JP6637293B2 - 排ガス処理装置 - Google Patents
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Description
光電子増倍管方式は、ガラス容器中に光電陰極、ダイノードと呼ばれる二次電子増倍電極、陽極、およびその他の電極を封入した構造を有する。2つの電極に初期印加電圧を印加し、火炎から放射された紫外線が電極面に当たると光電効果により光電子が放出され、封入したアルゴンガスをイオン化し、放電電流が流れる。この放電電流をフレームモニタリレーを経由して火炎信号として出力し、UVの有無を火炎の有無として捉え、火炎検知器として使用するものである。
また、光電子増倍管は、品質上の問題から初期不良率が高いことも知られている。さらに、光電子増倍管は、1年程度での定期的な交換が必要となるため、24時間稼働される半導体製造装置用の燃焼式除害装置で使用する場合にはメンテナンス頻度が高いという問題がある。またUV光を受光する部位には、SiO2などの副生成物の閉塞を防止するため、この部位を常時パージする必要があり、このパージしたガスも燃焼室内に投入されることとなるため、燃焼効率の低下を招く。
本発明者らは、これらの問題点は、火炎を検知するための受光部や熱電対などの検知部が燃焼室内の高温腐食環境下やSiO2などの副生成物の生成環境下にあることに起因することに着目し、火炎を検知する検知部を燃焼室外に配置することを課題として検討を重ねた結果、本発明の創案に至ったものである。以下、本発明の創案の過程を説明する。
本発明によれば、火炎を検知する検知部を燃焼室の外側に配置し、燃焼室の内壁を流れる濡れ壁水越しに火炎を検知するように構成しているため、火炎を検知するための検知部が燃焼室内の高温腐食環境下やSiO2などの副生成物の生成環境下にはないので、検知部の部材の消耗の問題がなく、またSiO2などの副生成物が検知部に付着・堆積するなどの問題がない。したがって、安価な方式で安定して火炎を検知することができる。
本発明によれば、旋回遠心力により円筒状混合火炎の外側は温度が低く重い未燃の三種混合ガス、内側は温度が高く軽い三種混合の燃焼後ガスの分布が形成される。したがって、円筒状混合火炎は、温度の低い未燃の三種混合ガスに覆われた自己断熱された状態となるため、放熱による温度低下がなく、燃焼効率の高いガス処理が行われる。
本発明の好ましい態様によれば、前記円筒状混合火炎の旋回力により、前記燃焼室の内周面上の水膜を旋回させることを特徴とする。
(1)火炎を検知する検知部を燃焼室の外側に配置し、燃焼室の内壁を流れる濡れ壁水越しに火炎を検知するように構成しているため、火炎を検知するための検知部が燃焼室内の高温腐食環境下やSiO2などの副生成物の生成環境下にはないので、検知部の部材の消耗の問題がなく、またSiO2などの副生成物が検知部に付着・堆積するなどの問題がない。したがって、安価な方式で安定して火炎を検知することができる。
(2)濡れ壁水に覆われた火炎の発光を検知するため、火炎を検知する部分の周辺には赤熱した部位がない。近赤外線を検知することで、濡れ壁水通過による減衰はなく、安定した火炎検知が可能となる。すなわち近赤外線の検知は火炎そのものの発光の検知であるため誤検知がない。したがって、失火時には時間遅れなく失火と判断ができるため、装置の安全性向上に寄与する。
(3)放射温度計と同様にフォトダイオードの出力は温度との相関があり、非接触で濡れ壁水に覆われた火炎の温度を計測できるため、単なる火炎検知だけではなく、燃焼式除害装置の運転状態、安定した燃焼状態のモニターも可能となる。
