JP6636417B2 - Aod移動減少用aodツール整定のためのレーザシステム及び方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 38
- 230000009467 reduction Effects 0.000 title description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 59
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 29
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 22
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 20
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 10
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 8
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 241000425571 Trepanes Species 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000009527 percussion Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 238000002211 ultraviolet spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
- B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
- B23K26/0853—Devices involving movement of the workpiece in at least in two axial directions, e.g. in a plane
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
- B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
- B23K26/386—Removing material by boring or cutting by boring of blind holes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
- B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
- B23K26/388—Trepanning, i.e. boring by moving the beam spot about an axis
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
- B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
- B23K26/389—Removing material by boring or cutting by boring of fluid openings, e.g. nozzles, jets
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Description
図1を参照すると、レーザ加工装置100は、ワークピース102に当たるように経路Pに沿ってレーザパルスビーム105を照射することにより、ワークピース102の1以上の材料の内部に凹部や他の特徴部(例えば、貫通ビア、非貫通ビア、トレンチ、及び切溝)を形成するように構成されている。凹部形成動作及び/又は他の加工動作(例えば、パーカッションドリル動作、トレパンドリル動作、スカイブ動作、及び切断動作)を行うようにレーザ加工装置100を制御することにより特徴部を形成してもよく、それぞれの加工動作は、1以上の工程を含んでいてもよい。図示されているように、レーザ加工装置100は、レーザシステム104、チャック106、ワークピース位置決めシステム108、ビーム位置決めシステム110、及びビーム変調システム112を含んでいてもよい。図示はされないが、レーザ加工装置100は、経路Pに沿った任意の点でレーザパルスビーム105を整形、拡大、集束、反射、及び/又はコリメートするように構成された1以上の補助システム(例えば、光学系、ミラー、ビームスプリッタ、ビームエキスパンダ、及び/又はビームコリメータ)をさらに含んでいてもよい。一実施形態においては、1以上の補助システムのセットを「光学部品列」ということがある。
図6は、一実施形態における3次プロファイリングサブシステム600を模式的に示すものである。3次プロファイリングにおいては、ビームの位置決めが(ガルボ110a及び110bを有する)ビーム位置決めシステム110と(1以上のAODを有する)ビーム変調システム112との間で分けられる。3次プロファイリングとは、(例えば、XYステージとガルボ110a,110bに加えて)AODを3次ポジショナとして用いることをいう。AODを用いた3次プロファイリングにより、分離したタイミング境界でAODコマンドを発しつつ、(例えば、タイミングの分解能を得るために約1μsでの更新を用いて)高速でビーム経路をプロファイリングすることが可能となる。3次プロファイリングサブシステム600は、プロファイリングフィルタ604、遅延要素606、及び減算器608を含んでいる。
較正AOD領域のサイズに制限があると、3次フィルタリングのプロセスはプロセス速度に制限を課すものとなる。3次フィルタリング中に、プロセスセグメント間の速度の段階的な変化は、AODコマンドにおける過渡応答を生み出す。例えば、図7は、一実施形態における速度変化に対する3次フィルタ応答をグラフで示すものである。この応答の大きさは、速度の段階的変化に比例し、減衰時間は、3次フィルタ帯域幅及び減衰比の関数となる。
deltaAOD=Ktrans*deltaV
である。
