JP6606018B2 - 成分濃度測定装置および方法 - Google Patents
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そこで、電磁波を照射し局所的に加熱して熱膨張を起こして発生する音波を観測する、光音響法が注目されている。
また、本発明の成分濃度測定装置の1構成例において、前記光照射手段は、異なる波長の複数の光をそれぞれ平行光にして前記被測定物の略同一領域に同軸で照射し、異なる波長の複数の光のビーム径は略等しいことを特徴とするものである。
また、本発明の成分濃度測定装置の1構成例は、さらに、前記被測定物を収容し、前記光音響信号を増幅するための共振器を備えることを特徴とするものである。
また、本発明の成分濃度測定装置の1構成例において、前記共振器は、前記光照射手段から照射される光の光軸に対して略直交する面を2つ持ち、これらの面は互いに平行平面となっていることを特徴とするものである。
本発明では、コリメートされた光を用いることで音波の干渉の影響を低減する。被測定物の形状が自由に変更できる場合は、音波の波長の半分に対して径の方が細い円筒形状の被測定物を用いることで、コリメート光と同等の効果を得ることができる。コリメートされた光は、強度分布として以下の式(1)のように表すことができる。
光吸収係数αは式(3)のように記述することができる。
被測定物内の特定の成分がΔCだけ濃度変化したとすると、以下の式(8)が成立する。
第1の波長の光を被測定物に照射し、光の変調周波数を任意の範囲で掃引することで図2に示すような変調周波数と音圧との関係を取得する。この図2のピークから被測定物内での音波の共振周波数を選択することができる。
参考例の方法と同様に、第1の波長の光を被測定物に照射し、光の変調周波数を任意の範囲で掃引することで図2に示すような変調周波数と音圧との関係を取得する。この図2のピークから被測定物内での音波の共振周波数を選択することができる。
以下、本発明の参考例について図面を参照して説明する。図3は本発明の参考例に係る成分濃度測定装置の構成を示すブロック図である。本参考例の成分濃度測定装置は、レーザ光を放射するレーザダイオード1−1,1−2,1−3と、レーザダイオード1−1,1−2,1−3を駆動するレーザドライバ2と、レーザダイオード1−1,1−2,1−3から放射されたレーザ光を導く光ファイバ3−1,3−2,3−3と、レーザダイオード1−1,1−2,1−3から放射されたレーザ光を合波する光カプラ4と、光カプラ4によって合波されたレーザ光を導く光ファイバ5と、光音響効果によって被測定物11から発生する光音響信号を検出し、音圧に比例した電気信号に変換する光音響信号検出手段となる音響センサ6と、音響センサ6から出力された電気信号を増幅する増幅器7と、参照信号を発生するファンクションジェネレータ8と、増幅器7の出力信号とファンクションジェネレータ8から出力された参照信号とを入力として、増幅器7の出力信号から所望の周波数の測定信号を検出するロックインアンプ9と、レーザドライバ2とファンクションジェネレータ8とロックインアンプ9とを制御すると共に、ロックインアンプ9が検出した測定信号を処理して特定の成分濃度を導出するコンピュータからなる情報処理装置10とから構成される。
なお、被測定物11は例えば円筒形の光音響セル(不図示)内に導入され、光音響セルに設けられたガラス製の光学窓を通してレーザ光が照射されるようになっている。
次に、本発明の実施の形態について説明する。図10は本発明の実施の形態に係る成分濃度測定装置の構成を示すブロック図であり、図3と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の成分濃度測定装置は、レーザダイオード1−1,1−2と、レーザドライバ2と、光ファイバ3−1,3−2と、光カプラ4と、光ファイバ5と、音響センサ6と、増幅器7と、ファンクションジェネレータ8と、ロックインアンプ9と、情報処理装置10aと、被測定物11の温度を変化させる温度制御器12とから構成される。
こうして、本実施の形態では、上記の参考例と同様の効果を得ることができる。
Claims (6)
- 互いに異なる波長の複数の光を同一の周波数で且つ異なる位相の信号によりそれぞれ強度変調して被測定物に照射する光照射手段と、
前記複数の強度変調光のうち少なくとも1つの光の強度を変化させる光強度制御手段と、
前記被測定物の温度を制御する温度制御手段と、
光照射によって前記被測定物から発生する光音響信号を検出して電気信号を出力する光音響信号検出手段と、
