JP2010197207A - 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 - Google Patents
発光分光分析方法及び発光分光分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010197207A JP2010197207A JP2009042220A JP2009042220A JP2010197207A JP 2010197207 A JP2010197207 A JP 2010197207A JP 2009042220 A JP2009042220 A JP 2009042220A JP 2009042220 A JP2009042220 A JP 2009042220A JP 2010197207 A JP2010197207 A JP 2010197207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peripheral surface
- gas pipe
- plasma
- gas
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
【課題】 有機溶媒中に元素を含有する試料において、元素を高感度で分析することができる発光分光分析方法を提供する。
【解決手段】 発光分光分析用プラズマトーチ10を用いてプラズマ炎22を形成して、試料31をプラズマ炎22に導入することにより、元素を分析する発光分光分析方法であって、試料ガス管11の内周面で囲まれた空間には、霧滴化された試料31をキャリアガスとともに流通させ、試料ガス管11の外周面と補助ガス管14の内周面との間には、酸素を含有するガスを流通させ、補助ガス管14の外周面とプラズマ用ガス管12の内周面との間には、プラズマ用ガスを流通させ、プラズマ用ガス管12の外周面とクーラントガス管13の内周面との間には、冷却用ガスを流通させる。
【選択図】図1
【解決手段】 発光分光分析用プラズマトーチ10を用いてプラズマ炎22を形成して、試料31をプラズマ炎22に導入することにより、元素を分析する発光分光分析方法であって、試料ガス管11の内周面で囲まれた空間には、霧滴化された試料31をキャリアガスとともに流通させ、試料ガス管11の外周面と補助ガス管14の内周面との間には、酸素を含有するガスを流通させ、補助ガス管14の外周面とプラズマ用ガス管12の内周面との間には、プラズマ用ガスを流通させ、プラズマ用ガス管12の外周面とクーラントガス管13の内周面との間には、冷却用ガスを流通させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、発光分光分析用プラズマトーチを用いてプラズマ炎を形成して、有機溶媒と元素とを含有する試料をプラズマ炎に導入することにより、元素を分析する発光分光分析方法及び発光分光分析装置に関する。
ICP発光分光分析装置では、試料をプラズマ炎に導入して励起発光させ、その発光光を回折格子(分光器)で波長分散させて光検出器で検出することにより、発光スペクトルを取得する。そして、発光スペクトルに現れているスペクトル線(輝線スペクトル)の波長の種類から試料中に含有されている元素の定性分析(同定)を行い、さらにその輝線スペクトルの強度からその元素の定量分析を行っている(例えば、特許文献1参照)。
このようなICP発光分光分析装置では、プラズマ炎を形成するために、発光分光分析用プラズマトーチが用いられている。
このようなICP発光分光分析装置では、プラズマ炎を形成するために、発光分光分析用プラズマトーチが用いられている。
図3は、従来のICP発光分光分析装置の一例を示す概略構成図である。なお、発光分光分析用プラズマトーチの構成は断面図で示す。
ICP発光分光分析装置100は、プラズマ炎22を形成するための発光分光分析用プラズマトーチ18と、ネプライザ32とスプレーチェンバ33とキャリアガス供給部34とを有する試料ガス供給部30と、プラズマ用ガス供給部41と、冷却用ガス供給部42と、発光光を検出する測光部43と、ICP発光分光分析装置100全体を制御する制御部150とを備える。
ICP発光分光分析装置100は、プラズマ炎22を形成するための発光分光分析用プラズマトーチ18と、ネプライザ32とスプレーチェンバ33とキャリアガス供給部34とを有する試料ガス供給部30と、プラズマ用ガス供給部41と、冷却用ガス供給部42と、発光光を検出する測光部43と、ICP発光分光分析装置100全体を制御する制御部150とを備える。
発光分光分析用プラズマトーチ18は、円筒形状の試料ガス管11と、試料ガス管11の外周面を空間を空けて覆う円筒形状のプラズマ用ガス管12と、プラズマ用ガス管12の外周面を空間を空けて覆う円筒形状のクーラントガス管13と、クーラントガス管13の外周面の先端部分に2〜3ターン巻き付けられた高周波誘導コイル21とを備える。なお、試料ガス管11の中心軸とプラズマ用ガス管12の中心軸とクーラントガス管13の中心軸とは、同一となり、かつ、上下方向となっている。
