しかしながら、特許文献1に記載のものでは、第1アームの回転に伴って、可撓性を有するフレキシブルチューブが振られて撓むこととなる。このため、アームの動作がフレキシブルチューブの振動による影響を受け、アームを目標位置で停止させるまでの時間が長くなるおそれがある。
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、アームを目標位置で停止させるまでの時間を短縮することのできる水平多関節型ロボットを提供することにある。
本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を採用した。
第1の手段は、筐体を有する基台と、第1カバーを有し、第1軸線を中心として前記基台に水平回転自在に連結された第1アームと、第2カバーを有し、第2軸線を中心として前記第1アームに水平回転自在に連結された第2アームと、前記筐体の内部から前記第2カバーの内部へ導かれるケーブルと、を備える水平多関節型ロボットであって、前記筐体には、前記第1軸線上に導出開口が形成されており、前記第2カバーには、前記第2軸線上に導入開口が形成されており、中空状で不撓性に形成され、第1端部が前記導出開口に対向し且つ前記第1軸線を中心として前記基台に対して水平回転自在に連結され、第2端部が前記導入開口に対向し且つ前記第2軸線を中心として前記第2アームに対して水平回転自在に連結されたケーブルガイドを備え、前記ケーブルは、前記筐体の内部から前記導出開口を通じて前記ケーブルガイドの内部へ導かれ、前記導入開口を通じて前記第2カバーの内部へ導かれていることを特徴とする。
上記構成によれば、第1アームは第1軸線を中心として基台に水平回転自在に連結され、ケーブルガイドの第1端部は第1軸線を中心として基台に対して水平回転自在に連結されている。このため、第1アーム及びケーブルガイドは、共に第1軸線を中心として回転させられる。したがって、ケーブルガイドが不撓性に形成されていても、ケーブルガイドが第1アームの回転を妨げることはない。なお、不撓性とは、可撓性や柔軟性ではないという意味であり、完全な剛体である必要はない。
また、第2アームは第2軸線を中心として第1アームに水平回転自在に連結され、ケーブルガイドの第2端部は第2軸線を中心として第2アームに対して水平回転自在に連結されている。このため、第2アームは、第2軸線を中心として、第1アーム及びケーブルガイドに対して回転させられる。したがって、ケーブルガイドが不撓性に形成されていても、ケーブルガイドが第2アームの回転を妨げることはない。
ケーブルガイドは中空状に形成され、第1端部が導出開口に対向しており、第2端部が導入開口に対向している。そして、ケーブルは、筐体の内部から導出開口を通じてケーブルガイドの内部へ導かれ、導入開口を通じて第2カバーの内部へ導かれている。ここで、第1アームの回転に伴ってケーブルガイドが回転させられても、ケーブルガイドは不撓性に形成されているため、振られることが抑制される。さらに、ケーブルガイドの内部のケーブルが振られることは、不撓性のケーブルガイドによって抑制される。したがって、アームの動作が、ケーブルを収納する部材の振動による影響を受けることを抑制することができ、アームを目標位置で停止させるまでの時間を短縮することができる。なお、第1カバーを通じて第2カバーの内部へケーブルを通す構成と比較して、アームの内部の構成を簡潔にすることができるとともに、メンテナンス性を向上させることができる。
第2の手段では、前記第1アームは、前記第1軸線の方向の両側から前記基台に対して水平回転自在に接続されており、前記筐体は、前記第1軸線の方向の両側から、前記第1アームにおける前記水平回転自在に接続された部分を覆っており、前記ケーブルガイドの前記第1端部は、前記第1軸線を中心として前記基台に水平回転自在に連結されており、前記ケーブルガイドの前記第2端部は、前記第2軸線を中心として前記第2アームに水平回転自在に連結されている。
上記構成によれば、第1アームは、第1軸線の方向の両側から基台に対して水平回転自在に接続されている。このため、第1アームが第1軸線の方向の片側から基台に対して接続されている構成と比較して、第1アームを支持する部分の剛性を高くすることができる。その結果、第1アームの回転動作のぶれを抑制することができ、アームの位置精度を向上させることができる。
