JP6671335B2 - 機能性膜のパターニング方法、電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
10 透明フィルム(基材)
20 導電膜(ポジパターン部)
20a 導電膜形成材(低粘度の導電性液体)
30 非導電範囲
40 マスク部(ネガパターン形成部)
40a マスク部形成材(高粘度液体)
50 導電範囲
60 マスク部形成装置
70 テーブル
80 印刷装置
90 オフセットグラビア版胴
100 ブランケット胴
110 マスク部形成材供給装置
120 ドクターブレード
130 導電膜形成装置
140 コーティング装置
150 タンク
160 送液ポンプ
170 塗布バルブ
180 スリットダイ
Claims (10)
- パターニングした機能性膜を基材上に形成する機能性膜のパターニング方法であって、 8000〜30000mPa・sの粘度を有する高粘度液体を前記基板上に印刷することにより、当該基板上にネガパターン形成部を形成する第一工程と、
前記基材上の、前記ネガパターン形成部以外の範囲のみに、機能性材料を含むと共に1〜1000mPa・sの粘度を有する低粘度の液体を塗布することにより、前記ネガパターン形成部の高さよりも低い高さのポジパターン部を当該ネガパターン形成部以外の当該基板上に形成する第二工程と
を備えたことを特徴とする機能性膜のパターニング方法。 - 前記高粘度液体の印刷を、グラビア印刷法によって行い、
前記低粘度の液体の塗布を、コーティング法または印刷法によって行う
ことを特徴とする請求項1に記載の機能性膜のパターニング方法。 - 前記ネガパターン形成部を、前記ポジパターン部よりも細い画線で形成し、
前記ポジパターン部を、前記ネガパターン形成部よりも広い面積で形成する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の機能性膜のパターニング方法。 - 前記低粘度の液体として導電性液体を用いて、
前記基材上に導電膜を形成する
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の機能性膜のパターニング方法。 - 前記第二工程の後に、前記基材上に形成された前記ネガパターン形成部を除去する第三工程を備えた
ことを特徴とする請求項4に記載の機能性膜のパターニング方法。 - 前記高粘度液体が絶縁材料である
ことを特徴とする請求項4に記載の機能性膜のパターニング方法。 - 前記導電性液体が導電性繊維または導電性ポリマーを含む
ことを特徴とする請求項4から請求項6のいずれか一項に記載の機能性膜のパターニング方法。 - 前記基材は透明性を有する透明フィルムであり、
前記導電性液体は透明性を有する液体である
ことを特徴とする請求項4から請求項7のいずれか一項に記載の機能性膜のパターニング方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の機能性膜のパターニング方法によって電子デバイスを製造する
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 前記基材として透明フィルム基材を用い、
前記低粘度の液体として導電性液体を用いて、
透明導電性フィルムを製造する
ことを特徴とする請求項9に記載の電子デバイスの製造方法。
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