プラズマ用ガス供給部41は、試料ガス管11の外周面とプラズマ用ガス管12の内周面との間に、アルゴンガス(プラズマ用ガス)を比較的低速で上方向に流通させる。これにより、試料ガス管11の外周面とプラズマ用ガス管12の内周面との間に形成された流路の上端部からアルゴンガスが噴出され、噴出されたアルゴンガスが高周波誘導コイル21が形成する高周波電磁界により加速された電子によって電離されることで、アルゴン陽イオンと電子とを生成する。生じた電子が更にアルゴンに衝突し、電離を増殖させ安定なプラズマ炎22が上端部に形成される。
冷却用ガス供給部42は、プラズマ用ガス管12の外周面とクーラントガス管13の内周面との間に、アルゴンガス(冷却用ガス)を比較的高速で上方向に流通させる。これにより、プラズマ用ガス管12の外周面とクーラントガス管13の内周面との間に形成された流路の上端部よりクーラントガスが噴出され、噴出されたクーラントガスが上端部に形成されているプラズマ炎22の外側を上方向に流れる。
冷却用ガス供給部42は、プラズマ用ガス管12の外周面とクーラントガス管13の内周面との間に、アルゴンガス(冷却用ガス)を比較的高速で上方向に流通させる。これにより、プラズマ用ガス管12の外周面とクーラントガス管13の内周面との間に形成された流路の上端部よりクーラントガスが噴出され、噴出されたクーラントガスが上端部に形成されているプラズマ炎22の外側を上方向に流れる。
ネプライザ32は、試料31を分析しないときには、アルゴンガス(キャリアガス)のみをスプレーチェンバ33内に吹き込む。これにより、試料ガス管11の内周面で囲まれた空間には、アルゴンガスが上方向に流通する。そして、試料ガス管11の上端部からアルゴンガスが上方向に吹き抜けることにより、上方から視ると中心部に低温のトンネル空洞部が形成されたプラズマ炎22が形成される。
一方、試料31を分析するときには、ネプライザ32は、試料31を霧吹きの原理によって吸い上げて霧滴化することにより、霧滴化された試料31をアルゴンガスとともにスプレーチェンバ33内に吹き込む。これにより、試料ガス管11の内周面で囲まれた空間には、試料31とアルゴンガスとが上方向に流通する。そして、試料31は、アルゴンガスに乗せられて試料ガス管11の先端部から噴出させられることにより、プラズマ炎22のトンネル空洞部に導入される。その結果、試料31中に含まれる化合物は、プラズマ炎22と接することで、原子化されたりイオン化されたりして励起発光することになる。
一方、試料31を分析するときには、ネプライザ32は、試料31を霧吹きの原理によって吸い上げて霧滴化することにより、霧滴化された試料31をアルゴンガスとともにスプレーチェンバ33内に吹き込む。これにより、試料ガス管11の内周面で囲まれた空間には、試料31とアルゴンガスとが上方向に流通する。そして、試料31は、アルゴンガスに乗せられて試料ガス管11の先端部から噴出させられることにより、プラズマ炎22のトンネル空洞部に導入される。その結果、試料31中に含まれる化合物は、プラズマ炎22と接することで、原子化されたりイオン化されたりして励起発光することになる。
測光部43は、ハウジング43aと、発光分光分析用プラズマトーチ18の中心軸の上方向に出射される発光光をハウジング43a内部に導入する集光レンズ43bと、発光光を波長分散させる回折格子43cと、発光スペクトルを検出する光検出器43dとを有する。
制御部150は、光検出器43dで検出された発光スペクトルに基づいて、輝線スペクトルの波長の種類から試料31中に含有される元素の定性分析を行い、さらにその輝線スペクトルの強度からその元素の定量分析を行う。
制御部150は、光検出器43dで検出された発光スペクトルに基づいて、輝線スペクトルの波長の種類から試料31中に含有される元素の定性分析を行い、さらにその輝線スペクトルの強度からその元素の定量分析を行う。
しかしながら、有機溶媒(例えば、キシレン(C8H10)等)中に元素(例えば、Na,K,Al等)を含有する試料31をプラズマ炎22に導入することにより、元素を分析する際には、有機溶媒から発生する炭素(C)も、プラズマ炎22と接することで、原子化されたりイオン化されたりして励起発光して、その結果、光検出器43dで検出された発光スペクトルに炭素(C)からの発光光が含まれるので、元素を高感度で分析することができなかった。
特に、アルカリ元素(例えば、Na、K等)を分析する際には、輝線スペクトルとしてイオンの数を示すイオン線を選択することができずに、中性原子の数を示す中性原子線を選択することになる。よって、有機溶媒中にアルカリ元素を含有する試料31をプラズマ炎22に導入することにより、アルカリ元素を分析する際には、上述したように発光スペクトルに炭素(C)からの発光光が含まれる上に、中性原子線のみしか選択することができないので、アルカリ元素を高感度で分析することができなかった。
特に、アルカリ元素(例えば、Na、K等)を分析する際には、輝線スペクトルとしてイオンの数を示すイオン線を選択することができずに、中性原子の数を示す中性原子線を選択することになる。よって、有機溶媒中にアルカリ元素を含有する試料31をプラズマ炎22に導入することにより、アルカリ元素を分析する際には、上述したように発光スペクトルに炭素(C)からの発光光が含まれる上に、中性原子線のみしか選択することができないので、アルカリ元素を高感度で分析することができなかった。
ここで、図4(a)は、キシレン(C8H10)中に1ppmのNaを含有する試料31とキシレン(C8H10)のみの試料31とを分析したときに得られた発光スペクトルの一例を示すデータである。また、図4(b)は、キシレン(C8H10)中に1ppmのKを含有する試料31とキシレン(C8H10)のみの試料31とを分析したときに得られた発光スペクトルの一例を示すデータである。