また、ケーブルガイドの第1端部は、第1軸線を中心として基台に水平回転自在に連結されており、ケーブルガイドの第2端部は、第2軸線を中心として第2アームに水平回転自在に連結されている。このため、筐体の内部からケーブルガイドを通じて第2カバーの内部へと、ケーブルをなだらかに(円滑に)導き易くなる。
第3の手段では、第3軸線に沿って前記第2アームに垂直往復動自在に連結された第3軸を備え、垂直方向において、前記ケーブルガイドが存在する範囲は、前記第3軸が垂直往復動する範囲に含まれている。
上記構成によれば、垂直方向において、ケーブルガイドが存在する範囲は、第3軸が垂直往復動する範囲に含まれている。このため、ケーブルガイド及びケーブルがワークエリア内に入ることを抑制することができる。さらに、基台が上側になるように水平多関節型ロボットが設置された場合も、同様の作用効果を奏することができる。
第4の手段では、前記ケーブルガイドは、前記第2端部から水平方向に延びる水平部を有している。
上記構成によれば、ケーブルガイドは、第2端部から水平方向に延びる水平部を有している。このため、第2端部から垂直方向に延びてU字状に屈曲される構成と比較して、ケーブルガイドの垂直方向における範囲を狭くすることができる。なお、一般にフレキシブルチューブは、垂れ下がり防止のためにU字状に屈曲されている。これに対して、上記ケーブルガイドは、不撓性で垂れ下がるおそれがないため、U字状に形成する必要がなく、垂直方向における存在範囲を狭くすることができる。
第5の手段では、前記導入開口を通じて前記第2カバーの内部へ導かれた前記ケーブルは、前記第2軸線から離れた位置で前記第2アームに固定されている。
上記構成によれば、導入開口を通じて第2カバーの内部へ導かれたケーブルは、第2軸線から離れた位置で第2アームに固定されている。このため、導入開口を通じて第2カバーの内部へ導かれたケーブルが第2軸線上で第2アームに固定された構成と比較して、第2アームの回転に伴うケーブルのねじれを、ケーブルのより長い部分で緩和することができる。したがって、ケーブルの耐久性を向上させることができる。
第6の手段では、前記第3軸を垂直往復動駆動する第3モータを備え、前記導入開口を通じて前記第2カバーの内部へ導かれた前記ケーブルの一部は、前記第3モータに対して前記第3軸と反対側の位置で前記第2アームに固定されて前記第3モータに接続されている。
上記構成によれば、導入開口を通じて第2カバーの内部へ導かれたケーブルの一部は、第3モータに対して第3軸と反対側の位置で第2アームに固定されて第3モータに接続されている。このため、第2カバーの内部において、第3モータに対して第3軸と反対側の空間を、ケーブルを配線するための空間として利用することができる。なお、一般に第2カバーの内部において第3モータに対して第3軸と反対側の空間は、第3モータの取り付け位置を調整するために用いられる。このため、第3モータの取り付け位置を調整するためのデッドスペースを、ケーブルを配線するための空間として利用することができる。
第7の手段では、前記筐体の内部から前記導出開口を通じて前記ケーブルガイドの内部へ導かれる前記ケーブルは、前記筐体の内部において前記第1軸線から離れた位置で前記基台に固定されている。
上記構成によれば、筐体の内部から導出開口を通じてケーブルガイドの内部へ導かれるケーブルは、筐体の内部において第1軸線から離れた位置で基台に固定されている。このため、筐体の内部から導出開口を通じてケーブルガイドの内部へ導かれるケーブルが第1軸線上で基台に固定された構成と比較して、第1アーム及びケーブルガイドの回転に伴うケーブルのねじれを、ケーブルのより長い部分で緩和することができる。したがって、ケーブルの耐久性を向上させることができる。
第8の手段では、前記ケーブルガイドにおいて、前記第1端部が前記基台に対して水平回転自在に連結された部分にはベアリングが設けられ、前記第2端部が前記第2アームに対して水平回転自在に連結された部分にはベアリングが設けられている。
上記構成によれば、ケーブルガイドにおいて、第1端部が基台に対して水平回転自在に連結された部分にはベアリングが設けられ、第2端部が第2アームに対して水平回転自在に連結された部分にはベアリングが設けられている。このため、ケーブルガイドを支持する部分の回転をそれぞれベアリングにより円滑にするとともに、ケーブルガイドを支持する部分の剛性をそれぞれ向上させることができる。
