JP6670134B2

JP6670134B2 - Heating test equipment

Info

Publication number: JP6670134B2
Application number: JP2016041980A
Authority: JP
Inventors: 健司田頭; 広志宮脇; 利光大日方
Original assignee: KOTOHIRA INDUSTRIAL CO., LTD.
Current assignee: KOTOHIRA INDUSTRIAL CO., LTD.
Priority date: 2015-03-26
Filing date: 2016-03-04
Publication date: 2020-03-18
Anticipated expiration: 2036-03-04
Also published as: JP2016183959A

Description

本発明は、加熱試験装置に適用して有効な技術に関する。 The present invention relates to a technology that is effective when applied to a heating test device.

特開２０１４−１３９５５８号公報（以下、「特許文献１」という。）には、加熱試験装置に関する技術が記載されている。 Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. 2014-139558 (hereinafter, referred to as “Patent Document 1”) describes a technique relating to a heating test apparatus.

特開２０１４−１３９５５８号公報JP 2014-139558 A

加熱試験装置は、高温側プレートと低温側プレートでワーク（被試験対象物）をクランプし、温度差を与えて加熱試験を行うものである。このため、加熱試験装置には、ワークに適切な温度を加えて試験が行えるように、温度に対する耐久性（信頼性）などの性能においてより高いものが求められている。 The heating test apparatus clamps a work (object under test) between a high-temperature side plate and a low-temperature side plate, and gives a temperature difference to perform a heating test. For this reason, a heating test apparatus is required to have higher performance such as durability (reliability) against temperature so that a test can be performed by applying an appropriate temperature to a work.

本発明の目的は、高性能の加熱試験装置を提供することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。 An object of the present invention is to provide a high-performance heating test apparatus. The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。 The outline of a typical invention among the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.

本発明の一解決手段に係る加熱試験装置は、筐体と、前記筐体内に設けられ、ワークをクランプするクランプ面を有する高温側プレートおよび低温側プレートと、前記高温側プレートと前記筐体との間にスペースを設けて、前記高温側プレートのクランプ面とは反対側の裏面から前記高温側プレートを支持するスペーサと、前記スペーサとネジ止めされる留め具と、を備え、前記高温側プレートは、前記高温側プレートのクランプ面および前記高温側プレートの裏面に通じる貫通孔を有し、前記貫通孔に挿入される前記留め具によって前記スペーサに固定され、前記低温側プレートのクランプ面とは反対側の裏面に設けられるヒートシンクと、前記ヒートシンクに対向して設けられ、前記ヒートシンクに送風するファンと、前記低温側プレートの厚み方向で起立するよう前記低温側プレートの周囲に設けられる複数のコイルばねと、前記ヒートシンクと前記ファンとの間で挟まれて取り付けられる第１部と、前記第１部から折り曲げられて前記ヒートシンクを囲む第２部と、前記第２部から折り曲げられて前記コイルばねの先端に取り付けられる第３部とを有する取り付け板と、を備えることを特徴とする。 A heating test apparatus according to one aspect of the present invention is a housing, a high-temperature side plate and a low-temperature side plate provided in the housing and having a clamp surface for clamping a workpiece, and the high-temperature side plate and the housing. A spacer for supporting the high-temperature side plate from the back surface opposite to the clamp surface of the high-temperature side plate, and a fastener screwed to the spacer; Has a through-hole communicating with the clamp surface of the high-temperature side plate and the back surface of the high-temperature side plate, is fixed to the spacer by the fastener inserted into the through-hole, and the clamp surface of the low-temperature side plate A heat sink provided on the opposite back surface, a fan provided opposite to the heat sink and blowing air to the heat sink, A plurality of coil springs provided around the low-temperature side plate so as to stand in the thickness direction of the first part, a first part sandwiched between the heat sink and the fan, and a first part bent from the first part and A mounting plate having a second portion surrounding the heat sink and a third portion bent from the second portion and attached to the tip of the coil spring is provided .

ヒータによって加熱される高温側プレートを直接スペーサに固定させるのではなく、留め具を用いて接続することで、高温による接続箇所の耐久性（接続信頼性）に優れた加熱試験装置を提供することができる。また、例えばネジによって低温側プレートと取り付け板とを直接固定するものではないため、押付荷重をその接続箇所（ネジのせん断方向）で受けることなく耐荷重を向上させることができる。 To provide a heating test device excellent in durability (connection reliability) of a connection portion due to high temperature by connecting a high temperature side plate heated by a heater by using a fastener instead of directly fixing it to a spacer. Can be. In addition, since the low-temperature side plate and the mounting plate are not directly fixed by, for example, a screw, the load resistance can be improved without receiving a pressing load at the connection portion (the shearing direction of the screw).

筐体と、前記筐体内に設けられ、ワークをクランプするクランプ面を有する高温側プレートおよび低温側プレートと、前記高温側プレートと前記筐体との間にスペースを設けて、前記高温側プレートのクランプ面とは反対側の裏面から前記高温側プレートを支持するスペーサと、前記スペーサとネジ止めされる留め具と、を備え、前記高温側プレートは、前記高温側プレートのクランプ面および前記高温側プレートの裏面に通じる貫通孔を有し、前記貫通孔に挿入される前記留め具によって前記スペーサに固定され、前記高温側プレートに熱的に接続されるセラミックヒータと、前記セラミックヒータに接して設けられるクッション部品と、を備えることを特徴とする。ヒータによって加熱される高温側プレートを直接スペーサに固定させるのではなく、留め具を用いて接続することで、高温による接続箇所の耐久性（接続信頼性）に優れた加熱試験装置を提供することができる。また、これによれば、電力密度の高いセラミックヒータを用いて昇降温度速度を向上させると共に、高温側プレートとセラミックヒータの熱膨張係数差による変形を緩和して温度特性に優れた加熱試験装置を提供することができる。 A housing, a high-temperature side plate and a low-temperature side plate provided in the housing and having a clamp surface for clamping a workpiece, and a space provided between the high-temperature side plate and the housing to form a high-temperature side plate. A spacer for supporting the high-temperature side plate from the back surface opposite to the clamp surface; and a fastener screwed to the spacer, wherein the high-temperature side plate has a clamp surface of the high-temperature side plate and the high-temperature side. A ceramic heater having a through hole communicating with the back surface of the plate, being fixed to the spacer by the fastener inserted into the through hole, and being thermally connected to the high temperature side plate, provided in contact with the ceramic heater; And a cushion component that can be used . To provide a heating test device excellent in durability (connection reliability) of a connection portion due to high temperature by connecting a high temperature side plate heated by a heater by using a fastener instead of directly fixing it to a spacer. Can be. In addition, according to this, a heating test apparatus which has a high temperature characteristic using a ceramic heater having a high electric power density and having an excellent temperature characteristic while reducing deformation due to a difference in thermal expansion coefficient between the high-temperature side plate and the ceramic heater while improving the temperature rise / fall temperature. Can be provided.

筐体と、前記筐体内に設けられ、ワークをクランプするクランプ面を有する高温側プレートおよび低温側プレートと、前記高温側プレートと前記筐体との間にスペースを設けて、前記高温側プレートのクランプ面とは反対側の裏面から前記高温側プレートを支持するスペーサと、前記スペーサとネジ止めされる留め具と、を備え、前記高温側プレートは、前記高温側プレートのクランプ面および前記高温側プレートの裏面に通じる貫通孔を有し、前記貫通孔に挿入される前記留め具によって前記スペーサに固定され、前記低温側プレートに熱的に接続され、室温よりも高温であって前記高温側プレートよりも低温に調節される低温ヒータを備えることを特徴とする。ヒータによって加熱される高温側プレートを直接スペーサに固定させるのではなく、留め具を用いて接続することで、高温による接続箇所の耐久性（接続信頼性）に優れた加熱試験装置を提供することができる。また、これによれば、より安定させて温度（低温）を保持し、温度特性に優れた加熱試験装置を提供することができる。 A housing, a high-temperature side plate and a low-temperature side plate provided in the housing and having a clamp surface for clamping a workpiece, and a space provided between the high-temperature side plate and the housing to form a high-temperature side plate. A spacer for supporting the high-temperature side plate from the back surface opposite to the clamp surface; and a fastener screwed to the spacer, wherein the high-temperature side plate has a clamp surface of the high-temperature side plate and the high-temperature side. A plate having a through-hole communicating with the back surface of the plate, being fixed to the spacer by the fastener inserted into the through-hole , thermally connected to the low-temperature side plate; It is characterized by having a low-temperature heater adjusted to a lower temperature . To provide a heating test device excellent in durability (connection reliability) of a connection portion due to high temperature by connecting a high temperature side plate heated by a heater by using a fastener instead of directly fixing it to a spacer. Can be. Further , according to this, it is possible to provide a heating test apparatus that stably maintains the temperature (low temperature) and has excellent temperature characteristics.

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すると、高性能の加熱試験装置を提供することができる。 The effects obtained by the representative inventions among the inventions disclosed in the present application will be briefly described. A high-performance heating test apparatus can be provided.

本発明の実施形態１に係る加熱試験装置の斜視図である。It is a perspective view of a heating test device concerning Embodiment 1 of the present invention. 図１に示す加熱試験装置の高温側の側面図である。FIG. 2 is a side view of a high-temperature side of the heating test device shown in FIG. 1. 図１に示す加熱試験装置の高温側の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a high-temperature side of the heating test device shown in FIG. 1. 図１に示す加熱試験装置の高温側の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view on the high temperature side of the heating test device shown in FIG. 1. 比較例としての加熱試験装置の高温側の側面図である。It is a side view on the high temperature side of the heating test device as a comparative example. 比較例としての加熱試験装置の高温側の平面図である。It is a top view on the high temperature side of the heating test device as a comparative example. 比較例としての加熱試験装置の高温側の断面図である。It is a sectional view on the high temperature side of a heating test device as a comparative example. 図１に示す加熱試験装置の低温側の側面図である。FIG. 2 is a side view of a low-temperature side of the heating test device shown in FIG. 1. 図１に示す加熱試験装置の一制御の説明図である。It is explanatory drawing of one control of the heating test apparatus shown in FIG. 図１に示す加熱試験装置の他の制御の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of another control of the heating test device shown in FIG. 1. 本発明の実施形態２に係る加熱試験装置の高温側の側面図である。It is a side view on the high temperature side of the heating test device according to the second embodiment of the present invention. 本発明の実施形態２に係る加熱試験装置の高温側の側面図である。It is a side view on the high temperature side of the heating test device according to the second embodiment of the present invention. 比較例としての加熱試験装置の高温側の側面図である。It is a side view on the high temperature side of the heating test device as a comparative example. 本発明の実施形態３に係る加熱試験装置の高温側の断面図である。It is sectional drawing on the high temperature side of the heating test device which concerns on Embodiment 3 of this invention. 図１４に示す加熱試験装置の高温側の平面図である。FIG. 15 is a plan view on the high temperature side of the heating test device shown in FIG. 14. 図１４に示す加熱試験装置の高温側プレートの説明図であり、（ａ）が平面図、（ｂ）が側面図である。It is explanatory drawing of the high temperature side plate of the heating test apparatus shown in FIG. 14, (a) is a top view, (b) is a side view. 本発明の実施形態４に係る加熱試験装置の低温側の側面図である。It is a side view on the low temperature side of the heating test device according to Embodiment 4 of the present invention. 本発明の実施形態５に係る加熱試験装置の側面図である。It is a side view of the heating test device concerning Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施形態６に係る加熱試験装置の高温側周辺の側面図である。It is a side view of the high temperature side periphery of the heating test device which concerns on Embodiment 6 of this invention.