図4(a)及び図4(b)に示すように、Naに対応する輝線スペクトルやKに対応する輝線スペクトルが非常に小さいものとなっている。つまり、アルカリ元素(例えば、Na、K等)を高感度で分析することができなかった。
図4(a)及び図4(b)に示すように、Naに対応する輝線スペクトルやKに対応する輝線スペクトルが非常に小さいものとなっている。つまり、アルカリ元素(例えば、Na、K等)を高感度で分析することができなかった。
そこで、炭素(C)が励起発光しないように、試料ガス管11の内周面で囲まれた空間に酸素(O2)を試料31とアルゴンガスとともに流通させることで、炭素(C)を二酸化炭素(CO2)や一酸化炭素(CO)に変換する反応を起こすことが、特許文献1において行われている。
しかしながら、酸素(O2)を試料31とアルゴンガスとともにスプレーチェンバ33内に吹き込むと、スプレーチェンバ33内で反応が急激に起こるので、スプレーチェンバ33が破損してしまうことがあった。
そこで、本発明は、有機溶媒中に元素を含有する試料において、元素を高感度で分析することができる発光分光分析方法及び発光分光分析装置を提供することを目的とする。
しかしながら、酸素(O2)を試料31とアルゴンガスとともにスプレーチェンバ33内に吹き込むと、スプレーチェンバ33内で反応が急激に起こるので、スプレーチェンバ33が破損してしまうことがあった。
そこで、本発明は、有機溶媒中に元素を含有する試料において、元素を高感度で分析することができる発光分光分析方法及び発光分光分析装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するためになされた本発明の発光分光分析方法は、試料ガス管と、前記試料ガス管の外周面を空間を空けて覆う補助ガス管と、前記補助ガス管の外周面を空間を空けて覆うプラズマ用ガス管と、前記プラズマ用ガス管の外周面を空間を空けて覆うクーラントガス管と、前記クーラントガス管の外周面の先端部分に巻き付けられた高周波誘導コイルとを備える発光分光分析用プラズマトーチを用いてプラズマ炎を形成して、有機溶媒と元素とを含有する試料をプラズマ炎に導入することにより、元素を分析する発光分光分析方法であって、前記試料ガス管の内周面で囲まれた空間には、霧滴化された試料をキャリアガスとともに流通させ、前記試料ガス管の外周面と補助ガス管の内周面との間には、酸素を含有するガスを流通させ、前記補助ガス管の外周面とプラズマ用ガス管の内周面との間には、プラズマ用ガスを流通させ、前記プラズマ用ガス管の外周面とクーラントガス管の内周面との間には、冷却用ガスを流通させるようにしている。
本発明の発光分光分析方法によれば、試料ガス管の外周面と補助ガス管の内周面との間には、酸素(O2)を流通させることにより、有機溶媒(CnHm)中に元素を含有する試料を分析する際には、発光分光分析用プラズマトーチの上端部で、有機溶媒(CnHm)から発生する炭素(C)を二酸化炭素(CO2)や一酸化炭素(CO)に変換する反応を起こすことになる。よって、炭素(C)由来による分光干渉を低減させることができる。さらに、スプレーチェンバ33内で反応が起こることもなく、安全に測定を行うことができる。
以上のように、本発明の発光分光分析方法によれば、有機溶媒中に元素を含有する試料において、アルカリ元素を高感度で分析することができる。
(他の課題を解決するための手段および効果)
また、上記の発明において、前記発光分光分析用プラズマトーチにおいて、前記試料ガス管の中心軸と補助ガス管の中心軸とプラズマ用ガス管の中心軸とクーラントガス管の中心軸とは、同一となり、軸方向に出射される発光光を検出するように測光部を配置するようにしてもよい。
本発明の発光分光分析方法によれば、有機溶媒中に元素を含有する試料において、元素をより高感度で分析することができる。
また、上記の発明において、前記発光分光分析用プラズマトーチにおいて、前記試料ガス管の中心軸と補助ガス管の中心軸とプラズマ用ガス管の中心軸とクーラントガス管の中心軸とは、同一となり、軸方向に出射される発光光を検出するように測光部を配置するようにしてもよい。
本発明の発光分光分析方法によれば、有機溶媒中に元素を含有する試料において、元素をより高感度で分析することができる。
また、上記課題を解決するためになされた本発明の発光分光分析装置は、試料ガス管と、前記試料ガス管の外周面を空間を空けて覆う補助ガス管と、前記補助ガス管の外周面を空間を空けて覆うプラズマ用ガス管と、前記プラズマ用ガス管の外周面を空間を空けて覆うクーラントガス管と、前記クーラントガス管の外周面の先端部分に巻き付けられた高周波誘導コイルとを備える発光分光分析用プラズマトーチと、前記試料ガス管の内周面で囲まれた空間に、霧滴化された試料をキャリアガスとともに流通させる試料ガス供給部と、前記試料ガス管の外周面と補助ガス管の内周面との間に、酸素を含有するガスを流通させる補助ガス供給部と、前記補助ガス管の外周面とプラズマ用ガス管の内周面との間に、プラズマ用ガスを流通させるプラズマ用ガス供給部と、前記プラズマ用ガス管の外周面とクーラントガス管の内周面との間に、冷却用ガスを流通させる冷却用ガス供給部と、発光光を検出する測光部と、前記発光分光分析用プラズマトーチと試料ガス供給部と補助ガス供給部とプラズマ用ガス供給部と冷却用ガス供給部とを用いてプラズマ炎を形成して、有機溶媒と元素とを含有する試料をプラズマ炎に導入することにより、前記測光部で検出された発光光に基づいて、元素を分析する制御部とを備えるようにしている。
