JP6673809B2 (en) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | Work temperature measuring device and heat treatment furnace having the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6673809B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110106330A (en) * | 2019-05-27 | 2019-08-09 | 河南天利热工装备股份有限公司 | A kind of insert row on industrial furnace |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4281985A (en) * | 1980-06-06 | 1981-08-04 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Automatic thermocouple positioner for use in vacuum furnaces |
FR2560382B1 (en) * | 1984-02-28 | 1987-06-12 | Inf Milit Spatiale Aeronaut | THERMOCOUPLE BODY TEMPERATURE MEASURING DEVICE |
JPS6220438Y2 (en) * | 1985-02-13 | 1987-05-25 | ||
JPH0711159Y2 (en) * | 1990-02-06 | 1995-03-15 | 富士電子工業株式会社 | Induction hardening equipment |
JP3208836B2 (en) * | 1992-04-07 | 2001-09-17 | 大同特殊鋼株式会社 | Starting the heat treatment furnace |
JP2583253Y2 (en) * | 1992-07-09 | 1998-10-22 | 神鋼電機株式会社 | Charged electrostatic discharge device for transport equipment |
JPH06223679A (en) * | 1993-01-22 | 1994-08-12 | Tachi S Co Ltd | Motor with limit switch |
JPH11112216A (en) * | 1997-10-06 | 1999-04-23 | Comsys:Kk | Antenna for portable radio receiver |
JP3836291B2 (en) * | 2000-02-29 | 2006-10-25 | 光洋サーモシステム株式会社 | Box heat treatment furnace |
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JP2014181931A (en) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Ngk Insulators Ltd | Treatment method and treatment device for radioactive silicone oil |
JP6546416B2 (en) * | 2015-03-16 | 2019-07-17 | Dowaサーモテック株式会社 | Oil flow velocity measuring device and oil flow velocity measuring method |
-
2016
- 2016-11-30 JP JP2016233205A patent/JP6673809B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018091658A (en) | 2018-06-14 |
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|
A977 | Report on retrieval |
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