JP6589693B2 - 分析用プラズマトーチおよびそれを備える分析装置 - Google Patents
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Description
このようなICP発光分光分析装置では、プラズマ炎を形成するために、発光分光分析用プラズマトーチが用いられる。
ICP発光分光分析装置101は、プラズマ炎22を形成するための発光分光分析用プラズマトーチ120と、キャリアガス供給部31とネプライザ32とスプレーチェンバ33とを有する試料ガス供給部30と、酸素混合不活性ガス供給部40と、プラズマ用ガス供給部41と、冷却用ガス供給部42と、発光光を検出する測光部43と、高周波電流を供給するための高周波電源44と、ICP発光分光分析装置101全体を制御する制御部50とを備える。
なお、試料ガス管11、酸素混合不活性ガス管12、プラズマ用ガス管13、クーラントガス管14の各中心軸は、同一かつ上下方向となっている。
一方、試料Sを分析するときには、ネプライザ32は、試料Sを霧吹きの原理によって吸い上げて霧滴化し、キャリアガス供給部31から供給されるアルゴンガスとともに霧滴化された試料Sをスプレーチェンバ33内に吹き込む。これにより、試料ガス管11の内周面で囲まれた空間には、試料Sとアルゴンガスとが上方向に流通する。そして、試料Sは、アルゴンガスに乗って試料ガス管11の先端部から噴出されることにより、プラズマ炎22のトンネル空洞部に導入される。その結果、試料S中に含まれる化合物は、プラズマ炎22と接することで、原子化されたりイオン化されたりして励起発光することになる。
そこで、本発明は、高価なプラチナではなく安価な素材で作製されたシールドプレートを用いた場合でも、シールドプレートの酸化を防止することができる分析用プラズマトーチおよびそれを備える分析装置を提供することを目的とする。
ICP発光分光分析装置1は、プラズマ炎22を形成するための発光分光分析用プラズマトーチ20と、キャリアガス供給部31とネプライザ32とスプレーチェンバ33とを有する試料ガス供給部30と、酸素混合不活性ガス供給部40と、プラズマ用ガス供給部41と、冷却用ガス供給部42と、発光光を検出する測光部43と、高周波電流を供給するための高周波電源44と、ICP発光分光分析装置1全体を制御する制御部50とを備える。
本実施形態に係る静電シールドプレートの素材としては、電導性、非磁性、高耐熱性を有するものであればよく、銅、金属に金メッキを施したもの、プラチナ、プラチナの合金等が挙げられるが、静電シールドプレートは真空空間内に配置されているので、静電シールドプレートの酸化を防止できること、また、電気抵抗および自己発熱のリスクや価格の点から、銅が好ましい。
(1)上述したICP発光分光分析装置1では、プラズマトーチ10を四重管構造としたが、三重管構造としてもよい。
(2)上述した実施形態では、本発明をICP発光分光分析装置1に適用した場合の構成を示したが、ICP−MSに用いるようにしてもよい。
10 プラズマトーチ
11 試料ガス管
12 酸素混合不活性ガス管
13 プラズマ用ガス管
14 クーラントガス管
20 発光分光分析用プラズマトーチ
21 高周波誘導コイル
23 静電シールドプレート
60 真空管
Claims (4)
- プラズマトーチと、
前記プラズマトーチの先端部分の外周面に対し空間をあけて配置された誘導コイルと、
前記プラズマトーチと前記誘導コイルとの間に配置されたシールドプレートとを備える分析用プラズマトーチであって、
前記プラズマトーチの外周面に対し空間をあけて覆う真空管を備え、
前記シールドプレートは、酸素および放電ガスが存在しない前記真空管内に配置されていることを特徴とする分析用プラズマトーチ。 - 前記プラズマトーチは、試料ガス管と、
前記試料ガス管の外周面に対し空間をあけて覆う酸素混合不活性ガス管と、
前記酸素混合不活性ガス管の外周面に対し空間をあけて覆うプラズマ用ガス管と、
前記プラズマ用ガス管の外周面に対し空間をあけて覆うクーラントガス管と有することを特徴とする請求項1に記載の分析用プラズマトーチ。 - 前記試料ガス管の内周面で囲まれた空間には、霧滴化された試料をキャリアガスとともに流通させ、
前記試料ガス管の外周面と酸素混合不活性ガス管の内周面との間には、酸素混合不活性ガスを流通させ、
前記酸素混合不活性ガス管の外周面とプラズマ用ガス管の内周面との間には、プラズマ用ガスを流通させ、
前記プラズマ用ガス管の外周面とクーラントガス管の内周面との間には、冷却用ガスを流通させることを特徴とする請求項2に記載の分析用プラズマトーチ。 - 請求項1に記載の分析用プラズマトーチと、
発光光を検出する測光部とを備えることを特徴とする分析装置。
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