JP6584621B1 - カラーフィルタ用感光性着色組成物 - Google Patents

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Abstract

【課題】画素のエッジにおけるテーパー形状や逆テーパー形状の抑制、および現像残渣の抑制が可能なカラーフィルタ用感光性着色組成物を提供する。【解決手段】着色剤(A)、樹脂型分散剤(B)、光重合開始剤(C)、および光重合性化合物(D)を含有し、前記光重合性化合物(D)が、2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)を含む、カラーフィルタ用感光性着色組成物である。【選択図】図1

Description

本発明は、カラーフィルタ用感光性着色組成物に関する。
液晶表示装置、有機EL(electro-luminescence)装置、固体撮像素子などにおいては、通常、カラーフィルタが用いられる。
例えば、液晶表示装置の場合、バックライトを光源とし、電気的に液晶を駆動させることで光量を制御し、その光がカラーフィルタを通過することで色表現を行う。
また、固体撮像素子の場合、半導体基板等の基板上に赤色画素、緑色画素、青色画素などの複数色の画素が2次元配列されたカラーフィルタが設けられる。この固体撮像素子においては、画素サイズが縮小するにつれて、色分離の性能要求は厳しくなる。固体撮像素子用カラーフィルタは、色シェーディング特性、混色防止などのデバイス特性維持のため、薄膜化、矩形化、及び各画素間に色同士が重なり合うオーバーラップ領域をなくす等の性能が要求される。
カラーフィルタの画素の製造方法としては、フォトリソグラフにより着色層をパターン形成する方法が知られている。
例えば特許文献1には、微細パターンを形成する際に、密着性を向上し、現像残渣が低減できる硬化性組成物として、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物と、アルキレンオキシ基を有しない重合性化合物とを含む、特定の硬化性組成物が開示されている。
特開2009−244748号公報
フォトリソグラフによるカラーフィルタのパターン形成で、感光性着色組成物の組成によっては、パターンの直進性が悪い、パターンのエッジがテーパー形状や逆テーパー形状となること等、形成される画素の形状の問題や、エッジ付近に残渣(現像残り)が生じる等の問題があった。
本発明は、画素のエッジにおけるテーパー形状や逆テーパー形状の抑制、および現像残渣の抑制が可能なカラーフィルタ用感光性着色組成物を提供することを目的とする。
本発明のカラーフィルタ用感光性着色組成物は、着色剤(A)、樹脂型分散剤(B)、光重合開始剤(C)、および光重合性化合物(D)を含有し、
前記光重合性化合物(D)が、2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)を含む。
上記カラーフィルタ用感光性着色組成物の一実施形態は、前記着色剤(A)が、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン58、およびC.I.ピグメントグリーン59からなる群より選択される1種以上を含む。
上記カラーフィルタ用感光性着色組成物の一実施形態は、前記光重合性化合物(D)が、さらに、2級または3級アミノ基を有さない(メタ)アクリレート(d2)を含む。
上記カラーフィルタ用感光性着色組成物の一実施形態は、光重合性化合物(D)の含有量が、感光性着色組成物の不揮発分100質量%中、5〜40質量%である。
上記カラーフィルタ用感光性着色組成物の一実施形態は、前記2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)の含有量が、光重合性化合物(D)100質量%中、10〜50質量%である。
上記カラーフィルタ用感光性着色組成物の一実施形態は、前記2級または3級アミノ基を有さない(メタ)アクリレート(d2)が、5官能以上の(メタ)アクリレート、および3官能以下の(メタ)アクリレートを含む。
上記カラーフィルタ用感光性着色組成物の一実施形態は、前記光重合開始剤(C)が、オキシムエステル系光重合開始剤を含む。
上記カラーフィルタ用感光性着色組成物の一実施形態は、さらに紫外線吸収剤(E)を含有する。
上記カラーフィルタ用感光性着色組成物の一実施形態は、さらに重合禁止剤(F)を含有する。
上記カラーフィルタ用感光性着色組成物は、液晶表示装置、有機EL装置、または固体撮像素子に具備されるカラーフィルタに好適に用いることができる。
本発明によれば、画素のエッジにおけるテーパー形状や逆テーパー形状の抑制、および現像残渣の抑制が可能なカラーフィルタ用感光性着色組成物を提供することができる。
画素の断面形状を説明するための模式的な断面図である。
以下、詳細にわたって本発明の実施形態を説明する。