以下の本発明における実施形態では、必要な場合に複数のセクションなどに分けて説明するが、原則、それらはお互いに無関係ではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細などの関係にある。このため、全図において、同一の機能を有する部品には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、構成要素の数（個数、数値、量、範囲などを含む）については、特に明示した場合や原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。また、構成要素などの形状に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合などを除き、実質的にその形状などに近似または類似するものなどを含むものとする。 In the following embodiments of the present invention, if necessary, the description will be made by dividing into a plurality of sections, etc., but in principle, they are not independent of each other, and one is related to some or all of the other modified examples, details, etc. It is in. Therefore, in all the drawings, components having the same functions are denoted by the same reference numerals, and the repeated description thereof will be omitted. In addition, the number of components (including the number, numerical value, amount, range, etc.) is limited to a specific number, unless otherwise specified or limited to a specific number in principle. Instead, the number may be more than or less than a specific number. In addition, when referring to the shape of a component or the like, it is intended to include a shape substantially similar to or similar to the shape or the like, unless otherwise specified, and in cases where it is considered in principle not to be so. .

（実施形態１）
本発明の実施形態１に係る加熱試験装置１０について、図１〜図１０を参照して説明する。図１は加熱試験装置１０の斜視図である。また、図２〜図４はそれぞれ加熱試験装置１０の高温側の側面図、平面図および断面図である。また、図５〜図７はそれぞれ比較例としての加熱試験装置１０の高温側の側面図、平面図および断面図である。また、図８は加熱試験装置１０の低温側の側面図である。また、図９および図１０は加熱試験装置１０の制御の説明図である。なお、図８では、高温側と低温側とでクランプされるワークＷの様子も併せて示している。ワークＷとしては、例えば、温度差で発電を行う熱電モジュールが挙げられる。 (Embodiment 1)
A heating test apparatus 10 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view of the heating test apparatus 10. 2 to 4 are a side view, a plan view, and a cross-sectional view of the heating test apparatus 10 on the high temperature side, respectively. 5 to 7 are a side view, a plan view, and a cross-sectional view of the heating test apparatus 10 as a comparative example, respectively, on the high temperature side. FIG. 8 is a side view of the heating test apparatus 10 on the low temperature side. 9 and 10 are explanatory diagrams of the control of the heating test apparatus 10. FIG. FIG. 8 also shows the state of the work W clamped between the high temperature side and the low temperature side. As the work W, for example, a thermoelectric module that generates electric power based on a temperature difference is used.

加熱試験装置１０は、図１に示すように、筐体１２（本体部）と、筐体１２内に設けられる高温側プレート１４および低温側プレート１６とを備え、筐体１２内において高温側プレート１４と低温側プレート１６とでワークＷ（図８参照）をクランプして温度差を与えて加熱試験を行うものである。加熱試験の際にはワークＷ（図８参照）をクランプするため、高温側プレート１４がクランプ面１４ａ（ワークＷとの接触面）を有し、低温側プレート１６がクランプ面１６ａ（ワークＷとの接触面）を有している。また、加熱試験装置１０は、高温側プレート１４に熱的に接続されるヒータ２８と、低温側プレート１６を支持し、高温側プレート１４に対して低温側プレート１６を接離動させるステージ３２（クランプ機構）とを備えている。図１では、１つの高温側プレート１４に対して２つの低温側プレート１６が設けられる場合を示しているが、１つの高温側プレート１４に対して１つの低温側プレート１６が設けられる場合であってもよい。低温側プレート１６が複数設けられる場合、互いに独立な構造として設けることで、例えば、複数のワークＷ（同じ種類でもよいし、異なる種類であってもよい。）を同時に加熱試験することができる。 As shown in FIG. 1, the heating test apparatus 10 includes a housing 12 (main body), and a high-temperature side plate 14 and a low-temperature side plate 16 provided in the housing 12. The heating test is performed by clamping the work W (see FIG. 8) between the work 14 and the low-temperature side plate 16 to give a temperature difference. In order to clamp the work W (see FIG. 8) during the heating test, the high-temperature side plate 14 has a clamp surface 14a (contact surface with the work W), and the low-temperature side plate 16 has the clamp surface 16a (with the work W). Contact surface). Further, the heating test apparatus 10 supports the heater 28 thermally connected to the high-temperature side plate 14 and the low-temperature side plate 16, and moves the low-temperature side plate 16 toward and away from the high-temperature side plate 14 ( Clamp mechanism). FIG. 1 shows a case where two low-temperature plates 16 are provided for one high-temperature plate 14, but a case where one low-temperature plate 16 is provided for one high-temperature plate 14. You may. When a plurality of low-temperature side plates 16 are provided, by providing them as independent structures, for example, a plurality of works W (of the same type or of different types) can be simultaneously subjected to a heating test.

高温側プレート１４には、例えば、金属プレートとして板状の純銅（無酸素銅）が用いられる。高温側プレート１４に熱伝導率の高い純銅を用いることで、温度分布を均一なものとすることができる。また、高温側プレート１４には、耐熱性を重視した金属材料（例えば、合金）を用いることもできる。また、高温側プレート１４には、酸化防止のために、耐熱のめっき処理が施され、その表面にめっき膜が形成されている。例えば、ニッケルを主成分とするめっき液を用いたニッケルめっき処理が施される。この他の酸化防止のめっき処理としては、硬質クロムめっき液を用いることもできるが、純銅との熱膨張係数差が大きくなるため、高温側プレート１４に純銅を用いる場合には、ニッケルめっき処理が好ましい。低温側プレート１６には、高温側プレート１４ほど耐熱性が要求されないため、例えば、アルマイト処理が施されたアルミニウム合金を用いることができ、後述のヒートシンク４２（冷却フィン）と一体に形成されたプレートを用いている。 For the high-temperature side plate 14, for example, plate-like pure copper (oxygen-free copper) is used as a metal plate. By using pure copper having a high thermal conductivity for the high-temperature side plate 14, the temperature distribution can be made uniform. Further, for the high-temperature side plate 14, a metal material (for example, an alloy) that emphasizes heat resistance can be used. The high-temperature side plate 14 is subjected to heat-resistant plating to prevent oxidation, and a plating film is formed on the surface thereof. For example, a nickel plating process using a plating solution containing nickel as a main component is performed. As another plating treatment for preventing oxidation, a hard chromium plating solution can be used. However, since a difference in thermal expansion coefficient from pure copper is increased, when pure copper is used for the high-temperature side plate 14, a nickel plating treatment is used. preferable. Since the low-temperature side plate 16 is not required to be as heat-resistant as the high-temperature side plate 14, for example, an aluminum alloy subjected to alumite treatment can be used, and a plate formed integrally with a heat sink 42 (cooling fin) described later. Is used.

また、加熱試験装置１０は、図２〜図４に示すように、高温側プレート１４のクランプ面１４ａとは反対側の裏面１４ｂから高温側プレート１４を支持するスペーサ１８を備え、高温側プレート１４と筐体１２（筐体１２を構成する筐体側部品２０）との間にスペースＳ（断熱材または単にエアギャップによる）を設けている（図４参照）。スペースＳを設けることで、高温側プレート１４の熱を筐体１２側へ拡散させてしまうのを防止することができる。また、スペーサ１８は、例えば、柱状のステンレスであり、平面視長方形状の高温側プレート１４の四隅にそれぞれ一本ずつ設けられる。スペーサ１８に柱状のもの（支柱）を用いることで、高温側プレート１４の熱を筐体１２側へ拡散させてしまうのを防止することができる。また、高温側プレート１４に純銅を用いた場合、スペーサ１８に純銅よりも塑性変形強度の高いステンレスを用いることで、ワークＷをクランプする際の荷重（クランプ力）に対する耐久性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。 2 to 4, the heating test apparatus 10 includes a spacer 18 that supports the high-temperature side plate 14 from the back surface 14b of the high-temperature side plate 14 opposite to the clamp surface 14a. A space S (a heat insulating material or simply an air gap) is provided between the housing 12 and the housing 12 (a housing-side component 20 constituting the housing 12) (see FIG. 4). By providing the space S, it is possible to prevent the heat of the high-temperature side plate 14 from diffusing to the housing 12 side. The spacers 18 are, for example, columnar stainless steel, and are provided one at each of the four corners of the high-temperature side plate 14 having a rectangular shape in a plan view. By using a columnar member (post) for the spacer 18, it is possible to prevent the heat of the high temperature side plate 14 from diffusing to the housing 12 side. When pure copper is used for the high-temperature side plate 14, a stainless steel having a higher plastic deformation strength than pure copper is used for the spacer 18, so that a heating test excellent in durability against a load (clamping force) when the work W is clamped. An apparatus 10 can be provided.

このスペーサ１８に対してはネジ止めされる留め具２２、２４（図４参照）を加熱試験装置１０は備えている。この留め具２２、２４には雄ネジ２２ａ、２４ａが形成され、スペーサ１８にも留め具２２、２４がネジ止めされる雌ネジ１８ａ、１８ｂ（タップ穴）が形成されている。加熱試験装置１０では、留め具２２によって筐体１２（筐体側部品２０）にスペーサ１８が直接ネジ止めして固定され、留め具２４によって高温側プレート１４がスペーサ１８に間接ネジ止めして固定されている。ネジ止めされる高温側プレート１４は、クランプ面１４ａおよび裏面１４ｂに通じる貫通孔１４ｃ（図２では破線で示す。）を有しており、貫通孔１４ｃに挿入される段付きの留め具２４によってスペーサ１８に固定されている。この貫通孔１４ｃを含む高温側プレート１４の表面には、前述のめっき処理が施されている。これによれば、貫通孔１４ｃ内の酸化を防止して耐久性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。また、高温側プレート１４に純銅を用いる場合、スペーサ１８および留め具２４に純銅よりも塑性変形強度の高いステンレスを用いることで、ワークＷをクランプする際の荷重（クランプ力）に対する耐久性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。 The heating test apparatus 10 includes fasteners 22 and 24 (see FIG. 4) which are screwed to the spacer 18. Male fasteners 22 a and 24 a are formed in the fasteners 22 and 24, and female screws 18 a and 18 b (tap holes) to which the fasteners 22 and 24 are screwed are formed in the spacer 18. In the heating test apparatus 10, the spacer 18 is directly screwed and fixed to the housing 12 (housing-side component 20) by the fastener 22, and the high-temperature side plate 14 is fixed by indirect screwing to the spacer 18 by the fastener 24. ing. The high temperature side plate 14 to be screwed has a through hole 14c (shown by a broken line in FIG. 2) communicating with the clamp surface 14a and the back surface 14b, and is provided with a stepped fastener 24 inserted into the through hole 14c. It is fixed to the spacer 18. The surface of the high-temperature side plate 14 including the through holes 14c is subjected to the above-described plating. According to this, it is possible to provide the heating test apparatus 10 having excellent durability by preventing oxidation in the through hole 14c. When pure copper is used for the high-temperature side plate 14, stainless steel having higher plastic deformation strength than pure copper is used for the spacers 18 and the fasteners 24, so that the workpiece W has excellent durability against a load (clamping force) when the work W is clamped. Heating test apparatus 10 can be provided.

