JP6661909B2 - 光学素子の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、特許文献1〜7等に記載の方法を用いて基板母材全体に、二色性色素を含む溶液を塗布する場合、上述した段差構造以外の部分つまり、塗布不要の部分にまで塗布するため、塗布後、不要部分を除去する作業が必要であった。
より詳細には、異方性を有する光学膜及び保護層はそれぞれ特性が異なるため、例えば異方性を有する光学膜及び保護層の不要部分を一度に溶解させてパターニングする場合、これらの溶解領域を制御し、所望の形状にすることが困難であることを本発明者は見出した。
また本発明者は、特許文献8に記載の方法を用いる場合、パターン形成後、ポリイミドをイミド化するために高温での焼成が必要であり、異方性を有する光学膜、基板等に影響を与えることも見出した。これは、ポリイミド樹脂として紫外線硬化型ポリイミドを塗布した場合であっても、300℃程度のイミド化工程が必要(特許文献9)となるため同様の問題を有する。
即ち、本発明の要旨は以下の通りである。
[1]以下の工程を有する、基板、異方性を有する光学膜及び保護層を含む光学素子の製造方法。
(I)基板に異方性を有する光学膜形成用組成物を連続塗布して異方性を有する光学膜を形成し、次いで前記異方性を有する光学膜を塩交換によって不溶化処理する工程。
(II)前記不溶化処理した異方性を有する光学膜上に、感光性樹脂組成物を連続塗布して保護層を形成する工程。
(III)露光及び現像液による現像により、前記保護層をパターニングする工程。
(IV)保護層が現像除去されて露出した部分の異方性を有する光学膜を、酸性水溶液又はアルカリ性水溶液に接触後、水洗する工程。
[2]前記現像液が、有機溶剤を80容量%以上含有してなるものである、[1]に記載の光学素子の製造方法。
[3]前記感光性樹脂組成物が熱可塑性樹脂を含むものである、[1]又は[2]に記載の光学素子の製造方法。
[4]前記異方性を有する光学膜の膜厚が、保護層の膜厚以下である、[1]乃至[3]の何れか1に記載の光学素子の製造方法
[5]前記(IV)工程において、異方性を有する光学膜は保護層の輪郭部と同位置又は輪郭部より内側まで浸食させることを含む、[1]乃至[4]の何れか1に記載の光学素子の製造方法。
[6]さらに、以下工程を有するものである、[1]乃至[5]の何れか1に記載の光学素子の製造方法。
(V)前記パターニングされた保護層を、加熱によりメルトフローさせる工程。
従って、特に異方性を有する光学膜形成後に配向膜形成用の溶媒(N―メチルピロリドン)や洗浄溶媒である水を用いるプロセスを有する光学素子を1枚の基板母材から複数個に区画して分割した基板を切り出すにあたり有用である。
本発明において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸とメタクリル酸の双方を含み、「(メタ)アクリレート」、「(メタ)アクリロイル」等も同様の意味を表す。また、モノマー名の前に「(ポリ)」をつけたものは、該モノマー及び該ポリマーを意味する。
(I)基板に異方性を有する光学膜形成用組成物を連続塗布して異方性を有する光学膜を形成し、次いで前記異方性を有する光学膜を塩交換によって不溶化処理する工程。
(II)前記不溶化処理した異方性を有する光学膜上に、感光性樹脂組成物を連続塗布して保護層を形成する工程。
(III)露光及び現像液による現像により、前記保護層をパターニングする工程 。
(IV)保護層が現像除去されて露出した部分の異方性を有する光学膜を、酸性水溶液又はアルカリ性水溶液に接触後、水洗する工程。
本発明の光学素子は、基板面に連続塗布により得られた異方性を有する光学膜及び異方性を有する光学膜上に設けられた保護層を含むものである。また、光学素子は異方性を有する光学膜及び保護層だけに限られず、偏光性能を向上させる、機械的強度を向上させる等の目的で他の層を有していてもよい。
また、本発明におけるパターンとは、基板上に面付けされた異方性を有する光学膜の形状パターンを表し、パターニングとはパターンを形成させることを表す。また、輪郭部とは、異方性を有する光学膜のパターンの外周部を指す。なお、本発明におけるパターニングは、1枚の基板母材から複数個の液晶セル用の基板を切り出すにあたっての異方性を有する光学膜の区画を意図したものであるが、これに限定されるものではない。
本発明の基板としては、特に限定されるものではないが、良好な表面性状、接触角特性
及び吸水特性を有する基板であることが好ましい。そのような基板を形成する基材として
は、例えば、ガラス等の無機材料と高分子材料が挙げられる。高分子材料としては、トリ
アセテート系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポ
リエチレンテレフタレート系樹脂、トリアセチルセルロース系樹脂、ノルボルネン系樹脂
、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ウレタン系樹脂等が挙げられる。これ
らは1種を単独で、又は2種以上を併用してもよい。特に、高分子材料を含有する基材を
含むことが好ましい。
基板の吸水率としては、通常5%以下、好ましくは3%以下、より好ましくは1%以下
である。吸水率が過度に大きくないことで、湿式成膜法にて異方性材料の膜を形成する際
の基板が吸湿を抑制するため、基板の反りによる塗布欠陥が発生し難い傾向にある。また
、塗布法にて異方性を有する光学膜が形成された後の基板の膨潤も抑制することができる
ため、光学欠陥が発生し難い傾向がある。なお、本実施の形態における「吸水率」とは、
ASTMD570の試験方法を用い、23℃の水に4時間浸漬させたときの重量変化率を
測定した値である。
本発明は、(I)工程として、基板に異方性を有する光学膜形成用組成物を連続塗布して異方性を有する光学膜を形成し、次いで前記異方性を有する光学膜を塩交換によって不溶化処理する工程を有する。
異方性を有する光学膜とは、膜の厚み方向及び任意の直交する面内2方向の立体座標系における合計3方向から選ばれる任意の2方向における電磁気学的性質に、異方性を有する光学膜である。電磁気学的性質としては、吸収、屈折等の光学的性質、抵抗、容量等の電気的性質が挙げられる。吸収、屈折等の光学的異方性を有する膜としては、例えば、直線偏光層、円偏光層、位相差膜、導電異方性膜等がある。本実施の形態における異方性を有する光学膜は、偏光層、位相差膜、導電異方性膜としても好適に用いることが可能であり、特に偏光層として有用である。
本発明の異方性を有する光学膜に用いられる異方性材料は、前記異方性を発現する材料であれば特に限定されない。また、基板上に湿式塗布で異方性を有する光学膜を作製することから、異方性材料および溶剤を含む組成物(以下、異方性を有する光学膜形成用組成物と表す事がある。)であることが好ましい。
