JP2004264216A

JP2004264216A - Temperature measuring device

Info

Publication number: JP2004264216A
Application number: JP2003056116A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Katsumata; 和彦勝俣
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2003-03-03
Filing date: 2003-03-03
Publication date: 2004-09-24

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To secure widely an arrangement space of a treating object in a heat treatment furnace, to detect simultaneously the temperature of the treating object arranged in the heat treatment furnace, and to perform fine adjustment of heating or cooling of the heat treatment furnace according to the result. <P>SOLUTION: This temperature measuring device is equipped respectively with a sensor part 39 arranged on a temperature measuring spot 41 of the treating object X placed on a pedestal 10 moving between the inside and the outside of the heat treatment furnace 23, and a measuring part 61 electrically connected to the sensor part 39 carried from an instrument 48 arranged outside the heat treatment furnace 23 to the inside of the heat treatment furnace 23 through a through-hole formed in the heat treatment furnace 23. The sensor part 39 is electrically connected to a first connection terminal 37 mounted on the pedestal 10, and a second connection terminal 45 is provided on the end on the heat treatment furnace 23 inside of the measuring part, and the first connection terminal 37 and the second connection terminal 45 are connected together when the treating object X is arranged in the heat treatment furnace 23. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内部に配置された被処理体の加熱或いは冷却を行う熱処理炉内における被処理体の温度を測定する温度測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、真空状態の熱処理炉内における被処理体の温度を測定する場合、被処理体の温度測定箇所に温度を検出するセンサーを取り付け、センサーにデータを記憶するデータレコーダを接続し、センサーで検出された被処理体の温度測定結果をデータレコーダに記憶する。このとき、データレコーダは被処理体と一緒に熱処理炉内に配置されているとともに、耐熱性、断熱性に優れたケースの中に収容されている。データレコーダは被処理体の熱処理完了後に熱処理炉内から取り出し、データレコーダに記憶された温度測定結果を取り出す。上記した構成からなる温度測定装置により、熱処理炉内における被処理体の温度を測定することができる（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−２８０９６８号公報（第２−４頁、第１図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の温度測定装置によると、データレコーダを収容するとともに耐熱性、断熱性を確保するため、ケースの外形は相当の大きさのものとなる。このため、温度測定装置は熱処理炉内において相当のスペースを専有し、被処理体の外形が大きい場合は相当の大きさの熱処理炉が必要になるという問題が存在する。
【０００５】
また、上記した従来の温度測定装置によると、熱処理炉内に配置された被処理体の温度測定結果は熱処理完了後に熱処理炉内から取り出されたデータレコーダにより得られ、被処理体の温度は事後的にのみ把握される。このため、熱処理を行いつつ被処理体の温度を把握することはできないという問題が存在する。
【０００６】
本発明は、上記した従来の問題が考慮されたものであり、熱処理炉内に配置される温度測定装置の専有するスペースを縮小し、熱処理炉内における被処理体の配置スペースを広く確保できる温度測定装置を提供することを目的としている。また、熱処理炉内に配置された被処理体の温度をリアルタイムで検出し、その結果に応じて熱処理炉の加熱或いは冷却の微調整を行うことができる温度測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、熱処理炉の内外の間を移動する架台に載せられた被処理体の温度測定箇所に配置されているセンサー部と、前記熱処理炉外に配置された計器から前記熱処理炉に形成された貫通孔を通って前記熱処理炉内に運ばれた前記センサー部に電気的に接続されている測定部とをそれぞれ備える温度測定装置であって、前記センサー部は前記架台に取り付けられた第１の接続端子に電気的に接続され、前記測定部の前記熱処理炉内側の端部には第２の接続端子が設けられ、前記第１の接続端子と前記第２の接続端子とは前記被処理体が前記熱処理炉内に配置されたときに接続されることを特徴としている。
【０００８】
このような特徴により、測定部は熱処理炉の外部に配置されるため断熱性、耐熱性に優れたケースの中に収納する必要はなく、熱処理炉の内部には外形の大きい温度測定装置の部品等は配置されない。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の温度測定装置において、前記第２の接続端子には、該第２の接続端子を前記第１の接続端子に接触する位置と接触しない位置との間で移動させる移動機構が設けられていることを特徴としている。
【００１０】
このような特徴により、架台とともに被処理体を熱処理炉内に入れるときには第２の接続端子は架台の移動に干渉しないところに配置され、被処理体が熱処理炉内の所定の位置に配置されたときには第２の接続端子は第１の接続端子に接触する位置に移動する。
【００１１】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の温度測定装置において、前記熱処理炉は気密状態の熱処理室内に配置され、前記移動機構の稼動部は前記熱処理室内から前記熱処理炉内に貫通されていることを特徴としている。
【００１２】