また、高温側プレート１４がクランプ面１４ａに形成された貫通孔１４ｃのザグリ１４ｄ（凹部）を有し、また、段付きの留め具２４が軸部に対する鍔２４ｂ（ネジ頭）を有しており、ザグリ１４ｄに鍔２４ｂを収納してスペーサ１８と留め具２４とがネジ止めされている。これによれば、高温側プレート１４のクランプ面１４ａから留め具２４を突出させずに高温側プレート１４がスペーサ１８に固定されるので、薄いワークＷであっても加熱試験することができる汎用性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。もちろん、鍔２４ｂを有する留め具２４（段付きネジ）とすることで高温側プレート１４に応力を掛けないようにすることができるので、ザグリ１４ｄは必須ではない。すなわち、留め具２４の段付き部（雄ネジ２４ａを除く）の長さを高温側プレート１４の厚み以上として、高温側プレート１４に応力を掛けないようにしている。 The high-temperature side plate 14 has a counterbore 14d (recess) of a through hole 14c formed in the clamp surface 14a, and the stepped fastener 24 has a flange 24b (screw head) for the shaft. The spacer 18 and the fastener 24 are screwed with the flange 24b housed in the counterbore 14d. According to this, the high-temperature side plate 14 is fixed to the spacer 18 without projecting the fastener 24 from the clamp surface 14a of the high-temperature side plate 14, so that even a thin work W can be subjected to a heating test. It is possible to provide the heating test apparatus 10 having excellent heat resistance. Needless to say, since the fastener 24 (stepped screw) having the flange 24b can prevent stress on the high-temperature side plate 14, the counterbore 14d is not essential. That is, the length of the stepped portion (excluding the male screw 24 a) of the fastener 24 is set to be equal to or greater than the thickness of the high-temperature side plate 14 so that stress is not applied to the high-temperature side plate 14.

ところで、図５〜図７に示すように、雌ネジ２６ａ（タップ穴）、雄ネジ２６ｂを有するスペーサ２６に対して高温側プレート１４を直接ネジ止めして固定する場合も考えられる。具体的には、雌ネジ２６ａが留め具２２の雄ネジ２２ａに対応してスペーサ２６が筐体１２（筐体側部品２０）に直接ネジ止めして固定される。また、高温側プレート１４に形成された雌ネジ１４ｅ（タップ穴）にスペーサ２６の雄ネジ２６ｂが対応してスペーサ２６に高温側プレート１４が直接ネジ止めして固定される。このような場合では、高温となる高温側プレート１４と、スペーサ２６との接続信頼性が低下することが考えられる。この点、図２〜図４を参照して説明したように、高温側プレート１４を直接スペーサ１８に固定させるのではなく、留め具２４を用いて接続することで、高温による接続箇所の耐久性（接続信頼性）に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。 By the way, as shown in FIGS. 5 to 7, a case where the high temperature side plate 14 is directly screwed and fixed to the spacer 26 having the female screw 26 a (tap hole) and the male screw 26 b may be considered. Specifically, the female screw 26a corresponds to the male screw 22a of the fastener 22, and the spacer 26 is directly screwed and fixed to the housing 12 (the housing-side component 20). Further, the male screw 26b of the spacer 26 corresponds to the female screw 14e (tap hole) formed on the high temperature side plate 14, and the high temperature side plate 14 is directly screwed and fixed to the spacer 26. In such a case, it is conceivable that the connection reliability between the high-temperature side plate 14 that becomes a high temperature and the spacer 26 is reduced. In this regard, as described with reference to FIGS. 2 to 4, the high-temperature side plate 14 is not directly fixed to the spacer 18 but is connected using the fasteners 24, so that the durability of the connection portion due to high temperature can be improved. It is possible to provide the heating test apparatus 10 having excellent (connection reliability).

また、図５〜図７に示す高温側プレート１４では、雌ネジ１４ｅ（タップ穴）内にめっき膜が付きにくい形状（袋小路形状）となっている。このため、雌ネジ１４ｅの山頂、谷底のネジ山箇所や、タップ穴の深い箇所にはめっき液が入り難く、めっき膜が所望の厚さに形成されず、めっきが弱い部分が発生してしまうおそれがある。ワークＷに高温を加える加熱試験装置１０では、めっきが弱い部分のプレート表面から高温酸化（腐食）が始まり、徐々に進行してしまう。そして、高温側プレート１４の局所的な変形の他に、高温酸化した箇所が脆くなり剥がれ落ちたり、強度が不足したりするといった症状が発生してしまう場合がある。この場合、ワークＷに効率よく熱を伝える高温側プレート１４としての機能、性能を満たさなくなってしまう。このような高温側プレート１４は寿命として、交換が必要となってしまう。この点、高温側プレート１４に雌ネジ１４ｅを形成せずに、留め具２４が挿入されるよう内壁面が滑らかな貫通孔１４ｃ（通し穴）を形成することで、貫通孔１４ｃ内にめっきが弱い部分が発生するのを防止することができる。 Further, the high-temperature side plate 14 shown in FIGS. 5 to 7 has a shape (a dead end shape) in which the plating film is hardly attached to the female screw 14e (tap hole). For this reason, it is difficult for the plating solution to enter the threaded portion of the female screw 14e at the crest, the bottom, or the deep portion of the tapped hole, the plating film is not formed to a desired thickness, and weak plating occurs. There is a risk. In the heating test apparatus 10 for applying a high temperature to the work W, high-temperature oxidation (corrosion) starts from the plate surface where the plating is weak, and progresses gradually. Then, in addition to the local deformation of the high-temperature side plate 14, there may be a case in which the high-temperature oxidized portion becomes brittle and peels off, or the strength becomes insufficient. In this case, the function and performance of the high-temperature side plate 14 that efficiently transmits heat to the work W are not satisfied. Such a high-temperature side plate 14 needs to be replaced for its life. In this regard, by forming the through hole 14c (through hole) having a smooth inner wall surface for inserting the fastener 24 without forming the female screw 14e on the high temperature side plate 14, plating is formed in the through hole 14c. The generation of a weak portion can be prevented.

また、加熱試験装置１０は、図１に示すように、高温側プレート１４に熱的に接続されるヒータ２８と、高温側プレート１４の温度を測定する熱電対３０（温度センサ）と、低温側プレート１６の温度を測定する熱電対３１とを備えている。ヒータ２８は、高温側プレート１４の内部に設けられ（内蔵され）、直接高温側プレート１４を加熱する。すなわち、高温側プレート１４はホットプレートとなる。ヒータ２８には、例えば、カートリッジヒータが用いられる。また、高温側プレート１４の正面から内部へ延伸される熱電対３０は、接点部が高温側プレート１４の内部中央に設けられている。他方、低温側プレート１６は、高温側プレート１４を加熱するヒータ２８のようにヒータが内蔵されておらず、ワークＷを介した高温（例えば、６００℃程度）の高温側プレート１４からの熱を冷却機構によって冷却して低温（例えば、１００℃程度）を保つよう構成されている。また、低温側プレート１６の背面から内部へ延伸される熱電対３１は、接点部が低温側プレート１６の内部中央に設けられている。 As shown in FIG. 1, the heating test apparatus 10 includes a heater 28 thermally connected to the high-temperature side plate 14, a thermocouple 30 (temperature sensor) for measuring the temperature of the high-temperature side plate 14, and a low-temperature side And a thermocouple 31 for measuring the temperature of the plate 16. The heater 28 is provided (built-in) inside the high temperature side plate 14 and directly heats the high temperature side plate 14. That is, the high temperature side plate 14 becomes a hot plate. As the heater 28, for example, a cartridge heater is used. The thermocouple 30 extending from the front of the high-temperature side plate 14 to the inside has a contact portion provided at the center of the inside of the high-temperature side plate 14. On the other hand, the low-temperature side plate 16 does not have a built-in heater like the heater 28 that heats the high-temperature side plate 14, and removes heat from the high-temperature (for example, about 600 ° C.) high-temperature side plate 14 through the work W. It is configured to be cooled by a cooling mechanism to maintain a low temperature (for example, about 100 ° C.). The thermocouple 31 extending from the back surface of the low-temperature side plate 16 to the inside has a contact portion provided at the center of the inside of the low-temperature side plate 16.

ヒータ２８および熱電対３０が内部に設けられる高温側プレート１４は、クランプ面１４ａと交差して対向する側面１４ｆ（図１では正面となる。）、側面１４ｇ（図１では背面となる。）に通じる側面貫通孔１４ｈ、１４ｉ（図２、図３参照）を有している。そして、側面貫通孔１４ｈにヒータ２８（カートリッジヒータ）が挿入され、側面貫通孔１４ｉに熱電対３０が挿入される。ヒータ２８が挿入される側面貫通孔１４ｈは径が大きいため一度に穿孔して貫通させることができるが、熱電対３０が挿入される側面貫通孔１４ｉは径が小さいため側面１４ｆ、１４ｇのそれぞれから穿孔して貫通させたものである。 The high-temperature side plate 14, in which the heater 28 and the thermocouple 30 are provided, has a side surface 14f (the front surface in FIG. 1) and a side surface 14g (the rear surface in FIG. 1) that intersect and oppose the clamp surface 14a. It has side through-holes 14h and 14i (see FIGS. 2 and 3) that communicate therewith. Then, the heater 28 (cartridge heater) is inserted into the side through hole 14h, and the thermocouple 30 is inserted into the side through hole 14i. Since the side through hole 14h into which the heater 28 is inserted has a large diameter, the side through hole 14i into which the thermocouple 30 is inserted can be pierced and penetrated at one time. Perforated and penetrated.

