JP6623489B2 - リードフレーム及び半導体装置、並びにそれらの製造方法 - Google Patents
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Description
外側から前記半導体素子実装領域に向かって延び、表面側の所定の先端領域に半導体素子をフリップチップ接続可能な内部端子部を有するリード部と、
該リード部の前記内部端子部の先端に形成された凹部と、
該凹部の内面に形成され、一部が前記先端の前記凹部の断面よりも水平方向に突出して裏面が露出しためっき層と、を有する。
該リードフレームの前記半導体素子実装領域に搭載された半導体素子と、
該半導体素子の電極と前記内部端子部とを接続するバンプと、
該半導体素子、該接続手段及び前記リード部の上面及び側面を封止する樹脂と、を有する。
該凹部の表面上にめっき層を形成する工程と、
該めっき層の裏面の一部が露出するように前記金属板の所定領域を貫通除去し、前記めっき層の露出部分が先端に配置されるようにリード部を形成する工程と、を有する。
該バンプを介して半導体素子を前記リード部の表面上にフリップチップ実装する工程と、
該半導体素子、該バンプ及び前記リード部の上面及び側面を樹脂で封止する工程と、を有する。
図1は、本発明の実施形態に係るリードフレームの一例を示す図である。図1(a)は本発明の実施形態に係るリードフレームの一例を示す断面図である。図1(b)は本発明の実施形態に係るリードフレームの一例を示す平面図である。
[リードフレームの製造方法]
次に、図5及び図6を参照して本発明の実施形態に係る半導体素子実装用のリードフレームの製造方法について説明する。図5は、本発明の実施形態に係る半導体素子実装用のリードフレームの製造方法の一例の前半の一連の工程を示した図である。
次に、図7を用いて、上述の製造方法によって作製されたリードフレーム50を用いて半導体装置100を製造する製造方法の一例について説明する。図7は、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の一例の一連の工程を示した図である。なお、図7では、半導体素子60とリード部20の接続方法がフリップチップ方式である例について説明する。
金属板として板厚0.2mmのCu板(古河電気工業株式会社製:EFTEC64−T)を幅140mmの長尺板状に加工し、次に厚み0.05mmの感光性ドライフィルムレジスト(旭化成イーマテリアルズ社製AQ−5038)をラミネートロールで、金属板の両面に貼り付けた。
実施例2は、実施例1において、内部端子接続部の深さを0.02mmとした設定で行った。その他は実施例1同様である。
比較例1は、実施例1において、凹部をエッチングする工程を削除し、次のめっき工程においては、Niめっきを2μm、Pdめっきを0.01μm、Auめっきを約0.003μmの順番にめっきを施した。その他は、実施例と同様である。
各実施例のリードフレームにおいて、実体顕微鏡にて内部端子接続部のめっき層を確認した所、実施例1及び2については、めっき層がリード部の先端の断面より突出し、バンプ形成領域の形状を確保していた。これに対し、比較例では、一部のリード部において、めっき層の下側に金属板がない部分はめっき層が欠損しているリードが発見された。
11 半導体素子実装領域
20 リード部
21 内部端子部
22 外部端子部
23 断面
24 先端領域
30 凹部
40 めっき層
50 リードフレーム
60 半導体素子
61 電極
70 バンプ
80 樹脂
100 半導体装置
Claims (11)
- 表面側に半導体素子を実装可能な半導体素子実装領域を有する半導体素子実装用のリードフレームであって、
外側から前記半導体素子実装領域に向かって延び、表面側の所定の先端領域に半導体素子をフリップチップ接続可能な内部端子部を有するリード部と、
該リード部の前記内部端子部の先端に形成された凹部と、
該凹部の内面に形成され、一部が前記リード部の前記先端の前記凹部の断面よりも水平方向に突出して裏面が露出しためっき層と、を有するリードフレーム。 - 前記めっき層の前記リード部の前記先端の断面より突出する量は、前記凹部の平面形状の大きさの1/3以内である請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記めっき層の厚さは5μm以上20μm以内である請求項1又は2に記載されたリードフレーム。
- 表面側に半導体素子を実装可能な半導体素子実装領域を有する半導体素子実装用のリードフレームであって、
外側から前記半導体素子実装領域に向かって延び、表面側の所定の先端領域に半導体素子をフリップチップ接続可能な内部端子部を有するリード部と、
該リード部の前記内部端子部の前記所定の先端領域内の端部に形成された凹部と、
該凹部の内面に形成され、一部が前記リード部の前記端部の断面よりも水平方向に突出して露出しためっき層と、を有し、
前記めっき層は、凹部の接触面よりNiめっき層で形成されためっき層であるリードフレーム。 - 前記凹部の平面形状は、前記先端により一部が切り欠かれた形状を有し、
前記凹部の切り欠き部分から前記めっき層の一部が突出している請求項1乃至3のいずれか一項に記載のリードフレーム。 - 前記先端は、前記リード部の延在方向における先端である請求項1乃至3又は5のいずれか一項に記載のリードフレーム。
- 前記リード部の裏面側には、外部機器と接続可能な外部端子部が設けられている請求項1乃至3、5又は6のいずれか一項に記載のリードフレーム。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載のリードフレームと、
該リードフレームの前記半導体素子実装領域に搭載された半導体素子と、
該半導体素子の電極と前記内部端子部とを接続するバンプと、
該半導体素子、該バンプ及び前記リード部の上面及び側面を封止する樹脂と、を有する半導体装置。 - 金属板の表面に凹部を形成する工程と、
該凹部の表面上にめっき層を形成する工程と、
該めっき層の裏面の一部が露出するように前記金属板の所定領域を貫通除去し、前記めっき層の露出部分が先端に配置されるようにリード部を形成する工程と、を有するリードフレームの製造方法。 - 前記リード部を形成する工程は、前記金属板を両面からエッチングすることにより行われる請求項9に記載のリードフレームの製造方法。
- 請求項9又は10に記載のリードフレームの製造方法により製造されたリードフレームの前記めっき層上にバンプを形成する工程と、
該バンプを介して半導体素子を前記リード部の表面上にフリップチップ実装する工程と、
該半導体素子、該バンプ及び前記リード部の上面及び側面を樹脂で封止する工程と、を有する半導体装置の製造方法。
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