このような特徴により、稼動部は気密状態の熱処理室内から熱処理炉内に貫通されているため、稼動部が貫通する熱処理炉が気密状態でなくても熱処理炉の中に外気が流入することはない。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項２または３記載の温度測定装置において、前記熱処理炉内には、前記移動機構の移動方向を案内するガイド機構が設けられていることを特徴としている。
【００１４】
このような特徴により、第２の接続端子は第１の接続端子に確実に接触される。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１から４のいずれか記載の温度測定装置において、前記第１の接続端子と前記第２の接続端子とのうち少なくとも一方には、接触方向に付勢する付勢材が備えられていることを特徴としている。
【００１６】
このような特徴により、第１の接続端子と第２の接続端子との密着度は向上するとともに、第１の接続端子と第２の接続端子とが接触した時の衝撃は緩和される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１及び図２は、本実施形態に係る熱処理装置１の全体構成の概略図であり、図１は縦断面図、図２は横断面図である。図１、図２に示すように、熱処理装置１は、被処理体Ｘを冷却する冷却室（熱処理室）２、被処理体Ｘを加熱する加熱室（熱処理室）３を備える多室型熱処理装置であり、これらに加えて、冷却室２と加熱室３との間に中間室４を有している。
【００１８】
冷却室２は、冷却室２の内部が加圧状態となった場合にその圧力に耐えられるように略円筒形に形状設定されており、この円筒形の中心軸が水平となるように姿勢設定されている。冷却室２の一方側（図１及び図２における右側）には冷却室２の軸方向に水平移動するクラッチ式の扉５が設置されており、他方側（図１及び図２における左側）には上下に開閉するクランプ式の真空シールド扉（中間扉）６が設置されている。熱処理装置１の内側空間は、扉５が閉じた状態で外部と遮断された密閉状態となる。この冷却室２の内部には、冷却室２の中心軸方向に長い略直方体形の風路室（熱処理炉）７が設置され、風路室７の上方および下方には冷却室２内の冷却ガスの流路方向を調節するガス流案内板８ａ、８ｂがそれぞれ設置されている。また、風路室７外の冷却室２の内部は、図示せぬ仕切板によって上下に区分けされている。
【００１９】
風路室７の長手方向に対応する風路室７の側面部７ａ，７ｂはそれぞれ扉５および真空シールド扉８に固定されているとともに風路室の本体７ｃと着脱自在に形成されており、扉５及び真空シールド扉６が閉まった場合には風路室７の内部が閉じられた空間となるように形成されている。風路室７の上壁部及び下壁部には、冷却ガスを整流して通過させる格子状の整流板９ａ，９ｂがそれぞれ形成されている。また、風路室７の内部には、被処理体Ｘを載せた架台１０を冷却室２の軸方向に移送するための移送台１１が設置されており、移送台１１には複数のフリーローラ１２が架台１０の移送方向に回転自在に備えられている。また、架台１０は冷却ガスが通過できるように例えば格子状に形成されている。
【００２０】
また、風路室７の内部には冷却室２の外部から供給される冷却ガスを吐出するガス吐出枝管１３が被処理体Ｘの全体に吹付けられるように被処理体Ｘを囲む位置に配置されている。具体的には、４本のガス吐出枝管１３が各々風路室７の長手方向に配置され、４本のガス吐出枝管１３はヘッダー管１４に各々接続されている。また、ガス吐出枝管１３には被処理体Ｘに向けて冷却ガスが吐出する吐出口が複数形成されている。
【００２１】
扉５は中空形状に形成されており、その内部には熱交換器１５、冷却ファン１６及びダンパ１７ａ，１７ｂが備えられている。熱交換器１５は、水と冷却ガスを熱交換することによって冷却ガスを冷却するものであり、扉５内に配置された熱交換器格納室１８の内部に配置されている。冷却ファン１６は、熱交換器１５内からガス通過口１９ａを通過してきた冷却ガスに流れを与えるためのものであり、熱交換器１５と扉５の内周面との間、すなわち、冷却室２に載置される被処理体Ｘの側面から水平方向に離間するように配置されている。この冷却ファン１６は、扉５から突出するように設置された冷却ファンモータ２０によって駆動される。ダンパ１７ａ，１７ｂは、冷却ファン１６による冷却ガスの流路方向を決定するものであり、熱交換器格納室１８の上方に形成された複数のガス通過口１１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄをそれぞれ選択的に閉鎖するものである。なお、熱交換器格納室１８外の扉５の内部は、図示せぬ仕切板によって上下に区分けされている。
【００２２】
一方、図３に示すように、加熱室３は、水冷二重壁の略円筒形に形状設定され、内壁３ａと外壁３ｂとの間には水３ｃが介在されており、冷却室２に対向して配置されている。また、加熱室３に連結された搬送棒収納室２１の内部には、本熱処理装置１の内部において、被処理体Ｘが載置された架台１０を搬送することによって被処理体Ｘを搬送するための搬送棒２２が設置されている。
【００２３】
加熱室３の内部には略直方形に形状設定された加熱容器（熱処理炉）２３が設置されている。この加熱容器２３の一方側（冷却室２と対向する側）には上下に開閉する断熱扉２４が設置されており、他方側には搬送棒２２の出入口となる搬送棒用扉２５が設置されている。この搬送棒用扉２５は、加熱室３の外壁から突出するように設置された昇降機構２６によって上下方向に開閉される。加熱容器２３の内部には、被処理体Ｘを載せた架台１０を加熱室３の軸方向に移送するための複数のフリーローラ２７を有する移送台２８が設置されており、この移送台２８は風路室７内部に設置された移送台１１の延長線上に配置されている。なお、搬送棒用扉２５、移送台２８および架台１０は断熱扉２４と同様に断熱設計されている。また、加熱容器２３の内部には、被処理体Ｘを加熱するためのヒータ２９が、被処理体Ｘの全体が均等に加熱されるように被処理体Ｘの上下に複数設置されている。
【００２４】
また、加熱室３には、加熱容器２３内に配置された被処理体Ｘの温度を測定する温度測定装置３０が備えられている。図３、図４に示すように、架台１０には、鉛直方向に延在する矩形の嵌入孔３１を有するガイド受け部３２が載せられている。ガイド受け部３２の下端部には架台１０の上面に対向する円盤状の下フランジ部３３が形成されており、下フランジ部の下面中央には架台１０に形成された固定孔３４に遊挿される固定軸３５が設けられている。ガイド受け部３２の上端部外周には間隔をあけて下フランジ部３３と対向する円盤状の上フランジ部３６が形成されており、上フランジ部３６には鉛直方向に延在する第１の接続端子３７が嵌入孔３１の廻りを囲うように間隔をあけて複数取り付けられている。第１の接続端子３７の上端部には電極となる拡径部３７ａが形成されており、第１の接続端子３７の中間部および下端部にはナット３８ａ、３８ｂがそれぞれ螺合されている。拡径部３７ａと中間部のナット３８ａとで上フランジ部３６を挟み込み第１の接続端子３７は固定されている。
【００２５】
上フランジ部３６の設けられた複数の第１の接続端子３７の下端部には、センサー部３９に一端が接続された第１の導線４０の他端がそれぞれ取り付けられている。センサー部３９は被処理体Ｘの温度測定箇所４１にそれぞれ接触しており、温度測定箇所４１は被処理体Ｘ全体に間隔をあけて複数設定される。温度測定装置３０には熱電対が利用されており、第１の導線４０には対（二種類）となる導線が使用され、例えばクロメル−アルメル、クロメル−コンスタン、鉄−コンスタン、銅−コンスタン、ナイクロシル−ナイシル、白金・ロジウム（１０％）−白金、白金・ロジウム（１３％）−白金、白金・ロジウム（３０％）−白金・ロジウム（６％）、クロメル−金・鉄、イリジウム−イリジウム・ロジウム（４９％）、タングステン・レニウム（５％）−タングステン・レニウム（２６％）、ニッケル−ニッケル・モリブデン（１８％）、パラジウム・白金・金−金・パラジウムからなるものが使用される。また、第１の接続端子３７上端の電極となる拡径部３７ａは上フランジ部３６の上方に突出されている。
【００２６】