ここで、側面貫通孔１４ｈ、１４ｉ内を含む高温側プレート１４の表面には、前述のめっき処理が施されている。これによれば、側面貫通孔１４ｈ、１４ｉ内の酸化を防止して耐久性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。側面貫通孔１４ｈ、１４ｉの耐久性を確保することで、それぞれに設けられるヒータ２８および熱電対３０の性能も確保することができる。 Here, the surface of the high-temperature side plate 14 including the inside of the side surface through holes 14h and 14i is subjected to the above-described plating. According to this, it is possible to provide the heating test apparatus 10 having excellent durability by preventing oxidation in the side through holes 14h and 14i. By ensuring the durability of the side surface through holes 14h and 14i, the performance of the heater 28 and the thermocouple 30 provided respectively can also be ensured.

ところで、熱電対３０の接点部が高温側プレート１４の内部中央に設けられるのであれば、図５および図６に示すように、高温側プレート１４には、対向する側面１４ｆ、１４ｇに貫通させずに一方の側面１４ｆのみで開口する止まり穴１４ｊを形成する場合も考えられる。例えば、高温側プレート１４が難削材の純銅の場合、深穴加工が困難である（粘いため、ドリル加工の切り子が排出され難い）ため、止まり穴１４ｊとすることも考えられる。しかしながら、この止まり穴１４ｊは、めっき液がのりにくい（めっき膜が付きにくい）袋小路の形状となっている。このため、止まり穴１４ｊの深い奥部にはめっき液が入り難く、めっき膜が所望の厚さに形成されず、前述の雌ネジ１４ｅ（タップ穴）と同様に、めっきが弱い部分が発生してしまうおそれがある。この点、高温側プレート１４に止まり穴１４ｊを形成せずに、側面貫通孔１４ｉを形成することで、側面貫通孔１４ｉ内にめっきが弱い部分が発生するのを防止することができる。 By the way, if the contact portion of the thermocouple 30 is provided at the center of the inside of the high-temperature side plate 14, as shown in FIGS. 5 and 6, the high-temperature side plate 14 does not penetrate the opposed side surfaces 14f and 14g. It is also conceivable to form a blind hole 14j that is opened only on one side surface 14f. For example, if the high-temperature side plate 14 is made of pure copper, which is a difficult-to-cut material, deep hole processing is difficult (because of the stickiness of drilling, it is difficult to discharge a cutting tool), so that the blind hole 14j may be used. However, the blind hole 14j has the shape of a blind alley in which the plating solution does not easily flow (the plating film does not easily adhere). For this reason, it is difficult for the plating solution to enter into the deep inner part of the blind hole 14j, the plating film is not formed to a desired thickness, and similarly to the above-described female screw 14e (tap hole), a portion where plating is weak occurs. There is a risk that it will. In this regard, by forming the side surface through-holes 14i without forming the blind holes 14j in the high-temperature side plate 14, it is possible to prevent the occurrence of a weakly plated portion in the side surface through-holes 14i.

なお、側面１４ｆ、１４ｇからの穿孔が通じて形成される側面貫通孔１４ｉは、めっき液が行き渡るように貫通していればよい。このため、互いの穿孔が同心となるような高い精度まで必要でなく（ドリル先端の位置精度を出さなくともよく）、本実施形態では、熱電対３０が挿入される側の側面１４ｆ側の穿孔径よりも側面１４ｇの穿孔径を若干大きくしている。 The side surface through-holes 14i formed through the perforations from the side surfaces 14f and 14g only need to penetrate the plating solution so as to spread. For this reason, it is not necessary to have a high accuracy so that the holes are concentric with each other (it is not necessary to obtain the positional accuracy of the tip of the drill), and in the present embodiment, the holes on the side surface 14f on the side where the thermocouple 30 is inserted are provided. The hole diameter of the side surface 14g is slightly larger than the hole diameter.

また、加熱試験装置１０は、図１、図８に示すように、低温側プレート１６のクランプ面１６ａとは反対側の裏面１６ｂから低温側プレート１６を支持し、高温側プレート１４に対して低温側プレート１６を接離動させるステージ３２を備えている。このステージ３２は、低温側プレート１６のクランプ面１６ａに載置されたワークＷを高温側プレート１４に対してクランプしたり解除したりするために、鉛直方向Ａ（第１方向）に低温側プレート１６を移動させるジャッキ構造部を備えている。また、ステージ３２は、ワークＷの個数、種類によって高温側プレート１４に対してワークＷのクランプ位置（当接位置）を調整するために、水平面方向Ｂ（第１方向と交差する第２方向）に低温側プレート１６を移動させるシフト構造部を備えている。ジャッキ構造部は、ハンドル３４を有して、このハンドル３４を手動で回すことで昇降する手動式のジャッキ（パンダグラフジャッキ）であり、低温側プレート１６を昇降させることができる。シフト構造部は、ジャッキ構造部が固定される載置板３６およびこれを筐体１２に固定するつまみネジ３８を有しており、つまみネジ３８を外してジャッキ構造部が搭載されている載置板３６をずらすことによって、低温側プレート１６をシフトさせることができる。 As shown in FIGS. 1 and 8, the heating test apparatus 10 supports the low-temperature plate 16 from the back surface 16b of the low-temperature plate 16 opposite to the clamp surface 16a, and A stage 32 is provided for moving the side plate 16 toward and away. The stage 32 is used to clamp the workpiece W placed on the clamp surface 16 a of the low-temperature side plate 16 to the high-temperature side plate 14 or release the workpiece W from the low-temperature side plate A in the vertical direction A (first direction). 16 is provided with a jack structure for moving the same. The stage 32 is used to adjust the clamp position (contact position) of the work W with respect to the high-temperature side plate 14 according to the number and type of the work W, so that the horizontal direction B (second direction intersecting the first direction) is used. And a shift structure for moving the low-temperature side plate 16. The jack structure section is a manual jack (pandagraph jack) having a handle 34 and manually moving the handle 34 to move up and down, and can move the low-temperature side plate 16 up and down. The shift structure has a mounting plate 36 to which the jack structure is fixed, and a thumb screw 38 for fixing the same to the housing 12, and a mounting plate on which the jack structure is mounted by removing the thumb screw 38. By shifting the plate 36, the low-temperature side plate 16 can be shifted.

また、加熱試験装置１０は、図８に示すように、低温側プレート１６の裏面１６ｂに設けられるヒートシンク４２（冷却フィン）と、ヒートシンク４２に対向して設けられ、ヒートシンク４２に送風するファン４４とを備え、空冷仕様に構成されている。本実施形態では、ヒートシンク４２と低温側プレート１６とは一体に形成されたものを用いている。また、低温側プレート１６は、ファン４４が回転することによって発生したエアをヒートシンク４２へ吹き付けて冷却するよう構成されている。このように、低温側プレート１６では、ワークＷを介した高温側プレート１４からの熱をエアで冷却する空冷仕様の冷却機構を用いており、例えば、高温（例えば、６００℃程度）の高温側プレート１４よりも低温（例えば、１００℃程度）となるようにファン４４が調節されることとなる。 As shown in FIG. 8, the heating test apparatus 10 includes a heat sink 42 (cooling fin) provided on the back surface 16 b of the low-temperature side plate 16 and a fan 44 provided to face the heat sink 42 and blowing air to the heat sink 42. And is configured for air-cooled specifications. In the present embodiment, the heat sink 42 and the low-temperature side plate 16 are integrally formed. The low-temperature side plate 16 is configured to blow air generated by rotation of the fan 44 onto the heat sink 42 to cool the heat sink 42. As described above, the low-temperature side plate 16 uses a cooling mechanism of an air-cooling type that cools the heat from the high-temperature side plate 14 via the work W with air, for example, the high-temperature side (for example, about 600 ° C.) The fan 44 is adjusted so that the temperature is lower than that of the plate 14 (for example, about 100 ° C.).

また、加熱試験装置１０は、図８に示すように、低温側プレート１６の周囲でステージ３２（ステージ側部品４０）に低温側プレート１６の厚み方向（鉛直方向Ａ）に起立して設けられる複数のコイルばね４６を備えている。このコイルばね４６の内部には、コイルばね４６が鉛直方向Ａに起立するよう支持する支柱が設けられている。また、加熱試験装置１０は、ヒートシンク４２とファン４４との間で挟まれて取り付けられる第１部４８ａと、第１部４８ａから折り曲げられてヒートシンク４２を囲む第２部４８ｂと、第２部４８ｂから折り曲げられてコイルばね４６の先端に取り付けられる第３部４８ｃとを有する取り付け板４８を備えている。これによれば、例えばネジによって低温側プレート１６と取り付け板とを直接固定するものではないため、押付荷重をその接続箇所（ネジのせん断方向）で受けることなく耐荷重を向上させることができる。また、低温側プレート１６が、取り付け板４８を介してコイルばね４６によって支持されているので、ワークＷに対する押付荷重（負荷）をコイルばね４６で受けることができ、ワークＷの片当たりを防止して信頼性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。 As shown in FIG. 8, the heating test apparatus 10 is provided on a stage 32 (stage-side component 40) around the low-temperature side plate 16 so as to stand upright in the thickness direction (vertical direction A) of the low-temperature side plate 16. Is provided. Inside the coil spring 46, there is provided a column for supporting the coil spring 46 so as to stand up in the vertical direction A. In addition, the heating test apparatus 10 includes a first portion 48a that is sandwiched and attached between the heat sink 42 and the fan 44, a second portion 48b that is bent from the first portion 48a and surrounds the heat sink 42, and a second portion 48b. And a third portion 48c which is bent from the third portion and is attached to the tip of the coil spring 46. According to this, for example, since the low-temperature side plate 16 and the mounting plate are not directly fixed by the screw, the load resistance can be improved without receiving the pressing load at the connection portion (the shearing direction of the screw). Further, since the low-temperature side plate 16 is supported by the coil spring 46 via the mounting plate 48, a pressing load (load) on the work W can be received by the coil spring 46, and the work W can be prevented from hitting one side. And a highly reliable heating test apparatus 10 can be provided.

また、加熱試験装置１０は、図１に示すように、水平面方向Ｂに隣接する低温側プレート１６、１６の間に設けられるゲージ５０と、隣接する低温側プレート１６、１６のそれぞれに設けられるゲージ針５２、５２とを備えている。ゲージ５０は、短冊状に構成されて短手両側に長手方向に沿って目盛りが振られており、鉛直方向Ａへ延在するよう設けられている。また、ゲージ針５２は、コイルばね４６の伸縮によって鉛直方向Ａに移動する低温側プレート１６と共に移動するよう低温側プレート１６に設けられていればよい。ゲージ針５２としては、例えば、取り付け板４８が有する第３部４８ｃから折り曲げられてゲージ５０に掛かる第４面４８ｄに形成された切欠部を用いることができる。このようなゲージ５０およびゲージ針５２によれば、クランプ時のコイルばね４６の撓み量を目視で確認することができ、コイルばね４６の撓み量とそのばね定数から間接的にワークＷへの押しつけ荷重（クランプ力）を測定することができる。 As shown in FIG. 1, the heating test apparatus 10 includes a gauge 50 provided between the low-temperature side plates 16, 16 adjacent in the horizontal plane direction B, and a gauge provided on each of the adjacent low-temperature side plates 16, 16. Needles 52, 52 are provided. The gauge 50 is formed in a strip shape, is scaled on both sides in the longitudinal direction along the longitudinal direction, and is provided so as to extend in the vertical direction A. Further, the gauge needle 52 may be provided on the low-temperature side plate 16 so as to move together with the low-temperature side plate 16 that moves in the vertical direction A due to the expansion and contraction of the coil spring 46. As the gauge needle 52, for example, a notch formed on the fourth surface 48d that is bent from the third portion 48c of the mounting plate 48 and that extends over the gauge 50 can be used. According to the gauge 50 and the gauge needle 52, the bending amount of the coil spring 46 at the time of clamping can be visually confirmed, and the pressing force on the workpiece W is indirectly obtained from the bending amount of the coil spring 46 and its spring constant. Load (clamping force) can be measured.