3次フィルタリングにより生じるプロセス速度に対する制限を回避又は低減するために、本明細書において開示される実施形態は、それぞれの加工動作の前と後に整定時間を挿入する。AODコマンドのピークは、特徴部間の移動(典型的には高速である)と加工の移動(典型的にはより低速である)との間で速度が遷移する際に生じる。この遷移は、加工の前(加工位置に近づいているとき)と加工の後(完了した加工位置から出発して次の位置に向かうとき)の双方で生じる。加工期間のそれぞれの終端に整定遅延を加えることで、AODコマンドをより低い値に整定することが可能となる。そして、これにより、AODコマンドをシステムのAOD構成の範囲内に維持しつつ、(スループットを高くするために)加工間速度をより高くすることが可能となる。
上述したように、ビームポジショナのエラーをゼロに向けて整定させるためにワークピース特徴部に対して加工整定時間を含めることが望ましい場合がある。上述した実施形態は、所望の整定時間の間、ビーム速度ゼロでターゲット又は特徴部の位置に留まる。このアプローチは、定常加工動作(例えばパンチ)に対してよく適合するが、円形軌跡(例えば、螺旋、トレパン、円形)を伴う加工動作に対しては、加工動作の開始がビームポジショナの動的な過渡状態を生じ、整定時間が避けなければならないビーム位置決めエラーを生じる場合がある。
Claims (16)
- レーザツールの動作によりワークピースを加工する方法であって、前記レーザツールは、レーザパルスが伝搬可能なビーム軸を規定しており、
前記ビーム軸と前記ワークピースの表面との間で第1の速度で相対移動を生じさせて前記ビーム軸を前記ワークピースの第1のターゲット位置に向けて案内し、
前記第1のターゲット位置又はその近傍に到達したときに、前記相対移動の速度を前記第1の速度から第2の速度に変更し、
前記第2の速度への変更に応答して、レーザパルスの出射を遅らせるための第1の整定期間を開始して、前記第1の整定期間の終了後に前記レーザパルスの始点が前記第1のターゲット位置に入射するようにし、
前記第1のターゲット位置に入射した前記レーザパルスの前記出射が完了したときに、レーザパルスが出射されない第2の整定期間を開始し、
前記第2の整定期間の完了後に、前記第2の速度から第3の速度に変更して、前記ビーム軸と前記ワークピースの前記表面との間で前記第3の速度で相対運動を生じさせて前記ビーム軸を前記第1のターゲット位置から前記ワークピースの第2のターゲット位置に向けて案内し、
前記ビーム軸と前記ワークピースの前記表面との間で前記相対運動を生じさせる際に、
(a)第1の位置決めシステムを用いて、前記ビーム軸と前記ワークピースの前記表面との間の前記相対運動の第1の部分を与え、
(b)与えられた位置コマンドに応答して第2の位置決めシステムを用いて、前記ビーム軸と前記ワークピースの前記表面との間の前記相対運動の第2の部分を与え、
さらに、前記与えられた位置コマンドに対する前記第2の位置決めシステムの過渡応答のピーク値を、前記第1の整定期間及び前記第2の整定期間の少なくとも一方に時間的に合わせる
方法。 - 前記相対運動の前記第2の部分は、前記相対運動の前記第1の部分上に重ね合わされる、
請求項1の方法。 - さらに、
前記与えられた位置コマンドに対する前記第2の位置決めシステムの前記過渡応答に基づいて前記第1の整定期間及び前記第2の整定期間を選択する、
請求項1の方法。 - 前記第2の位置決めシステムは、音響光学偏向器(AOD)、音響光学変調器(AOM)、電気光学偏向器(EOD)、電気光学変調器(EOM)、及びファーストステアリングミラー(FSM)を含む群から選択される1以上の偏向装置を備え、
さらに、前記位置コマンドを生成するように構成されたフィルタに基づいて前記過渡応答を決定する、
請求項1の方法。 - さらに、前記与えられた位置コマンドに対する前記第2の位置決めシステムの前記過渡応答の第1のピーク値を前記第1の整定期間に時間的に合わせ、前記与えられた位置コマンドに対する前記第2の位置決めシステムの前記過渡応答の第2のピーク値を前記第2の整定期間に時間的に合わせることによって、前記与えられた位置コマンドに応答するために必要とされる偏向範囲を縮小する、請求項4の方法。
- 前記第1の速度は前記第2の速度よりも大きい、請求項1の方法。
- 前記第3の速度は前記第1の速度と異なっている、請求項1の方法。
- 前記レーザパルスの少なくとも一部が前記第1のターゲット位置に入射しつつ、前記ビーム軸が前記第1のターゲット位置に留まるように前記第2の速度がゼロである、請求項1の方法。
- レーザツールの動作によりワークピースを加工する方法であって、前記レーザツールは、レーザパルスが伝搬可能なビーム軸を規定しており、
前記ビーム軸と前記ワークピースの表面との間で第1の速度で相対移動を生じさせて前記ビーム軸を前記ワークピースの第1のターゲット位置に向けて案内し、
前記第1のターゲット位置又はその近傍に到達したときに、前記相対移動の速度を前記第1の速度から第2の速度に変更し、
前記第2の速度への変更に応答して、レーザパルスの出射を遅らせるための第1の整定期間を開始して、前記第1の整定期間の終了後に前記レーザパルスの始点が前記第1のターゲット位置に入射するようにし、
前記第1のターゲット位置に入射した前記レーザパルスの前記出射が完了したときに、レーザパルスが出射されない第2の整定期間を開始し、
前記第2の整定期間の完了後に、前記第2の速度から第3の速度に変更して、前記ビーム軸と前記ワークピースの前記表面との間で前記第3の速度で相対運動を生じさせて前記ビーム軸を前記第1のターゲット位置から前記ワークピースの第2のターゲット位置に向けて案内し、
前記第1のターゲット位置での加工速度に基づいて前記第2の速度を選択し、前記加工速度は、前記第1のターゲット位置での円形加工軌跡に対応しており、
前記第1の整定期間中、前記レーザパルスの前記始点が前記第1のターゲット位置に入射する前に、前記ビーム軸と前記ワークピースの前記表面との間で前記第1のターゲット位置での前記円形加工軌跡に沿って相対運動を生じさせ、
前記第2の整定期間中、前記第1のターゲット位置に入射した前記レーザパルスの終点に至った後、前記第1のターゲット位置での前記円形加工軌跡に沿った前記ビーム軸と前記ワークピースの前記表面との間の前記相対運動を継続する
方法。 - 前記第1の速度から前記第2の速度への変更又は前記第2の速度から前記第3の速度への変更は、速度の段階的変化である、請求項1の方法。
- 前記第3の速度は前記第1の速度に略等しい、請求項1の方法。
- 前記第3の速度は前記第2の速度よりも高い、請求項1の方法。
- 前記第1の速度から前記第2の速度への変更又は前記第2の速度から前記第3の速度への変更は、傾斜的変化及び正弦波プロファイルの変化を含む群から選択される速度変化である、請求項1の方法。
- ワークピースの1以上の材料内に特徴部を形成又は加工するレーザ加工装置であって、
