JP6673001B2 - ショートアーク型キセノンランプ - Google Patents
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Description
このキセノンランプ40は、前面に凹所を有し、当該凹所の内表面に反射面50aが形成された胴体50と、当該胴体50における凹所の開口よりなる前面開口50bを塞ぐための窓部材60とを有し、胴体50の反射面50aに囲まれて形成される放電空間Sには、キセノンガスなどの希ガスが発光ガスとして封入されると共に、陰極52および陽極53が互いに対向して配置されている。
そして、窓支持部材65に窓部材60が支持されてなる窓組立体66が、胴体50の光放射方向前方にセラミックスペーサリング56および陰極給電用の金属リング55を介して配置され、これらが胴体50と共に円筒状の金属筒体58内に嵌められている。これにより、窓組立体66が胴体50に対して固定されている。
図4において、57は、陰極52を所定の位置に配置するための導電性支持部材、59は、胴体50を金属ブロック51に固定するための金属筒体である。
図5において、45は、フィルタであり、46は、当該フィルタ45を押えると共に光取り出し窓42の周側面に接触して固定する枠部材である。
一方、近年、ソーラーシミュレータや紫外線硬化樹脂を形成するときの紫外光の照射装置など、紫外光の波長範囲を含む光を利用する場面が増えている。
さらに、キセノンランプ40の照度を上げるために内部に封入させる発光ガスの高圧化が図られた場合には、銀ロウ材による接着層の厚みを厚くする必要があることから、接着層における大気に暴露される面積が増大するので、より早く酸化が進むおそれがある。
当該胴体の反射面に囲まれて形成される放電空間において互いに対向して配置された陰極および陽極と、
前記胴体における凹所の開口を、窓支持部材を介して気密に閉塞する、紫外光を透過する窓部材とを備え、紫外光を放射するショートアーク型キセノンランプにおいて、
前記窓支持部材は、前記窓部材の周側面の形状に応じた形状の内周面を有するリング状部を有し、前記窓部材の周側面が前記窓支持部材のリング状部の内周面に銀ロウ材による接着層によって接着され、
前記接着層の外面上に、耐オゾン性保護層が設けられていることを特徴とする。
図1は、本発明のショートアーク型キセノンランプの構成の一例を示す説明用断面図であり、図2は、図1のショートアーク型キセノンランプの窓組立体を部分的に拡大して示す説明用断面図である。また、図3は、図2の窓組立体の接着層および耐オゾン性保護層を、窓部材および窓支持部材と共に部分的に拡大して示す説明用断面図である。
このキセノンランプ(ショートアーク型キセノンランプ)10は、外観形状が円柱状であって、前面(図1における上面)に凹所を有し、当該凹所の内表面に反射面20aが形成された胴体20を備えている。
この胴体20の光放射方向前方(図1における上方)には、リング形状の窓支持部材35に支持された窓部材30が、胴体20における凹所の円状の開口よりなる前面開口20bを塞ぐように気密に設けられている。これにより、窓部材30と窓支持部材35とによって構成される窓組立体36と、胴体20の反射面20aとに囲まれた放電空間Sが形成されている。
この放電空間Sには、ロッド状の陰極12およびロッド状の陽極13よりなる一対の電極が、反射面20aの光軸に沿って互いに離間して対向するように近接配置されている。この陰極12と陽極13との間には、反射面20aの焦点が位置している。陰極12は、放電空間Sに配設された導電性支持部材27によって支持されており、この導電性支持部材27、胴体20の円環状の前端面上に配設された金属リング25および窓支持部材35を介して外部給電部材(図示省略)に電気的に接続される。陽極13は、胴体20の貫通孔24を介して後面開口20cから導出されて外部給電部材に電気的に接続される。また、放電空間Sには、例えばキセノンガスなどの不活性ガスが封入されている。
また、胴体20の光放射方向後方(図1における下方)には、金属ブロック15が配設されており、この金属ブロック15により、胴体20および陽極13が支持固定されている。
この窓部材30は、図1に示されているように、窓支持部材35と共に前面開口20bを塞ぐことができるよう、前面開口20bよりも小径であって、反射面20aの前端縁21aによって構成される開口(以下、「反射面開口」ともいう。)に適合した形状を有するものであることが好ましい。
また、窓部材30の厚みは、窓部材30の外径が25mm程度である場合に、2.5〜5.0mmであることが好ましい。
この図の例において、窓部材30は、前面開口20bの開口径よりも小径であって反射面開口の開口径と略同等の外径を有するものであり、前面開口20bの光放射方向前方において、反射面開口と対向するように配置されている。
具体的には、窓部材30には、光出射面である外表面30d(図1における上面)と周側面との間に、その全周にわたって、窓部材30の半径方向外方に傾斜する斜面30bが形成されている。また、窓部材30における内表面30e(図1における下面)と周側面30aとの間には、その全周にわたって、窓部材30の半径方向外方に傾斜する斜面30cが形成されている。