また、加熱試験装置１０は、図１に示すように、その正面に取手５４によって筐体１２に開閉可能に設けられ、のぞき窓５６を有する扉５８を備えている。扉５８を開くことにより、ワークＷを出し入れすることができる。また、扉５８を閉めて加熱試験を行っている最中には、のぞき窓５６からワークＷを観測することができる。また、加熱試験装置１０は、筐体１２を支持する複数のアジャスト脚６０と、筐体１２の上面（天板）に設けられ、加熱試験装置１０を持ち運ぶ際に用いることができる一対の取手６２とを備えている。 As shown in FIG. 1, the heating test apparatus 10 includes a door 58 provided on the front face of the housing 12 so as to be opened and closed by a handle 54 and having a viewing window 56. The work W can be taken in and out by opening the door 58. The work W can be observed through the viewing window 56 while the heating test is being performed with the door 58 closed. The heating test apparatus 10 includes a plurality of adjusting legs 60 that support the housing 12 and a pair of handles 62 that are provided on the upper surface (top plate) of the housing 12 and that can be used when carrying the heating test apparatus 10. And

また、加熱試験装置１０は、筐体１２の両側面に高温側プレート１４のクランプ面１４ａの位置（周囲領域）にエアを吹き付け可能に設けられた強制冷却ファン６４を備え、空冷仕様に構成されている。例えば、高温側プレート１４および低温側プレート１６でワークＷをクランプして加熱試験しているときに、通常の停止を行う場合や異常が発生した場合には、強制冷却ファン６４を駆動させることで、特に高温側プレート１４やワークＷを強制的に冷却することができる。 Further, the heating test apparatus 10 is provided with a forced cooling fan 64 provided on both sides of the housing 12 so that air can be blown to the position (surrounding area) of the clamp surface 14a of the high-temperature side plate 14, and is configured to be air-cooled. ing. For example, when the workpiece W is clamped by the high-temperature side plate 14 and the low-temperature side plate 16 and the heating test is performed, when the normal stop is performed or when an abnormality occurs, the forced cooling fan 64 is driven. In particular, the high-temperature side plate 14 and the work W can be forcibly cooled.

また、加熱試験装置１０は、筐体１２の外部に設けられる操作部６６を備えている。操作部６６は、筐体１２内の各電気部品と電気的に接続されており、それらの状態を監視、制御する。操作部６６は、電源スイッチ６８と、タッチパネル７０と、運転開始ボタン７２と、強制冷却ボタン７４とを備えている。例えば、電源スイッチ６８の切り替えによって加熱試験装置１０が外部電源からの電力供給を受けた状態で、タッチパネル７０によって試験条件を設定することができる。そして、図９に示すように、運転開始ボタン７２によって加熱試験を開始し、強制冷却ボタン７４（内部警報）によって強制冷却ファン６４を駆動させながら試験を停止させることができる。また、加熱試験装置１０の安全性向上のために、操作部６６に外部信号入力端子を設け、例えば、ＵＰＳ（Uninterruptible Power Supply）やチラーなどの外部機器（オプション機器としてもよい）からの異常信号入力時に強制冷却運転を開始させてもよい。例えば、ＵＰＳからのＵＰＳ異常信号、チラーからの異常信号やモニタリングされる循環水流量および温度の計測器数値によって強制冷却運転を行うことができる。 In addition, the heating test apparatus 10 includes an operation unit 66 provided outside the housing 12. The operation unit 66 is electrically connected to each of the electric components in the housing 12, and monitors and controls their states. The operation unit 66 includes a power switch 68, a touch panel 70, an operation start button 72, and a forced cooling button 74. For example, the test conditions can be set by the touch panel 70 in a state where the heating test apparatus 10 receives power supply from an external power supply by switching the power switch 68. Then, as shown in FIG. 9, the heating test can be started by the operation start button 72, and the test can be stopped while the forced cooling fan 64 is driven by the forced cooling button 74 (internal alarm). Further, in order to improve the safety of the heating test apparatus 10, an external signal input terminal is provided in the operation unit 66, for example, an abnormal signal from an external device (may be an optional device) such as a UPS (Uninterruptible Power Supply) or a chiller. The forced cooling operation may be started at the time of input. For example, the forced cooling operation can be performed based on the UPS abnormal signal from the UPS, the abnormal signal from the chiller, and the monitored instrument values of the circulating water flow rate and the temperature.

操作部６６は、内部にＰＬＣ（Programmable Logic Controller）を備え、タッチパネル７０での高温側設定温度（例えば、６００℃）となるように、高温側プレート１４の温度（熱電対３０の測定値）をモニターしながら（タッチパネル７０でも表示される）、複数のヒータ２８の温度をＰＩＤ（Proportional Integral Derivative）制御している。また、操作部６６は、内部にアナログ信号入力によるファン制御基板を備え、図１０に示すように、タッチパネル７０でのファン４４の設定回転数となるように、ＰＬＣからのアナログ出力を基にファン制御基板にてファン４４の回転数をＰＷＭ（Pulse Width Modulation）制御している。この際、操作部６６は、低温側プレート１６の温度（熱電対３１の測定値）をモニター（タッチパネル７０でも表示される）しているので、タッチパネル７０での低温側設定温度（例えば、１００℃）となるように、回転数自動調節による温調制御を行ってもよい。ファン制御基板を用いることで、繰り返しの試験時におけるファン４４の回転数の再現性を向上させることができる。 The operation unit 66 includes a PLC (Programmable Logic Controller) inside, and adjusts the temperature of the high-temperature side plate 14 (measured value of the thermocouple 30) so as to reach the high-temperature side set temperature (for example, 600 ° C.) on the touch panel 70. While monitoring (also displayed on the touch panel 70), the temperature of the plurality of heaters 28 is PID (Proportional Integral Derivative) controlled. Further, the operation unit 66 includes a fan control board for inputting an analog signal inside, and as shown in FIG. 10, a fan based on an analog output from the PLC so that the rotation speed of the fan 44 on the touch panel 70 is set. The control board controls the rotation speed of the fan 44 by PWM (Pulse Width Modulation). At this time, since the operation unit 66 monitors the temperature of the low-temperature side plate 16 (measured value of the thermocouple 31) (also displayed on the touch panel 70), the low-temperature side set temperature on the touch panel 70 (for example, 100 ° C.) ), The temperature control may be performed by automatic adjustment of the number of revolutions. By using the fan control board, the reproducibility of the rotation speed of the fan 44 at the time of the repeated test can be improved.

なお、加熱試験装置１０（ＰＬＣ）とＰＣ（Personal Computer）とをＯＰＣサーバなどの標準通信仕様の通信ソフトウエア（通信ドライバ）を介して接続することもできる。これにより、例えば、加熱試験装置１０と各種外部計測器とを接続して制御ソフトウエアや計測器選択の幅を広げてＰＣ制御による自動計測をしたり、ＰＣによって複数の加熱試験装置１０を一括管理したりすることができる。各種外部計測器としては、熱電モジュールの出力を測定するための電子負荷装置や電流電圧源、または内部抵抗を測定するための低抵抗計（バッテリハイテスタ）などがある。ＯＰＣサーバを用いることで、ＰＣでの加熱試験装置１０を制御する制御プログラムの開発の自由度をユーザに提供することができ、制御ソフトウエア開発のみで様々な計測用途に用いることができる。この際、ＯＰＣサーバと加熱試験装置１０内のプログラムで制限をかけることで、誤動作を防ぎ、安全性を確保することができる。 Note that the heating test apparatus 10 (PLC) and a PC (Personal Computer) can be connected via communication software (communication driver) of a standard communication specification such as an OPC server. Thereby, for example, the heating test apparatus 10 is connected to various external measuring instruments to expand the range of control software and measuring instrument selection to perform automatic measurement by PC control, or a plurality of heating testing apparatuses 10 are collectively controlled by a PC. And manage it. Various external measuring devices include an electronic load device and a current / voltage source for measuring the output of the thermoelectric module, and a low resistance meter (battery height tester) for measuring the internal resistance. By using the OPC server, it is possible to provide a user with a degree of freedom in developing a control program for controlling the heating test apparatus 10 using a PC, and the OPC server can be used for various measurement purposes only by developing control software. At this time, by restricting with the OPC server and the program in the heating test apparatus 10, malfunction can be prevented and safety can be ensured.

（実施形態２）
本発明の実施形態２では、高温側プレート１４の伝熱抵抗を低減するため、高荷重を加えることのできる加熱試験装置１０について、図１１〜図１３を参照して説明する。図１１および図１２はそれぞれ異なる本実施形態に係る加熱試験装置１０の高温側の側面図である。また、図１３は比較例としての加熱試験装置１０の高温側の側面図である。なお、図１１〜図１３には、高温側プレート１４に加えられる荷重方向を矢印で示している。 (Embodiment 2)
In the second embodiment of the present invention, a heating test apparatus 10 to which a high load can be applied in order to reduce the heat transfer resistance of the high-temperature side plate 14 will be described with reference to FIGS. FIG. 11 and FIG. 12 are side views on the high temperature side of the heating test apparatus 10 according to the present embodiment, which are different from each other. FIG. 13 is a high-temperature side view of the heating test apparatus 10 as a comparative example. 11 to 13, the direction of the load applied to the high-temperature side plate 14 is indicated by an arrow.