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
図1は、実施形態に係るICP発光分光分析装置の一例を示す概略構成図である。なお、発光分光分析用プラズマトーチの構成は断面図で示す。また、ICP発光分光分析装置100と同様のものについては、同じ符号を付している。
ICP発光分光分析装置1は、プラズマ炎22を形成するための発光分光分析用プラズマトーチ10と、ネプライザ32とスプレーチェンバ33とキャリアガス供給部34とを有する試料ガス供給部30と、補助ガス供給部40と、プラズマ用ガス供給部41と、冷却用ガス供給部42と、発光光を検出する測光部43と、ICP発光分光分析装置1全体を制御する制御部50とを備える。
ICP発光分光分析装置1は、プラズマ炎22を形成するための発光分光分析用プラズマトーチ10と、ネプライザ32とスプレーチェンバ33とキャリアガス供給部34とを有する試料ガス供給部30と、補助ガス供給部40と、プラズマ用ガス供給部41と、冷却用ガス供給部42と、発光光を検出する測光部43と、ICP発光分光分析装置1全体を制御する制御部50とを備える。
発光分光分析用プラズマトーチ10は、円筒形状の試料ガス管11と、試料ガス管11の外周面を空間を空けて覆う円筒形状の補助ガス管14と、補助ガス管14の外周面を空間を空けて覆う円筒形状のプラズマ用ガス管12と、プラズマ用ガス管12の外周面を空間を空けて覆う円筒形状のクーラントガス管13と、クーラントガス管13の外周面の先端部分に2〜3ターン巻き付けられた高周波誘導コイル21とを備える。なお、試料ガス管11の中心軸と補助ガス管14の中心軸とプラズマ用ガス管12の中心軸とクーラントガス管13の中心軸とは、同一となり、かつ、上下方向となっている。なお、図1に示す発光分光分析用プラズマトーチは、特開2001−272349号公報を参考にすることができる。
補助ガス供給部40は、試料ガス管11の外周面と補助ガス管14の内周面との間に、例えば、30体積%の酸素(O2)と70体積%のアルゴン(不活性ガス)とを含有するガスを上方向に流通させる。そして、試料ガス管11の外周面と補助ガス管14の内周面との間に形成された流路の上端部より酸素(O2)とアルゴンとが噴出される。これにより、有機溶媒(例えば、キシレン(C8H10)等)中にアルカリ元素(例えば、Na、K等)を含有する試料31を分析する際には、発光分光分析用プラズマトーチ10の上端部で、有機溶媒(CnHm)から発生する炭素(C)を二酸化炭素(CO2)や一酸化炭素(CO)に変換する反応を起こす。よって、炭素(C)由来による分光干渉を低減させることができる。
ここで、図2(a)は、キシレン(C8H10)中に1ppmのNaを含有する試料31とキシレン(C8H10)のみの試料31とを分析したときに得られた発光スペクトルの一例を示すデータである。また、図2(b)は、キシレン(C8H10)中に1ppmのKを含有する試料31とキシレン(C8H10)のみの試料31とを分析したときに得られた発光スペクトルの一例を示すデータである。
図2(a)及び図2(b)に示すように、Naに対応する輝線スペクトルやKに対応する輝線スペクトルが非常に大きいものとなっている。つまり、アルカリ元素(例えば、Na、K等)を高感度で分析することができる。
以上のように、本発明のICP発光分光分析装置1によれば、有機溶媒(例えば、キシレン(C8H10)等)中にアルカリ元素(例えば、Na、K等)を含有する試料31において、アルカリ元素を高感度で分析することができる。
図2(a)及び図2(b)に示すように、Naに対応する輝線スペクトルやKに対応する輝線スペクトルが非常に大きいものとなっている。つまり、アルカリ元素(例えば、Na、K等)を高感度で分析することができる。
以上のように、本発明のICP発光分光分析装置1によれば、有機溶媒(例えば、キシレン(C8H10)等)中にアルカリ元素(例えば、Na、K等)を含有する試料31において、アルカリ元素を高感度で分析することができる。
上述したICP発光分光分析装置1で、有機溶媒(例えば、キシレン(C8H10)等)中にアルカリ元素(例えば、Na、K等)を含有する試料31を分析するようにしたが、有機溶媒(例えば、キシレン(C8H10)等)中に元素(例えば、Al等)を含有する試料31を分析するようにしてもよい。
また、上述したICP発光分光分析装置1で、試料ガス管11の外周面と補助ガス管14の内周面との間に、30体積%の酸素(O2)と70体積%のアルゴン(不活性ガス)とを含有するガスを流通させるようにしたが、10体積%から100体積%の範囲で酸素(O2)を含有するガスを適宜選択し、流通させるようにしてもよい。
また、上述したICP発光分光分析装置1で、試料ガス管11の外周面と補助ガス管14の内周面との間に、30体積%の酸素(O2)と70体積%のアルゴン(不活性ガス)とを含有するガスを流通させるようにしたが、10体積%から100体積%の範囲で酸素(O2)を含有するガスを適宜選択し、流通させるようにしてもよい。
本発明は、発光分光分析用プラズマトーチを用いてプラズマ炎を形成して、有機溶媒と元素とを含有する試料をプラズマ炎に導入することにより、元素を分析する発光分光分析方法等に利用することができる。
