JP6590591B2 - マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法 - Google Patents
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Description
ブランキング装置の不良個別ブランキング機構を検査するブランキング装置の検査方法であって、
第1と第2の電位を選択的に印加可能な第1の電位印加部と、
第1の電位が印加される第1の抵抗と、
第1の電位印加部から第1と第2の電位が選択的に印加されると共に、第1の抵抗が接続された第1の電極と、
第2の電位が印加される第2の抵抗と、
第2の抵抗が接続されると共に、配線を介して第1と第2の電位が選択的に印加される第2の電極と、
第1の電位印加部と第1の電極との間、若しくはかかる配線中に直列に接続された第3の抵抗と、
をそれぞれ備えた、アレイ配置され、マルチ荷電粒子ビームの対応ビームのブランキング制御を行う複数の個別ブランキング機構と、
複数の個別ブランキング機構の第2の電極に、第1と第2の電位を選択的に印加可能な少なくとも1つの第2の電位印加部と、
が搭載されたブランキング装置を用いて、各個別ブランキング機構について第1の電位印加部から第1の電位が第1の電極に印加され、少なくとも1つの第2の電位印加部のうち対応する第2の電位印加部から第2の電位が第2の電極に印加された状態で、各個別ブランキング機構へ第1と第2の電位差の電圧を供給する電源から流れる第1の電流値を測定する工程と、
測定された第1の電流値が有限値であり、予め設定された第1の閾値以下の場合に、複数の個別ブランキング機構のうち短絡が生じた個別ブランキング機構が存在すると判定し、結果を出力する工程と、
を備えたことを特徴とする。
図1は、実施の形態1における描画装置の構成を示す概念図である。図1において、描画装置100は、描画部150と制御部160を備えている。描画装置100は、マルチ荷電粒子ビーム描画装置の一例である。描画部150は、電子鏡筒102と描画室103を備えている。電子鏡筒102内には、電子銃201、照明レンズ202、アパーチャ部材203、ブランキングプレート204、縮小レンズ205、制限アパーチャ部材206、対物レンズ207、及び偏向器208が配置されている。描画室103内には、XYステージ105が配置される。XYステージ105上には、ファラディーカップ106が配置される。また、XYステージ105上には、描画時には描画対象基板となるマスクブランクス等の試料101が配置される。試料101には、半導体装置を製造する際の露光用マスク、或いは、半導体装置が製造される半導体基板(シリコンウェハ)等が含まれる。試料101には、レジストが塗布されている。XYステージ105上には、さらに、XYステージ105の位置測定用のミラー210が配置される。位置測定には通常He−Neガスレーザー(波長633nm)が用いられる。
また、仮に制御回路43の出力線が断線(オープン)しても、対向電極26はプルダウン抵抗によってグランド接続されているため、グランド電位となる。プルダウン抵抗の値としては、プルアップ抵抗と同様、例えば、数十kΩ以上、好ましくは数百kΩ以上にすると好適である。
(1−1)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd/R1となる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/R1となる。
(1−2)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd/R1となる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/(R0+R2)となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/R1+Vdd/(R0+R2)となる。
(1−3)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、ゼロとなる。
(1−4)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/(R0+R2)となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/(R0+R2)となる。
(2−1)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd/R1となる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/R1となる。
(2−2)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd(R0+R1)/R0R1となる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/R0となる。|I1|は|I2|を含んでいるため、全電流の電流値Itotalは、Vdd(R0+R1)/R0R1となる。
(2−3)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd(R0+R2)/R0R2となる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/R0となる。|I1|は|I2|を含んでいるため、全電流の電流値Itotalは、Vdd(R0+R2)/R0R2となる。
(2−4)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd/R2となる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/R2となる。
(3−1)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、ゼロとなる。
(3−2)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/(R0+R2)となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/(R0+R2)となる。
(3−3)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、ゼロとなる。
(3−4)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/(R0+R2)となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/(R0+R2)となる。
実施の形態1では、制御回路41と制御電極24間の断線や制御電極24がグランド電位固定になった場合でもビームOFFに制御可能な構成の一例について説明したが、これに限るものではない。実施の形態2では、他の一例について説明する。また、描画装置100の構成は図1と同様である。また、以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態1と同様である。
(1−1)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd/(R0+R1)となる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/(R0+R1)となる。
(1−2)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd/(R0+R1)となる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/R2となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/(R0+R1)+Vdd/R2となる。
(1−3)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、ゼロとなる。
(1−4)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/R2となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/R2となる。
(2−1)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/R1となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/R1となる。