本実施形態に係る加熱試験装置１０は、前記実施形態１（図１参照）と同様に、筐体１２と、筐体１２内に設けられる高温側プレート１４および低温側プレート１６とを備え、筐体１２内において高温側プレート１４と低温側プレート１６とでワークＷ（図８参照）をクランプして温度差を与えて加熱試験を行うものである。また、加熱試験装置１０は、図１１に示すように、高温側プレート１４と筐体１２（筐体側部品２０）との間にスペースＳを設けて、高温側プレート１４の裏面１４ｂから高温側プレート１４を支持するスペーサ１８と、高温側プレート１４の裏面１４ｂに設けられ、高温側プレート１４（例えば、純銅）よりも塑性変形強度の高い補強部品７６（例えば、ステンレス）とを備えている。補強部品７６を用いることで、ワークＷに対して均等に、高荷重でクランプすることができ、伝熱抵抗を低減して温度特性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。 The heating test apparatus 10 according to the present embodiment includes a housing 12 and a high-temperature side plate 14 and a low-temperature side plate 16 provided in the housing 12 as in the first embodiment (see FIG. 1). The heating test is performed by clamping the work W (see FIG. 8) between the high-temperature side plate 14 and the low-temperature side plate 16 in the body 12 to give a temperature difference. Further, as shown in FIG. 11, the heating test apparatus 10 provides a space S between the high-temperature side plate 14 and the housing 12 (the housing-side component 20), and And a reinforcing component 76 (for example, stainless steel) provided on the back surface 14b of the high-temperature side plate 14 and having higher plastic deformation strength than the high-temperature side plate 14 (for example, pure copper). By using the reinforcing component 76, it is possible to uniformly clamp the workpiece W with a high load, reduce the heat transfer resistance, and provide the heating test apparatus 10 having excellent temperature characteristics.

ところで、補強部品７６を設けない場合に荷重が一定量を超えると、筐体１２（筐体側部品２０）側に凸状となるよう高温側プレート１４（純銅）が長手方向に反ってしまい、中央部の変形が大きくなってしまうことが本発明者らの検討により判明している。そこで、補強部品７６を、留め具２２によって筐体１２（筐体側部品２０）に固定された柱状部品とし、裏面１４ｂの中央部に接している。この柱状の補強部品７６（ステンレス）の周りには、平面視長方形状の高温側プレート１４（純銅）の四隅のそれぞれに設けられる柱状のスペーサ１８（ステンレス）が設けられている。補強部品７６をスペーサ１８と同じ長さ（スペースＳにおける長さ）で同じ材質（ステンレス）からなる柱状とすることで、高温側プレート１４の熱でスペーサ１８と補強部品７６が同様に膨張し、高温側プレート１４の反り（塑性変形）の発生を防止することができる。また、柱状の補強部品７６を用いることで、補強部品７６からの熱拡散を防止することができる。なお、補強部品７６から熱が逃げてしまうことによる昇温上限、温度昇降スピード低下などを考慮しながら、補強部品７６の太さ、位置、本数は、設定する荷重の位置や大きさに応じて設定する必要がある。 By the way, when the load exceeds a certain amount when the reinforcing component 76 is not provided, the high-temperature side plate 14 (pure copper) warps in the longitudinal direction so as to be convex toward the housing 12 (the housing-side component 20), and It has been found from the study of the present inventors that the deformation of the portion becomes large. Therefore, the reinforcing component 76 is a columnar component fixed to the housing 12 (housing-side component 20) by the fastener 22, and is in contact with the center of the back surface 14b. Around this columnar reinforcing component 76 (stainless steel), columnar spacers 18 (stainless) provided at each of the four corners of the high-temperature side plate 14 (pure copper) having a rectangular shape in plan view are provided. By forming the reinforcing component 76 into a columnar shape having the same length (length in the space S) and the same material (stainless steel) as the spacer 18, the spacer 18 and the reinforcing component 76 similarly expand due to the heat of the high-temperature side plate 14, Warpage (plastic deformation) of the high-temperature side plate 14 can be prevented. In addition, by using the columnar reinforcing component 76, heat diffusion from the reinforcing component 76 can be prevented. The thickness, the position, and the number of the reinforcing components 76 are determined according to the position and the size of the load to be set, while taking into account the temperature rise upper limit and the temperature rising / lowering speed reduction due to the heat escaping from the reinforcing components 76. Must be set.

また、異なる形態として加熱試験装置１０は、図１２に示すように、柱状の補強部品７６の代わりに板状の補強部品７８を備えてもよい。補強部品７８は、高温側プレート１４とスペーサ１８との間に挟まれる板状部品（例えば、ステンレス）である。そして、ヒータ２８が、補強部品７８の内部（貫通孔７８ｈ）に設けられる。これによれば、より荷重を加えてワークＷをクランプすることができ、伝熱抵抗を低減して温度特性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。また、高温側プレート１４の内部（貫通孔１４ｉ）に設けられる熱電対３０の他に、補強部品７８の内部（貫通孔７８ｉ）に別の熱電対を設け、高温側プレート１４の温度調節に用いることもできる。 Further, as a different embodiment, the heating test apparatus 10 may include a plate-shaped reinforcing component 78 instead of the column-shaped reinforcing component 76 as shown in FIG. The reinforcing component 78 is a plate-like component (for example, stainless steel) sandwiched between the high-temperature side plate 14 and the spacer 18. The heater 28 is provided inside the reinforcing component 78 (through hole 78h). According to this, the work W can be clamped by further applying a load, and the heat transfer resistance can be reduced to provide the heating test apparatus 10 having excellent temperature characteristics. In addition to the thermocouple 30 provided inside the high-temperature side plate 14 (through hole 14i), another thermocouple is provided inside the reinforcing component 78 (through hole 78i), and is used for adjusting the temperature of the high-temperature side plate 14. You can also.

ところで、図１３に示すように、単に高温側プレート１４とスペーサ１８との間に挟まれる板状の補強部品８０（例えば、ステンレス）を設けることも考えられる。しかしながら、高温側プレート１４に純銅を用い、補強部品８０にステンレスを用いて、高温側プレート１４よりも塑性変形強度の高い補強部品８０を設けたとしても、ステンレスは純銅に比べて熱伝導率が低く、熱膨張係数が大きいため、高温側プレート１４の反り（変形）の原因となるおそれがある。これは、高温プレート１４側から補強部品８０が片面のみ加熱され、筐体１２（筐体側部品２０）側に凹状となるよう反りが発生してしまうからである。この点、図１２を参照して説明したように、ステンレスからなる板状の補強部品７８の内部にヒータ２８を設けることで、補強部品７８の反りを防止し、ワークＷに対して均等に高荷重でクランプすることができ、伝熱抵抗を低減して温度特性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。 By the way, as shown in FIG. 13, it is also conceivable to simply provide a plate-like reinforcing component 80 (for example, stainless steel) sandwiched between the high-temperature side plate 14 and the spacer 18. However, even if pure copper is used for the high-temperature side plate 14 and stainless steel is used for the reinforcing parts 80, and the reinforcing parts 80 having higher plastic deformation strength than the high-temperature side plate 14 are provided, stainless steel has a thermal conductivity higher than that of pure copper. Since it is low and has a large coefficient of thermal expansion, it may cause warpage (deformation) of the high-temperature side plate 14. This is because the reinforcing component 80 is heated only on one side from the high-temperature plate 14 side, and a warp occurs in the housing 12 (housing-side component 20) side so as to be concave. In this regard, as described with reference to FIG. 12, by providing the heater 28 inside the plate-shaped reinforcing component 78 made of stainless steel, the reinforcing component 78 is prevented from warping, and the height of the workpiece W is evenly increased. It is possible to provide the heating test apparatus 10 which can be clamped by a load, has reduced heat transfer resistance, and has excellent temperature characteristics.

なお、補強部品７６、７８としては、ステンレスの他にインコネル・ハステロイを用いることもできる。 In addition, as the reinforcing parts 76 and 78, Inconel Hastelloy can also be used in addition to stainless steel.

（実施形態３）
本発明の実施形態３では、高温側プレート１４の温度昇降速度を向上させることのできる加熱試験装置１０について、図１４〜図１６を参照して説明する。図１４および図１５はそれぞれ本実施形態に係る加熱試験装置１０の高温側の断面図および平面図である。また、図１６は高温側プレート１４の説明図であり、（ａ）が平面図、（ｂ）が側面図である。 (Embodiment 3)
In a third embodiment of the present invention, a heating test apparatus 10 capable of improving the temperature rising / falling speed of the high-temperature side plate 14 will be described with reference to FIGS. FIG. 14 and FIG. 15 are a cross-sectional view and a plan view, respectively, on the high temperature side of the heating test apparatus 10 according to the present embodiment. FIGS. 16A and 16B are explanatory diagrams of the high-temperature side plate 14, in which FIG. 16A is a plan view and FIG. 16B is a side view.

加熱試験装置１０は、前記実施形態１ではヒータ２８としてカートリッジヒータを備えていたが、本実施形態ではヒータ電極８２ａおよびヒータ温度モニター用の熱電対８２ｂを有するセラミックヒータ８２（例えば、窒化アルミニウムヒータ）を備えている。このため、高温側プレート１４には、裏面１４ｂから窪むセラミックヒータ８２が収納される凹部１４ｋと、熱電対８２ｂを引き出す通し穴１４ｌとが形成されている。高温側プレート１４には前記実施形態１で説明したように純銅を用いることもできるが、純銅よりも塑性変形強度が高く、高温耐熱材料のオーステナイト系ステンレスや、ステンレスの中でも比較的熱伝導率が大きく、熱膨張係数の小さいフェライト系ステンレスを用いることも考えられる。熱電対８２ｂは、セラミックヒータ８２の温度も直接測定し、高温側プレート１４の熱電対３０による温度測定とあわせて温度過昇をモニタリングしている。 The heating test apparatus 10 has a cartridge heater as the heater 28 in the first embodiment, but in the present embodiment, a ceramic heater 82 (for example, an aluminum nitride heater) having a heater electrode 82a and a thermocouple 82b for monitoring a heater temperature. It has. For this reason, the high temperature side plate 14 is formed with a concave portion 14k in which the ceramic heater 82 recessed from the back surface 14b is accommodated, and a through hole 141 through which the thermocouple 82b is drawn out. Pure copper can be used for the high-temperature side plate 14 as described in the first embodiment. However, the plastic deformation strength is higher than that of pure copper, and austenitic stainless steel, which is a high-temperature heat-resistant material, and relatively high thermal conductivity among stainless steels. It is conceivable to use a ferritic stainless steel having a large thermal expansion coefficient and a small coefficient of thermal expansion. The thermocouple 82b also directly measures the temperature of the ceramic heater 82, and monitors the temperature rise with the temperature measurement by the thermocouple 30 of the high-temperature side plate 14.

また、本実施形態に係る加熱試験装置１０は、セラミックヒータ８２に接して設けられるクッション部品８４と、ヒータ電極８２ａとの干渉を避ける逃げ８６ａを有し、セラミックヒータ８２を押さえる押さえ板８６とを備え、凹部１４ｋに収納されたセラミックヒータ８２を、クッション部品８４を介して押さえ板８６で押さえ付けている。クッション部品８４は、耐熱性を有するセラミックペーパ（セラミックウールをシート状に形成したもの）である。なお、クッション部品８４としてはロックウールなどを用いてもよい。 Further, the heating test apparatus 10 according to the present embodiment includes a cushion component 84 provided in contact with the ceramic heater 82, and a relief 86a for preventing interference with the heater electrode 82a, and a holding plate 86 for holding the ceramic heater 82. The ceramic heater 82 housed in the recess 14k is held down by a holding plate 86 via a cushion component 84. The cushion component 84 is a heat-resistant ceramic paper (ceramic wool formed in a sheet shape). Note that rock wool or the like may be used as the cushion component 84.