ガイド受け部３２の上方には、嵌入孔３１に挿嵌される嵌入ロッド４２を有するガイド部４３が配置されている。嵌入ロッド４２は嵌入孔３１に対応するように矩形に形成され鉛直方向に延在する角形の棒材であり、嵌入ロッド４２の下端は尖り形状に形成されている。また、嵌入ロッド４２の下端部には、ガイド受け部３２の上フランジ部３６に対向する円盤状のガイドフランジ部４４が形成さている。ガイドフランジ部４４の上フランジ部３６に設けられた第１の接続端子３７に対向する位置には、鉛直方向に延在する第２の接続端子４５が嵌入ロッド４２の廻りを囲うように間隔をあけて複数設けられている。第２の接続端子４５の下端部には電極となる拡径部４５ａが形成されており、第２の接続端子４５の中間部と上端部にはナット４６ａ、４６ｂがそれぞれ螺合されている。拡径部４５ａと中間部のナット４６ａとでガイドフランジ部４４を挟み込み第２の接続端子４５は固定されている。また、拡径部４５ａとガイドフランジ部４４との間にはフェルト（セラミック系、カーボン系等）からなる付勢材４７が介在されている。
【００２７】
加熱容器２３上部には貫通孔５０が形成されており、貫通孔５０上方の加熱室３には鉛直に加熱容器２３上部に立設された筒状の立上り部６２が設けられている。貫通孔５０には嵌入ロッド４２が挿通されており、嵌入ロッド４２の上端部は加熱容器２３外の加熱室３の内部に配置されている。また、加熱室３の上方にはシリンダー５１が配置されており、シリンダー５１には上下動するピストン５１ａが下向きに備えられている。ピストン５１ａは立上り部６２内に配置され、下端部には嵌入ロッド４２の上端部が固定されている。シリンダー本体５１ｂは立上り部６２の上端面に形成されたフランジ６２ａ上に載せられている。
【００２８】
図５はシリンダー本体５１ｂとフランジ６２ａとの接触部の断面図である。図５に示すように、シリンダー本体５１ｂとフランジ６２ａとの接触部には、ピストン５１ａの外周に沿って設けられたシール基材５８ａが介在されている。シール基材５８ａとピストン５１ａとの間にはＯリング５８ｂ、５８ｃが二段介装されており、シール基材５８ａとフランジ６２ａとの間にはＯリング５８ｄが介装されている。また、シール基材５８ａには二段のＯリング５８ｂ、５８ｃの間まで貫通する孔５８ｅが形成されており、孔５８ｅと二段のＯリング５８ｂ、５８ｃの間にはグリース５８ｆが充填されている。これによって、加熱室３の内部は気密性が保持される。
【００２９】
また、図３に示すように、立上り部６２の中間部には、水平方向に延びる筒状の張出し部６３が形成されている。張出し部６３の先端のフランジ６３ａには、加熱室３内の気密性を保持しつつ加熱室３の内外を電気的に接続する電極貫通板５９が設けられている。電極貫通板５９には複数の貫通端子５９ａが設けられており、複数の貫通端子５９ａの加熱室３内側の一端部とガイドフランジ部４４に設けられた複数の第２の接続端子４５の上端部とは第２の導線４９によってそれぞれ電気的に接続されている。また、複数の貫通端子５９ａの加熱室３外側の他端部と加熱室３外に配置された温度を測定する計器４８とは、第３の導線６０によってそれぞれ電気的に接続されている。計器４８はセンサー部３９との電位差（熱起電力）を検出して温度測定箇所４１の温度を測定する計器であり、加熱容器２３外の加熱室３の内部に配置されている。第２の導線４９および第３の導線６０には第１の導線４０に対応した補償導線が使用されている。
【００３０】
ピストン５１ａと嵌入ロッド４２とで上下方向に往復移動する稼動部５２が形成されており、シリンダー本体５１ｂとピストン５１ａと嵌入ロッド４２とにより、第２の接続端子４５を第１の接続端子３７に接触する位置と接触しない位置との間で移動させる移動機構５３が構成されている。また、ガイド受け部３２とガイドフランジ部４４とにより、移動機構５３の稼動部５２を案内するガイド機構５４が構成されている。さらに、第２の導線４９と貫通端子５９ａと第３の導線６０とにより、加熱室外に配置された計器４８からセンサー部３９に接続された第１の接続端子３７に電気的に接続される測定部６１が構成されている。
【００３１】
一方、図１に示すように、中間室４は、中空の略方形状に形状設定されており、冷却室２と加熱室３との間に配置されている。その上部には、真空シールド扉６を昇降させるためのホイスト等からなる昇降機構５５ａと断熱扉２４を昇降させるための断熱扉用昇降部５５ｂとが設置されている。また、冷却室２、加熱室３及び中間室４の外部には、加圧ガス供給装置５６及び減圧装置５７が設置されている。加圧ガス供給装置５６は、ヘッダー管１４を介して冷却ガスを冷却室２内部に供給するものである。また、減圧装置５７は、冷却室２及び加熱室３の内部を真空引きするためのものであり、冷却室２及び加熱室３にそれぞれ接続されている。
【００３２】
次に、上記した構成からなる熱処理装置１に備えられた温度測定装置３０の動作について説明する。
【００３３】
まず、図１に示すように、熱処理装置１外で、架台１０に被処理体Ｘとガイド受け部３２とを載せる。ガイド受け部３２は下面に設けられた固定軸３５を架台１０に形成された固定孔３４に嵌入して位置決めを行う。そして、複数のセンサー部３９を被処理体Ｘの温度測定箇所４１にそれぞれ配置するとともに、第１の導線４０の他端を上フランジ部３６に設けられた第１の接続端子３７に接続する。
【００３４】
次に、扉５を後方に移動させて風路室７の側面部７ａを開くとともに昇降機構５５ａ、５５ｂを駆動させ、真空シールド扉６および断熱扉２４を上方に移動させて風路室７、中間室４、加熱容器２３を連通させる。次に、風路室７内の移送台１１の上に被処理体Ｘが載せられた架台１０を載置して、被処理体Ｘが載せられた架台１０を加熱容器２３の中まで移動させる。図３、図４に示すように、架台１０を加熱容器２３内の所定位置に配置した後に、シリンダー５１を駆動させて稼動部５２を下方に移動させる。稼動部５２を下方に移動させることで嵌入ロッド４２は嵌入孔３１の中に挿嵌して、稼動部５２の下方への移動を案内する。また、嵌入ロッド４２に固定されたガイドフランジ部４４は下方に移動し、ガイドフランジ部４４に設けられた複数の第２の接続端子４５の拡径部４５ａは、ガイド受け部３２の上フランジ部３６に設けられた対向する第１の接続端子３７の拡径部３７ａにそれぞれ圧接する。
【００３５】
次に、扉５を前方に移動させて風路室７の側面部７ａを閉じるとともに昇降機構５５ａ、５５ｂを駆動させ、真空シールド扉６および断熱扉２４を下方に移動さて風路室７、中間室４および加熱容器２３を密閉する。そして、減圧装置５７を稼動させ、風路室７、中間室４および加熱容器２３の中をそれぞれ真空状態にする。次に、ヒータ２９を作動させて被処理体Ｘを加熱するとともに、温度測定装置３０によって被処理体Ｘの温度測定箇所４１における温度を測定する。温度測定箇所４１の温度は、センサー部３９と第１の導線４０と第２の導線４９と第３の導線６０と計器４８とによって構成された回路に発生する熱起電力を、計器４８で測定することで検出する。
【００３６】
上記した構成からなる温度測定装置３０によれば、加熱室３外に計器４８が配置され、第１の接続端子３７と第２の接続端子４５とは被処理体Ｘが加熱容器２３内に配置されたときに接触されるため、計器４８を断熱性、耐熱性に優れたケースに収納する必要はなく、また加熱容器２３内には外形の大きい計器４８は配置されない。これによって、加熱容器２３内における被処理体Ｘの配置スペースを広く確保することができ、外形の大きい被処理体Ｘの加熱処理をすることができる。また、加熱容器２３内に配置された被処理体Ｘの温度を加熱しながら検出することができるため、被処理体Ｘの温度を確認しながらヒータ２９の温度調節を行うことができ、或いは加熱時間の調節をすることができる。
【００３７】
また、移動機構５３により、架台１０を加熱容器２３内に入れるとき、第２の接続端子３７が取り付けられたガイド部４３は、架台１０の移動に干渉しないところに配置される。また、架台１０が加熱容器２３内の所定の位置に配置されたとき、第２の接続端子４５が取り付けられたガイド部４３は第１の接続端子３７に接触する位置に移動する。これによって、第１の接続端子３７と第２の接続端子４５との着脱は制御することができる。