なお、本明細書では、特に説明のない限り、「(メタ)アクリロイル」は「アクリロイル及び/又はメタクリロイル」を、「(メタ)アクリル」は「アクリル及び/又はメタクリル」を、「(メタ)アクリル酸」は「アクリル酸及び/又はメタクリル酸」を、「(メタ)アクリレート」は「アクリレート及び/又はメタクリレート」を、「(メタ)アクリルアミド」は「アクリルアミド及び/又はメタクリルアミド」を表す。
本明細書において「C.I.」は、カラーインデックス(C.I.)を表す。
本発明のカラーフィルタ用感光性着色組成物(以下、単に感光性着色組成物とすることがある)は、着色剤(A)、樹脂型分散剤(B)、光重合開始剤(C)、および光重合性化合物(D)を含有し、前記光重合性化合物(D)が、2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)を含む。
従来の感光性着色組成物は、パターンの直進性が悪い、パターン形成のエッジにテーパー形状や逆テーパー形状になり垂直なエッジ形成が難しいなど、形成される画素の形状の問題や、パターンのエッジ付近に残渣(現像残り)が残留することなどの問題が生じることがあった。本発明者らは、このような問題は特に着色剤としてフタロシアニン顔料を含む場合に顕著に生じるとの知見を得た。感光性着色組成物を光硬化する際に、光吸収性に優れたフタロシアニン顔料が光を吸収することによって、光重合性化合物の硬化が抑制されてしまうことが一因と推察された。
本発明者らは鋭意検討の結果、光重合性化合物として、2級または3級アミノ基を有する2官能以上の(メタ)アクリレートを用いることにより、テーパー形状が抑制された、より矩形に近い画素が得られるとの知見を得た。2級または3級アミノ基を有する2官能以上の(メタ)アクリレートを用いることにより露光感度が向上する。また、2級又は3級アミノ基は、1級アミノ基と比較して、適度な塩基性を有するため、被膜の表面から深部まで良好な光硬化性が得られやすいと推定される。これらの結果、例えば、光吸収性に優れた顔料と組み合わせた場合であっても光硬化が十分に進行するため、矩形に近い画素が得られると推定される。
一方、ウレタン結合を有する2級または3級アミノ基を有する2官能以上の(メタ)アクリレートを用いた場合、現像残渣が見られた。ウレタン結合を有する(メタ)アクリレートは、未硬化の場合であっても、基板表面とウレタン結合部との相互作用によって現像時に残留しやすいものと推察される。
このようなことから、本発明の感光性着色組成物は、光重合性化合物(D)として、2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)を含むことにより、パターンの直進性の向上、画素のエッジにおけるテーパー形状や逆テーパー形状の抑制された画素を形成することができ、かつ現像残渣を抑制することができる。本発明の感光性着色組成物は、光吸収性に優れたフタロシアニン顔料を用いた場合のほか、顔料濃度を高めた場合であっても上記の効果を奏する。また、本発明の感光性着色組成物は露光感度に優れている。
本発明の感光性着色組成物は、少なくとも、着色剤(A)と、樹脂型分散剤(B)と、光重合開始剤(C)と、光重合性化合物(D)とを含有し、必要に応じて更に他の成分を含有できる。以下、このような感光性着色組成物の各成分について順に詳細に説明する。
<着色剤(A)>
本発明に用いる着色剤(A)は、着色層を所望の色調に調整するものであり、公知の有機顔料、無機顔料、染料などの中から、1種単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
有機顔料としては、例えば、ジケトピロロピロール系顔料;アゾ、ジスアゾ、ポリアゾ等のアゾ系顔料;アミノアントラキノン、ジアミノジアントラキノン、アントラピリミジン、フラバントロン、アントアントロン、インダントロン、ピラントロン、ビオラントロン等のアントラキノン系顔料;キナクリドン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チオインジゴ系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、スレン系顔料、フタロシアニン系顔料等が挙げられる。本発明の感光性着色組成物は露光感度に優れていることから、例えば光吸収性に優れたフタロシアニン顔料を用いた場合であっても、現像残渣が抑制され、良好な形状の画素が得られる。
主に赤色着色層に用いられる赤色顔料としては、例えば、C.I.ピグメントレッド1、2、3、4、5、6、7、8、9、12、14、15、16、17、21、22、23、31、32、37、38、41、47、48、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、50:1、52:1、52:2、53、53:1、53:2、53:3、57、57:1、57:2、58:4、60、63、63:1、63:2、64、64:1、68、69、81、81:1、81:2、81:3、81:4、83、88、90:1、101、101:1、104、108、108:1、109、112、113、114、122、123、144、146、147、149、151、166、168、169、170、172、173、174、175、176、177、178、179、181、184、185、187、188、190、193、194、200、202、206、207、208、209、210、214、216、220、221、224、230、231、232、233、235、236、237、238、239、242、243、245、247、249、250、251、253、254、255、256、257、258、259、260、262、263、264、265、266、267、268、269、270、271、272、273、274、275、276などが挙げられる。