以下、一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態は、機械組立工場などの組立ラインにて用いられる産業用ロボットに具体化している。
図1,2に示すように、水平多関節型ロボット10は、基台80、第1アーム11、第2アーム20、第3軸30、ケーブル70、ケーブルガイド50等を備えている。
基台80は、筐体81、ケーブル挿入部82等を備えている。基台80は、床Fに固定されている。なお、基台80を天井に固定することもできる。筐体81は、本体部81a、垂直部81b、及び水平部81cを備えている。本体部81aは、楕円筒状に形成されている。垂直部81bは、円筒状に形成されており、本体部81aの周縁部の一部から垂直方向に延びている。水平部81cは、半円筒状に形成されており、垂直部81bにおける本体部81aと反対側の端部から水平方向に延びている。筐体81の下部には、ケーブル挿入部82が設けられている。
基台80には、ベアリング14,15を介して、第1アーム11が水平回転自在に連結されている。ベアリング14,15は、ラジアル方向の荷重とスラスト方向の荷重と軸線が傾斜する方向の荷重(モーメント荷重)とを支えることができるものであり、例えば4点接触式のものである。第1アーム11は、軸線C1(第1軸線に相当)を中心として水平回転自在となっている。すなわち、第1アーム11は、軸線C1の方向の両側(下側及び上側)から、基台80に対して水平回転自在に支持(すなわち接続)されている。
第1アーム11の先端部には、ベアリング26を介して、第2アーム20が水平回転自在に連結されている。ベアリング26も、ベアリング14と同様のものである。第2アーム20は、軸線C2(第2軸線に相当)を中心として水平回転自在となっている。第1アーム11は、第1アーム11のフレーム等(図示略)を覆う第1カバー18を有している。
第2アーム20の先端部には、第3軸30が素直往復動自在に連結されている。第3軸30は、軸線C3(第3軸線に相当)に沿って往復動自在となっている。また、第3軸30は、軸線C3を中心として水平回転自在となっている。第2アーム20は、第2アーム20のフレーム等(図示略)を覆う第2カバー28を有している。
基台80には、第1アーム11を水平回転駆動する第1モータ12が固定されている。第1モータ12の出力軸は、減速機13を介して第1アーム11の基端部に固定されている。減速機13は、基台80に固定されている。第1モータ12の出力軸と減速機35とは、軸線C1を中心として同軸に配置されている。
第1アーム11の基端部には、第2アーム20を水平回転駆動する第2モータ21が固定されている。第2モータ21の出力軸は、プーリ22を介してベルト23に連結されている。第2モータ21の出力軸とプーリ22とは、軸線C1を中心として同軸に配置されている。すなわち、第2モータ21は、第1アーム11において軸線C1寄りの部分、詳しくは軸線C1上の部分に固定されている。
ベルト23には、プーリ24が連結されている。プーリ24は、減速機25を介して第2アーム20の基端部に固定されている。減速機25は、第1アーム11に固定されている。プーリ24の回転軸と減速機25とは、軸線C2を中心として同軸に配置されている。
第2アーム20の基端部には、第3軸30を垂直往復動駆動する第3モータ31が固定されている。第3モータ31は、第2アーム20において軸線C2寄りの部分に固定されている。第3モータ31の出力軸は、プーリ(図示略)を介してベルト32に連結されている。ベルト32には、プーリやボールねじナット等(図示略)を介して第3軸30が連結されている。
第2アーム20の基端部には、第3軸30を水平回転駆動する第4モータ41が固定されている。第4モータ41は、第2アーム20において軸線C2寄りの部分に固定されている。第4モータ41の出力軸は、プーリ(図示略)を介してベルト42に連結されている。ベルト42には、プーリ43を介してベルト44が連結されている。ベルト44には、プーリ等(図示略)を介して第3軸30が連結されている。