異方性を有する光学膜形成用組成物の態様としては、溶液状であってもよいし、ゲル状であってもよく、異方性材料が溶剤中に分散している状態であってもよい。また、これら以外にも必要に応じ、バインダー樹脂、モノマー、硬化剤、添加剤等を含んでいてもよい。
本発明の色素としては、二色性色素が用いられる。また、色素は、配向制御のため液晶相を有する色素であることが好ましい。ここで、液晶相を有する色素とは、溶剤中でリオトロピック液晶性を示す色素を意味する。本発明で用いられるリオトロピック液晶性を示す色素としては、塗布により異方性を有する光学膜を形成するために、水や有機溶媒に可溶であることが好ましく、特に水溶性であることが好ましい。さらに好ましいものは、「有機概念図−基礎と応用」(甲田善生著、三共出版、1984年)で定義される無機性値が有機性値よりも小さな化合物である。なお、水溶性とは、室温で色素が水に、通常0.1重量%以上、好ましくは1重量%以上溶解することをいう。
本発明の色素は、塩型をとらない遊離の状態で、その分子量が200以上であるのが好ましく、300以上であるのが特に好ましい。また、1500以下であるのが好ましく、1200以下であるのが特に好ましい。
また、本発明のリオトロピック液晶性を示す色素は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
製造時に色素が塩型で得られた場合はそのまま使用してもよいし、所望の塩型に変換してもよい。塩型の交換方法としては、公知の方法を任意に用いることができ、例えば以下の方法が挙げられる。
2)塩型で得られた色素の水溶液に、所望の対イオンを有する大過剰の中性塩(例えば、塩化リチウム)を添加し、塩析ケーキの形で塩交換を行う方法。
3)塩型で得られた色素の水溶液を、強酸性陽イオン交換樹脂で処理し、色素を遊離酸の形で酸析せしめた後、所望の対イオンを有するアルカリ溶液(例えば水酸化リチウム水溶液)で色素酸性基を中和し塩交換する方法。
4)予め所望の対イオンを有するアルカリ溶液(例えば水酸化リチウム水溶液)で処理した強酸性陽イオン交換樹脂に、塩型で得られた色素の水溶液を作用させ、塩交換を行う方法。
有機アミンの例として、炭素数1〜6の低級アルキルアミン、ヒドロキシ置換された炭素数1〜6の低級アルキルアミン、カルボキシ置換された炭素数1〜6の低級アルキルアミン等が挙げられる。
これらの塩型の場合、その種類は1種類に限らず複数種混在していてもよい。また、本発明において、色素は単独で使用することができるが、これらの2種以上を併用してもよく、また、配向を低下させない程度に前記例示色素以外の色素を配合して用いることもできる。これにより各種の色相を有する異方性を有する光学膜を製造することができる。
溶剤としては、水、水混和性のある有機溶剤又はこれらの混合物が適している。有機溶剤の具体例としては、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、グリセリン等のアルコール類、エチレングリコール、ジエチレングリコール等のグリコール類、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等のセロソルブ類等が挙げられる。これらは、単独で用いても、2種以上を混合して用いてもよい。
異方性を有する光学膜形成用組成物中の異方性材料の濃度としては、異方性を有する光学膜の成膜条件にもよるが、好ましくは0.01重量%以上、更に好ましくは0.1重量%以上であり、好ましくは50重量%以下、更に好ましくは30重量%以下である。異方性材料濃度が前記範囲であることで、均一な薄膜塗布ができる異方性を有する光学膜形成用組成物の粘度が得られ、且つ異方性材料が析出しない傾向にある。また、異方性を有する光学膜において十分な二色比等の異方性を得られる傾向にある。
異方性を有する光学膜形成用組成物には、さらに必要に応じて、界面活性剤、レベリング剤、カップリング剤、pH調整剤等の添加剤を配合することができる。添加剤により、濡れ性、塗布性等を向上させ得る場合がある。
界面活性剤としては、アニオン性、カチオン性及びノニオン性のいずれも使用可能である。その添加濃度は、特に限定されるものではないが、異方性を有する光学膜形成用組成物中の濃度として、通常0.05重量%以上、0.5重量%以下が好ましい。この範囲であることで、界面活性剤の添加効果が得られ、且つ、色素分子の配向を阻害しない傾向にある。
異方性を有する光学膜形成用組成物中での異方性材料の造塩や凝集等の不安定性を抑制する等の目的のために、公知の酸/アルカリ等のpH調整剤等を、異方性を有する光学膜形成用組成物の構成成分の混合の前後或いは混合中のいずれかで添加してもよい。なお、前記以外の添加剤として“Additive for Coating”, Edited by J.Bieleman,Willey−VCH(2000)に記載の公知の添加剤を用いることもできる。
本発明の異方性を有する光学膜の塗布方法は連続塗布であれば特に限定されない。本発
明において連続塗布とは、パターンごとの間欠塗布ではなく、複数のパターン(区画)に
なるべき領域を連続で塗布することを指す。基板上に複数のパターンを設ける場合でも、
1回で連続塗布でき、複数のパターンごとに分けて塗布する必要はない。
異方性を有する光学膜形成用組成物を連続塗布し、異方性を有する光学膜を形成する方
法としては、特に限定されるものではないが、例えば、原崎勇次著「コーティング工学」
(株式会社朝倉書店、1971年3月20日発行)253頁〜277頁に記載の方法、市
村國宏監修「分子協調材料の創製と応用」(株式会社シーエムシー出版、1998年3月
3日発行)118頁〜149頁に記載の方法、スロットダイコート法、スピンコート法、
スプレーコート法、バーコート法、ロールコート法、ブレードコート法、カーテンコート
法、ファウンテン法、ディップ法等で塗布する方法が挙げられる。これらの中でも、スロ
ットダイコート法が、均一性の高い異方性を有する光学膜が得られる傾向にあるため好ま
しい。
なお、異方性を有する光学膜形成用組成物の塗布温度としては、通常0℃以上、80℃以下であり、好ましくは40℃以下である。また、異方性を有する光学膜形成用組成物の塗布時の湿度は、好ましくは10%RH以上、さらに好ましくは30%RH以上であり、一方、好ましくは80RH%以下である。
本発明において、基板上に異方性を有する光学膜を形成した後に、塩交換によって異方性を有する光学膜を不溶化処理する。本発明の不溶化とは、異方性を有する光学膜中の色素の溶解性を低下させることにより該異方性を有する光学膜からの色素の溶出を抑制し、異方性を有する光学膜の安定性を高める処理工程を意味する。 具体的には、例えば、少ない価数のイオンをそれより大きい価数のイオンに置き換える(例えば、1価のイオンを多価のイオンに置き換える)処理が挙げられる。