【００３８】
また、稼動部５２は気密状態の加熱室３内から閉ざされた加熱容器２３内に貫通されているため、加熱容器２３内において稼動部５２が貫通する貫通孔５０が気密でなくても真空状態は保たれる。これによって、貫通孔５０を通して加熱容器２３外への放熱を防止することができる。
【００３９】
また、ガイド機構５４によって、移動機構５３の稼動部５２の移動方向は案内されるため、ガイド部４３に取り付けられた第２の接続端子４５はガイド受け部３２に取り付けられた第１の接続端子３７に確実に接触する。これによって、架台１０を所定の位置にセットする際に微妙な調整を必要とせずに、第１の接続端子３７と第２の接続端子４５とを接触させることができる。さらに、第２の接続端子４５の拡径部４５ａとガイドフランジ部４４との間に付勢材４７が介在されているため、第１の接続端子３７と第２の接続端子４５との密着度を向上するとともに接触時の衝撃を軽減することができる。
【００４０】
以上、本発明に係る温度測定装置３０の実施の形態について説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記した実施の形態では加熱容器２３内に配置された被処理体Ｘの温度を測定する場合について説明したが、本発明に係る温度測定装置３０を冷却室２に設置して、風路室７内に配置された被処理体Ｘの温度を測定してもよく、無論、温度測定装置３０を加熱室３および冷却室２のそれぞれに設置して加熱容器２３内および風路室７内の双方における被処理体Ｘの温度を測定してもよい。
【００４１】
また、上記した実施の形態では第２の導線４９に補償導線を使用しているが、本発明は第２の導線４９も熱電対を利用するための導線を使用してもよい。また、本発明は第１の導線４０の他端に測温抵抗体やサーミスタ等を接続して、被処理体Ｘの温度を測定してもよい。また、上記した実施の形態では付勢材４７は第２の導線４９の他端側にのみ介在されているが、本発明は第１の導線４０の他端側に介在させてもよく、或いは第１の導線４０の他端側および第２の導線４９の他端側の双方に介在させてもよい。また、風路室７内における付勢材４７にはフェルトのほか、ゴム（シリコン系、フッ素系等）やばね材等を使用することもできる。
【００４２】
また、上記した実施の形態では第２の接続端子４５を上下方向に移動させ、第１の接続端子３７の上方から第２の接続端子４５を接触させているが、本発明は第１の接続端子３７の下方から第２の接続端子４５を接触させてもよく、第１の接続端子３７の測方から第２の接続端子４５を接触させてもよい。さらに、移動機構５３を設けずに、架台１０の移動を利用して第１の接続端子３７と第２の接続端子４５とを接触させてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る温度測定装置によれば、計器は熱処理炉外に配置され、熱処理炉内には外形の大きい温度測定装置の部材は配置されないため、熱処理炉内における被処理体の配置スペースを広く確保でき、熱処理炉の小型化を図ることができる。また、熱処理炉内に配置された被処理体の温度を熱処理しながら検出されるため、被処理体の温度に応じて熱処理しながら熱処理炉の加熱或いは冷却の微調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る温度測定装置が設置された熱処理装置の断面図である。
【図２】本発明に係る温度測定装置が設置された熱処理装置の平面図である。
【図３】本発明に係る温度測定装置の全体図である。
【図４】本発明に係る温度測定装置の部分図である。
【図５】本発明に係る温度測定装置の部分拡大図である。
【符号の説明】
２冷却室（熱処理室）
３加熱室（熱処理室）
７風路室（熱処理炉）
１０架台
２３加熱容器（熱処理炉）
３０温度測定装置
３７第１の接続端子
３９センサー部
４１温度測定箇所
４５第２の接続端子
４７付勢部材
４８計器
５２稼動部
５３移動機構
５４ガイド機構
６１測定部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a temperature measuring device for measuring the temperature of an object in a heat treatment furnace for heating or cooling the object disposed inside.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when measuring the temperature of an object to be processed in a vacuum heat treatment furnace, attach a sensor to detect the temperature at the temperature measurement point of the object to be processed, connect a data recorder that stores data to the sensor, and detect with the sensor The measured temperature of the object to be processed is stored in the data recorder. At this time, the data recorder is placed in the heat treatment furnace together with the object to be processed, and is housed in a case having excellent heat resistance and heat insulation. The data recorder is taken out of the heat treatment furnace after the completion of the heat treatment of the object, and takes out the temperature measurement results stored in the data recorder. The temperature of the object to be processed in the heat treatment furnace can be measured by the temperature measurement device having the above-described configuration (for example, see Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-9-280968 (pages 2-4, FIG. 1)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to the above-described conventional temperature measuring device, the outer shape of the case is considerably large in order to accommodate the data recorder and ensure heat resistance and heat insulation. For this reason, there is a problem that the temperature measurement device occupies a considerable space in the heat treatment furnace, and a large-sized heat treatment furnace is required when the object to be processed has a large external shape.