こうした構成によれば、第1モータ12によって、減速機13を介して第1アーム11が水平回転駆される。第1アーム11は、ベアリング14,15により支持されて水平回転させられる。第2モータ21によって、減速機25を介して第2アーム20が水平回転駆される。第2アーム20は、ベアリング26により支持されて水平回転させられる。第3モータ31によって、第3軸30が垂直往復動駆動される。第4モータ41によって、第3軸30が水平回転駆動される。
筐体81の外部からケーブル挿入部82を介して、筐体81の内部へケーブル70が挿入されている。ケーブル70は、第1モータ12、第2モータ21、第3モータ31、及び第4モータ41へ電力を供給する電力供給線や、各モータの回転位置を検出する検出器の出力信号を送信する信号線等を含んでいる。
筐体81の本体部81aは、軸線C1の方向の第1モータ12側から、第1アーム11におけるベアリング14により支持された部分を覆っている。筐体81の水平部81cは、軸線C1の方向の第1モータ12と反対側から、第1アーム11におけるベアリング15により支持された部分を覆っている。すなわち、筐体81は、軸線C1の方向の両側から、第1アーム11における水平回転自在に支持(接続)された部分を覆っている。
筐体81の内部において、ケーブル70は、ケーブル71とケーブル72とに分かれており、ケーブル71が第1モータ12に接続されている。ケーブル72は、筐体81の内部において軸線C1から離れた位置で、固定部材72aにより基台80に固定されている。ケーブル72は、ケーブル73とケーブル74とに分かれている。ケーブル73は、筐体81の水平部81cの内部から開口17を通じて第1アーム11の第1カバー18の内部へ、第1モータ12と反対側から挿入されている。そして、ケーブル73は第2モータ21に接続されている。すなわち、第1アーム11に対して基台80の第1モータ12側には、第1アーム11の第1カバー18の内部へケーブル73を挿入するための開口(空間)は形成されていない。
筐体81の水平部81cの内部から第1アーム11の第1カバー18の内部へ、第1モータ12と反対側からケーブル73が挿入されている部分は、シール部材16によりシールされている。すなわち、筐体81の水平部81cと第1アーム11の第1カバー18との隙間から油等が漏れ出さないように、シール部材16によりシールされている。
筐体81の水平部81cには、軸線C1上に導出開口83が形成されている。第2アーム20の第2カバー28には、軸線C2上に導入開口29が形成されている。ケーブル74は、筐体81の内部から導出開口83を通じてケーブルガイド50の内部へ導かれ、導入開口29を通じて第2カバー28の内部へ導かれている。
ケーブルガイド50は、中空状で不撓性に形成されている。不撓性とは、可撓性や柔軟性ではないという意味であり、完全な剛体である必要はない。例えば、ケーブルガイド50は、硬性の樹脂や金属により形成することができる。ケーブルガイド50は、第1端部51、傾斜部54、水平部53、及び第2端部52を有している。
第1端部51は、導出開口83に対向している。第1端部51は、ベアリング56を介して、軸線C1を中心として基台80に水平回転自在に連結されている。ベアリング56も、ベアリング14と同様のものである。傾斜部54は、第1端部51から傾斜方向へ延びている。水平部53は、傾斜部54から水平方向へ延びて第2端部52へ繋がっている。すなわち、水平部53は、第2端部52から水平方向に延びている。第2端部52は、導入開口29に対向している。第2端部52は、ベアリング57を介して、軸線C2を中心として第2アーム20に水平回転自在に連結されている。ベアリング57も、ベアリング14と同様のものである。
一般にフレキシブルチューブは、垂れ下がり防止のためにU字状に屈曲(屈曲部が上側に)されている。これに対して、ケーブルガイド50は、U字状に形成されておらず、第2端部52から延びる水平部53を有している。そして、垂直方向において、ケーブルガイド50が存在する範囲は、第3軸30が垂直往復動する範囲に含まれている。すなわち、ケーブルガイド50の上端は、上限まで移動した第3軸30の上端よりも低くなっている。ケーブルガイド50の下端は、下限まで移動した第3軸30の下端よりも高くなっている。さらに、ケーブルガイド50の上端は、下限まで移動した第3軸30の上端よりも低くなっている。ケーブルガイド50の下端は、上限まで移動した第3軸30の下端よりも高くなっている。