1、100 発光分光分析装置
10、18 発光分光分析用プラズマトーチ
11 試料ガス管
12 プラズマ用ガス管
13 クーラントガス管
14 補助ガス管
21 高周波誘導コイル
22 プラズマ炎
31 試料
10、18 発光分光分析用プラズマトーチ
11 試料ガス管
12 プラズマ用ガス管
13 クーラントガス管
14 補助ガス管
21 高周波誘導コイル
22 プラズマ炎
31 試料
Claims (3)
- 試料ガス管と、
前記試料ガス管の外周面を空間を空けて覆う補助ガス管と、
前記補助ガス管の外周面を空間を空けて覆うプラズマ用ガス管と、
前記プラズマ用ガス管の外周面を空間を空けて覆うクーラントガス管と、
前記クーラントガス管の外周面の先端部分に巻き付けられた高周波誘導コイルとを備える発光分光分析用プラズマトーチを用いてプラズマ炎を形成して、有機溶媒と元素とを含有する試料をプラズマ炎に導入することにより、元素を分析する発光分光分析方法であって、
前記試料ガス管の内周面で囲まれた空間には、霧滴化された試料をキャリアガスとともに流通させ、
前記試料ガス管の外周面と補助ガス管の内周面との間には、酸素を含有するガスを流通させ、
前記補助ガス管の外周面とプラズマ用ガス管の内周面との間には、プラズマ用ガスを流通させ、
前記プラズマ用ガス管の外周面とクーラントガス管の内周面との間には、冷却用ガスを流通させることを特徴とする発光分光分析方法。 - 前記発光分光分析用プラズマトーチにおいて、前記試料ガス管の中心軸と補助ガス管の中心軸とプラズマ用ガス管の中心軸とクーラントガス管の中心軸とは、同一となり、
軸方向に出射される発光光を検出するように測光部を配置することを特徴とする請求項1に記載の発光分光分析方法。 - 試料ガス管と、前記試料ガス管の外周面を空間を空けて覆う補助ガス管と、前記補助ガス管の外周面を空間を空けて覆うプラズマ用ガス管と、前記プラズマ用ガス管の外周面を空間を空けて覆うクーラントガス管と、前記クーラントガス管の外周面の先端部分に巻き付けられた高周波誘導コイルとを備える発光分光分析用プラズマトーチと、
前記試料ガス管の内周面で囲まれた空間に、霧滴化された試料をキャリアガスとともに流通させる試料ガス供給部と、
前記試料ガス管の外周面と補助ガス管の内周面との間に、酸素を含有するガスを流通させる補助ガス供給部と、
前記補助ガス管の外周面とプラズマ用ガス管の内周面との間に、プラズマ用ガスを流通させるプラズマ用ガス供給部と、
前記プラズマ用ガス管の外周面とクーラントガス管の内周面との間に、冷却用ガスを流通させる冷却用ガス供給部と、
発光光を検出する測光部と、
前記発光分光分析用プラズマトーチと試料ガス供給部と補助ガス供給部とプラズマ用ガス供給部と冷却用ガス供給部とを用いてプラズマ炎を形成して、有機溶媒と元素とを含有する試料をプラズマ炎に導入することにより、前記測光部で検出された発光光に基づいて、元素を分析する制御部とを備えることを特徴とする発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009042220A JP2010197207A (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009042220A JP2010197207A (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010197207A true JP2010197207A (ja) | 2010-09-09 |
Family
ID=42822081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009042220A Pending JP2010197207A (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010197207A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018096854A (ja) * | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 株式会社島津製作所 | 分析用プラズマトーチおよびそれを備える分析装置 |
KR101948943B1 (ko) * | 2012-06-27 | 2019-02-15 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 | Icp 장치 및 분광 분석 장치와 질량 분석 장치 |
CN111331148A (zh) * | 2020-04-14 | 2020-06-26 | 中天智能装备有限公司 | Icp等离子冷却系统 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08210982A (ja) * | 1994-10-19 | 1996-08-20 | Perkin Elmer Corp:The | 誘導プラズマ光源からの選択可能な放射を持つスペクトロメータ |
JPH10283980A (ja) * | 1997-04-08 | 1998-10-23 | Shimadzu Corp | Icp質量分析装置 |