(4)濡れ壁水越しに火炎を検知するため、常に水で洗われた光路が確保される。すなわち生成物による阻害を考慮する必要がなく、余分なパージガス等を燃焼室内に投入する必要がないため、省エネルギーに寄与する。
(5)火炎検知にフォトダイオードを使用し、フォトダイオードは半導体素子のため、寿命は10年程度以上となるので、短期間での部材の消耗による定期的な交換が不要となる。また故障のモードは断線側となり、火炎がないと判断される安全サイドとなるため、光電子増倍管を使用する場合に必要な処置、すなわちUV管の複数設置やシャッター付の複雑な構造のものにする必要はない。
図1は、本発明の排ガス処理装置の燃焼室の構成例を示す模式的断面図である。燃焼室1は、一端(図示例では上端)が閉塞され他端(図示例では下端)が開口した円筒容器状の燃焼室として構成されている。円筒容器状の燃焼室1には、閉塞側端部近傍で燃料(燃料ガス)と支燃性ガス(酸素含有ガス)と処理ガス(排ガス)とが吹き込まれるようになっている。燃焼室1の閉塞側端部には、着火用のパイロットバーナ2が設置されており、パイロットバーナ2には燃料と空気が供給されるようになっている。なお、図1においては、燃焼室1の下方にある洗浄部などは図示を省略している。
(1)濡れ壁水に覆われた火炎の発光を検知するため、火炎を検知する部分の周辺には赤熱した部位がない。500nm〜1700nmの可視領域から近赤外線領域の発光を検知することで、濡れ壁水通過による減衰はなく、安定した火炎検知が可能となる。すなわち近赤外線の検知は火炎そのものの発光の検知であるため誤検知がない。したがって、失火時には時間遅れなく失火と判断ができるため、装置の安全性向上に寄与する。
(2)放射温度計と同様にフォトダイオードの出力は温度との相関があり、非接触で濡れ壁水に覆われた火炎の温度を計測できるため、単なる火炎検知だけではなく、燃焼式除害装置の運転状態、安定した燃焼状態のモニターも可能となる。
(3)濡れ壁水越しに火炎を検知するため、常に水で洗われた光路が確保される。すなわち生成物による阻害を考慮する必要がなく、余分なパージガス等を燃焼室内に投入する必要がないため、省エネルギーに寄与する。
(4)火炎検知にフォトダイオードを使用し、フォトダイオードは半導体素子のため、寿命は10年程度以上となるので、短期間での部材の消耗による定期的な交換が不要となる。また故障のモードは断線側となり、火炎がないと判断される安全サイドとなるため、光電子増倍管を使用する場合に必要な処置、すなわちUV管の複数設置やシャッター付の複雑な構造のものにする必要はない。
処理ガスの燃焼室1への流入量により、処理ガス(主成分の一つにN2ガスを含む),燃料ガス,支燃性ガスの三種の混合気の組成を燃焼範囲としつつ、ガス処理に必要なガス温度を確保することができる適切な燃料および支燃性ガスの流量を設定する。三種の組成と燃焼範囲との関係を燃料ガスをプロパンとした場合で説明する。支燃性ガスが純酸素で、処理ガスのN2がない場合、混合気に対するプロパン成分%が、燃焼の下限界は2%で、上限界は40%である。支燃性ガスを空気(N2とO2の組成比は79:21)とした場合、混合気に対するプロパン成分%が、燃焼の下限界は2%で上限界は10%であることが知られている。これに処理ガスの主となるN2が加わり、例えばN2とO2の組成比が、85:15となった場合、混合気に対するプロパン成分%が、燃焼の下限界は2%で上限界は6%であることが知られている。なお、燃料ガス(燃料)が都市ガス、天然ガス等の他のガスの場合には、プロパンが燃料ガスである場合と同様の手法により混合気の燃焼範囲を求めればよい。すなわち、燃料ガスと支燃性ガス(酸素と空気)と処理ガスのN2の混合気の組成と燃焼範囲の関係をもとに調整することができる。同一平面上に設置する燃料用ノズル3Aと支燃性ガス用ノズル3Bと処理ガス用ノズル3Cのセットを例えば、2段設置した場合、燃料流量と支燃性ガス流量と処理ガス流量のバランス(組成比)を変え、例えば上段側の処理ガス流入量を減らし、下段側を増やすことで、火炎の安定性を向上させることができる。