ケーブル74は、軸線C2から離れた位置で、固定部材74aにより第2アーム20に固定されている。すなわち、ケーブル74は、軸線C2上では第2アーム20に固定されていない。詳しくは、ケーブル74は、第3モータ31に対して第3軸30と反対側の位置で第2アーム20に固定されている。第2カバー28の内部において第3モータ31に対して第3軸30と反対側の空間は、第3モータ31の取り付け位置を調整するために用いられる。ケーブル74は、ケーブル75とケーブル76とに分かれている。そして、ケーブル75は第3モータ31に接続され、ケーブル76は第4モータ41に接続されている。
次に、図2を参照して、水平多関節型ロボット10の動作について説明する。
矢印A1で示すように、第1アーム11及びケーブルガイド50は、共に軸線C1を中心として回転させられる。矢印A2で示すように、第2アーム20は、軸線C2を中心として、第1アーム11及びケーブルガイド50に対して回転させられる。したがって、不撓性に形成されたケーブルガイド50が、第1アーム11及び第2アーム20の回転を妨げることはない。
矢印A1で示すようにケーブルガイド50が回転させられても、ケーブルガイド50は不撓性に形成されているため、振られることが抑制される。さらに、ケーブルガイド50の内部のケーブル74が振られることは、不撓性のケーブルガイド50によって抑制される。図1に示すように、ケーブルガイド50が軸線C1を中心として回転させられると、ケーブル74にねじれが生じる。ここで、ケーブル74は、筐体81の内部において軸線C1から離れた位置で基台80に固定されている。このため、第1アーム11及びケーブルガイド50の回転に伴うケーブル74のねじれを、ケーブル74のより長い部分で緩和することができる。
第2アーム20が軸線C2を中心として回転させられると、ケーブル74にねじれが生じる。ここで、ケーブル74は、軸線C2から離れた位置で第2アーム20に固定されている。このため、第2アーム20の回転に伴うケーブル74のねじれを、ケーブル74のより長い部分で緩和することができる。
以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。
・第2アーム20を水平回転駆動する第2モータ21は、第1アーム11において軸線C1寄りの部分に固定されている。このため、第1アーム11の先端部に連結された第2アーム20に第2モータ21が固定されている構成と比較して、軸線C1を中心として第1アーム11を回転させる際の慣性モーメントを小さくすることができる。したがって、アームを目標位置で停止させるまでの時間を短縮することができる。
・第3軸30を垂直往復動駆動する第3モータ31は、第2アーム20において軸線C2寄りの部分に固定されている。このため、第2アーム20に第2モータ21が固定され且つ第2モータ21よりも第3軸30側に第3モータ31が固定された構成と比較して、軸線C1を中心として第1アーム11を回転させる際の慣性モーメントを小さくすることができる。したがって、アームを目標位置で停止させるまでの時間を更に短縮することができる。
・第1アーム11は、軸線C1の方向の両側から基台80に対して水平回転自在に支持されている。このため、第1アーム11が軸線C1の方向の片側から基台80に対して支持されている構成と比較して、第1アーム11を支持する部分の剛性を高くすることができる。その結果、第1アーム11の回転動作のぶれを抑制することができ、アームの位置精度を向上させることができる。
・基台80の筐体81は、軸線C1の方向の両側から、第1アーム11における水平回転自在に支持された部分を覆っている。そして、筐体81の内部から第1アーム11の内部へ、第1モータ12と反対側からケーブル73が挿入されて第2モータ21に接続されている。このため、第1アーム11に対して基台80の第1モータ側からケーブル73を挿入するための開口を形成する必要がなく、第1モータ側から第1アーム11を支持する部分の剛性を向上させることができる。さらに、第1モータ12と反対側から第1アーム11を支持する部分を利用して、筐体81の内部から第1アーム11の内部へケーブル73を挿入することができる。