JPH11153542A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-08 | Shimadzu Corp | Icp発光分光分析におけるプラズマトーチのクリーニング方法 |
JP2001272349A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Shimadzu Corp | Icp発光分光分析用プラズマトーチ |
JP2001305059A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-10-31 | Seiko Instruments Inc | 誘導結合プラズマ発光分光分析装置と方法 |
JP2007078460A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Shimadzu Corp | Icp発光分析装置 |
JP2008064488A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 誘導結合プラズマ質量分析及び発光分析装置 |
JP2008089576A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-04-17 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガスクロマトグラフに誘導結合プラズマ質量分析装置を結合させた分析装置 |
JP2008537282A (ja) * | 2005-03-11 | 2008-09-11 | パーキンエルマー・インコーポレイテッド | プラズマとその使用方法 |
-
2009
- 2009-02-25 JP JP2009042220A patent/JP2010197207A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08210982A (ja) * | 1994-10-19 | 1996-08-20 | Perkin Elmer Corp:The | 誘導プラズマ光源からの選択可能な放射を持つスペクトロメータ |
JPH10283980A (ja) * | 1997-04-08 | 1998-10-23 | Shimadzu Corp | Icp質量分析装置 |
JPH11153542A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-08 | Shimadzu Corp | Icp発光分光分析におけるプラズマトーチのクリーニング方法 |
JP2001272349A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Shimadzu Corp | Icp発光分光分析用プラズマトーチ |
JP2001305059A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-10-31 | Seiko Instruments Inc | 誘導結合プラズマ発光分光分析装置と方法 |
JP2008537282A (ja) * | 2005-03-11 | 2008-09-11 | パーキンエルマー・インコーポレイテッド | プラズマとその使用方法 |
JP2007078460A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Shimadzu Corp | Icp発光分析装置 |
JP2008064488A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 誘導結合プラズマ質量分析及び発光分析装置 |
JP2008089576A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-04-17 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガスクロマトグラフに誘導結合プラズマ質量分析装置を結合させた分析装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101948943B1 (ko) * | 2012-06-27 | 2019-02-15 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 | Icp 장치 및 분광 분석 장치와 질량 분석 장치 |
JP2018096854A (ja) * | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 株式会社島津製作所 | 分析用プラズマトーチおよびそれを備える分析装置 |
CN111331148A (zh) * | 2020-04-14 | 2020-06-26 | 中天智能装备有限公司 | Icp等离子冷却系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Olenici-Craciunescu et al. | Spatially resolved spectroscopic measurements of a dielectric barrier discharge plasma jet applicable for soft ionization | |