この図の例において、窓支持部材35は、円環状の形状を有しており、外部リング部35bは、胴体20の外径と略同等の外径を有している。すなわち、窓組立体36が胴体20の外径と略同等の外径を有するものとされている。
この図の例において、窓支持部材35の内部リング部35aには、窓部材30よりも光放射方向前方において当該窓部材30の半径方向内方に向かって折り曲げられた形状の前縁部分35dが形成されている。前縁部分35dは、窓部材30に接触しない状態とされることが好ましい。
金属筒体28は、例えばコバールなどからなるものである。
接着層37は、窓部材30の周側面30aと内部リング部35aの内周面との間の全周にわたって、窓部材30の厚み方向に伸びるように形成されている。
この図の例において、接着層37は、窓部材30の周側面30aの全面と、斜面30b,30cにおける一部の当該周側面30aに連続する周側面側領域とを覆うように形成され、略円環状の形状を有している。
接着層37の厚み(図2における左右方向長さ)は、例えば50〜300μmとされる。
具体的に説明すると、窓部材30の周側面30aの全領域および斜面30b,30cにおける周側面側領域にメタライズ加工が施されることにより、これらの領域がメタライズ層38に被覆され、これにより、窓部材30と接着層37との間にメタライズ層38が介在されることとなる。
具体的に、Mo−Mnメタライズ法を用いて窓組立体36を製造する手法においては、例えば、先ず、窓部材30の周側面30aおよび斜面30b,30cにおける窓支持部材35と接着すべき領域に、モリブデンとモリブデン酸化物およびマンガンとマンガン酸化物の混合粉末を塗布し、その塗膜を湿潤水素雰囲気において温度1500℃の条件で焼成することにより、メタライズ層38を形成する。次いで、窓部材30におけるメタライズ層38が形成された領域と窓支持部材35とを銀ロウ材によってロウ付けする。以って、窓組立体36が製造される。
耐オゾン性保護層39の厚みが3μm未満である場合は、放射された紫外光によって発生したオゾンによる接着層37を構成する銀ロウ材の酸化による腐食を防止する効果が十分に得られず、長期間にわたって使用した場合に封入された発光ガスが漏洩するおそれがある。一方、耐オゾン性保護層39の厚みが20μmを越える場合は、ランプの点灯および消灯に係る温度変化により、膨張・収縮が生じて耐オゾン性保護膜の剥がれ、ひび割れが発生し、その部分がオゾンにさらされ酸化銀が発生してしまうおそれがある。
この金属リング25は、内周面において導電性支持部材27に電気的に接続されており、また光放射方向前方側の表面において窓支持部材35を介して金属筒体28に電気的に接続されている。このようにして、金属リング25は、導電性支持部材27を介して陰極12に電気的に接続されていると共に、窓支持部材35および金属筒体28を介して外部給電部材に電気的に接続されている。
また、金属リング25の外径は、図1に示されているように、当該金属リング25の外周面と金属筒体28の内周面との間に、その全周にわたって間隙が形成されるよう、金属筒体28の内径よりも僅かに小径であることが好ましい。
また、金属リング25の内径は、図1に示されているように、当該金属リング25によって光の進行が阻害されることのないよう、反射面開口の開口径および窓部材30の外径と略同等であることが好ましい。
この図の例において、金属リング25は、胴体20の前端面上に、セラミックスペーサリング26を介して配置されている。すなわち、胴体20の前端面には、セラミックスペーサリング26と金属リング25とがこの順に重ねられた状態で配置されている。セラミックスペーサリング26は、金属リング25の内径よりも僅かに大径であって、前面開口20bの開口径よりも僅かに小径の内径を有するものであり、その外周面が金属筒体28の内周面と密着した状態とされている。
この図の例において、胴体20を構成する基材は、多結晶アルミナよりなり、反射部21の光放射方向前方側に連続して反射面20aの光軸方向外方に伸びる前方円筒部23を有するものである。この前方円筒部23と金属リング25とセラミックスペーサリング26とにより、放電空間Sにおいて、反射面開口の光放射方向前方に、導電性支持部材27を収容するための領域が形成されている。また、前方円筒部23における光放射方向前方の内端縁により、胴体20の前面開口20bが構成されている。
また、反射面20aは、アルミニウムによる金属蒸着膜によって形成されている。
この金属ブロック15には、後面開口20cを介して後方円筒部22の内部に連通し、光放射方向に貫通する貫通孔15aが形成されている。この貫通孔15aは、陽極13を支持固定することができるよう、陽極13の外径に適合する内径を有するものである。
この図の例において、金属ブロック15は、胴体20の外径と同等の外径の大径部15bと、この大径部15bよりも小径の外径の小径部15cとを有するものである。
金属筒体29は、例えばコバールなどからなるものである。
この陰極12は、基端部において、導電性支持部材27によって支持されている。
この図の例において、陰極12は、金属リング25の周上に略等間隔で設けられた3本の導電性支持部材27によって支持されている。
この導電性支持部材27において、先端部は陰極12の基端部にロウ付け等によって溶接されており、基端部はロウ付け等によって金属リング25に固定されている。このようにして、陰極12が、導電性支持部材27によって支持固定され、この導電性支持部材27、金属リング25および金属筒体28により、放電空間Sの気密性を保った状態で外部給電部材に電気的に接続されている。