[0005]
According to the conventional temperature measuring device described above, the temperature measurement result of the object placed in the heat treatment furnace is obtained by the data recorder taken out of the heat treatment furnace after the heat treatment is completed, and the temperature of the object to be treated is Can only be grasped. Therefore, there is a problem that the temperature of the object to be processed cannot be grasped while performing the heat treatment.
[0006]
The present invention has been made in consideration of the above-described conventional problems, and reduces a space occupied by a temperature measuring device disposed in a heat treatment furnace and a temperature at which a large space for arranging an object to be processed in the heat treatment furnace can be secured. It is intended to provide a measuring device. It is another object of the present invention to provide a temperature measuring device capable of detecting the temperature of an object to be processed disposed in a heat treatment furnace in real time and performing fine adjustment of heating or cooling of the heat treatment furnace according to the result. .
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1 is characterized in that the heat treatment is carried out from a sensor section disposed at a temperature measurement point of a workpiece placed on a gantry moving between inside and outside of the heat treatment furnace, and a meter disposed outside the heat treatment furnace. A temperature measuring device comprising a measuring unit electrically connected to the sensor unit carried into the heat treatment furnace through a through hole formed in the furnace, wherein the sensor unit is attached to the gantry. The first connection terminal is electrically connected to the first connection terminal, and a second connection terminal is provided at an end of the measurement unit inside the heat treatment furnace, and the first connection terminal and the second connection terminal are connected to each other. Is connected when the object is placed in the heat treatment furnace.
[0008]
Due to these features, the measuring unit is placed outside the heat treatment furnace, so it is not necessary to store it in a case with excellent heat insulation and heat resistance. Etc. are not arranged.
[0009]
According to a second aspect of the present invention, in the temperature measuring device according to the first aspect, the second connection terminal is provided with a position where the second connection terminal contacts the first connection terminal and a position where the second connection terminal does not contact the first connection terminal. It is characterized in that a moving mechanism for moving between them is provided.
[0010]
With such a feature, when the object to be processed is put into the heat treatment furnace together with the gantry, the second connection terminal is arranged at a place where it does not interfere with the movement of the gantry, and the object to be processed is arranged at a predetermined position in the heat treatment furnace. Sometimes the second connection terminal moves to a position where it contacts the first connection terminal.
[0011]
According to a third aspect of the present invention, in the temperature measuring apparatus according to the second aspect, the heat treatment furnace is disposed in a heat treatment chamber in an airtight state, and an operating unit of the moving mechanism is penetrated from the heat treatment chamber into the heat treatment furnace. It is characterized by having.
[0012]
With such a feature, since the operating part is penetrated into the heat treatment furnace from the airtight heat treatment chamber, the outside air can flow into the heat treatment furnace even if the heat treatment furnace through which the operating part penetrates is not airtight. Absent.
[0013]
According to a fourth aspect of the present invention, in the temperature measuring apparatus according to the second or third aspect, a guide mechanism for guiding a moving direction of the moving mechanism is provided in the heat treatment furnace.
[0014]
Such a feature ensures that the second connection terminal is in contact with the first connection terminal.
[0015]
According to a fifth aspect of the present invention, in the temperature measuring device according to any one of the first to fourth aspects, at least one of the first connection terminal and the second connection terminal is urged in a contact direction. A biasing member is provided.
[0016]
With such a feature, the degree of adhesion between the first connection terminal and the second connection terminal is improved, and the impact when the first connection terminal and the second connection terminal come into contact is reduced.
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 2 are schematic views of the overall configuration of a heat treatment apparatus 1 according to the present embodiment. FIG. 1 is a longitudinal sectional view, and FIG. 2 is a transverse sectional view. As shown in FIGS. 1 and 2, the heat treatment apparatus 1 includes a multi-chamber heat treatment including a cooling chamber (heat treatment chamber) 2 for cooling the object X and a heating chamber (heat treatment chamber) 3 for heating the object X. The apparatus has an intermediate chamber 4 between the cooling chamber 2 and the heating chamber 3 in addition to the above.
[0018]
The cooling chamber 2 is formed in a substantially cylindrical shape so as to withstand the pressure when the inside of the cooling chamber 2 is in a pressurized state, and the posture is set such that the central axis of the cylindrical shape is horizontal. Have been. On one side of the cooling chamber 2 (the right side in FIGS. 1 and 2), a clutch type door 5 that moves horizontally in the axial direction of the cooling chamber 2 is installed, and on the other side (the left side in FIGS. 1 and 2). Is provided with a clamp type vacuum shield door (intermediate door) 6 that opens and closes vertically. The inside space of the heat treatment apparatus 1 is in a closed state in which the door 5 is closed and shut off from the outside. Inside the cooling chamber 2, a substantially rectangular parallelepiped air path chamber (heat treatment furnace) 7 that is long in the direction of the central axis of the cooling chamber 2 is installed, and above and below the air path chamber 7, cooling inside the cooling chamber 2 is performed. Gas flow guide plates 8a and 8b for adjusting the gas flow direction are provided. The interior of the cooling chamber 2 outside the air passage chamber 7 is vertically divided by a partition plate (not shown).
[0019]
Side portions 7a and 7b of the air path chamber 7 corresponding to the longitudinal direction of the air path chamber 7 are fixed to the door 5 and the vacuum shield door 8, respectively, and are detachably formed with the main body 7c of the air path chamber. When the door 5 and the vacuum shield door 6 are closed, the inside of the air passage chamber 7 is formed as a closed space. Grid-shaped rectifying plates 9a and 9b for rectifying and passing the cooling gas are formed on the upper wall portion and the lower wall portion of the air passage chamber 7, respectively. Further, a transfer table 11 for transferring the gantry 10 on which the object X is mounted in the cooling chamber 2 in the axial direction is installed inside the air path chamber 7, and the transfer table 11 has a plurality of free rollers. 12 is provided so as to be rotatable in the transfer direction of the gantry 10. The gantry 10 is formed, for example, in a lattice shape so that the cooling gas can pass therethrough.
[0020]
Further, a gas discharge branch pipe 13 for discharging a cooling gas supplied from the outside of the cooling chamber 2 is provided inside the air passage chamber 7 at a position surrounding the processing target X such that the gas discharge branch pipe 13 is sprayed over the entire processing target X. Are located. Specifically, four gas discharge branch pipes 13 are respectively arranged in the longitudinal direction of the air passage chamber 7, and the four gas discharge branch pipes 13 are connected to the header pipe 14, respectively. The gas discharge branch pipe 13 has a plurality of discharge ports through which the cooling gas is discharged toward the processing target X.
