JP6599266B2 - 形状計測装置、加工装置及び形状計測装置の校正方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る形状計測装置が搭載された加工装置200の構成を例示する図である。
図2は、加工装置200に搭載されている形状計測装置100の構成を例示する図である。図2に示されるように、形状計測装置100は、制御装置20、センサヘッド30、表示装置40を含む。
次に、形状計測装置100において物体12の表面形状を求める方法について説明する。図4は、表面形状の計測方法について説明するための図である。
図6は、実施形態におけるオフセット量算出処理のフローチャートを例示する図である。
図8は、実施形態における形状計測処理のフローチャートを例示する図である。
13 校正用試料
20 制御装置
21 センサデータ取得部(取得手段)
23 ギャップデータ算出部(ギャップ算出手段)
25 オフセット量算出部(オフセット量算出手段)
27 校正部(校正手段)
29 形状算出部(形状算出手段)
30 センサヘッド(検出器)
31a 第1変位センサ(変位計)
31b 第2変位センサ(変位計)
31c 第3変位センサ(変位計)
100 形状計測装置
200 加工装置
Claims (4)
- 3つの変位計が一列に配設された検出器で計測対象物を走査し、前記計測対象物の表面形状を計測する形状計測装置であって、
前記検出器が校正用試料を走査して得られるデータから前記3つの変位計の取り付け位置のオフセット量を算出するオフセット量算出手段と、
前記検出器が前記計測対象物を走査して得られるデータを前記オフセット量により補正し、前記変位計の位置ずれを校正する校正手段と、
前記3つの変位計からそれぞれの測定値を取得する取得手段と、
前記3つの変位計のうち中央の変位計による測定値と他の変位計による測定値との差異に基づいてギャップデータを求めるギャップ算出手段と、を備え、
前記オフセット量算出手段は、前記検出器が校正用試料を走査して得られる前記ギャップデータの平均値を、前記オフセット量として算出し、
前記校正手段は、前記検出器が前記計測対象物を走査して得られる前記ギャップデータを前記オフセット量により補正し、前記変位計の位置ずれを校正する
ことを特徴とする形状計測装置。 - 前記取得手段は、前記検出器が前記校正用試料を走査する場合、前記3つの変位計からそれぞれの測定値を取得する間隔が、前記校正用試料表面の走査方向における表面粗さの波形に含まれる最大空間周波数の周期の1/2以下である
ことを特徴とする請求項1に記載の形状計測装置。 - 請求項1または2に記載の形状計測装置を備えることを特徴とする加工装置。
- 3つの変位計が一列に配設された検出器で計測対象物を走査し、前記計測対象物の表面形状を計測する形状計測装置の校正方法であって、
前記検出器が校正用試料を走査して得られるデータから前記3つの変位計の取り付け位置のオフセット量を算出するオフセット量算出ステップと、
前記検出器が前記計測対象物を走査して得られるデータを前記オフセット量により補正し、前記変位計の位置ずれを校正する校正ステップと、
前記3つの変位計からそれぞれの測定値を取得する取得ステップと、
前記3つの変位計のうち中央の変位計による測定値と他の変位計による測定値との差異に基づいてギャップデータを求めるギャップ算出ステップと、を備え、
前記オフセット量算出ステップでは、前記検出器が校正用試料を走査して得られる前記ギャップデータの平均値を、前記オフセット量として算出し、
前記校正ステップでは、前記検出器が前記計測対象物を走査して得られる前記ギャップデータを前記オフセット量により補正し、前記変位計の位置ずれを校正する
ことを特徴とする形状計測装置の校正方法。
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