JP6603467B2 - 多層配線基板の製造方法、及び多層配線基板 - Google Patents
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Description
第1の金属箔上に少なくともSn,Bi,Cu及びAgを含む導電性ペーストを塗布し、当該導電性ペーストからなるバンプを形成する工程と、
前記第1の金属箔に対して、繊維状フィラーを含まない未硬化の絶縁樹脂層を押圧し、前記バンプが前記絶縁樹脂層を貫通するようにして当該絶縁樹脂層を前記第1の金属箔上に積層する工程と、
前記第1の金属箔に対して、前記第2の金属箔を、前記絶縁樹脂層を介して、加熱下で押圧し、前記絶縁樹脂層を硬化させるとともに、前記バンプを焼結硬化させ、前記絶縁樹脂層上に前記第2の金属箔を積層する工程と、
を具えることを特徴とする、多層配線基板の製造方法に関する。
少なくとも相対向する一対の配線層と、
前記一対の配線層間に介在する繊維状フィラーを含まない絶縁部材と、
前記絶縁部材を貫通し、前記一対の配線層間を電気的に接続する、少なくともSn,Bi,Cu及びAgを含む層間接続体と、
を具えることを特徴とする、多層配線基板を得ることができる。
12 バンプ
12A バンプの上端部
13 絶縁樹脂層
14 第2の金属箔
Claims (5)
- バインダー成分、30質量%以上のSn,10質量%以上のBi,10質量%以上のCu及び15〜30質量%のAgを含む導電性ペーストを第1の金属箔上に塗布し、当該導電性ペーストからなるバンプを形成する工程と、
前記第1の金属箔に対して、繊維状フィラーを含まない未硬化の絶縁樹脂層を押圧し、前記バンプが前記絶縁樹脂層を貫通するようにして当該絶縁樹脂層を前記第1の金属箔上に積層する工程と、
前記第1の金属箔に対して、第2の金属箔を、前記絶縁樹脂層を介して、加熱下で押圧し、前記絶縁樹脂層を硬化させるとともに、前記バンプを焼結硬化させ、前記絶縁樹脂層上に前記第2の金属箔を積層する工程と、
を具えることを特徴とする、多層配線基板の製造方法。 - 前記押圧時における前記絶縁樹脂層の溶融粘度が1x101Pa・s以上1x105Pa・s以下であることを特徴とする、請求項1に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記バンプは円錐形状を呈することを特徴とする、請求項1又は2に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記導電性ペーストが、30〜50質量%のSn、および10〜20質量%のBiを含む、
ことを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の多層配線基板の製造方法。 - 少なくとも相対向する一対の配線層と、
前記一対の配線層間に介在する、繊維状フィラーを含まない絶縁部材と、
前記絶縁部材を貫通し、前記一対の配線層間を電気的に接続する、少なくとも30質量%以上のSn,10質量%以上のBi,10質量%以上のCu及び15〜30質量%のAgを含む層間接続体と、
を具えることを特徴とする、多層配線基板。
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