本発明の不溶化に用いる不溶化液は、特に限定されない。例えば、特開2007−241267号公報、特開2009−199075号公報、特開2010−44130号公報、特開2010−197760号公報、特開2011−257489号公報、特開2012−058427号公報等に記載の不溶化液等を用いることができる。
不溶化化合物としては、スルホン酸基、カルボキシル基、ホスホン酸基及びホスフィン酸基に対して強いイオン選択性を有することが好ましい。具体的にはMg、Ca等の無機塩、ポリアミン系化合物等が挙げられる。この中でもポリアミン系化合物が不溶化後の異方性を有する光学膜のクラック低減のため好ましい。
ポリアミン系化合物としては、脂肪族ポリアミン系化合物及び芳香族ポリアミン系化合物が挙げられる。中でも、脂肪族ポリアミン系化合物が好ましい。
芳香族ポリアミン系化合物の具体例としては、ジアミノベンゼン、キシリレンジアミン等が挙げられる。中でも、ジアミノベンゼンが好ましい。
不溶化液中の不溶化化合物の量はイオン交換能を持つ限り特に制限されないが、不溶化化合物及び溶媒の種類、25℃における不溶化液の粘度等に合わせ適宜調整することができる。好ましくは飽和濃度の10%以上であり、更に好ましくは飽和濃度の20%以上である。また、好ましくは飽和濃度(=100%)以下であり、更に好ましくは飽和濃度の90%以下である。この範囲にすることで不必要な不溶化化合物の析出を抑制し、かつ不溶化反応を速やかに行うことができる傾向がある。
本発明の不溶化液は、増粘剤、保湿剤、界面活性剤等の添加剤を含んでいてもよい。また、不溶化液中の添加剤の量は、添加剤、不溶化化合物、溶媒の種類等に合わせ適宜調整することができる。
異方性を有する光学膜を不溶化する方法は特に限定されず、浸漬法;異方性を有する光学膜の上方から不溶化液を供給する方法;スプレー;カーテンコート、ロールコート、ディッピングコート、フローティングコート、吹き出しコート等により不溶化液を塗布する方法;等が挙げられる。本発明の異方性を有する光学膜は非常に薄く、物体との接触によりはがれ等が発生しやすい傾向にある。そのため、異方性を有する光学膜の偏光性能の低下、膜の剥離等の欠損を抑制できる方法を用いることが好ましい。
不溶化後の異方性を有する光学膜は洗浄することが好ましい。洗浄する方法は特に限定されず、ディッピング、異方性を有する光学膜の上方から洗浄液を供給する流水洗浄、超音波洗浄等を用いることができる。また、洗浄中に特定周波数で搖動する等洗浄を促進する効果を加えてもよい。あるいは、これらの方法を複数組み合わせて洗浄することも可能である。
前記の中でも、ディッピングが異方性を有する光学膜の剥離や欠陥の原因となる不要な力を加えない点において好ましい。
洗浄液は特に限定されず、具体的には、純水、純水にメタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコールを添加した液体等を使用してもよい。これらは洗浄性を高めるために洗浄助剤や界面活性剤等の洗浄性を制御する添加物を含んでいてもよい。
洗浄液のpHは洗浄性を考慮の上、硫酸、塩酸、硝酸等の無機酸及び酢酸、シュウ酸、クエン酸等の有機酸を用いて酸性に調整してもよく、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸塩、リン酸塩、その他のアルカリ性化合物等を用いてアルカリ性に調整してもよい。
本発明は、(II)工程として、(I)工程にて不溶化した異方性を有する光学膜上に、
感光性樹脂組成物を連続塗布して保護層を形成する工程を有する。
(保護層)
本発明の保護層は、異方性を有する光学膜をその後のプロセスや素子作成後の刺激や衝
撃等から保護する目的で形成されるものであるが、同時に異方性を有する光学膜の不要部
分を除去してパターニングするためのレジストとしての役割も果たす。
本発明の保護層は、異方性を有する光学膜上に感光性樹脂組成物を連続塗布することで
形成されたものであれば特に限定さないが、光学異方性を有さないものが、異方性を有す
る光学膜の性能を阻害しないため好ましい。本発明における光学異方性とは、保護層の厚
み方向及び任意の直交する面内2方向の立体座標系における合計3方向から選ばれる任意
の2方向における電磁気学的性質に異方性を有することである。
本発明の保護層は、異方性を有する光学膜の光学特性を損なわないことから、保護層の
厚み500nmにおける550nmの光線透過率が80%以上であること好ましく、更に好ま
しくは85%以上であり、特に好ましくは90%以上である。上限は特になく、高い方が
好ましい。
本発明の保護層を形成するために用いる感光性樹脂組成物は、感光性樹脂を含有する。感光性樹脂組成物は、光の照射によって現像液への溶解性が変化するものであれば特に限定されず、光の照射によって架橋反応や重合反応を起こして硬化するネガ型感光性樹脂組成物が好ましい。
この他、本発明の感光性樹脂組成物は、重合開始剤、増感色素等の増感剤、加速剤、各種硬化剤、熱硬化性樹脂、界面活性剤、密着性向上剤、レべリング剤、有機溶剤等を含んでいてもよい。
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる感光性樹脂は特に限定されないが、例えば、ラジカル重合性不飽和基含有化合物、カチオン重合性基含有化合物等が挙げられる。
本発明のラジカル重合性不飽和基含有化合物は、分子内にエチレン性不飽和基を少なくとも1個有する化合物である。エチレン性不飽和基は、反応性の点より、アリル基又は(メタ)アクリロイル基であることが好ましい。
本発明のカチオン重合性基含有化合物としては、エポキシ基含有化合物、オキセタニル基含有化合物、ビニル基含有化合物等が挙げられる。
中でもエポキシ基含有化合物が好ましい。例えば、三菱化学社のJERシリーズ、ダイセル社のセロキサイドシリーズ、新日鉄住金化学のエポトートシリーズ、日本化薬社のNC−、XD−、EPPN−、EOCN−等のシリーズ、DIC社のEPICLON等が挙げられる。また、この他にも、グリシジルメタクリレート等のエチレン性不飽和基含有化合物を共重合させた樹脂等も好適に用いることができる。
オキセタニル基含有化合物としては、東亜合成社のOXTシリーズ、大阪有機社のOXE−10や30、それらを用いた共重合樹脂等が挙げられる。
また、カチオン重合性基含有化合物とラジカル重合性不飽和基含有化合物を組み合わせて用いることも好ましい。組み合わせて用いることにより、高い露光感度と熱硬化性の両立をさせ易く、露光及び現像液による現像によるパターニングの容易性及び保護特性の優れた保護膜が得られ易い傾向にある。具体的な好ましい化合物の組み合わせとしては、側鎖にエポキシ基を持つエチレン性不飽和基含有化合物と(メタ)アクリロイル基を有する化合物との共重合体と、不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類との組み合わせ等が挙げられる。