前記光強度制御手段が変化させた光の強度を測定する光強度測定手段と、
前記被測定物の温度が異なる2つの時点について、それぞれ前記電気信号の強度が最低となったときの前記光強度測定手段の測定結果から得られる光強度の変化量と、既知のデータセットから得られる光強度の変化量に基づいて、前記光音響信号の共振モードである音響モードを推定する音響モード推定手段と、
この音響モード推定手段が推定した音響モードと、前記被測定物に含まれる測定対象の成分に対する濃度測定感度と音響モードとの既知の関係に基づいて、前記測定対象の成分に対する濃度測定感度の補正係数を決定する補正係数決定手段と、
前記光強度測定手段の測定結果から得られる光強度の変化量と前記補正係数に基づいて前記測定対象の成分の濃度を導出する濃度導出手段とを備え、
前記光照射手段は、異なる2つの波長の光を前記被測定物に同時に照射し、
前記音響モード推定手段は、第1の波長の光の強度を一定にして第2の波長の光の強度を変化させて前記電気信号の強度が最低となったときの前記第2の波長の光の強度の測定結果と、前記温度制御手段により前記被測定物の温度を変化させた後に前記第1の波長の光の強度を一定にして前記第2の波長の光の強度を変化させて前記電気信号の強度が最低となったときの前記第2の波長の光の強度の測定結果とから得られる光強度の変化量と、既知のデータセットから得られる光強度の変化量に基づいて、前記音響モードを推定することを特徴とする成分濃度測定装置。 - 請求項1記載の成分濃度測定装置において、
前記被測定物に照射される複数の光は、これら複数の光の波長に対する、前記被測定物に含まれる測定対象の成分以外の成分の光吸収係数が略等しいことを特徴とする成分濃度測定装置。 - 請求項1または2記載の成分濃度測定装置において、
前記光照射手段は、異なる波長の複数の光をそれぞれ平行光にして前記被測定物の略同一領域に同軸で照射し、
異なる波長の複数の光のビーム径は略等しいことを特徴とする成分濃度測定装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の成分濃度測定装置において、
さらに、前記被測定物を収容し、前記光音響信号を増幅するための共振器を備えることを特徴とする成分濃度測定装置。 - 請求項4記載の成分濃度測定装置において、
前記共振器は、前記光照射手段から照射される光の光軸に対して略直交する面を2つ持ち、これらの面は互いに平行平面となっていることを特徴とする成分濃度測定装置。 - 互いに異なる波長の複数の光を同一の周波数で且つ異なる位相の信号によりそれぞれ強度変調して被測定物に照射する光照射ステップと、
前記複数の強度変調光のうち少なくとも1つの光の強度を変化させる光強度制御ステップと、
光照射によって前記被測定物から発生する光音響信号を検出して電気信号を出力する光音響信号検出ステップと、
前記光強度制御ステップで変化させた光の強度を測定する光強度測定ステップと、
前記被測定物の温度が異なる2つの時点について、それぞれ前記電気信号の強度が最低となったときの前記光強度測定ステップの測定結果から得られる光強度の変化量と、既知のデータセットから得られる光強度の変化量に基づいて、前記光音響信号の共振モードである音響モードを推定する音響モード推定ステップと、
この音響モード推定ステップで推定した音響モードと、前記被測定物に含まれる測定対象の成分に対する濃度測定感度と音響モードとの既知の関係に基づいて、前記測定対象の成分に対する濃度測定感度の補正係数を決定する補正係数決定ステップと、
前記光強度測定ステップの測定結果から得られる光強度の変化量と前記補正係数に基づいて前記測定対象の成分の濃度を導出する濃度導出ステップとを含み、
前記光照射ステップは、異なる2つの波長の光を前記被測定物に同時に照射するステップを含み、
前記音響モード推定ステップは、第1の波長の光の強度を一定にして第2の波長の光の強度を変化させて前記電気信号の強度が最低となったときの前記第2の波長の光の強度の測定結果と、温度制御手段により前記被測定物の温度を変化させた後に前記第1の波長の光の強度を一定にして前記第2の波長の光の強度を変化させて前記電気信号の強度が最低となったときの前記第2の波長の光の強度の測定結果とから得られる光強度の変化量と、既知のデータセットから得られる光強度の変化量に基づいて、前記音響モードを推定するステップを含むことを特徴とする成分濃度測定方法。
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