JP6605759B2 - 堆積源を搬送するための装置及び方法 - Google Patents
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Description
図6の概略図では、第1の平面510が図表面に垂直であり、基板130が図表面に平行に配置されている。
Claims (20)
- 堆積源(120)を非接触方式で搬送するための装置(100)であって、
堆積源アセンブリ(110)を備え、前記堆積源アセンブリが、
前記堆積源、及び
第1のアクティブ磁気ユニット(150)を備え、
前記装置が、更に、
源搬送方向に延在する磁気特性を有するガイド構造体(170)であって、前記ガイド構造体に沿って前記堆積源アセンブリが移動可能である、磁気特性を有するガイド構造体を備え、
前記第1のアクティブ磁気ユニットと前記ガイド構造体が、前記堆積源アセンブリを浮揚させるための第1の磁気浮揚力(F1)を提供するように構成されており、
前記装置が、更に、
前記第1のアクティブ磁気ユニットを制御して、前記堆積源を基板に対して垂直方向(Y)に位置合わせするように構成された、コントローラ(580)を備える、装置。 - 前記堆積源が、蒸発源又はスパッタ源である、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のアクティブ磁気ユニットが、電磁デバイス、ソレノイド、コイル、超電導磁石、及びそれらの任意の組み合せから成る群から選択された要素である、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記ガイド構造体が、磁性材料から作られている、請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記ガイド構造体が、強磁性材料から作られている、請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記ガイド構造体に沿って前記源搬送方向に前記堆積源アセンブリを非接触方式で搬送するように構成された磁気駆動システムを更に備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記磁気駆動システムが、前記ガイド構造体にパッシブ磁気ユニットを備え、前記堆積源アセンブリ内に又は前記堆積源アセンブリにアクティブ磁気ユニットを備える、請求項6に記載の装置。
- 前記堆積源アセンブリの速度を制御するために前記駆動システムに接続されたコントローラを更に備える、請求項7に記載の装置。
- 前記パッシブ磁気ユニットが、変動する極方向を有する複数の永久磁石を備える、請求項7又は8に記載の装置。
- 堆積源(120)を非接触方式で浮揚させるための装置であって、
第1の回転軸(520)を有する堆積源アセンブリ(110)を備え、前記堆積源アセンブリが、
堆積源、
前記堆積源アセンブリの第1の側に配置された第1のアクティブ磁気ユニット(150)、及び
前記堆積源アセンブリの第2の側に配置された第2のアクティブ磁気ユニット(554)を備え、
前記装置が、更に、
パッシブ磁気ユニットを含むガイド構造体(170)、並びに
前記第1のアクティブ磁気ユニットと前記第2のアクティブ磁気ユニットを制御するように構成されたコントローラを備え、
前記第1のアクティブ磁気ユニットと前記第2のアクティブ磁気ユニットが、前記堆積源アセンブリを磁気的に浮揚させるように、且つ、前記堆積源の位置合わせのために前記第1の回転軸の周りで前記堆積源を回転させるように構成されている、装置。 - 前記堆積源アセンブリが、前記堆積源アセンブリを磁気的に浮揚させるように構成された第3のアクティブ磁気ユニット(930)及び第4のアクティブ磁気ユニット(940)を更に備え、
前記第3のアクティブ磁気ユニットが、前記堆積源アセンブリの第1の側に配置され、
前記第4のアクティブ磁気ユニットが、前記堆積源アセンブリの第2の側に配置され、
前記第1のアクティブ磁気ユニット、前記第2のアクティブ磁気ユニット、前記第3のアクティブ磁気ユニット、及び前記第4のアクティブ磁気ユニットが、前記堆積源の位置合わせのために、前記堆積源アセンブリの前記第1の回転軸と第2の回転軸(912)の周りで前記堆積源アセンブリを回転させるように構成されている、請求項10に記載の装置。 - 前記第1の回転軸が、前記装置の基板受け入れエリア(210)に平行であり、前記第2の回転軸が、前記基板受け入れエリアに垂直である、請求項11に記載の装置。
- 前記装置が、更に、
第1の横断力(T1)を提供するように構成された第1のパッシブ磁気ユニット(760)、
第1の反横断力(O1)を提供するように構成された更なるアクティブ磁気ユニット(750)であって、前記第1の反横断力が前記第1の横断力に反作用する調整可能な力である、更なるアクティブ磁気ユニット、及び
前記更なるアクティブ磁気ユニットを制御して、前記堆積源の横断方向の位置合わせを提供するように構成された、コントローラ(580)を備える、請求項10から12のいずれか一項に記載の装置。 - 堆積源(120)を非接触方式で位置合わせするための方法であって、
アクティブ磁気ユニットを用いて調整可能な磁場を生成して、前記堆積源を浮揚させること、及び
コントローラを用いて前記調整可能な磁場を制御して、前記堆積源を基板に対して位置合わせすることを含む、方法。 - 堆積源(120)を非接触方式で位置合わせするための方法であって、
第1のアクティブ磁気ユニット(150)を用いて第1の磁気浮揚力(F1)と第2のアクティブ磁気ユニット(554)を用いて第2の磁気浮揚力(F2)とを提供して、前記堆積源を浮揚させることであって、前記第1の磁気浮揚力が前記第2の磁気浮揚力から間隔を空けられている、前記堆積源を浮揚させること、及び
コントローラを用いて前記第1の磁気浮揚力と前記第2の磁気浮揚力のうちの少なくとも一方を制御して、前記堆積源を基板に対して位置合わせすることを含む、方法。 - 第3の磁気浮揚力と第4の磁気浮揚力を提供して、前記堆積源を浮揚させることであって、前記第3の磁気浮揚力が前記第4の磁気浮揚力から間隔を空けられており、前記第1の磁気浮揚力、前記第2の磁気浮揚力、前記第3の磁気浮揚力、及び前記第4の磁気浮揚力が、第1の回転軸(520)に関してと、第2の回転軸(912)に関して、前記堆積源を回転させるように構成されている、前記堆積源を浮揚させること、並びに
前記第1の磁気浮揚力、前記第2の磁気浮揚力、前記第3の磁気浮揚力、及び前記第4の磁気浮揚力のうちの少なくとも1つを制御して、前記堆積源を位置合わせすることを更に含む、請求項15に記載の方法。 - 前記堆積源に作用する第1の横断力(T1)であって、第1のパッシブ磁気ユニット(760)を使用して提供される、第1の横断力を提供すること、
前記堆積源に作用する第1の反横断力(O1)であって、前記第1の横断力に反作用する調整可能な磁力である、第1の反横断力を提供すること、及び
前記第1の反横断力を制御して、前記堆積源の横断方向の位置合わせを提供することを更に含む、請求項14から16のいずれか一項に記載の方法。 - 前記堆積源の前記位置合わせが、前記堆積源が第1の位置にあるときに実行され、前記方法が、更に、
前記第1の位置から第2の位置へ前記堆積源を搬送すること、及び
前記堆積源が前記第2の位置にあるときに、前記堆積源を非接触方式で位置合わせすることを含む、請求項14から17のいずれか一項に記載の方法。 - 前記堆積源の前記位置合わせが、前記堆積源が第1の基板を通り過ぎる間に第1の基板に対して実行される、請求項14から18のいずれか一項に記載の方法。
- 前記堆積源の前記位置合わせが、前記堆積源が第1の位置にある第1の基板を通り過ぎる間に第1の基板に対して実行され、前記堆積源が前記第1の位置とは異なる第2の位置にある第2の基板を通り過ぎる間に第2の基板に対して実行される、請求項14から19のいずれか一項に記載の方法。
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