本発明の光学素子の製造方法において、後述する(V)工程を有する場合には、感光性樹脂組成物は熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。熱可塑性樹脂としては、アクリル樹脂、ノボラック樹脂、ウレタン樹脂、ポリエステル、ナイロン、ポリイミド、ポリカーボネート、それらの誘導体等が挙げられる。なお、これら樹脂には、重合性基や架橋性基が付与されていてもよい。
カチオン重合性基含有化合物と熱可塑性樹脂を兼ね備える樹脂としては、例えば日本化薬社のNC、EOCN、XD、EPPN等のノボラックエポキシ樹脂、グリシジル(メタ)アクリレート及び(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレート等を共重合成分として重合させた樹脂等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、重合開始剤を含んでいてもよい。重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤、光カチオン重合開始剤、熱ラジカル重合開始剤、熱カチオン重合開始剤等が挙げられる。これらの中でも、光ラジカル重合開始剤及び光カチオン重合開始剤を用いること保護層の硬化容易性の点から好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物に好適に用いられる光ラジカル重合開始剤は、特に限定されない。例えば、特開昭59−152396号公報、特開昭61−151197号各公報等に記載のチタノセン化合物を含むメタロセン化合物;特開2000−56118号公報等に記載のヘキサアリールビイミダゾール誘導体;特開平10−39503号公報等に記載のハロメチル化オキサジアゾール誘導体;ハロメチル−s−トリアジン誘導体;N−フェニルグリシン等のN−アリール−α−アミノ酸類;N−アリール−α−アミノ酸塩類;N−アリール−α−アミノ酸エステル類等のラジカル活性剤;α−アミノアルキルフェノン誘導体;特開2000−80068号公報、特開2006−36750号公報等に記載のオキシムエステル誘導体;等が挙げられる。
これらの中でも、オキシムエステル誘導体類及び/又はα−アミノアルキルフェノン誘導体類が比較的薄い膜でも感度を確保し易いため好ましい。
α−アミノアルキルフェノン誘導体類としては、例えば2−メチル−1〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、4−ジメチルアミノエチルベンゾエ−ト、4−ジメチルアミノイソアミルベンゾエ−ト、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、2−エチルヘキシル−1,4−ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物に好適に用いられる光カチオン重合開始剤は、可視光線、紫外線等の照射によってカチオン種又はルイス酸を発生し、カチオン硬化性成分の重合反応を開始するものである。
光カチオン重合開始剤としては、例えば、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩等のオニウム塩、芳香族ジアゾニウム塩、鉄−アレーン錯体等が挙げられる。これらの中でも、硬化性の点で芳香族ヨードニウム塩や芳香族スルホニウム塩が好ましい。また、画像表示装置中で感光性樹脂層に隣接する液晶層の電気信頼性を確保するためには、芳香族ヨードニウム塩が特に好ましい。
光カチオン重合開始剤を構成するアニオンとしては、ヘキサフルオロホスフェートアニオンPF6-、ヘキサフルオロアンチモネートアニオンSbF6-、ペンタフルオロヒドロキシアンチモネートアニオンSbF5(OH)-、ヘキサフルオロアーセネートアニオンAsF6-、テトラフルオロボレートアニオンBF4-、テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートアニオンB(C6F5)4-等が挙げられる。中でも、画像表示装置中で感光性樹脂層に隣接する液晶層の電気信頼性を確保するためには、感度はあまり高いとは言えないものの、ヘキサフルオロホスフェートアニオンPF6-感度芳香族ヨードニウム塩が好ましい。
本発明の感光性樹脂及び重合開始剤の組み合わせは特に限定されないが、光ラジカル重合開始剤及びラジカル重合性不飽和基含有化合物の組み合わせ、カチオン重合性基含有化合物及び光カチオン重合開始剤の組み合わせ、さらにこれら組合せを併用した系等が光硬化性の確保の点から好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物に用いる溶剤は、異方性を有する光学膜に対して悪影響を与えないものであれば特に限定されないが、塗布後乾燥をする必要があるため、沸点(圧力1013.25[hPa]条件下。以下、沸点に関しては全て同様。)が100〜300℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは120〜280℃の沸点をもつ有機溶剤である。
これらの中でも、塗布性、表面張力等のバランスがよく、感光性樹脂組成物中の構成成分の溶解度が比較的高い点から、グリコールアルキルエーテルアセテート類が好ましい。また、有機溶剤は単独でも、2種以上を併用してもよい。
(グリコールモノアルキルエーテル類)
グリコールモノアルキルエーテル類としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、プロピレングリコール−t−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メチル−3−メトキシブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル等が挙げられる。
グリコールジアルキルエーテル類としては、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等が挙げられる。
グリコールアルキルエーテルアセテート類としては、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート等が挙げられる。
グリコールジアセテート類としては、エチレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサノールジアセテート等が挙げられる。
アルキルアセテート類としては、シクロヘキサノールアセテート等が挙げられる。