単独で、又は赤色顔料と組み合わせて用いられるオレンジ色顔料としては、例えば、C.I.ピグメントオレンジ36、38、43、51、55、59、61等が挙げられる。
これらの中でも、高着色力を得る観点から、赤色顔料としてC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド177を用いることが好ましい。
主に青色着色層に用いられる青色顔料としては、例えばC.I.ピグメントブルー1、1:2、9、14、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、17、19、25、27、28、29、33、35、36、56、56:1、60、61、61:1、62、63、66、67、68、71、72、73、74、75、76、78、79等が挙げられる。これらの中でも高着色力を得る観点から、好ましくはC.I.ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、または15:6であり、更に好ましくはC.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:6である。
主に緑色着色層に用いられる緑色顔料としては、例えばC.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55、58、59、62、または63を挙げることができる。これらの中でも、高着色力を得る観点から、C.I.ピグメントグリーン7、36、58又は59が好ましい。
赤色顔料、青色顔料又は緑色顔料と組み合わせて用いられる黄色顔料としては、例えばC.I.ピグメントイエロー1、1:1、2、3、4、5、6、9、10、12、13、14、16、17、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、41、42、43、48、53、55、61、62、62:1、63、65、73、74、75,81、83、87、93、94、95、97、100、101、104、105、108、109、110、111、116、117、119、120、126、127、127:1、128、129、133、134、136、138、139、142、147、148、150、151、153、154、155、157、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、169、170、172、173、174、175、176、180、181、182、183、184、185、188、189、190、191、191:1、192、193、194、195、196、197、198、199、200、202、203、204、205、206、207、208、231等が挙げられる。これらの中でも、高着色力を得る観点から、好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、117、129、138、139、150、154、155、180、185、または231であり、更に好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、138、139、150、185または231である。
単独で、又は青色顔料と組み合わせて用いられる紫色顔料としては、例えばC.I.ピグメントバイオレット1、1:1、2、2:2、3、3:1、3:3、5、5:1、14、15、16、19、23、25、27、29、31、32、37、39、42、44、47、49、50等が挙げられる。これらの中でも、高着色力を得る観点から、好ましくはC.I.ピグメントバイオレット19、または23であり、更に好ましくはC.I.ピグメントバイオレット23である。
本実施の感光性着色組成物は、着色剤(A)としてフタロシアニン系緑色顔料を含有することが好ましく、中でも、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン58及びC.I.ピグメントグリーン59からなる群より選択される1種以上を含むことが好ましい。
無機顔料としては、例えば、硫酸バリウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、酸化チタン、四酸化鉄などの金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉等が挙げられる。無機顔料は、彩度と明度のバランスを取りつつ良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、前記有機顔料と組み合わせて用いることができる。