これによれば、カートリッジヒータよりも電力密度の高いセラミックヒータ８２を用いて昇降温度速度を向上させると共に、高温側プレート１４とセラミックヒータ８２の熱膨張係数差による変形を緩和して温度特性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。また、カートリッジヒータ（ヒータ２８）の使用時に比べて高温側プレート１４の体積も小さくできるため、降温速度も向上させることができる。 According to this, the temperature rise / fall temperature is improved by using the ceramic heater 82 having a higher power density than that of the cartridge heater, and the deformation due to the difference in thermal expansion coefficient between the high-temperature side plate 14 and the ceramic heater 82 is alleviated, so that the temperature characteristics are excellent. Heating test apparatus 10 can be provided. Further, since the volume of the high-temperature side plate 14 can be made smaller than when the cartridge heater (heater 28) is used, the temperature lowering speed can be improved.

（実施形態４）
本発明の実施形態４では、低温側の温度を安定して保持することのできる加熱試験装置１０について、図１７を参照して説明する。図１７は本実施形態に係る加熱試験装置１０の低温側の側面図である。 (Embodiment 4)
In a fourth embodiment of the present invention, a heating test apparatus 10 capable of stably maintaining a low temperature will be described with reference to FIG. FIG. 17 is a side view on the low temperature side of the heating test apparatus 10 according to the present embodiment.

加熱試験装置１０は、前記実施形態１では、低温側プレート１６としてヒートシンク４２と一体のプレートを用い、ヒータ２８によって加熱された高温プレート１４の熱を受ける低温側プレート１６の温調機構（冷却機構）として、ファン４４の回転数のみによって調節するものである。この点、本実施形態では、低温側プレート１６Ａとしてヒートシンク４２とは別のプレート８８と、低温側プレート１６Ａに熱的に接続され、室温よりも高温であってヒータ２８よりも低温に調節される低温ヒータ９０と、低温側プレート１６Ａの温度を測定する熱電対９２とを備え、低温側の温度を安定して保持している。 In the first embodiment, the heating test apparatus 10 uses a plate integrated with the heat sink 42 as the low-temperature side plate 16 and receives a heat of the high-temperature plate 14 heated by the heater 28. ) Is adjusted only by the rotation speed of the fan 44. In this regard, in the present embodiment, a plate 88 that is different from the heat sink 42 as the low-temperature side plate 16A and is thermally connected to the low-temperature side plate 16A, and is adjusted to be higher than room temperature and lower than the heater 28. A low-temperature heater 90 and a thermocouple 92 for measuring the temperature of the low-temperature side plate 16A are provided to stably maintain the low-temperature side temperature.

低温側プレート１６Ａ（プレート８８）は、例えば、高温側プレート１４と同様に、ニッケルめっき処理が施された板状の純銅（無酸素銅）から構成される。また、低温ヒータ９０は、低温側プレート１６Ａの内部に設けられ（内蔵され）、直接低温側プレート１６Ａを加熱する。すなわち、低温側プレート１６Ａはホットプレートとなる。低温ヒータ９０には、例えば、カートリッジヒータが用いられる。また、低温側プレート１６Ａの背面から内部へ延伸される熱電対９２は、接点部が低温側プレート１６Ａの内部中央に設けられている。 The low-temperature side plate 16A (plate 88) is made of, for example, plate-like pure copper (oxygen-free copper) plated with nickel, similarly to the high-temperature side plate 14. The low-temperature heater 90 is provided (built-in) inside the low-temperature side plate 16A, and directly heats the low-temperature side plate 16A. That is, the low-temperature side plate 16A becomes a hot plate. As the low-temperature heater 90, for example, a cartridge heater is used. The thermocouple 92 extending from the back surface of the low-temperature plate 16A to the inside has a contact portion provided at the center of the inside of the low-temperature plate 16A.

このような低温側プレート１６Ａを用いることで、より安定させて温度（低温）を保持し、温度特性に優れた加熱試験装置１０を提供することができる。ところで、低温側プレート１６の温調機構としては、前記実施形態１で説明した空冷仕様よりも冷却性能の高いものとして、水冷ユニットとチラーを組み合わせた水冷仕様も考えられる。しかしながら、水冷仕様は高価であり、場所を確保する必要がある。この点、低温ヒータ９０によって温調制御される低温側プレート１６Ａ（ホットプレート）を、前記実施形態１で説明した空冷仕様に追加することで、水冷仕様に比べて低コストかつ省スペースで温調機構を実現することができる。また、この温調機構によれば、水冷仕様での難易度の高い１００℃以上での温調も行うことができる。 By using such a low-temperature side plate 16A, it is possible to provide the heating test apparatus 10 which stably maintains the temperature (low temperature) and has excellent temperature characteristics. By the way, as a temperature control mechanism of the low-temperature side plate 16, a water-cooling type combining a water-cooling unit and a chiller may be considered as having a higher cooling performance than the air-cooling type described in the first embodiment. However, the water-cooled type is expensive, and it is necessary to secure a place. In this regard, by adding the low-temperature side plate 16A (hot plate) whose temperature is controlled by the low-temperature heater 90 to the air-cooled specification described in the first embodiment, the temperature can be controlled at a lower cost and space-saving than the water-cooled specification. A mechanism can be realized. Further, according to this temperature control mechanism, it is possible to perform temperature control at 100 ° C. or higher, which is highly difficult in a water-cooled specification.

（実施形態５）
本発明の実施形態５では、押付荷重（クランプ力）を自動制御することのできる加熱試験装置１０について、図１８を参照して説明する。図１８は本実施形態に係る加熱試験装置１０の側面図（正面図）である。なお、本実施形態では、低温側プレート１６は１つ構成であるが前記実施形態１と同様に２つ構成であってもよく、また、押付荷重を自動制御するのでゲージ５０を設けなくともよい。 (Embodiment 5)
In a fifth embodiment of the present invention, a heating test device 10 capable of automatically controlling a pressing load (clamping force) will be described with reference to FIG. FIG. 18 is a side view (front view) of the heating test apparatus 10 according to the present embodiment. In the present embodiment, the low-temperature side plate 16 has one structure, but may have two structures as in the first embodiment, and the gauge 50 may not be provided because the pressing load is automatically controlled. .

加熱試験装置１０は、前記実施形態１では、ステージ３２として手動式のジャッキを用いてワークＷに対して押付荷重（クランプ力）を加えるものである。この点、本実施形態では、電動ステージ３２Ａと、電動ステージ３２Ａに設けられ、ワークＷをクランプする荷重を測定する電子はかり９４と、電子はかり９４からの測定値を基に電動ステージ３２Ａの位置を制御する操作部６６とを備え、荷重フィードバックにより自動位置制御するものである。また、操作部６６は、電子はかり９４からの荷重表示やゼロ設定などを表示する表示部９６（デジタル指示計）と、電動ステージ３２Ａを昇降させる上昇ボタン９８および下降ボタン１００とを備えている。 In the first embodiment, the heating test apparatus 10 applies a pressing load (clamping force) to the workpiece W using a manual jack as the stage 32. In this regard, in the present embodiment, the electric stage 32A, the electronic balance 94 provided on the electric stage 32A and measuring the load for clamping the work W, and the position of the electric stage 32A based on the measurement value from the electronic balance 94 are determined. And an operation unit 66 for controlling the automatic position control based on the load feedback. The operation unit 66 includes a display unit 96 (digital indicator) for displaying a load display from the electronic balance 94, zero setting, and the like, and an up button 98 and a down button 100 for raising and lowering the electric stage 32A.

電動ステージ３２Ａは、例えば、サーボモーターやステッピングモータで駆動され、「荷重」ではなく「位置」が制御される。そこで、本実施形態では、電子はかり９４（例えば、ロードセル）と組み合わせて、電子はかり９４で測定した押付荷重を基に電動ステージ３２Ａの位置制御にフィードバックしている。ところで、低温側プレート１６に載置されたワークＷが高温プレート１４に押し当たった瞬間に押付荷重が急激に増加してしまい、荷重測定から位置制御が間に合わないおそれがある。その対策として、低温側プレート１６と電動ステージ３２Ａとの間に作用するよう設けられるコイルばね４６を用いて、電動ステージ３２Ａの位置上昇から押付荷重の増加を緩やかにし、フィードバック制御するための余裕（遊び）を設けている。このような電動ステージ３２Ａや電子はかり９４を用いることで、押付荷重（クランプ力）を自動制御することのできる加熱試験装置１０を提供することができる。 The electric stage 32A is driven by, for example, a servomotor or a stepping motor, and “position” is controlled instead of “load”. Therefore, in the present embodiment, in combination with the electronic balance 94 (for example, a load cell), feedback is provided to the position control of the electric stage 32A based on the pressing load measured by the electronic balance 94. By the way, at the moment when the work W placed on the low-temperature side plate 16 is pressed against the high-temperature plate 14, the pressing load suddenly increases, and there is a possibility that the position control from the load measurement cannot be completed in time. As a countermeasure, a coil spring 46 provided to act between the low-temperature side plate 16 and the electric stage 32A is used, so that the pressing load is gradually increased from the position rise of the electric stage 32A, and a margin for feedback control ( Play). By using the electric stage 32A and the electronic scale 94, it is possible to provide the heating test apparatus 10 capable of automatically controlling the pressing load (clamping force).

（実施形態６）
本発明の実施形態６では、耐久性が高く、保守が容易な加熱試験装置１０について、図１９を参照して説明する。図１９は本実施形態に係る加熱試験装置１０の高温側周辺の側面図である。 (Embodiment 6)
In the sixth embodiment of the present invention, a heating test apparatus 10 having high durability and easy maintenance will be described with reference to FIG. FIG. 19 is a side view around the high temperature side of the heating test apparatus 10 according to the present embodiment.

図１９に示すように、加熱試験装置１０は、高温側プレート１４と、低温側プレート１６と、高温側プレート１４の内部（側面貫通孔１４ｉ）に設けられる熱電対３０（温度センサ）と、を備える。高温側プレート１４は、ワークＷをクランプするクランプ面１４ａ（ワーク接触面）を有する。また、低温側プレート１６は、ワークＷをクランプするクランプ面１６ａ（ワーク接触面）を有する。 As shown in FIG. 19, the heating test apparatus 10 includes a high-temperature side plate 14, a low-temperature side plate 16, and a thermocouple 30 (temperature sensor) provided inside the high-temperature side plate 14 (side through hole 14 i). Prepare. The high temperature side plate 14 has a clamp surface 14a (work contact surface) for clamping the work W. Further, the low-temperature side plate 16 has a clamp surface 16a (work contact surface) for clamping the work W.