エーテル類としては、アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテル等が挙げられる。
ケトン類としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノン等が挙げられる。
1価又は多価アルコール類としては、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコール等が挙げられる。
脂肪族炭化水素類としては、n−ペンタン、n−オクタン、ジイソブチレン、n−ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカン等が挙げられる。
脂環式炭化水素類としては、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシル等が挙げられる。
芳香族炭化水素類としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、クメン等が挙げられる。
鎖状又は環状エステル類としては、アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。
アルコキシカルボン酸類としては、3−メトキシプロピオン酸、3−エトキシプロピオン酸等が挙げられる。
ハロゲン化炭化水素類としては、ブチルクロライド、アミルクロライド等が挙げられる。
(エーテルケトン類)
エーテルケトン類としては、メトキシメチルペンタノン等が挙げられる。
(ニトリル類)
ニトリル類としては、アセトニトリル、ベンゾニトリル等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物の調製方法は特に限定されないが、例えば、前記の各成分を溶剤と共に混合し、撹拌や超音波印加により、溶解又は分散させることにより、調製することができる。なお、感光性樹脂組成物を調製する時に、ラジカル重合性不飽和基含有化合物やカチオン重合性基含有化合物が液体状である場合は、それらを溶剤の代わりとしてもよい。
本発明の保護層は、異方性を有する光学膜の塗布方法に示した方法等を用いて、異方性を有する光学膜上に感光性樹脂組成物を連続塗布することで得ることができる。この後、感光性樹脂組成物が溶剤を含む場合は保護層を乾燥させてもよい。乾燥は、クリーンオーブン、ホットプレート、赤外線、ハロゲンヒーター、マイクロ波照射等の加熱機器を用いて加熱することにより行うことができる。中でも、膜全体を均等に加熱しやすいことから、クリーンオーブン及びホットプレートが好ましい。
乾燥条件は、溶剤の種類や異方性を有する光学膜の耐熱性等に応じて、適宜選択すればよい。十分に乾燥させた方が安定した硬化性を得やすい点では、高温で長時間乾燥させることが好ましい。また、乾燥に要する時間が短く生産性に優れる、及び異方性を有する光学膜や基板に加熱の影響を及ぼし難い点では、低温で短時間乾燥させることが好ましい。そこで、乾燥温度は、通常40℃以上、好ましくは50℃以上であり、また、一方、通常120℃以下、好ましくは100℃以下である。
乾燥時間は、15秒以上が好ましく、30秒以上が更に好ましい。また、5分以下が好ましく、3分以下が更に好ましい。乾燥は、減圧乾燥法により行ってもよく、加熱法と減圧乾燥法を併用してもよい。
本発明の製造方法は(III)工程として、露光及び現像液による現像により、前記保護層をパターニングする工程を有する。
露光及び現像によりパターニングする方法は、 (II)で形成した保護層に露光マスクを設け、露光し保護層の一部分を重合反応させる。さらに、露光による光照射を受けずに重合反応しなかった部分の保護層を取り除く現像処理を行って、保護層をパターニングするものである。
露光に使用される光源は、保護層を重合できれば特に限定されない。具体的には、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、蛍光ランプ、LED等のランプ光源;アルゴンイオンレーザー、YAGレーザー、エキシマレーザー、窒素レーザー、ヘリウムカドミニウムレーザー、青紫色半導体レーザー、近赤外半導体レーザー等のレーザー光源等が挙げられる。ここで、特定波長の光を使用する場合には、光学フィルターを用いてもよい。
露光量は、通常0.01mJ/cm2以上、好ましくは0.1mJ/cm2以上、より好ましくは1mJ/cm2以上であり、また、一方、通常1000mJ/cm2以下、好ましくは800mJ/cm2以下、より好ましくは500mJ/cm2以下である。
本発明の現像液は、保護層の非露光部を溶解させると共に、露光部の保護層や、その下部に位置する異方性を有する光学膜に悪影響を与えないものであれば特に限定はされないが、有機溶剤を主成分とするものであることが好ましい。有機溶剤を主成分とする現像液の有機溶剤の含有量は、有機溶剤を80容量%以上含有することが好ましく、90容量%以上含有することが更に好ましい。また、上限はなく100容量%でもよい。この範囲であることで、異方性を有する光学膜を溶解させず、保護層のみを現像することができ、さらに保護層の電気信頼性を損なわない傾向にある。
また現像液は、有機溶剤以外にさらに、水、ノニオン系の界面活性剤等を含有してもよい。
本発明の現像液に用いられる有機溶剤の具体例としては、例えば、前記の感光性樹脂組成物の溶剤の項で記載したもの等を挙げることができる。これらの中でも保護層をよく溶解させ、乾燥時に保護層を白化させないため、グリコールアルキルエーテルアセテート類及びグリコールアルキルエーテルアセテート類が好ましく、特にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルが好ましい。本発明の現像液に用いる有機溶剤は、単品でもいくつかを混合して用いてもよい。
本発明の保護層をパターニングする工程において、現像液として一般的によく使用されている水酸化カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等のアルカリ現像液は、下層の異方性を有する光学膜をよく溶かしてしまうため、溶解浸食の制御がし難く好ましくない。また、電気信頼性も損ねやすい傾向にある。
現像方法及びその条件ついては、特に制限は無い。現像方法としては、浸漬現像、パドル式現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等が挙げられる。中でも、浸漬現像及びスプレー現像は、汚れが付き難く、保護層及び異方性を有する光学膜へのダメージが生じ難く、さらに均一に現像しやすいことから好ましい。また、パドル式現像は現像液の使用量が抑えられる点で好ましい。
現像温度については、通常10℃以上、好ましくは15℃以上であり、また、通常50℃以下、好ましくは45℃以下である。現像後はそのまま、又は他の溶剤や水で洗浄した上で、振り切りや圧空等によって基板を乾燥させることが好ましい。ここで他の溶剤とは、露光後の保護層や異方性を有する光学膜を溶かさずに、現像液とは混合する様な溶剤を選択することが好ましい。
本発明の製造方法は(IV)工程として、保護層が現像除去されて露出した部分の異方性を有する光学膜を、酸性水溶液(以下「方法(1)」とする)又はアルカリ性水溶液(以下「方法(2)」とする)に接触後、水洗する工程を有する。この工程により、異方性を有する光学膜のパターニングを行うことができる。
ここで、保護層が現像除去されて露出した部分とは、(III)工程のパターニングにおいて保護層が除去されたことにより、外部へさらされた異方性を有する光学膜のことを指す。具体的には、図1のa部分を指す。
方法(1)は、保護層が現像除去されて露出した部分の異方性を有する光学膜を、酸性水溶液によって水可溶化処理した後、水可溶化した異方性を有する光学膜を水洗で除去する方法である。
方法(1)の水可溶化処理は、酸性水溶液に接触している異方性を有する光学膜の表面から進行する。一方、酸性水溶液が不溶化処理後の異方性を有する光学膜表面から侵入していく速度は遅い。この酸性水溶液の異方性を有する光学膜への侵入速度の遅さが、異方性を有する光学膜の横方向への酸性水溶液の浸食(保護層のパターンがある部分の下に位置する異方性を有する光学膜への酸性水溶液の侵入)を制御し易くしていると共に、異方性を有する光学膜への酸成分のコンタミも抑えることができる。従って、異方性を有する光学膜の寸法精度、及び高度な電気信頼性を重視する場合は、方法(1)を用いることが好ましい。
前記酸性水溶液は、増粘剤、保湿剤、界面活性剤等の添加剤を含んでいてもよい。
前記の酸性水溶液を用いて異方性を有する光学膜を水可溶化処理する方法は特に限定されず、酸性水溶液に異方性を有する光学膜を有する基板を浸漬する方法;異方性を有する光学膜の上方から酸性水溶液を供給する方法;異方性を有する光学膜を有する基板に酸性水溶液をスプレーする方法;異方性を有する光学膜を有する基板に、カーテンコート、ロールコート、ディッピングコート、フローティングコート、吹き出しコート等により酸性水溶液を塗布する方法;等が挙げられる。本発明の異方性を有する光学膜は、非常に薄く、物体との接触によりはがれ等が発生しやすい傾向にある。そのため、異方性を有する光学膜の偏光性能の低下、膜の剥離等の欠損を抑制できる方法を用いることが好ましい。
水可溶化処理後の異方性を有する光学膜は水洗して除去する。水洗する方法は特に限定されず、浸漬式、パドル式、スプレー式等が挙げられる。
水洗除去に用いる水が酸性になってしまうと異方性を有する光学膜が溶出し難くなるため、効率的に異方性を有する光学膜を除去するためには、洗浄水に水可溶化処理に用いた酸性水溶液がコンタミするのを避ける方が好ましい。この点で新しい水が常に供給されるスプレー式等が好ましく、浸漬式の場合は複数の水槽を用意する等の工夫をすることが好ましい。
また、アルカリ性化合物等を用いて洗浄水が酸性にならないようにpHを調整してもよいが、洗浄水がアルカリ性になると、水可溶化処理をされていない部分の異方性を有する光学膜も溶出しやすく、パターニングの制御がし難くなるため好ましくない。
いずれの場合も、最終的にはコンタミの無い清浄な水で洗い流すことが好ましい。
方法(2)は、保護層が現像除去されて露出した部分の異方性を有する光学膜を、アルカリ性水溶液に接触することで溶解除去する方法である。不溶化処理した異方性を有する光学膜は、アルカリ性水溶液には可溶であるため、アルカリ性水溶液に接触することでそのまま溶解され除去される。
方法(2)は、一度の処理で短時間に異方性を有する光学膜を除去できるため、プロセス上の合理性を重視する場合はアルカリ水溶液を用いることが好ましい。
タノールアミン等のエタノールアミン;モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチル
アミン等のメチルアミン;モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン等のエ
チルアミン;モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン等のイソプロピルアミン;
n−ブチルアミン;モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソ
プロパノールアミン等のイソプロパノールアミン;エチレンイミン;エチレンジイミン;
テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH);コリン等が挙げられる。これらの
うち、電気特性の点では、有機アルカリ性化合物が好ましく、TMAHを用いることが特
に好ましい。
方法(2)において、アルカリ性水溶液に接触することで異方性を有する光学膜を溶解除去する方法は特に限定されない。例えば、アルカリ性水溶液に異方性を有する光学膜を有する基板を浸漬する方法;異方性を有する光学膜の上方からアルカリ性水溶液を供給する方法;異方性を有する光学膜を有する基板にアルカリ性水溶液をスプレーする方法;異方性を有する光学膜を有する基板に、カーテンコート、ロールコート、ディッピングコート、フローティングコート、吹き出しコート等によりアルカリ性水溶液を塗布する方法;等が挙げられる。本発明の異方性を有する光学膜は、非常に薄く、物体との接触によりはがれ等が発生しやすい傾向にある。そのため、異方性を有する光学膜の偏光性能の低下、膜の剥離等の欠損を抑制できる方法を用いることが好ましい。
アルカリ性水溶液に接触することで異方性を有する光学膜を溶解除去した後、水洗することで、異方性を有する光学膜に残存するアルカリ性化合物を除去する。異方性を有する光学膜にアルカリ性化合物が残存すると、除去不溶である異方性を有する光学膜部分の浸食が進行したり、光学素子の電気信頼性悪化等が発生したりするため水洗を行う。
水洗する方法は特に限定されず、浸漬式、パドル式、スプレー式等が挙げられる。これらの中でも、アルカリ性化合物の除去効率の点から、新しい水が常に供給されるスプレー式等が好ましい。また、浸漬式の場合は、複数の水洗用の水槽を用意する等を行い、充分にアルカリ性化合物を除去することが好ましい。
異方性を有する光学膜と保護層の膜厚の関係は特に限定されず、どちらが大きくてもよいが、異方性を有する光学膜の膜厚が、保護層の膜厚以下であることが、異方性を有する光学膜の保護性、異方性を有する光学膜をパターニングするための保護層の膜強度の確保、及び異方性を有する光学膜の光学特性の維持が並立し易い傾向にある。
また、後記の(V)工程を有する場合は、異方性を有する光学膜の膜厚が、保護層の膜厚以下であることが好ましく、異方性を有する光学膜の膜厚が、保護層の膜厚より小さい方がより好ましい。異方性を有する光学膜と保護層の膜厚の関係が上記になることにより、メルトフローによる封止が容易になる傾向にある。
異方性を有する光学膜と保護層の好ましい膜厚の差は、乾燥膜厚として100nm以上であり、更に好ましくは500nm以上である。また、好ましくは4μm以下であり、更に好ましくは3μm以下である。また、膜厚が同じでもよい。膜厚の差が特定の範囲にあることで、(IV)工程で用いる酸性又はアルカリ性水溶液を充分に洗浄除去することが容易になる傾向にある。また、(V)工程を有する場合、上記洗浄除去の容易性及び異方性を有する光学膜の露出部を封止することの両立がし易い傾向にある。
異方性を有する光学膜の輪郭部が保護層の輪郭部より内側まで入り込む距離としては、異方性を有する光学膜の膜厚以上が好ましく、5mm以下が好ましく、500μm以下がより好ましく、50μm以下が特に好ましい。前前記下限以上であることで、異方性を有する光学膜の輪郭部側面をその後工程から充分に保護出来る傾向にあり、一方、前記上限以下であることで、異方性を有する光学膜のパターニングに要する時間を抑制することができ、(IV)工程で用いる酸やアルカリの除去もし易い傾向にある。
本発明の光学素子を得るために、前記の(I)〜(IV)工程以外にも工程を有していてもよい。例えば、前述の基板上に配向膜を設ける工程、基板の濡れ性を付与する工程、保護層を加熱によりメルトフローさせる工程等が挙げられる。
異方性を有する光学膜の配向性を向上させるため、前記(I)工程の前に、基板上に配向膜を設けてもよい。具体的には、「液晶便覧」 丸善株式会社、平成12年10月30日発行、226頁から239頁等に記載の公知の方法を用いることができる。
塗布による異方性を有する光学膜の形成に際して、異方性を有する光学膜形成用組成物のはじきを抑制するため、基板に濡れ性を付与してもよい。濡れ性を付与し親液部分を形成する処理としては、特に限定されるものではないが、物理的又は化学的改質処理手段であるコロナ処理、プラズマ処理、紫外線照射(UVオゾン)処理等の表面処理を施す。この際、ガス組成や処理時間を調整するとこにより親液状態を調整してもよい。
(V)工程として、前記(IV)工程の後に、保護層を加熱によりメルトフローさせる工程を有してもよい。図3に示すように、保護層をメルトフローさせることで、現像後露出した異方性を有する光学膜輪郭部の側面を封止することができる。この封止により、光学素子形成後の画像表示装置のプロセスからの異方性を有する光学膜の保護をさらに向上させることができる。特に異方性を有する光学膜形成後に、配向膜形成用の溶媒(N―メチルピロリドン)を用いるプロセスを有するIn-Cell型光学素子を、1枚の基板母材から複数個に区画して分割した基板を切り出すにあたり有用である。
加熱時間は異方性を有する光学膜の劣化を回避する点でなるべく短い方が好ましいが、保護層の硬化をさらに促進する目的では長い方が好ましいため、通常1分以上、好ましくは10分以上であり、通常120分以下、好ましくは60分以下である。
加熱方法は、公知の方法を自由に選択することが出来るが、例えばホットプレート、IRオーブン、コンベクションオーブン等が挙げられる。
本発明の光学素子は、異方性を有する光学膜及び保護層だけに限られず、偏光性能を向上させる、機械的強度を向上させる等の目的で他の層を有していてもよい。
また、光学素子は、粘着層又は反射防止層;配向膜;位相差フィルムとしての機能、輝度向上フィルムとしての機能、反射フィルムとしての機能、半透過反射フィルムとしての機能、拡散フィルムとしての機能などの光学機能を有する層;等を基板として使用してもよいし、様々な機能を有する層を塗布や貼合等により積層形成し、積層体として使用してもよい。
これらの層は、製造プロセス、特性及び機能に合わせ適宜設けることができ、その積層の位置、順番等は特に限定されない。例えば、上記各層を形成する位置は、保護層の上に形成してもよく、また、異方性を有する光学膜を設けた基板の反対面に形成してもよい。一方、上記各層を形成する順番は、異方性を有する光学膜を形成する前でも形成した後でもよい。
位相差フィルムとしての機能を有する層は、以下のような方法で得られた位相差フィルムを、光学素子を構成する他の層に貼合等を行うことにより、形成することができる。
位相差フィルムは、例えば、特開平2−59703号公報、特開平4−230704号公報等に記載の延伸処理を施したり、特開平7−230007号公報等に記載された処理を施したりすることにより形成することができる。
輝度向上フィルムは、例えば、特開2002−169025号公報及び特開2003−29030号公報に記載されるような方法で微細孔を形成すること、又は、選択反射の中心波長が異なる2層以上のコレステリック液晶層を重畳することにより形成することができる。
拡散フィルムとしての機能を有する層は、例えば、光学素子を構成する他の層に微粒子を含む樹脂溶液をコーティングすることにより、形成することができる。
本実施の形態における光学素子をLCDやOLED等の各種の画像表示装置に用いる場合には、画像表示装置の構成等は特に限定されず、光学素子の位置等も特に限定されない。例えば、光学素子を、画像表示装置を構成する電極基板等の表面や、カラーフィルター上に直接形成したり、光学素子を形成した基板をこれら画像表示装置の構成部材として用いたりすることができる。また、本発明の光学素子上に液晶用の配向膜等を設けることもできる。
本発明の異方性を有する光学膜及び保護層は、塗布により形成することができるという点から、本発明の光学素子はフレキシブルディスプレイ等の用途にも好適に使用することができる。
還流冷却器、攪拌機及び窒素吹込み管を備えたフラスコに、トリシクロデカン骨格を有するモノメタクリレート(日立化成(株)製「FA−513M」)47質量部、グリシジルメタクリレート61質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート400質量部、ジメチル2,2′−アゾビス(2−メチルプロピオネート)8.0質量部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながら液温を80℃に上昇させ、80℃で6時間反応した。さらに、ジメチル2,2′−アゾビス(2−メチルプロピオネート)の分解処理を100℃で1時間行った後、80℃の減圧下でプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを蒸留して、固形分濃度50質量%程度まで濃縮し、カチオン重合性基含有化合物−1を得た。この樹脂の重量平均分子量(Mw)は、約11,000であった。
なお、重量平均分子量は、島津製作所製「ゲル浸透クロマトグラフシステムLS Solution」で、島津製作所製「カラムGPC−804」を用いて測定した。