・第1アーム11は軸線C1を中心として基台80に水平回転自在に連結され、ケーブルガイド50の第1端部51は軸線C1を中心として基台80に水平回転自在に連結されている。このため、第1アーム11及びケーブルガイド50は、共に軸線C1を中心として回転させられる。したがって、ケーブルガイド50が不撓性に形成されていても、ケーブルガイド50が第1アーム11の回転を妨げることはない。
・第2アーム20は軸線C2を中心として第1アーム11に水平回転自在に連結され、ケーブルガイド50の第2端部52は軸線C2を中心として第2アーム20に水平回転自在に連結されている。このため、第2アーム20は、軸線C2を中心として、第1アーム11及びケーブルガイド50に対して回転させられる。したがって、ケーブルガイド50が不撓性に形成されていても、ケーブルガイド50が第2アーム20の回転を妨げることはない。
・ケーブルガイド50は中空状に形成され、第1端部51が導出開口83に対向しており、第2端部52が導入開口29に対向している。そして、ケーブル73が筐体81の内部から第1アーム11の内部へ挿入され、ケーブル74が筐体81の内部から導出開口83を通じてケーブルガイド50の内部へ導かれ、導入開口29を通じて第2カバー28の内部へ導かれている。ここで、第1アーム11の回転に伴ってケーブルガイド50が回転させられても、ケーブルガイド50は不撓性に形成されているため、振られることが抑制される。さらに、ケーブルガイド50の内部のケーブル74が振られることは、不撓性のケーブルガイド50によって抑制される。したがって、アームの動作が、ケーブル74を収納する部材の振動による影響を受けることを抑制することができ、アームを目標位置で停止させるまでの時間を短縮することができる。
・垂直方向において、ケーブルガイド50が存在する範囲は、第3軸30が垂直往復動する範囲に含まれている。このため、ケーブルガイド50及びケーブル74がワークエリア内に入ることを抑制することができる。さらに、基台80が上側になるように水平多関節型ロボット10が設置された場合も、同様の作用効果を奏することができる。
・ケーブルガイド50は、第2端部52から水平方向に延びる水平部53を有している。このため、第2端部52から垂直方向に延びてU字状に屈曲される構成と比較して、ケーブルガイド50の垂直方向における範囲を狭くすることができる。ケーブルガイド50は、不撓性で垂れ下がるおそれがないため、U字状に形成する必要がなく、垂直方向における存在範囲を狭くすることができる。
・ケーブルガイド50において、第1端部51が基台80に水平回転自在に連結された部分にはベアリング56が設けられ、第2端部52が第2アーム20に水平回転自在に連結された部分にはベアリング57が設けられている。このため、ケーブルガイド50に対する基台80及び第2アーム20の回転をそれぞれベアリング56,57により円滑にするとともに、ケーブルガイド50を支持する部分の剛性をそれぞれ向上させることができる。
・筐体81の内部から第1アーム11の内部へ、第1モータ12と反対側からケーブル73が挿入されている部分は、シール部材16によりシールされている。このため、筐体81の内部から第1アーム11の内部へケーブル73を挿入する部分から、油等が漏れ出ることを抑制することができる。
・第1アーム11の水平回転自在に支持された部分には、それぞれベアリング14,15が設けられている。このため、基台80に対する第1アーム11の回転をベアリング14,15により円滑にするとともに、第1アーム11を支持する部分の剛性を向上させることができる。
・導入開口29を通じて第2カバー28の内部へ導かれたケーブル74は、軸線C2から離れた位置で第2アーム20に固定されている。このため、導入開口29を通じて第2カバー28の内部へ導かれたケーブル74が軸線C2上で第2アーム20に固定された構成と比較して、第2アーム20の回転に伴うケーブル74のねじれを、ケーブル74のより長い部分で緩和することができる。したがって、ケーブル74の耐久性を向上させることができる。
・ケーブル75,76は、第3モータ31,第4モータ41に対して第3軸30と反対側の位置で第2アーム20に固定されて、第3モータ31,第4モータ41にそれぞれ接続されている。このため、第2カバー28の内部において、第3モータ31,第4モータ41に対して第3軸30と反対側の空間を、ケーブル75,76を配線するための空間として利用することができる。さらに、第3モータ31,第4モータ41の取り付け位置を調整するためのデッドスペースを、ケーブル75,76を配線するための空間として利用することができる。