(1)燃料用ノズル3Aと支燃性ガス用ノズル3Bと処理ガス用ノズル3Cとが燃料(燃料ガス)と支燃性ガスと処理ガスとをそれぞれ燃焼室の内周面の接線方向へ吹き込んで、燃料と支燃性ガスと処理ガスの三種混合の旋回流を形成する。
(2)燃焼室に吹き込まれる燃料(燃料ガス)と支燃性ガスと処理ガスのうち、少なくとも1つのガスが燃焼室に最後に吹き込まれて三種混合の旋回流が形成されたときに、三種の混合気の組成が燃焼範囲に到達する。
上記(1)および(2)の条件を満たすことにより、燃焼室1の内壁から浮いた三種混合の円筒状混合火炎を形成することができるが、三種混合の円筒状混合火炎が形成された後においては、燃料用ノズル3A、支燃性ガス用ノズル3B、処理ガス用ノズル3Cの下流側(後段)に、さらに燃料用ノズル3Aおよび処理ガス用ノズル3Cを設け、これらのノズルから燃料と処理ガスを吹き込むことにより、燃焼温度を向上させ、ガス処理性能を向上させることもできる。
まず、燃焼室1に最初に吹き込まれて旋回流を最初に形成するノズル、すなわち旋回流を開始するノズルとして、燃料用ノズル3A、支燃性ガス用ノズル3B、処理ガス用ノズル3Cのうちどのノズルを選定するかを説明し、選定されたノズルを基準として旋回流の下流側に向かって他のノズルをいかに配置するかについて説明する。
支燃性ガスを空気として、空気比を1.3とした場合、燃料流量の約15倍の空気が必要となる。この場合、燃焼室内の旋回力を支配するのは、空気の流量,流速となる。したがって、図3(a),(b)に示すように、支燃性ガスとしての空気を吹き込む支燃性ガス用ノズル3Bを旋回流を開始するノズルに選定する。旋回流を開始するノズルとして支燃性ガス用ノズル3Bを選定することにより、燃焼室の天板は火炎が形成される直前の支燃性ガスにより冷却されるため、天板の放熱による熱量ロスを低減でき、省エネルギーに寄与する。
図3(a),(b)においては、燃料用ノズル3A、支燃性ガス用ノズル3B、処理ガス用ノズル3Cが円筒状の燃焼室1の軸線に直交する同一平面上に位置している構成を例示したが、3つのノズル3A,3B,3Cを燃焼室1の軸線方向にずらして配置する場合には、図3(a)において支燃性ガス用ノズル3Bを最上段に配置し、下方に向かって処理ガス用ノズル3C、燃料用ノズル3Aの順にずらして配置すればよい。なお、図3(a)に示す断面図では、断面の手前側(前方側)に位置するノズル3Cを仮想線で示している。以下の図面でも同様である。
図4(a),(b)に示すように、下段のセットは、旋回流の最上流側に支燃性ガス用ノズル3Bを配置し、支燃性ガス用ノズル3Bを基準として旋回流の下流側に向かって処理ガス用ノズル3C−1、処理ガス用ノズル3C−2、燃料用ノズル3A、処理ガス用ノズル3C−3の順に配置して構成されている。
このように、下段のセットにも、3種のノズル3A、3B、3C−1,3C−2,3C−3を設けることで、ガス混合度が均一化されるため、局所高温部を形成することなく、均一な温度場の火炎を形成することができる。これにより、ガス処理性能は向上しつつ、サーマルNOxの発生を抑制することができる。