[0021]
The door 5 is formed in a hollow shape, and is provided therein with a heat exchanger 15, a cooling fan 16, and dampers 17a and 17b. The heat exchanger 15 cools the cooling gas by exchanging heat with water and the cooling gas, and is arranged inside a heat exchanger storage room 18 arranged inside the door 5. The cooling fan 16 is for giving a flow to the cooling gas passing from the inside of the heat exchanger 15 through the gas passage opening 19a, and is provided between the heat exchanger 15 and the inner peripheral surface of the door 5, that is, the cooling chamber. 2 is arranged so as to be separated in the horizontal direction from the side surface of the object X placed on the substrate 2. The cooling fan 16 is driven by a cooling fan motor 20 installed so as to protrude from the door 5. The dampers 17a and 17b determine the flow direction of the cooling gas by the cooling fan 16, and select a plurality of gas passage ports 119a, 19b, 19c and 19d formed above the heat exchanger storage chamber 18, respectively. It is closed automatically. The inside of the door 5 outside the heat exchanger storage room 18 is vertically divided by a partition plate (not shown).
[0022]
On the other hand, as shown in FIG. 3, the heating chamber 3 is formed in a substantially cylindrical shape with a water-cooled double wall, and water 3c is interposed between the inner wall 3a and the outer wall 3b. It is arranged. In addition, in the inside of the heat treatment apparatus 1, the gantry 10 on which the workpiece X is mounted is transported into the transport rod storage chamber 21 connected to the heating chamber 3 to transport the workpiece X. Rod 22 is provided.
[0023]
A heating container (heat treatment furnace) 23 having a substantially rectangular shape is provided inside the heating chamber 3. A heat insulating door 24 that opens and closes up and down is installed on one side (a side facing the cooling chamber 2) of the heating vessel 23, and a transport rod door 25 that serves as an entrance and exit of the transport rod 22 is installed on the other side. ing. The transport rod door 25 is opened and closed in the vertical direction by an elevating mechanism 26 installed so as to protrude from the outer wall of the heating chamber 3. Inside the heating container 23, a transfer table 28 having a plurality of free rollers 27 for transferring the gantry 10 on which the object X is placed in the axial direction of the heating chamber 3 is installed. It is arranged on an extension of the transfer table 11 installed inside the air passage chamber 7. The transfer rod door 25, the transfer table 28, and the gantry 10 are designed to be thermally insulated in the same manner as the heat-insulated door 24. Further, inside the heating container 23, a plurality of heaters 29 for heating the processing target X are provided above and below the processing target X so that the entire processing target X is uniformly heated.
[0024]
Further, the heating chamber 3 is provided with a temperature measuring device 30 for measuring the temperature of the processing target X disposed in the heating vessel 23. As shown in FIGS. 3 and 4, a guide receiving portion 32 having a rectangular fitting hole 31 extending in the vertical direction is placed on the gantry 10. At the lower end of the guide receiving portion 32, a disk-shaped lower flange portion 33 facing the upper surface of the gantry 10 is formed. At the center of the lower surface of the lower flange portion, the lower flange portion is loosely inserted into a fixing hole 34 formed in the gantry 10. A fixed shaft 35 is provided. A disk-shaped upper flange portion 36 facing the lower flange portion 33 is formed on the outer periphery of the upper end portion of the guide receiving portion 32 at an interval, and a first connection extending vertically in the upper flange portion 36. A plurality of terminals 37 are attached at intervals so as to surround the fitting hole 31. An enlarged diameter portion 37a serving as an electrode is formed at an upper end portion of the first connection terminal 37, and nuts 38a and 38b are screwed into an intermediate portion and a lower end portion of the first connection terminal 37, respectively. The first connection terminal 37 is fixed with the upper flange portion 36 interposed between the enlarged diameter portion 37a and the nut 38a at the intermediate portion.
[0025]
At the lower ends of the plurality of first connection terminals 37 provided with the upper flange portion 36, the other ends of the first conductive wires 40 each having one end connected to the sensor portion 39 are attached. The sensor unit 39 is in contact with each of the temperature measurement portions 41 of the object X, and a plurality of the temperature measurement portions 41 are set at intervals over the entire object X. A thermocouple is used for the temperature measuring device 30, and a pair (two types) of conducting wires is used for the first conducting wire 40. For example, chromel-alumel, chromel-constan, iron-constan, copper-constan, Nicrosil-Nisyl, platinum-rhodium (10%)-platinum, platinum-rhodium (13%)-platinum, platinum-rhodium (30%)-platinum-rhodium (6%), chromel-gold / iron, iridium-iridium. Rhodium (49%), tungsten rhenium (5%)-tungsten rhenium (26%), nickel-nickel-molybdenum (18%), and palladium-platinum-gold-gold-palladium are used. The enlarged diameter portion 37 a serving as an electrode at the upper end of the first connection terminal 37 projects above the upper flange portion 36.
[0026]
Above the guide receiving portion 32, a guide portion 43 having a fitting rod 42 inserted into the fitting hole 31 is arranged. The insertion rod 42 is a rectangular rod that is formed in a rectangular shape so as to correspond to the insertion hole 31 and extends in the vertical direction, and the lower end of the insertion rod 42 is formed in a pointed shape. A disc-shaped guide flange 44 facing the upper flange 36 of the guide receiving portion 32 is formed at the lower end of the fitting rod 42. At a position facing the first connection terminal 37 provided on the upper flange portion 36 of the guide flange portion 44, an interval is provided so that the second connection terminal 45 extending in the vertical direction surrounds the fitting rod 42. A plurality is provided separately. An enlarged diameter portion 45a serving as an electrode is formed at a lower end portion of the second connection terminal 45, and nuts 46a and 46b are screwed to an intermediate portion and an upper end portion of the second connection terminal 45, respectively. The second connection terminal 45 is fixed with the guide flange portion 44 sandwiched between the enlarged diameter portion 45a and the intermediate nut 46a. An urging member 47 made of felt (ceramic, carbon, or the like) is interposed between the enlarged diameter portion 45a and the guide flange portion 44.
[0027]
A through hole 50 is formed in the upper portion of the heating container 23, and a cylindrical rising portion 62 vertically provided on the upper portion of the heating container 23 is provided in the heating chamber 3 above the through hole 50. The fitting rod 42 is inserted through the through hole 50, and the upper end of the fitting rod 42 is arranged inside the heating chamber 3 outside the heating vessel 23. Further, a cylinder 51 is disposed above the heating chamber 3, and the cylinder 51 is provided with a piston 51 a that moves up and down. The piston 51a is disposed in the rising portion 62, and the upper end of the fitting rod 42 is fixed to the lower end. The cylinder body 51b is mounted on a flange 62a formed on the upper end surface of the rising portion 62.