また、染料としては、酸性染料、直接染料、塩基性染料、造塩染料、油溶性染料、分散染料、反応染料、媒染染料、建染染料、硫化染料などの公知の染料の中から適宜選択して用いることができる。染料には、染料または前記染料誘導体をレーキ化したレーキ顔料(造塩化合物)の形態も含まれる。
スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料、直接染料の場合、堅牢性に優れる点から、酸性染料の無機塩や、酸性染料とアミン化合物等の含窒素化合物との造塩化合物、又はアミノ基を有する樹脂成分との造塩化合物として用いること、若しくは、スルホン酸アミド化合物として用いることが好ましい。
また、酸性染料とオニウム塩基を有する化合物との造塩化合物も、堅牢性に優れる点で好ましく、当該オニウム塩基を有する化合物が、側鎖にカチオン性基を有する樹脂がより好ましい。
塩基性染料の形態の場合は、有機酸や過塩素酸もしくはその金属塩を用いて造塩化してもよい。塩基性染料の造塩化合物は耐性や、顔料との併用性に優れる点から好ましい。中でも、塩基性染料と、有機スルホン酸、有機硫酸、フッ素基含有リンアニオン化合物、フッ素基含有ホウ素アニオン化合物、シアノ基含有窒素アニオン化合物、ハロゲン化炭化水素基を有する有機酸の共役塩基を有するアニオン化合物、又は酸性染料とを造塩した、造塩化合物がより好ましい。
また、色素骨格に重合性不飽和基を有することが、耐性に優れた染料とすることができる点から好ましい。
また、染料がオキセタン基を有する場合には、当該染料を含有する感光性着色組成物の硬化物が耐熱性に優れる。オキセタン基を有する染料は、例えば染料を含む造塩化合物を構成する樹脂などに、オキセタン構造を含有するエチレン性不飽和単量体を用いて導入することで得られる。
染料としては、例えば、アゾ系染料、アゾメチン系染料(インドアニリン系染料、インドフェノール系染料など)、ジピロメテン系染料、キノン系染料(ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、アントラキノン系染料、アントラピリドン系染料など)、カルボニウム系染料(ジフェニルメタン系染料、トリフェニルメタン系染料、ジアリールメタン系染料、トリアリールメタン系染料、キサンテン系染料、アクリジン系染料など)、キノンイミン系染料(オキサジン系染料、チアジン系染料など)、アジン系染料、ポリメチン系染料(オキソノール系染料、メロシアニン系染料、アリーリデン系染料、スチリル系染料、シアニン系染料、スクアリリウム系染料、クロコニウム系染料など)、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料、ペリノン系染料、インジゴ系染料、チオインジゴ系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、ニトロソ系染料、メチン系染料、カチオン系染料、ペリレン系染料、ジケトピロロピロール系染料、キナクリドン系染料、アンサンスロン系染料、イソインドリノン系染料、イソインドリン系染料、インダンスロン系染料、クマリン系染料、ピランスロン系染料、フラバンスロン系染料、ペリノン系染料、及びそれらの金属錯体系染料等があげられる。具体的な色素化合物については「新版染料便覧」(有機合成化学協会編;丸善、1970)、「カラーインデックス」(The Society of Dyers and colourists)、「色素ハンドブック」(大河原他編;講談社、1986)などに記載されている。
本発明の感光性着色組成物において、着色剤(A)の含有割合は、所望の色味が得られる範囲で適宜調製すればよい。感光性着色組成物中の全不揮発分中、50質量%以上であり、好ましくは60〜85質量%である。有機顔料(A)の含有割合が50質量%以上であれば、十分な色特性が得られる。また、85質量%以下であれば、相対的に他の成分の含有割合が大きくなり、感光性着色組成物の露光感度や、分散安定性などが向上する。
なお本発明において不揮発成分とは、着色層を形成した際に残留する成分であり、溶剤(D)以外の成分をいう。
また、着色剤(A)は、耐熱性などの耐性の点から、有機顔料を含むことがより好ましい。着色剤(A)中の有機顔料の割合は特に限定されないが、60質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましい。
(顔料の微細化)
着色剤(A)が有機顔料を含む場合、当該有機顔料は微細化することが好ましい。微細化方法は特に限定されず、例えば、湿式磨砕、乾式磨砕、溶解析出法などが挙げられる。また、下記に例示するように湿式磨砕の1種であるニーダー法によりソルトミリング処理をしてもよい。顔料の一次粒子径は、着色組成物中での分散が良好なことから、20nm以上が好ましい。また、コントラスト比が高い着色パターンが得られることから、100nm以下が好ましく、25〜85nmがより好ましい。なお、顔料の一次粒子径は、顔料のTEM(透過型電子顕微鏡)による電子顕微鏡写真から一次粒子の大きさを直接計測する。具体的には、約20個の顔料の一次粒子の短軸径と長軸径を計測し、平均をその顔料粒子の粒径とする。次に、50個程度の顔料粒子について、それぞれの粒子の体積を求めた粒径の立方体と近似して求め、体積平均粒径を平均一次粒子径とする。