図5(a),(b)に示すように、下段のセットは、旋回流の最上流側に処理ガス用ノズル3C−1を配置し、処理ガス用ノズル3C−1を基準として旋回流の下流側に向かって処理ガス用ノズル3C−2、燃料用ノズル3A、処理ガス用ノズル3C−3の順に配置して構成されている。
難分解性ガスなどが処理ガスとして燃焼室に流入する場合、支燃性ガスの空気に酸素を追加し、高温の温度場を形成する必要がある。高温の温度場を形成する必要がある場合、上段のセットは、図3(a),(b)のセットと同様の構成にして、下段のセットは図4(a),(b)に示すセットから支燃性ガス用ノズルを除いた図5(a),(b)に示すセットとして、上段のセットにのみ支燃性ガス用ノズルを設ける。火炎の形成位置は、図4(a),(b)に示す下段のセットとした場合よりも旋回上流側に移動し、火炎体積を小さくすることができるため、より高温な温度場を形成できる。
1a 開口
2 パイロットバーナ
3A 燃料用ノズル
3B 支燃性ガス用ノズル
3C,3C−1,3C−2,3C−3 処理ガス用ノズル
5 水供給ノズル
6 火炎検知器
7 ハウジング
7a パイプ状部分
7b 収容部
8 耐熱ガラス
9 センサ
19 接続管
20 循環水タンク
20A,20B 槽
20D 排水口
21 堰
23 バイパス弁(三方弁)
25 冷却部
26 配管
27 スプレーノズル
30 排ガス洗浄部
31 壁部材
32 ガス流路
33A 第1のミストノズル
33B 第1の水膜ノズル
34A 第2のミストノズル
34B 第2の水膜ノズル
40 整流部材
41 ミストノズル
50 シャワーノズル
51 ミストトラップ
52 給水管
53 エダクター
55 水位センサ
AR 空気室
MR 混合気室
P 循環水ポンプ
PF パイロット火炎
V1 開閉弁
V2 排水弁
VW のぞき窓
Claims (4)
- 処理ガスを燃焼処理して無害化する排ガス処理装置において、
一端が閉塞され他端が開口した円筒容器状をなし、処理ガスを燃焼する燃焼室と、
前記燃焼室の上部壁面に設置され、燃焼室の内周面に水膜を形成するための水供給ノズルと、
前記燃焼室の壁面に設置され、前記燃焼室の内周面に形成された水膜越しに燃焼室内の火炎を検知する火炎検知器とを備え、
前記燃焼室は、燃料と支燃性ガスと処理ガスとをそれぞれ前記燃焼室の内周面の接線方向に向けて吹き込んで、前記燃料と支燃性ガスと処理ガスの三種混合の旋回流を形成する燃料用ノズル、支燃性ガス用ノズル、および処理ガス用ノズルを備え、
前記燃料用ノズルと前記支燃性ガス用ノズルと前記処理ガス用ノズルは、前記燃焼室の軸線に直交する同一平面上に位置しており、かつ前記旋回流の下流側に向かって前記支燃性ガス用ノズル、前記処理ガス用ノズル、前記燃料用ノズルの順に配置されており、
前記火炎検知器は、前記水供給ノズルの下方の位置において前記燃焼室の壁面に設置されており、
前記火炎検知器は、500nm〜1700nmの可視領域から近赤外線領域の発光を検知することにより火炎を検知するように構成されているフォトダイオードからなることを特徴とする排ガス処理装置。 - 前記フォトダイオードは、前記燃焼室の壁面に設置されたのぞき窓に隣接して設置されていることを特徴とする請求項1に記載の排ガス処理装置。
- 前記燃料と支燃性ガスと処理ガスの三種混合の旋回流により、前記燃焼室内に円筒状混合火炎を形成することを特徴とする請求項1記載の排ガス処理装置。
- 前記円筒状混合火炎の旋回力により、前記燃焼室の内周面上の水膜を旋回させることを特徴とする請求項3に記載の排ガス処理装置。
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