本実施形態では、高温側プレート１４を筐体１２（筐体側部品２０）には固定せず、低温側プレート１６のクランプ面１６ａに載置されたワークＷの上に高温側プレート１４を積み重ねた状態でワークＷをクランプする構成としている。すなわち、高温側プレート１４は低温側プレート１６のクランプ面１６ａ上にワークＷを介して設けられる。この点で図１２に示した高温側プレート１４を筐体１２に固定する構成とは相違する。 In the present embodiment, the high-temperature side plate 14 is not fixed to the housing 12 (the housing-side component 20), but the high-temperature side plate 14 is stacked on the work W placed on the clamp surface 16a of the low-temperature side plate 16. The work W is configured to be clamped in the state. That is, the high-temperature side plate 14 is provided on the clamp surface 16 a of the low-temperature side plate 16 via the work W. This is different from the configuration in which the high-temperature side plate 14 shown in FIG.

このため、高温側プレート１４はワークＷと共に挟み込まれる（図１９では荷重方向を上向きの矢印で示す）。このとき、高温側プレート１４には熱電対３０が設けられているので、ワークＷに加えられる温度（クランプ面１４ａの温度）を正確に測定することができる。 Therefore, the high-temperature side plate 14 is sandwiched together with the workpiece W (the load direction is indicated by an upward arrow in FIG. 19). At this time, since the thermocouple 30 is provided on the high temperature side plate 14, the temperature applied to the work W (the temperature of the clamp surface 14a) can be accurately measured.

また、加熱試験装置１０は、高温側プレート１４に接するように設けられ、高温側プレート１４よりも塑性変形強度の高い板状の補強部品７８（板状部品）を備える。高温側プレート１４には熱伝導率の高い例えば純銅を用いることで、ワークＷに対して温度特性に優れたものとしている。また、補強部品７８には塑性変形強度の高い例えばステンレスを用いることで、クランプに対して耐久性が高いものとしている。 Further, the heating test apparatus 10 is provided so as to be in contact with the high-temperature side plate 14, and includes a plate-shaped reinforcing component 78 (plate-shaped component) having higher plastic deformation strength than the high-temperature side plate 14. For example, pure copper having high thermal conductivity is used for the high-temperature side plate 14 so that the work W has excellent temperature characteristics. In addition, for example, stainless steel having high plastic deformation strength is used for the reinforcing component 78, so that durability against the clamp is high.

また、高温側プレート１４には、クランプ面１４ａに対してワークＷと同じか少し大きいもの（同程度のもの）を用いている。これによれば、高温側プレート１４（例えば純銅）のプレートサイズが小さくなるため、保守交換費用を低減することができる。これに合わせて熱電対３０（温度センサ）の配線をコネクタ化することで交換作業も容易となる。 The high-temperature side plate 14 is the same as or slightly larger than the work W with respect to the clamp surface 14a (same size). According to this, the plate size of the high-temperature side plate 14 (for example, pure copper) is reduced, so that maintenance and replacement costs can be reduced. In accordance with this, by replacing the wiring of the thermocouple 30 (temperature sensor) with a connector, the replacement work becomes easy.

また、加熱試験装置１０は、高温側プレート１４に熱的に接続されるヒータ２８を備える。補強部品７８には貫通孔７８ｈが形成されており、この貫通孔７８ｈ内、すなわち補強部品７８の内部にヒータ２８が設けられる。このヒータ２８は高温側プレート１４を加熱することができる。また、補強部品７８には貫通孔７８ｉが形成されており、この貫通孔７８ｉ内、すなわち補強部品７８の内部に熱電対２９（温度センサ）が設けられる。この熱電対２９は熱電対３０と共に高温側プレート１４の温度調節に用いることができる。 Further, the heating test apparatus 10 includes a heater 28 that is thermally connected to the high-temperature side plate 14. A through hole 78h is formed in the reinforcing component 78, and the heater 28 is provided in the through hole 78h, that is, inside the reinforcing component 78. The heater 28 can heat the high-temperature side plate 14. Further, a through hole 78i is formed in the reinforcing component 78, and a thermocouple 29 (temperature sensor) is provided in the through hole 78i, that is, inside the reinforcing component 78. The thermocouple 29 can be used together with the thermocouple 30 to control the temperature of the high-temperature side plate 14.

また、加熱試験装置１０は、高温側プレート１４と筐体１２の筐体側部品２０との間にスペースＳを設けるスペーサ２６を備える。このスペーサ２６は、筐体側部品２０に対して留め具２２によって固定され、補強部品７８に対して直接ネジ止めして固定される。このため、高温側プレート１４と筐体側部品２０との間では補強部品７８を介してスペースＳが設けられる。スペースＳを設けることで、高温側プレート１４の熱を筐体１２側へ拡散させてしまうのを防止することができる。 Further, the heating test apparatus 10 includes a spacer 26 that provides a space S between the high-temperature side plate 14 and the housing-side component 20 of the housing 12. The spacer 26 is fixed to the housing-side component 20 by the fastener 22, and is directly screwed and fixed to the reinforcing component 78. Therefore, a space S is provided between the high-temperature side plate 14 and the housing-side component 20 via the reinforcing component 78. By providing the space S, it is possible to prevent the heat of the high-temperature side plate 14 from diffusing to the housing 12 side.

１０加熱試験装置；１２筐体；１４高温側プレート；
１４ａクランプ面；１４ｂ裏面；１４ｃ貫通孔；
１４ｄザグリ；１４ｅ雌ネジ；１４ｆ、１４ｇ側面；
１４ｈ、１４ｉ側面貫通孔；１４ｊ止まり穴；
１４ｋ凹部；１４ｌ通し穴；
１６、１６Ａ低温側プレート；１８スペーサ；
１８ａ、１８ｂ雌ネジ；２０筐体側部品；２２留め具；
２２ａ雄ネジ；２４留め具；２４ａ雄ネジ；
２４ｂ鍔；２６スペーサ；２６ａ雌ネジ；
２６ｂ雄ネジ；２８ヒータ；２９、３０、３１熱電対；
３２ステージ；３２Ａ電動ステージ；３４ハンドル；
３６載置板；３８つまみネジ；４０ステージ側部品；
４２ヒートシンク；４４ファン；４６コイルばね；
４８取り付け板；４８ａ第１部；４８ｂ第２部；
４８ｃ第３部；４８ｄ第４部；５０ゲージ；
５２ゲージ針；５４取手；５６のぞき窓；
５８扉；６０アジャスト脚；６２取手；
６４強制冷却ファン；６６操作部；６８電源スイッチ；
７０タッチパネル；７２運転開始ボタン；７４強制冷却ボタン；
７６補強部品；７８補強部品；７８ｈ、７８ｉ貫通孔；
８０補強部品；８２セラミックヒータ；８２ａヒータ電極；
８２ｂ熱電対；８４クッション部品；８６押さえ板；
８６ａ逃げ；８８プレート；９０低温ヒータ；
９２熱電対；９４電子はかり；９６表示部；
９８上昇ボタン；１００下降ボタン；Ｓスペース；
Ｗワーク。 10 heating test apparatus; 12 housing; 14 high temperature side plate;
14a Clamp surface; 14b Back surface; 14c Through hole;
14d counterbore; 14e female screw; 14f, 14g side surface;
14h, 14i side through hole; 14j blind hole;
14k recess; 14l through hole;
16, 16A cold side plate; 18 spacer;
18a, 18b female screw; 20 housing side component; 22 fastener;
22a male screw; 24 fastener; 24a male screw;
24b flange; 26 spacer; 26a female screw;
26b male screw; 28 heater; 29, 30, 31 thermocouple;
32 stage; 32A motorized stage; 34 handle;
36 mounting plate; 38 thumbscrew; 40 stage-side parts;
42 heat sink; 44 fan; 46 coil spring;
48 mounting plate; 48a first part; 48b second part;
48c Part 3; 48d Part 4; 50 gauge;
52 gauge needle; 54 handle; 56 viewing window;
58 door; 60 adjusting leg; 62 handle;
64 forced cooling fan; 66 operation unit; 68 power switch;
70 touch panel; 72 operation start button; 74 forced cooling button;
78 reinforcing parts; 78 reinforcing parts; 78h, 78i through holes;
80 reinforcing parts; 82 ceramic heater; 82a heater electrode;
82b thermocouple; 84 cushion parts; 86 holding plate;
86a escape; 88 plate; 90 low temperature heater;
92 thermocouple; 94 electronic balance; 96 display unit;
98 Up button; 100 Down button; S space;
W Work.

Claims

A housing,
A high-temperature side plate and a low-temperature side plate, which are provided in the housing and have a clamp surface for clamping a work,
A space is provided between the high-temperature side plate and the housing, and a spacer that supports the high-temperature side plate from the back surface opposite to the clamp surface of the high-temperature side plate,
A fastener screwed to the spacer,
With
The high temperature side plate has a through hole communicating with the clamp surface of the high temperature side plate and the back surface of the high temperature side plate, and is fixed to the spacer by the fastener inserted into the through hole ,
A heat sink provided on the back surface opposite to the clamp surface of the low temperature side plate,
A fan provided to face the heat sink and blowing air to the heat sink;
A plurality of coil springs provided around the low-temperature side plate so as to stand in the thickness direction of the low-temperature side plate,
A first portion that is sandwiched and attached between the heat sink and the fan, a second portion that is bent from the first portion and surrounds the heat sink, and a second portion that is bent from the second portion and is attached to a tip of the coil spring. A mounting plate having a third part to be mounted;
Heating test device, characterized in that it comprises a.

A housing,
A high-temperature side plate and a low-temperature side plate, which are provided in the housing and have a clamp surface for clamping a work,
A space is provided between the high-temperature side plate and the housing, and a spacer that supports the high-temperature side plate from the back surface opposite to the clamp surface of the high-temperature side plate,
A fastener screwed to the spacer,
With
The high temperature side plate has a through hole communicating with the clamp surface of the high temperature side plate and the back surface of the high temperature side plate, and is fixed to the spacer by the fastener inserted into the through hole ,
A ceramic heater thermally connected to the high temperature side plate;
A cushion component provided in contact with the ceramic heater;
Heating test device, characterized in that it comprises a.

A housing,
A high-temperature side plate and a low-temperature side plate, which are provided in the housing and have a clamp surface for clamping a work,
A space is provided between the high-temperature side plate and the housing, and a spacer that supports the high-temperature side plate from the back surface opposite to the clamp surface of the high-temperature side plate,
A fastener screwed to the spacer,
With
The high temperature side plate has a through hole communicating with the clamp surface of the high temperature side plate and the back surface of the high temperature side plate, and is fixed to the spacer by the fastener inserted into the through hole ,
A heating test apparatus, comprising: a low-temperature heater that is thermally connected to the low-temperature side plate and that is adjusted to be higher than room temperature and lower than the high-temperature side plate .