Chan et al. | Spectroscopic plasma diagnostics on a low-temperature plasma probe for ambient mass spectrometry | |
WO2014140179A1 (en) | Method and apparatus for control of a plasma for spectrometry | |
US5012065A (en) | Inductively coupled plasma torch with laminar flow cooling | |
JP2008544454A (ja) | 増強装置及びその使用方法 | |
Yeung et al. | Atomic absorption spectroscopy, atomic emission spectroscopy, and inductively coupled plasma-mass spectrometry | |
US20140071448A1 (en) | High-frequency power supply for plasma and icp optical emission spectrometer using the same | |
Frentiu et al. | Low power capacitively coupled plasma microtorch for simultaneous multielemental determination by atomic emission using microspectrometers | |
Williams et al. | Coupling the liquid sampling–atmospheric pressure glow discharge, a combined atomic and molecular (CAM) ionization source, to a reduced-format mass spectrometer for the analysis of diverse species | |
JP2010197207A (ja) | 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 | |
Olesik et al. | Influence of small amounts of organic solvents in aqueous samples on argon inductively coupled plasma spectrometry | |
US6122050A (en) | Optical interface for a radially viewed inductively coupled argon plasma-Optical emission spectrometer | |
US20190041336A1 (en) | Isotopic measuring device | |
JP2010197080A (ja) | 誘導結合プラズマ分析装置 | |
JP2003194723A (ja) | プラズマトーチ | |
JP3185626U (ja) | Icp発光分析装置 | |
JP2016061574A (ja) | Icp分析装置 | |
JP6589693B2 (ja) | 分析用プラズマトーチおよびそれを備える分析装置 | |
JP2018179555A (ja) | 発光分析装置 | |
Seelig et al. | Investigations on the on-line determination of metals in air flows by capacitively coupled microwave plasma atomic emission spectrometry | |
JP6729339B2 (ja) | 分析用プラズマトーチおよびそれを備える分析装置 | |
US5731872A (en) | Plasma manipulator | |
JP2010243348A (ja) | Icp発光分析装置及びicp発光分析方法 | |
Tian et al. | Optical characterization of miniature flexible micro-tube plasma (FμTP) ionization source: A dielectric guided discharge | |
Frentiu et al. | Preliminary investigation of a medium power argon radiofrequency capacitively coupled plasma as atomization cell in atomic fluorescence spectrometry of cadmium |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130319 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20131126 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |