JP6655145B1 - めっき装置 - Google Patents
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- C25D7/0614—Strips or foils
- C25D7/0621—In horizontal cells
Abstract
Description
W1<W2 … (1)
上記(1)式において、W1は、前記板状部において前記被めっき体と重複する領域の長さであり、W2は、前記板状部において前記被めっき体と重複していない領域の長さである。
W1×0.5>W3 … (2)
上記(2)式において、W1は、前記板状部において前記被めっき体と重複する領域の長さであり、W3は、前記板状部の一端から前記開口の中心までの距離である。
W1<W2 … (1)
W1×0.5>W3 … (2)
上記のめっき装置1を用いて基材に銅めっき処理を行った。めっきの目標の厚さは2μmとした。その他の、主なめっき条件は下記の通りである。
基材の厚み: 25μm
基材のシード層: Ni10nm/Cu25nm(スパッタで形成)
めっき液: Cu−BRITE VT−28(株式会社JCU製)
第1のめっき槽における電流密度: 3.9A/dm2
第1のめっき槽における処理時間: 37秒
第2のめっき槽における電流密度: 9.3A/dm2
第1のめっき槽における処理時間: 37秒
遮蔽量W1: 2.5mm
遮蔽量W1を5.0mmとしたこと以外は、実施例1と同様の条件で、上記のめっき装置1を用いて基材に銅めっき処理を行った。
遮蔽量W1を7.5mmとしたこと以外は、実施例1と同様の条件で、上記のめっき装置1を用いて基材に銅めっき処理を行った。
遮蔽量W1を10.0mmとしたこと以外は、実施例1と同様の条件で、上記のめっき装置1を用いて基材に銅めっき処理を行った。
遮蔽量W1を12.5mmとしたこと以外は、実施例1と同様の条件で、上記のめっき装置1を用いて基材に銅めっき処理を行った。
遮蔽部材を設けなかったこと以外は、実施例1と同様の条件で基材に銅めっき処理を行った。
遮蔽部材に開口を設けなかったこと以外、実施例3と同様の条件で基材に銅めっき処理を行った。
11A…第1のめっき槽
11B…第2のめっき槽
12…カソード
13…搬送ロール
14…アノード
141…電極部
142…カバー部
15…遮蔽部材
151,151a,151b…板状部
152…連結部
153a,153b…開口
154a…端面
155…貫通孔
2…被めっき体
21…端部
21a…縁
3…めっき液
Claims (6)
- めっき液で満たされためっき槽と、
前記めっき槽内に設けられ、被めっき体に対向するように配置されたアノードと、
前記被めっき体に給電するカソードと、
前記めっき槽内に設けられ、前記アノードと前記被めっき体の端部との間に介在する板状部を有する遮蔽部材と、を備え、
前記アノードは、
棒状の電極部と、
前記電極部の端部を覆うカバー部と、を有しており、
前記板状部は、前記板状部を貫通する開口を有しており、
前記カバー部の少なくとも一部は、前記開口と対向しており、
前記カバー部の内側端部は、前記板状部と重複しているめっき装置。 - 請求項1に記載のめっき装置であって、
前記被めっき体の端部は、前記内側端部よりも外側に位置しているめっき装置。 - 請求項1又は2に記載のめっき装置であって、
前記板状部は、複数の前記開口を有し、
複数の前記開口は、前記被めっき体の長手方向に沿って配列されているめっき装置。 - 請求項1〜3の何れか一項に記載のめっき装置であって、
下記(1)式を満たすめっき装置。
W1<W2 … (1)
上記(1)式において、W1は、前記板状部において前記被めっき体と重複する領域の長さであり、W2は、前記板状部において前記被めっき体と重複していない領域の長さである。 - 請求項1〜4の何れか一項に記載のめっき装置であって、
下記(2)式を満たすめっき装置。
W1×0.5>W3 … (2)
上記(2)式において、W1は、前記板状部において前記被めっき体と重複する領域の長さであり、W3は、前記板状部の前記被めっき体と重複する側の一端から前記開口の中心までの距離である。 - 請求項1〜5の何れか一項に記載のめっき装置であって、
前記遮蔽部材は、
前記被めっき体が間に介在する一対の前記板状部と、
一対の前記板状部同士を連結する連結部と、を含み、
前記連結部は、前記連結部を貫通する貫通孔を有しており、
前記貫通孔は、前記開口と繋がっていないめっき装置。
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