表1に示す感光性樹脂組成物−1の成分の内、まず光カチオン重合開始剤(Irg250)、増感剤(UVS−1331)、加速剤(ET−2201)、光ラジカル重合開始剤(Irg369)及び熱ラジカル重合開始剤(VAm−110)をそれぞれ量り取り、そこに有機溶剤のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を加えて、マグネチックスターラーを用いて撹拌し完全に溶解させた。
次に前記以外の感光性樹脂組成物−1の成分を加え、さらに10分間撹拌を続けた。次にインテグリス社のオプチマイザーV47 0.02μm FD5A XFRを用いて濾過して、感光性樹脂組成物−1を得た。
表1に示す感光性樹脂組成物−2の成分の内、まず光カチオン重合開始剤(Irg250)、増感剤(UVS−1331)、加速剤(ET−2201)をそれぞれ量り取り、そこに有機溶剤のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を加えて、マグネチックスターラーを用いて撹拌し完全に溶解させた。
次に前記以外の感光性樹脂組成物−2の成分を加え、さらに10分間撹拌を続けた。次にインテグリス社のオプチマイザーV47 0.02μm FD5A XFRを用いて濾過して、感光性樹脂組成物−2を得た。
水79部に、下記式(I)で表される色素のリチウム塩20部と、下記式(II)で表される色素1部とを撹拌溶解させることにより、異方性を有する光学膜形成用組成物1を調製した。
ビス(ヘキサメチレン)トリアミン(東京化成社製)24.4部に、6規定の硫酸75.6部を加えて撹拌溶解させ、不溶化液1を調整した。不溶化液1の粘度は50cPであった。
((I)工程)
ガラス製基板(10x10cm、厚さ0.7mm)上に配向膜(ポリイミド膜厚約60nm)を形成し、端面に水平な方向にラビング処理を施したものを基板として用意した。この配向膜の上に、異方性を有する光学膜形成用組成物1をダイコーター(ウェット膜厚2um、ヘッド速度15mm/s)で塗布し、自然乾燥させることにより、膜厚約0.4μmの異方性を有する光学膜を形成した。なお、塗布時の環境条件は23℃、50RH%であった。
(I)工程において不溶化処理された異方性を有する光学膜の上に、感光性樹脂組成物−1を約0.5cc滴下し、(III)工程の現像後の膜厚が1μmとなるようにスピンコーターの回転数を調整し、50秒間回転させて塗布した。その後、ホットプレート上で90℃、90秒間加熱乾燥して、保護層を形成させた。
(II)工程において保護層を形成した基板を、3kW高圧水銀灯を用いて、500mJ/cm2の露光量でネガパターンのあるマスクを介して露光させた。
次に露光後の基板を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを現像液として、30秒間揺らしながら浸漬し、現像した。現像後、脱塩水で洗浄をした後、乾燥し、異方性を有する光学膜の上にパターニングした保護層を形成した。
(III)工程後の基板を、1Nのシュウ酸水溶液に30秒搖動浸漬後、脱塩水にてかけ流し水洗を行った。同工程を計3度行い、保護層が現像除去されて露出した部分の異方性を有する光学膜を完全に除去し乾燥することで光学素子−1を得た。顕微鏡で光学素子−1を確認したところ、異方性を有する光学膜は保護層の輪郭部より1.5μm程度内側まで浸食されていた。また、保護層の下の異方性を有する光学膜は、ひび割れ、膜の脱落等のない均一で良好な膜であった。
(IV)工程で得られた光学素子−1を180℃のオーブンで30分加熱した。加熱後の光学素子−1の異方性を有する光学膜輪郭部に該当する部分の断面SEMを観察したところ、保護層がメルトフローして異方性を有する光学膜の輪郭部側面を封止していることを確認した。また、保護層の下の異方性を有する光学膜は、ひび割れ、膜の脱落等のない均一で良好な膜であった。
また、実施例2のように2枚の光学素子―1を直交と平行に重ね合せ、光学素子として機能することを確認した。
実施例1の感光性樹脂組成物−1を感光性樹脂組成物−2に変更し、さらに(III)工程の露光量を200mJ/cm2に変更し、他は同様にして光学素子−2を得た。実施例1と同様に顕微鏡で光学素子を確認したところ、異方性を有する光学膜は保護層の輪郭部より1.5μm程度内側まで浸食されていた。また、保護層の下の異方性を有する光学膜は、ひび割れ、膜の脱落等のない均一で良好な膜であった。さらに、断面SEMを観察したところ、保護層がメルトフローして異方性を有する光学膜の輪郭部側面を封止していることを確認した。また、保護層の下の異方性を有する光学膜は、ひび割れ、膜の脱落等のない均一で良好な膜であった。
図4(1)〜(3)に示すように、2枚の光学素子−2を直交と平行に重ね合せ、光学素子として機能することを確認した。
(IV)工程を以下とする以外は実施例2と同様にして光学素子−3を得た。
((IV)工程)
(III)工程後の基板を、0.4%TMAH水溶液に20秒間搖動浸漬して、保護層が現像除去されて露出した部分の異方性を有する光学膜を完全に除去した後、脱塩水にてかけ流し水洗を行い乾燥した。
さらに実施例2と同様に、2枚の光学素子−3を用いて、光学素子として機能することを確認した。
Claims (6)
- 以下の工程を有する、基板、異方性を有する偏光層及び保護層を含む光学素子の製造方法。
(I)基板に異方性を有する偏光層形成用組成物を連続塗布して異方性を有する偏光層を形成し、次いで前記異方性を有する偏光層を塩交換によって不溶化処理する工程。
(II)前記不溶化処理した異方性を有する偏光層上に、感光性樹脂組成物を連続塗布して保護層を形成する工程。
(III)露光及び現像液による現像により、前記保護層をパターニングする工程。
(IV)保護層が現像除去されて露出した部分の異方性を有する偏光層を、酸性水溶液又はアルカリ性水溶液に接触後、水洗する工程。 - 前記現像液が、有機溶剤を80容量%以上含有してなるものである、請求項1に記載の光学素子の製造方法。
- 前記感光性樹脂組成物が熱可塑性樹脂を含むものである、請求項1又は2に記載の光学素子の製造方法。
- 前記異方性を有する偏光層の膜厚が、保護層の膜厚以下である、請求項1乃至3の何れか1項に記載の光学素子の製造方法
- 前記(IV)工程において、異方性を有する偏光層は保護層の輪郭部と同位置又は輪郭部より内側まで浸食させることを含む、請求項1乃至4の何れか1項に記載の光学素子の製造方法。
- さらに、以下工程を有するものである、請求項1乃至3の何れか1項に記載の光学素子の製造方法。
(V)前記パターニングされた保護層を、加熱によりメルトフローさせる工程。
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