[0028]
FIG. 5 is a sectional view of a contact portion between the cylinder body 51b and the flange 62a. As shown in FIG. 5, a seal base member 58a provided along the outer periphery of the piston 51a is interposed at a contact portion between the cylinder main body 51b and the flange 62a. Two-stage O-rings 58b and 58c are interposed between the seal base member 58a and the piston 51a, and an O-ring 58d is interposed between the seal base member 58a and the flange 62a. Further, a hole 58e is formed in the seal base material 58a so as to penetrate between the two-stage O-rings 58b and 58c, and a grease 58f is filled between the hole 58e and the two-stage O-rings 58b and 58c. I have. Thus, the inside of the heating chamber 3 is kept airtight.
[0029]
As shown in FIG. 3, a tubular projecting portion 63 extending in the horizontal direction is formed at an intermediate portion of the rising portion 62. An electrode penetration plate 59 that electrically connects the inside and outside of the heating chamber 3 while maintaining airtightness in the heating chamber 3 is provided on the flange 63 a at the tip of the overhang portion 63. A plurality of through terminals 59a are provided on the electrode through plate 59, and one end of the plurality of through terminals 59a inside the heating chamber 3 and upper end portions of a plurality of second connection terminals 45 provided on the guide flange portion 44. Are electrically connected to each other by a second conductive wire 49. Further, the other end portions of the plurality of through terminals 59 a outside the heating chamber 3 are electrically connected to the temperature measuring instruments 48 disposed outside the heating chamber 3 by third conducting wires 60, respectively. The instrument 48 is an instrument that detects a potential difference (thermal electromotive force) from the sensor unit 39 and measures the temperature at the temperature measurement point 41, and is arranged inside the heating chamber 3 outside the heating vessel 23. Compensating conductors corresponding to the first conductor 40 are used as the second conductor 49 and the third conductor 60.
[0030]
An operating portion 52 that reciprocates in a vertical direction is formed by the piston 51a and the fitting rod 42, and the second connection terminal 45 is connected to the first connection terminal 37 by the cylinder body 51b, the piston 51a, and the fitting rod 42. A moving mechanism 53 for moving between a contact position and a non-contact position is configured. The guide receiving portion 32 and the guide flange portion 44 constitute a guide mechanism 54 for guiding the operating portion 52 of the moving mechanism 53. Further, the measurement is performed by the second conductor 49, the through terminal 59a, and the third conductor 60, which are electrically connected to the first connection terminal 37 connected to the sensor unit 39 from the meter 48 disposed outside the heating chamber. The unit 61 is configured.
[0031]
On the other hand, as shown in FIG. 1, the intermediate chamber 4 is set to have a substantially rectangular hollow shape, and is disposed between the cooling chamber 2 and the heating chamber 3. An elevating mechanism 55a composed of a hoist and the like for elevating the vacuum shield door 6 and an elevating part 55b for an insulated door for elevating and lowering the insulated door 24 are provided on the upper part thereof. Further, outside the cooling chamber 2, the heating chamber 3, and the intermediate chamber 4, a pressurized gas supply device 56 and a decompression device 57 are provided. The pressurized gas supply device 56 supplies a cooling gas into the cooling chamber 2 via the header pipe 14. The decompression device 57 is for evacuating the inside of the cooling chamber 2 and the heating chamber 3 and is connected to the cooling chamber 2 and the heating chamber 3 respectively.
[0032]
Next, the operation of the temperature measuring device 30 provided in the heat treatment apparatus 1 having the above configuration will be described.
[0033]
First, as shown in FIG. 1, the workpiece X and the guide receiving portion 32 are placed on the gantry 10 outside the heat treatment apparatus 1. The guide receiving portion 32 performs positioning by fitting a fixed shaft 35 provided on the lower surface into a fixing hole 34 formed in the gantry 10. Then, the plurality of sensor units 39 are arranged at the temperature measurement locations 41 of the workpiece X, respectively, and the other end of the first conductive wire 40 is connected to the first connection terminal 37 provided on the upper flange unit 36.
[0034]
Next, the door 5 is moved rearward to open the side surface portion 7a of the air passage chamber 7, and at the same time, the elevating mechanisms 55a and 55b are driven, and the vacuum shield door 6 and the heat insulating door 24 are moved upward to move the air passage chamber 7, The intermediate chamber 4 and the heating container 23 are communicated. Next, the gantry 10 on which the object X is mounted is placed on the transfer table 11 in the air path chamber 7, and the gantry 10 on which the object X is mounted is moved into the heating vessel 23. . As shown in FIGS. 3 and 4, after the gantry 10 is arranged at a predetermined position in the heating vessel 23, the cylinder 51 is driven to move the operating section 52 downward. By moving the operating part 52 downward, the fitting rod 42 is inserted into the fitting hole 31 and guides the downward movement of the working part 52. Further, the guide flange portion 44 fixed to the fitting rod 42 moves downward, and the enlarged diameter portions 45 a of the plurality of second connection terminals 45 provided on the guide flange portion 44 are connected to the upper flange portion of the guide receiving portion 32. The first connection terminals 37 provided on the first connection terminals 36 are in pressure contact with the enlarged diameter portions 37a of the first connection terminals 37, respectively.
[0035]
Next, the door 5 is moved forward to close the side portion 7a of the air passage chamber 7, and the elevating mechanisms 55a and 55b are driven, and the vacuum shield door 6 and the heat insulating door 24 are moved downward to move the air passage chamber 7 to the middle. The chamber 4 and the heating container 23 are sealed. Then, the decompression device 57 is operated, and the inside of the air passage chamber 7, the intermediate chamber 4, and the heating container 23 are each brought into a vacuum state. Next, the processing object X is heated by operating the heater 29, and the temperature of the processing object X at the temperature measurement point 41 is measured by the temperature measurement device 30. The temperature of the temperature measuring portion 41 is obtained by measuring the thermoelectromotive force generated in a circuit constituted by the sensor section 39, the first conductor 40, the second conductor 49, the third conductor 60, and the instrument 48 with the instrument 48. Detect by doing.