レーザパルスからなるビームを生成するレーザシステムと、
前記レーザパルスからなるビームが伝搬可能なビーム軸と前記ワークピースの表面との間の相対運動を与える第1の位置決めシステムと、
与えられた位置コマンドに応答して前記ビーム軸と前記ワークピースの前記表面との間の相対運動を与える第2の位置決めシステムと、
前記第1の位置決めシステム及び前記第2の位置決めシステムにより与えられた前記相対運動に前記レーザシステムを協働させるコントローラであって、
(a)第1の整定期間中、前記ビーム軸が前記ワークピースの前記表面に対してターゲット位置に到達した後、前記レーザシステムが前記レーザパルスからなるビームを出射するのを遅延させ、
(b)第2の整定期間中、前記レーザパルスからなるビームにより前記ターゲット位置が加工された後、前記第1の位置決めシステム及び前記第2の位置決めシステムが前記ターゲット位置から離れるように前記ビーム軸を移動するのを遅延させる
ように構成されたコントローラと、
を備え、
前記与えられた位置コマンドに対する前記第2の位置決めシステムの過渡応答のピーク値は、前記第1の整定期間及び前記第2の整定期間の少なくとも一方に時間的に合わされる、
レーザ加工装置。 - 前記第2の位置決めシステムは、音響光学偏向器(AOD)、音響光学変調器(AOM)、電気光学偏向器(EOD)、及び電気光学変調器(EOM)を含む群から選択される1以上の偏向装置を備え、
前記コントローラは、さらに、前記位置コマンドを生成するように構成されたフィルタに基づいて前記過渡応答を決定するように構成されている、請求項14のレーザ加工装置。 - 前記コントローラは、さらに、前記与えられた位置コマンドに対する前記第2の位置決めシステムの前記過渡応答の第1のピーク値を前記第1の整定期間に時間的に合わせ、前記与えられた位置コマンドに対する前記第2の位置決めシステムの前記過渡応答の第2のピーク値を前記第2の整定期間に時間的に合わせることによって、前記与えられた位置コマンドに応答するために前記第2の位置決めシステムに必要とされる偏向範囲を縮小するように構成されている、請求項15のレーザ加工装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361791160P | 2013-03-15 | 2013-03-15 | |
US201361791656P | 2013-03-15 | 2013-03-15 | |
US61/791,656 | 2013-03-15 | ||
US61/791,160 | 2013-03-15 | ||
PCT/US2014/027439 WO2014152526A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-03-14 | Laser systems and methods for aod tool settling for aod travel reduction |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019195232A Division JP2020037135A (ja) | 2013-03-15 | 2019-10-28 | Aod移動減少用aodツール整定のためのレーザシステム及び方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016517352A JP2016517352A (ja) | 2016-06-16 |
JP2016517352A5 JP2016517352A5 (ja) | 2017-04-20 |
JP6636417B2 true JP6636417B2 (ja) | 2020-01-29 |
Family
ID=51522887
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016502438A Active JP6636417B2 (ja) | 2013-03-15 | 2014-03-14 | Aod移動減少用aodツール整定のためのレーザシステム及び方法 |
JP2019195232A Pending JP2020037135A (ja) | 2013-03-15 | 2019-10-28 | Aod移動減少用aodツール整定のためのレーザシステム及び方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019195232A Pending JP2020037135A (ja) | 2013-03-15 | 2019-10-28 | Aod移動減少用aodツール整定のためのレーザシステム及び方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9724782B2 (ja) |
JP (2) | JP6636417B2 (ja) |
KR (1) | KR102245812B1 (ja) |
CN (2) | CN105121088B (ja) |
TW (1) | TWI637803B (ja) |
WO (1) | WO2014152526A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10838406B2 (en) | 2013-02-11 | 2020-11-17 | The Aerospace Corporation | Systems and methods for the patterning of material substrates |
US10613513B2 (en) * | 2013-02-11 | 2020-04-07 | The Aerospace Corporation | Systems and methods for modifying material substrates |
CN107430269B (zh) * | 2015-03-06 | 2020-10-02 | 英特尔公司 | 用于激光束操纵的声光学偏转器和反射镜 |
EP3183093B1 (en) * | 2015-06-22 | 2020-08-05 | Electro Scientific Industries, Inc. | Multi-axis machine tool and methods of controlling the same |
JP6921057B2 (ja) * | 2015-09-09 | 2021-08-18 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | レーザ処理装置、ワークピースをレーザ処理する方法及び関連する構成 |