この陽極13は、その基端部が、後方円筒部22内を挿通し、金属ブロック15の貫通孔15aに嵌挿されることによって支持固定されており、また金属ブロック15によって放電空間Sの気密性を保った状態で外部給電部材に電気的に接続されている。
胴体20においては、全長が20mm、金属筒体28と接合された部分および金属筒体29と接合された部分の外径が33mmである。
陰極12においては、全長が14mm、ロッド径が1.5mm、先端のテーパー角が50°であり、また陽極13においては、全長が23mm、直径が4mmである。また、陽極13と陰極12との電極間距離は1.4mmである。
窓部材30においては、外径が25.4mm、厚みが3mmである。また、窓部材30の、窓支持部材35の光放射方向先端からの距離は0.7mmである。
窓支持部材35においては、高さhが5.65mmであり、外部リング部の外径が31.5mm、内部リング部の外径が26.3mm、厚みwが0.65mmである。また、窓部材30の外表面(光出射面)と窓支持部材35の前縁部分35dの内面との距離dは0.05mmである。
接着層37においては、厚みが100μmである。
耐オゾン性保護層39においては、厚みが10μmである。
図1〜図3に示す構成に従って、Mo−Mnメタライズ法を用い、サファイア製の円盤状の窓部材(30)がコバール製の窓支持部材(35)によって支持されてなる窓組立体(36)(以下、「窓組立体A」ともいう。)を作製した。
作製した窓組立体Aは、窓部材(30)と窓支持部材(35)との間に、メタライズ層(38)および銀ロウ材よりなる接着層(37)が形成され、さらに、接着層(37)の外面上に、Niのメッキ膜からなる耐オゾン性保護層(39)が形成されたものである。これらの窓組立体Aは、下記の仕様を有するものである。
・外径:25.4mm
・厚み:3mm
・光出射面(窓部材30の外表面30d)と窓支持部材(35)の前縁部分(35d)の内面との距離(d):0.05mm
〔窓支持部材(35)〕
・高さ(h):5.65mm
・厚み(w):0.65mm
・外部リング部(35b)の外径:31.5mm
・内部リング部(35a)の外径:26.3mm
〔接着層(37)〕
・厚み:100μm
〔耐オゾン性保護層(39)〕
・厚み:10μm
〔発光ガス〕
・キセノンガスの封入圧:2MPa
その結果、窓組立体Aは500時間を経過した時点においても接着層(37)の外面に黒色の酸化物は確認されなかった。一方、窓組立体Bにおいては、100時間を経過した時点において接着層(37)の外面に黒色の酸化物は確認された。
12 陰極
13 陽極
15 金属ブロック
15a 貫通孔
15b 大径部
15c 小径部
20 胴体
20a 反射面
20b 前面開口
20c 後面開口
21 反射部
21a 前端縁
22 後方円筒部
23 前方円筒部
24 貫通孔
25 金属リング
26 セラミックスペーサリング
27 導電性支持部材
28 金属筒体
29 金属筒体
30 窓部材
30a 周側面
30b,30c 斜面
30d 外表面
30e 内表面
35 窓支持部材
35a 内部リング部
35b 外部リング部
35c 連結部
35d 前縁部分
36 窓組立体
37 接着層
38 メタライズ層
39 耐オゾン性保護層
40 キセノンランプ
40a ランプ配置領域
42 光取り出し窓
43,44 放熱フィン
45 フィルタ
46 枠部材
50 胴体
50a 反射面
50b 前面開口
51 金属ブロック
52 陰極
53 陽極
55 金属リング
56 セラミックスペーサリング
57 導電性支持部材
58 金属筒体
59 金属筒体
60 窓部材
65 窓支持部材
65a 内部リング部
65b 外部リング部
65c 連結部
66 窓組立体
S 放電空間
Claims (2)
- 前面に凹所を有し、当該凹所の内表面に反射面が形成された胴体と、
当該胴体の反射面に囲まれて形成される放電空間において互いに対向して配置された陰極および陽極と、
前記胴体における凹所の開口を、窓支持部材を介して気密に閉塞する、紫外光を透過する窓部材とを備え、紫外光を放射するショートアーク型キセノンランプにおいて、
前記窓支持部材は、前記窓部材の周側面の形状に応じた形状の内周面を有するリング状部を有し、前記窓部材の周側面が前記窓支持部材のリング状部の内周面に銀ロウ材による接着層によって接着され、
前記接着層の外面上に、耐オゾン性保護層が設けられていることを特徴とするショートアーク型キセノンランプ。 - 前記耐オゾン性保護層が、Ni、Au、CuおよびPtの群から選ばれた金属のメッキ膜からなることを特徴とする請求項1に記載のショートアーク型キセノンランプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016096733A JP6673001B2 (ja) | 2016-05-13 | 2016-05-13 | ショートアーク型キセノンランプ |
Applications Claiming Priority (1)
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