[0036]
According to the temperature measuring device 30 having the above-described configuration, the meter 48 is disposed outside the heating chamber 3, and the first connection terminal 37 and the second connection terminal 45 are arranged such that the object X is disposed in the heating container 23. Since the instrument 48 is contacted when it is pressed, the instrument 48 does not need to be housed in a case having excellent heat insulation and heat resistance, and the instrument 48 having a large outer shape is not arranged in the heating container 23. Thereby, a large space for arranging the object X in the heating vessel 23 can be secured, and the object X having a large outer shape can be heated. Further, since the temperature of the processing target X disposed in the heating container 23 can be detected while heating, the temperature of the heater 29 can be adjusted while checking the temperature of the processing target X, or the heating can be performed. You can adjust the time.
[0037]
Further, when the gantry 10 is put into the heating container 23 by the moving mechanism 53, the guide portion 43 to which the second connection terminal 37 is attached is arranged at a place where it does not interfere with the movement of the gantry 10. When the gantry 10 is placed at a predetermined position in the heating container 23, the guide 43 to which the second connection terminal 45 is attached moves to a position where it comes into contact with the first connection terminal 37. Thereby, attachment / detachment of the first connection terminal 37 and the second connection terminal 45 can be controlled.
[0038]
Further, since the operating section 52 is penetrated from the airtight heating chamber 3 into the closed heating container 23, the vacuum state is established even if the through hole 50 through which the operating section 52 penetrates in the heating container 23 is not airtight. Is kept. Thereby, heat radiation to the outside of the heating container 23 through the through hole 50 can be prevented.
[0039]
In addition, since the moving direction of the operating part 52 of the moving mechanism 53 is guided by the guide mechanism 54, the second connection terminal 45 attached to the guide part 43 is connected to the first connection terminal attached to the guide receiving part 32. Contact 37 securely. Thus, the first connection terminal 37 and the second connection terminal 45 can be brought into contact with each other without requiring fine adjustment when setting the gantry 10 at a predetermined position. Further, since the urging member 47 is interposed between the enlarged diameter portion 45a of the second connection terminal 45 and the guide flange portion 44, the degree of adhesion between the first connection terminal 37 and the second connection terminal 45 is increased. And the impact at the time of contact can be reduced.
[0040]
The embodiment of the temperature measuring device 30 according to the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, a case has been described in which the temperature of the processing target X disposed in the heating vessel 23 is measured. However, the temperature measurement device 30 according to the present invention is installed in the cooling chamber 2 and the air path is measured. The temperature of the processing object X disposed in the chamber 7 may be measured. Needless to say, the temperature measuring device 30 is installed in each of the heating chamber 3 and the cooling chamber 2 and the inside of the heating vessel 23 and the inside of the air path chamber 7 are measured. The temperature of the object X in both cases may be measured.
[0041]
Further, in the above-described embodiment, the compensating conductor is used as the second conductor 49, but the present invention may also use a conductor for utilizing a thermocouple in the present invention. Further, in the present invention, a temperature measuring resistor, a thermistor, or the like may be connected to the other end of the first conductive wire 40 to measure the temperature of the processing target X. In the above-described embodiment, the urging member 47 is interposed only at the other end of the second conductor 49, but the present invention may be interposed at the other end of the first conductor 40, or It may be interposed on both the other end of the first conductor 40 and the other end of the second conductor 49. In addition, rubber (silicon-based, fluorine-based, or the like), a spring material, or the like can be used for the urging member 47 in the air passage chamber 7 in addition to felt.
[0042]
Further, in the above-described embodiment, the second connection terminal 45 is moved in the up-down direction, and the second connection terminal 45 is brought into contact from above the first connection terminal 37. However, the present invention is not limited to the first connection terminal. The second connection terminal 45 may be brought into contact from below the terminal 37, or the second connection terminal 45 may be brought into contact from the measurement of the first connection terminal 37. Furthermore, the first connection terminal 37 and the second connection terminal 45 may be brought into contact using the movement of the gantry 10 without providing the movement mechanism 53.
[0043]
【The invention's effect】
As described above, according to the temperature measuring device according to the present invention, the instrument is disposed outside the heat treatment furnace, and the members of the temperature measuring device having a large outer shape are not disposed inside the heat treatment furnace. A large space for arranging the body can be secured, and the heat treatment furnace can be downsized. Further, since the temperature of the object to be processed placed in the heat treatment furnace is detected while performing the heat treatment, the heating or cooling of the heat treatment furnace can be finely adjusted while performing the heat treatment in accordance with the temperature of the object to be processed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a heat treatment apparatus provided with a temperature measurement device according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view of a heat treatment apparatus provided with a temperature measurement device according to the present invention.
FIG. 3 is an overall view of a temperature measuring device according to the present invention.
FIG. 4 is a partial view of a temperature measuring device according to the present invention.
FIG. 5 is a partially enlarged view of a temperature measuring device according to the present invention.
[Explanation of symbols]
2 Cooling room (heat treatment room)
3 heating room (heat treatment room)
7 Wind path room (heat treatment furnace)
10 gantry 23 heating vessel (heat treatment furnace)
30 Temperature measuring device 37 First connection terminal 39 Sensor part 41 Temperature measurement part 45 Second connection terminal 47 Biasing member 48 Meter 52 Operating part 53 Moving mechanism 54 Guide mechanism 61 Measurement part

Claims

A sensor unit disposed at a temperature measuring point of the object to be processed mounted on a gantry moving between inside and outside of the heat treatment furnace,
A temperature measuring device comprising: a measuring unit electrically connected to the sensor unit carried into the heat treatment furnace through a through hole formed in the heat treatment furnace from an instrument disposed outside the heat treatment furnace. And
The sensor unit is electrically connected to a first connection terminal attached to the gantry, and a second connection terminal is provided at an end of the measurement unit inside the heat treatment furnace, wherein the first connection terminal is provided. And the second connection terminal is connected when the object to be processed is placed in the heat treatment furnace.

The temperature measuring device according to claim 1,
The second connection terminal is provided with a movement mechanism for moving the second connection terminal between a position where the second connection terminal is in contact with the first connection terminal and a position where the second connection terminal is not in contact with the first connection terminal. apparatus.

The temperature measuring device according to claim 2,
The temperature measuring apparatus, wherein the heat treatment furnace is disposed in a heat treatment chamber in an airtight state, and an operating part of the moving mechanism is penetrated from the heat treatment chamber into the heat treatment furnace.

The temperature measuring device according to claim 2 or 3,
A temperature measuring device, wherein a guide mechanism for guiding a moving direction of the moving mechanism is provided in the heat treatment furnace.

The temperature measuring device according to any one of claims 1 to 4,
A temperature measuring device, wherein at least one of the first connection terminal and the second connection terminal is provided with an urging member for urging in a contact direction.