CN114654082A (zh) | 2016-12-30 | 2022-06-24 | 伊雷克托科学工业股份有限公司 | 用于延长镭射处理设备中的光学器件生命期的方法和系统 |
KR20240050452A (ko) | 2018-06-05 | 2024-04-18 | 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드 | 레이저 가공 장치, 그 작동 방법 및 이를 사용한 작업물 가공 방법 |
JP6684872B2 (ja) * | 2018-08-17 | 2020-04-22 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工機及びレーザ加工方法 |
US11090765B2 (en) * | 2018-09-25 | 2021-08-17 | Saudi Arabian Oil Company | Laser tool for removing scaling |
KR20210112434A (ko) * | 2020-03-04 | 2021-09-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 전자 장치 제조 방법 |
EP4046741B1 (fr) | 2021-02-23 | 2023-11-01 | DM Surfaces SA | Procede d'usinage laser d'un composant horloger |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5841099A (en) | 1994-07-18 | 1998-11-24 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method employing UV laser pulses of varied energy density to form depthwise self-limiting blind vias in multilayered targets |
TW482705B (en) | 1999-05-28 | 2002-04-11 | Electro Scient Ind Inc | Beam shaping and projection imaging with solid state UV Gaussian beam to form blind vias |
JP3768730B2 (ja) * | 1999-06-14 | 2006-04-19 | 松下電器産業株式会社 | レーザ加工機およびその数値制御装置ならびにレーザ加工機の制御方法 |
US6676878B2 (en) | 2001-01-31 | 2004-01-13 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser segmented cutting |
KR100821115B1 (ko) * | 2001-02-16 | 2008-04-11 | 엘렉트로 사이언티픽 인더스트리즈 인코포레이티드 | 메모리 링크 처리용 온 더 플라이 빔 경로 에러 정정 방법 |
US6816294B2 (en) | 2001-02-16 | 2004-11-09 | Electro Scientific Industries, Inc. | On-the-fly beam path error correction for memory link processing |
JP2003136270A (ja) | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工装置 |
US6706999B1 (en) * | 2003-02-24 | 2004-03-16 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser beam tertiary positioner apparatus and method |
DE10317363B3 (de) * | 2003-04-15 | 2004-08-26 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von Löchern in einem elektrischen Schaltungssubstrat |
US6947454B2 (en) | 2003-06-30 | 2005-09-20 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser pulse picking employing controlled AOM loading |
JP4443208B2 (ja) | 2003-12-12 | 2010-03-31 | 日立ビアメカニクス株式会社 | スキャナ装置 |
US7133188B2 (en) | 2004-06-07 | 2006-11-07 | Electro Scientific Industries, Inc. | AOM modulation techniques employing an upstream Bragg adjustment device |
US7923306B2 (en) | 2004-06-18 | 2011-04-12 | Electro Scientific Industries, Inc. | Semiconductor structure processing using multiple laser beam spots |
US7259354B2 (en) * | 2004-08-04 | 2007-08-21 | Electro Scientific Industries, Inc. | Methods for processing holes by moving precisely timed laser pulses in circular and spiral trajectories |
US20060114948A1 (en) * | 2004-11-29 | 2006-06-01 | Lo Ho W | Workpiece processing system using a common imaged optical assembly to shape the spatial distributions of light energy of multiple laser beams |
