JP6625280B1 - 異常診断装置および異常診断方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る異常診断装置の機能ブロック図である。本実施の形態1に係る異常診断装置40には、電動機10および負荷20に接続されたセンサ30が接続されている。ここで、負荷20とは、電動機10から出るエネルギーを消費する構成要素に相当し、例えば、図3を用いて後述するCVD(Chemical Vapor Deposition)チャンバが負荷20に相当する。
a12>a_alarm、または
b12<b_alarm
のときに、異常発報を行うことができる。
b12<b_alarm
のときに、異常発報を行うことができる。
先の実施の形態1では、物理量として電流を用いて異常診断を行う場合について説明した。これに対して、本実施の形態2では、物理量として、電流の単位時間当たりの変化量に相当する時間微分値を用いて異常診断を行う場合について説明する。具体例としては、先の実施の形態1と同様に、MOCVD装置について、電流測定に基づく異常診断を行う場合について説明する。
先の実施の形態1、2では、物理量として電流を用いて異常診断を行う場合について、詳細に説明した。本実施の形態3では、複数の物理量を用いた異常診断について説明する。実施の形態1、2と同様に、真空ポンプの異常診断を行う場合について説明する。
Claims (6)
- 電動機または負荷の異常発生状態に応じて変化する物理量の測定値を時系列データとして取得する物理量測定部と、
前記時系列データとして取得された前記物理量に基づいて、2以上の特徴パラメータを計算する特徴パラメータ計算部と、
前記2以上の特徴パラメータに含まれる2つ以上の特徴パラメータに関して繰り返し計算することで得られた複数の計算結果を用いて、前記2つ以上の特徴パラメータの相互について相関関数を作成し、前記異常発生状態に応じて変化する前記物理量の測定結果に対応した相関係数を前記相関関数から算出する相関関数作成部と、
前記電動機または前記負荷が故障に至るまでの残時間と前記相関係数とが関連付けられた基準データがあらかじめ記憶されているデータベース部と、
前記相関関数作成部で算出された前記相関係数に対応する残時間を前記基準データから抽出し、前記電動機または前記負荷が故障に至るまでの前記残時間、または故障に至った部位を特定することで、前記電動機または前記負荷の異常診断を行う診断部と
を備え、
前記データベース部には、前記電動機または前記負荷の異常診断対象となる部位ごとに、前記基準データが個別に記憶されており、
前記診断部は、個別に記憶された前記基準データを用いることで、前記電動機または前記負荷の異常診断対象となる部位ごとに故障に至るまでの前記残時間を特定する
異常診断装置。 - 前記基準データは、あらかじめ取得された各部位の異常量と前記相関係数との関係、および前記異常量と前記電動機または前記負荷が故障に至るまでの残時間との関係から得られた、前記相関係数と前記残時間とが関連付けられたデータである
請求項1に記載の異常診断装置。 - 前記特徴パラメータ計算部は、前記時系列データとして取得された前記物理量を時間微分した値に基づいて、前記2以上の特徴パラメータを計算する
請求項1または2に記載の異常診断装置。 - 前記物理量測定部は、前記物理量として、複数の物理量についてそれぞれの時系列データを取得し、
前記特徴パラメータ計算部は、前記複数の物理量のそれぞれについて2以上の特徴パラメータを計算し、
前記相関関数作成部は、前記複数の物理量のそれぞれについて前記相関係数を算出し、
前記診断部は、前記複数の物理量のそれぞれについて特定した前記残時間に基づいて前記異常診断を行う
請求項1から3のいずれか1項に記載の異常診断装置。 - 前記診断部は、特定した前記残時間があらかじめ設定された警報判定時間以下となった場合には、警報を出力する
請求項1から4のいずれか1項に記載の異常診断装置。 - 電動機または負荷の異常発生状態に応じて変化する物理量の測定値を時系列データとして取得するステップと、
前記時系列データとして取得された前記物理量に基づいて、2以上の特徴パラメータを計算するステップと、
前記2以上の特徴パラメータに含まれる2つ以上の特徴パラメータに関して繰り返し計算することで得られた複数の計算結果を用いて、前記2つ以上の特徴パラメータの相互について相関関数を作成し、前記異常発生状態に応じて変化する前記物理量の測定結果に対応した相関係数を前記相関関数から算出するステップと、
前記電動機または前記負荷が故障に至るまでの残時間と前記相関係数とが関連付けられた基準データをデータベース部にあらかじめ記憶させるステップと、
前記算出するステップで算出された前記相関係数に対応する残時間を前記基準データから抽出し、前記電動機または前記負荷が故障に至るまでの前記残時間、または故障に至った部位を特定することで、前記電動機または前記負荷の異常を診断するステップと
を有し、
前記データベース部には、前記電動機または前記負荷の異常診断対象となる部位ごとに、前記基準データが個別に記憶されており、
前記診断するステップは、個別に記憶された前記基準データを用いることで、前記電動機または前記負荷の異常診断対象となる部位ごとに故障に至るまでの前記残時間を特定する
異常診断方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113792477A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-12-14 | 珠海派诺科技股份有限公司 | 一种用电异常识别方法、系统、装置和火灾预警系统 |
CN113900020A (zh) * | 2021-08-20 | 2022-01-07 | 合众新能源汽车有限公司 | 一种新能源汽车驱动电机寿命估计方法、装置及电子设备 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023043530A (ja) * | 2021-09-16 | 2023-03-29 | 株式会社日本製鋼所 | 寿命推定方法、寿命推定装置及びコンピュータプログラム |
WO2023222341A1 (de) | 2022-05-17 | 2023-11-23 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum überwachen des betriebs eines bordnetzes |
CN115639006B (zh) * | 2022-12-21 | 2023-03-17 | 太原理工大学 | 模拟掘进装备第一刮板运输机的故障诊断实验装置 |
TWI831541B (zh) * | 2022-12-27 | 2024-02-01 | 財團法人工業技術研究院 | 電流異常監測裝置以及電流異常監測方法 |
CN117605669A (zh) * | 2023-09-05 | 2024-02-27 | 诺沃机械南通有限公司 | 一种基于大数据的水泵故障预测方法及系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000298511A (ja) * | 1999-04-13 | 2000-10-24 | Toshiba Corp | 設備診断装置及び記録媒体 |
JP2002285974A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Toshiba Corp | 半導体製造装置、真空ポンプの寿命予測方法及び真空ポンプの修理タイミング決定方法 |
JP2018033516A (ja) * | 2016-08-29 | 2018-03-08 | 一般社団法人ブレインインパクト | 脳情報解析装置及び脳健康指標演算装置 |