(2−2)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd/R1となる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/R2となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd(R0+R2)/R0R2となる。
(2−3)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、Vdd/R0となる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd(R0+R1)/R0R1となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd(R0+R2)/R0R2となる。
(2−4)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/R2となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/R2となる。
(3−1)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、ゼロとなる。
(3−2)CMOSインバータ回路70の入力がH電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/R2となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/R2となる。
(3−3)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がH電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、ゼロとなる。全電流の電流値Itotalは、ゼロとなる。
(3−4)CMOSインバータ回路70の入力がL電位で、CMOSインバータ回路68の入力がL電位の場合、電流I1の絶対値|I1|は、ゼロとなる。電流I2の絶対値|I2|は、Vdd/R2となる。全電流の電流値Itotalは、Vdd/R2となる。
22 穴
24 制御電極
26 対向電極
30 描画領域
32 ストライプ領域
41,43 制御回路
46 直流電源
47 個別ブランキング機構
48 直流電流計
60 プルダウン抵抗
66 プルアップ抵抗
68,70 CMOSインバータ回路
69 保護抵抗
100 描画装置
101 試料
102 電子鏡筒
103 描画室
105 XYステージ
106 ファラディーカップ
110 制御計算機
112 メモリ
130 偏向制御回路
139 ステージ位置検出器
140,142 記憶装置
150 描画部
160 制御部
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203 アパーチャ部材
204 ブランキングプレート
205 縮小レンズ
206 制限アパーチャ部材
207 対物レンズ
208 偏向器
210 ミラー
Claims (9)
- ブランキング装置の不良個別ブランキング機構を検査するブランキング装置の検査方法であって、
第1と第2の電位を選択的に印加可能な第1の電位印加部と、
前記第1の電位が印加される第1の抵抗と、
前記第1の電位印加部から前記第1と第2の電位が選択的に印加されると共に、前記第1の抵抗が接続された第1の電極と、
前記第2の電位が印加される第2の抵抗と、
前記第2の抵抗が接続されると共に、配線を介して前記第1と第2の電位が選択的に印加される第2の電極と、
前記第1の電位印加部と前記第1の電極との間、若しくは前記配線中に直列に接続された第3の抵抗と、
をそれぞれ備えた、アレイ配置され、マルチ荷電粒子ビームの対応ビームのブランキング制御を行う複数の個別ブランキング機構と、
前記複数の個別ブランキング機構の第2の電極に、前記第1と第2の電位を選択的に印加可能な少なくとも1つの第2の電位印加部と、
が搭載されたブランキング装置を用いて、各個別ブランキング機構について前記第1の電位印加部から前記第1の電位が前記第1の電極に印加され、前記少なくとも1つの第2の電位印加部のうち対応する第2の電位印加部から前記第2の電位が前記第2の電極に印加された状態で、各個別ブランキング機構へ前記第1と第2の電位差の電圧を供給する電源から流れる第1の電流値を測定する工程と、
測定された第1の電流値が有限値であり、予め設定された第1の閾値以下の場合に、前記複数の個別ブランキング機構のうち短絡が生じた個別ブランキング機構が存在すると判定し、結果を出力する工程と、
を備えたことを特徴とするマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法。 - 前記第1の電位は正電位であり、前記第2の電位はグランド電位であることを特徴とする請求項1記載のマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法。
- 測定された前記第1の電流値が前記第1の閾値を超える場合に、前記ブランキング装置は使用不可であると判定し、結果を出力することを特徴とする請求項2記載のマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法。
- 前記第1の閾値は、前記複数の個別ブランキング機構のうち、短絡している個別ブランキング機構の数の許容値を用いて設定されることを特徴とする請求項3記載のマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法。
- 前記各個別ブランキング機構について前記第1の電位印加部から前記第2の電位が前記第1の電極に印加され、前記対応する第2の電位印加部から前記第2の電位が前記第2の電極に印加された状態で前記電源から流れる第2の電流値を測定する工程と、
測定された第2の電流値が有限値であり、予め設定された第2の閾値より小さい場合に、前記複数の個別ブランキング機構のうち断線が生じた予め設定された第1の許容数を超える個別ブランキング機構が存在すると判定し、結果を出力する工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項1記載のマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法。 - 前記第2の電位はグランド電位であることを特徴とする請求項5記載のマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法。
- 測定された第2の電流値が、前記第2の閾値以上の場合に前記ブランキング装置が使用可能であると判定し、結果を出力することを特徴とする請求項5記載のマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法。
- 前記複数の個別ブランキング機構を個別ブランキング機構群ごとに複数のグループにグループ化する工程と、
グループ毎に、当該グループ内の各個別ブランキング機構について前記第1の電位印加部から前記第1の電位が前記第1の電極に印加され、前記対応する第2の電位印加部から前記第2の電位が前記第2の電極に印加され、他のグループ内の各個別ブランキング機構については電流が流れないように制御された状態で、各個別ブランキング機構へ前記第1と第2の電位差の電圧を供給する電源から流れる第3の電流値を測定する工程と、
グループ毎に、測定された第3の電流値が有限値である場合に、当該グループ内の個別ブランキング機構群のうち短絡が生じた個別ブランキング機構が存在すると判定し、結果を出力する工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項1記載のマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法。 - グループ毎に、当該グループ内の各個別ブランキング機構について前記第1の電位印加部から前記第2の電位が前記第1の電極に印加され、前記対応する第2の電位印加部から前記第2の電位が前記第2の電極に印加され、他のグループ内の各個別ブランキング機構については電流が流れないように制御された状態で前記電源から流れる第4の電流値を測定する工程と、
グループ毎に、測定された第4の電流値が有限値であり、予め設定された第3の閾値より小さい場合に当該グループ内の個別ブランキング機構群のうち断線が生じた個別ブランキング機構が存在すると判定し、結果を出力する工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項8記載のマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法。
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