US7244906B2 (en) | 2005-08-30 | 2007-07-17 | Electro Scientific Industries, Inc. | Energy monitoring or control of individual vias formed during laser micromachining |
US7638731B2 (en) | 2005-10-18 | 2009-12-29 | Electro Scientific Industries, Inc. | Real time target topography tracking during laser processing |
US8084706B2 (en) | 2006-07-20 | 2011-12-27 | Gsi Group Corporation | System and method for laser processing at non-constant velocities |
JP2008049383A (ja) | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ビーム照射方法及びビーム照射装置 |
DE102007012815B4 (de) | 2007-03-16 | 2024-06-06 | Dmg Mori Ultrasonic Lasertec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bildung eines Gesenks |
US8026158B2 (en) * | 2007-06-01 | 2011-09-27 | Electro Scientific Industries, Inc. | Systems and methods for processing semiconductor structures using laser pulses laterally distributed in a scanning window |
GB0800333D0 (en) | 2008-01-09 | 2008-02-20 | Ucl Business Plc | Beam deflection apparatus and methods |
US8680430B2 (en) * | 2008-12-08 | 2014-03-25 | Electro Scientific Industries, Inc. | Controlling dynamic and thermal loads on laser beam positioning system to achieve high-throughput laser processing of workpiece features |
US20100252959A1 (en) | 2009-03-27 | 2010-10-07 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method for improved brittle materials processing |
TWI594828B (zh) * | 2009-05-28 | 2017-08-11 | 伊雷克托科學工業股份有限公司 | 應用於雷射處理工件中的特徵的聲光偏轉器及相關雷射處理方法 |
GB201006679D0 (en) | 2010-04-21 | 2010-06-09 | Ucl Business Plc | Methods and apparatus to control acousto-optic deflectors |
CN110039173B (zh) | 2010-10-22 | 2021-03-23 | 伊雷克托科学工业股份有限公司 | 用于光束抖动和刮削的镭射加工系统和方法 |
-
2014
- 2014-03-14 CN CN201480014010.9A patent/CN105121088B/zh active Active
- 2014-03-14 TW TW103109582A patent/TWI637803B/zh active
- 2014-03-14 WO PCT/US2014/027439 patent/WO2014152526A1/en active Application Filing
- 2014-03-14 US US14/211,162 patent/US9724782B2/en active Active
- 2014-03-14 JP JP2016502438A patent/JP6636417B2/ja active Active
- 2014-03-14 KR KR1020157022813A patent/KR102245812B1/ko active IP Right Grant
- 2014-03-14 CN CN201710092567.XA patent/CN107150168B/zh active Active
-
2019
- 2019-10-28 JP JP2019195232A patent/JP2020037135A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105121088B (zh) | 2017-03-08 |
US9724782B2 (en) | 2017-08-08 |
JP2016517352A (ja) | 2016-06-16 |
CN107150168B (zh) | 2019-06-21 |
WO2014152526A1 (en) | 2014-09-25 |
TWI637803B (zh) | 2018-10-11 |
CN107150168A (zh) | 2017-09-12 |
KR102245812B1 (ko) | 2021-04-30 |
KR20150130278A (ko) | 2015-11-23 |
JP2020037135A (ja) | 2020-03-12 |
US20140263223A1 (en) | 2014-09-18 |
CN105121088A (zh) | 2015-12-02 |
TW201446372A (zh) | 2014-12-16 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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