JP2018155543A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | 高砂熱学工業株式会社 | 診断装置、診断方法、診断プログラムおよび診断システム |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4149691B2 (ja) | 2001-08-31 | 2008-09-10 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置用回転機の寿命予測方法及び半導体製造装置 |
JP2003232705A (ja) | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Toshiba Corp | 寿命診断システム及び寿命診断方法 |
JP4232162B2 (ja) | 2004-12-07 | 2009-03-04 | 三菱電機株式会社 | 圧縮機検査装置 |
DE102004060528A1 (de) * | 2004-12-16 | 2006-06-22 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Vorhersagen einer Lebenserwartung eines mehrere Komponenten umfassenden Produkts |
JP5076812B2 (ja) * | 2006-12-18 | 2012-11-21 | 日産自動車株式会社 | 異常診断装置 |
US7826985B2 (en) * | 2008-05-02 | 2010-11-02 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Power module life estimation fatigue function |
JP5455866B2 (ja) * | 2010-10-28 | 2014-03-26 | 株式会社日立製作所 | 異常診断装置および産業機械 |
JP6164197B2 (ja) * | 2014-11-13 | 2017-07-19 | 株式会社デンソー | 電子制御装置 |
JP6406298B2 (ja) * | 2015-10-05 | 2018-10-17 | 株式会社デンソー | 監視装置および異常診断装置 |
JP6249009B2 (ja) * | 2015-11-12 | 2017-12-20 | 株式会社デンソー | 異常診断装置 |
US20180372583A1 (en) * | 2016-02-25 | 2018-12-27 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Manufacturing facility anomaly diagnostic device |
EP3431952B1 (en) * | 2016-03-17 | 2023-05-03 | NTN Corporation | Condition monitoring system and wind turbine generation apparatus |
JP5985099B1 (ja) * | 2016-03-31 | 2016-09-06 | 株式会社高田工業所 | 回転機械系の異常検知方法、その異常検知方法を用いた回転機械系の異常監視方法、及びその異常監視方法を用いた回転機械系の異常監視装置 |
EP3336634B1 (en) * | 2016-12-14 | 2020-02-26 | ABB Schweiz AG | Computer system and method for monitoring the status of a technical system |
CN106761681B (zh) * | 2017-02-16 | 2023-04-14 | 中国石油化工股份有限公司 | 基于时序数据分析的电泵井故障实时诊断系统及方法 |
JP2019207542A (ja) * | 2018-05-29 | 2019-12-05 | ファナック株式会社 | 分析装置、分析方法及び分析プログラム |
JP2022052351A (ja) * | 2020-09-23 | 2022-04-04 | キヤノン株式会社 | 情報処理方法、情報処理装置、制御プログラム、記録媒体、物品の製造方法、学習用データの取得方法 |
-
2018
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-
2019
- 2019-12-19 TW TW108146648A patent/TWI727554B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000298511A (ja) * | 1999-04-13 | 2000-10-24 | Toshiba Corp | 設備診断装置及び記録媒体 |
JP2002285974A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Toshiba Corp | 半導体製造装置、真空ポンプの寿命予測方法及び真空ポンプの修理タイミング決定方法 |
JP2018033516A (ja) * | 2016-08-29 | 2018-03-08 | 一般社団法人ブレインインパクト | 脳情報解析装置及び脳健康指標演算装置 |
JP2018155543A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | 高砂熱学工業株式会社 | 診断装置、診断方法、診断プログラムおよび診断システム |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113792477A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-12-14 | 珠海派诺科技股份有限公司 | 一种用电异常识别方法、系统、装置和火灾预警系统 |
CN113792477B (zh) * | 2021-08-18 | 2024-06-07 | 珠海派诺科技股份有限公司 | 一种用电异常识别方法、系统、装置和火灾预警系统 |
CN113900020A (zh) * | 2021-08-20 | 2022-01-07 | 合众新能源汽车有限公司 | 一种新能源汽车驱动电机寿命估计方法、装置及电子设备 |
CN113900020B (zh) * | 2021-08-20 | 2024-03-12 | 合众新能源汽车股份有限公司 | 一种新能源汽车驱动电机寿命估计方法、装置及电子设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113227577A (zh) | 2021-08-06 |
CN113227577B (zh) | 2023-03-24 |
US20220006417A1 (en) | 2022-01-06 |
WO2020136823A1 (ja) | 2020-07-02 |
US11527987B2 (en) | 2022-12-13 |
TW202024821A (zh) | 2020-07-01 |
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DE112018008225T5 (de) | 2021-09-16 |
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