・ケーブル74は、筐体81の内部において軸線C1から離れた位置で基台80に固定されている。このため、ケーブル74が軸線C1上で基台80に固定された構成と比較して、第1アーム11及びケーブルガイド50の回転に伴うケーブル74のねじれを、ケーブル74のより長い部分で緩和することができる。したがって、ケーブル74の耐久性を向上させることができる。
・第3モータ31が第1アーム11に固定されている構成と比較して、第3モータ31から第3軸30へトルクを伝達する構成が簡潔になるため、第3モータ31から第3軸30へ高トルクを伝達することができる。
・第1カバー18を通じて第2カバー28の内部へケーブル74を通す構成と比較して、アームの内部の構成を簡潔にすることができるとともに、メンテナンス性を向上させることができる。
なお、上記実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。上記実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
・ベアリング14,15,26,56,57の少なくとも1つを省略して、支持部分が相対摺動することで回転自在に連結された構成を採用することもできる。
・ケーブル74が軸線C1上で基台80に固定された構成を採用することもできる。
・ケーブル74が、第3モータ31,第4モータ41よりも第3軸側の位置で、第2アーム20に固定された構成を採用することもできる。この場合も、ケーブル74は、軸線C2から離れた位置で第2アーム20に固定されている。このため、ケーブル74が軸線C2上で第2アーム20に固定された構成と比較して、第2アーム20の回転に伴うケーブル74のねじれを、ケーブル74のより長い部分で緩和することができる。なお、ケーブル74が軸線C2上で第2アーム20に固定された構成を採用することもできる。
・ケーブルガイド50が、第2端部52から垂直方向に延びてU字状に屈曲された構成を採用することもできる。また、垂直方向において、ケーブルガイド50が存在する範囲が、第3軸30が垂直往復動する範囲から一部はみ出していてもよい。
・シール部材16を省略することもできる。
・筐体81の内部に露出した第2モータ21に、筐体81内でケーブル73が接続された構成を採用することもできる。この場合は、筐体81の内部から第1アーム11の第1カバー18の内部へケーブル73を挿入するための開口(空間)を形成する必要がないため、ベアリング15により第1アーム11を支持する部分の剛性を向上させることができる。また、基台80に対して第1アーム11を、軸線C1の方向の上側から水平回転自在に支持(すなわち接続)する構成を省略することもできる。
・筐体81が水平部81cを有しておらず、ケーブルガイド50の第1端部51が第1カバー18の開口17(導出開口に相当)に対向し且つ軸線C1を中心として、第1アーム11に(すなわち基台80に対しても)水平回転自在に連結された構成を採用することもできる。この場合、筐体81の本体部81aから第1カバー18の内部へケーブル72を挿入し、第1カバー18の内部から開口17を通じてケーブル74をケーブルガイド50の内部へ導く。こうした構成によっても、アームの動作が、ケーブル74を収納する部材の振動による影響を受けることを抑制することができ、アームを目標位置で停止させるまでの時間を短縮することができる。
・第2アーム20が第1アーム11の下部(ケーブルガイド50と反対側)に水平回転自在に支持されており、ケーブルガイド50の第2端部52が、第1アーム11を介して第2カバー28の導入開口29に対向し且つ軸線C2を中心として、第1アーム11に(すなわち基台80に対しても)水平回転自在に連結された構成を採用することもできる。この場合、ケーブルガイド50の内部から、第1カバー18及び導入開口29を通じてケーブル74を第2カバー28の内部へ導く。こうした構成によっても、アームの動作が、ケーブル74を収納する部材の振動による影響を受けることを抑制することができ、アームを目標位置で停止させるまでの時間を短縮することができる。