前記ソルトミリング処理は、顔料と水溶性無機塩と水溶性有機溶剤との混合物を、ニーダー、2本ロールミル、3本ロールミル、ボールミル、アトライター、サンドミル等の混練機を用いて、加熱しながら機械的に混練した後、水洗により水溶性無機塩と水溶性有機溶剤を除去する処理である。前記水溶性無機塩は、破砕助剤として働くものであり、ソルトミリング時に無機塩の硬度の高さを利用して顔料を破砕する。顔料をソルトミリング処理する際の条件を最適化することにより、一次粒子径が非常に微細であり、また、分布の幅がせまく、シャープな粒度分布をもつ顔料が得られる。
水溶性無機塩としては、例えば、塩化ナトリウム、塩化バリウム、塩化カリウム、硫酸ナトリウム等が挙げられ、価格の点から塩化ナトリウム(食塩)が好ましい。水溶性無機塩は、処理効率と生産効率の両面から、顔料100質量部に対し、50〜2000質量部が好ましく、300〜1000質量部がより好ましい。
前記水溶性有機溶剤は、顔料及び水溶性無機塩を湿潤するものであり、水に溶解(混和)し、かつ用いる無機塩を実質的に溶解しないものの中から適宜選択される。中でも、ソルトミリング時に温度が上昇するため、溶剤の蒸発を抑制する点から、水溶性有機溶剤は沸点120℃以上の高沸点溶剤を含むことが好ましい。水溶性有機溶剤としては、例えば、2−メトキシエタノール、2−ブトキシエタノール、2−(イソペンチルオキシ)エタノール、2−(ヘキシルオキシ)エタノール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、液状のポリエチレングリコール、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、液状のポリプロピレングリコール等が挙げられる。水溶性有機溶剤の使用量は、顔料100質量部に対し、5〜1000質量部が好ましく、50〜500質量部がより好ましい。
顔料をソルトミリング処理する際には、必要に応じて樹脂を添加してもよい。当該樹脂の種類は特に限定されず、天然樹脂、変性天然樹脂、合成樹脂、天然樹脂で変性された合成樹脂等を用いることができる。当該樹脂は、室温で固体であり、水不溶性が好ましく、かつ上記有機溶剤に一部可溶であることがさらに好ましい。樹脂の使用量は、顔料100質量部に対し、5〜200質量部が好ましい。
<樹脂型分散剤(B)>
本発明の感光性着色組成物は、樹脂型分散剤(B)を含有する。樹脂型分散剤(B)は、公知のものの中から適宜選択することができる。樹脂型分散剤(B)を用いることにより、前記着色剤(A)、中でも顔料の分散性及び分散安定性に優れている。
分散剤は一般に、着色剤に吸着する着色剤親和性部位と、溶剤との相溶性を有する溶剤親和性部位とを有し、着色剤に吸着して溶剤への分散を安定化するものである。樹脂型分散剤(B)としては、着色剤(A)の分散性及び分散安定性の点から、酸性官能基を有する樹脂型分散剤(b1)、及び塩基性官能基を有する樹脂型分散剤(b2)のうち少なくとも一方を含むことが好ましい。このような樹脂型分散剤を含むことにより、前記官能基が着色剤親和性部位となって着色剤と吸着し、分散安定性がより良好となり、粘度安定性に優れた感光性着色組成物を得ることができる。本発明においては、少量の添加で分散体の粘度が低くなり粘度安定性に優れる点から、樹脂型分散剤(B)が、酸性官能基を有する樹脂型分散剤(b1)及び塩基性官能基を有する樹脂型分散剤(b2)を含むことが好ましい。
樹脂型分散剤(B)の具体例としては、ポリアクリレート等のポリカルボン酸エステル、ポリウレタン、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸(部分)アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物;ポリ(低級アルキレンイミン)と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩等の油性分散剤、(メタ)アクリル酸−スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体;ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂や水溶性高分子化合物;ポリエステル系分散剤、変性ポリアクリレート系分散剤、リン酸エステル系分散剤等が挙げられる。これらは単独または2種以上を混合して用いることができる。
樹脂型分散剤(B)に占める、酸性官能基を有する樹脂型分散剤(b1)及び塩基性官能基を有する樹脂型分散剤(b2)の合計の割合は、特に限定されないが、分散性及び分散安定性の点から、80質量%〜100質量%が好ましく、90質量%〜100質量%がより好ましい。
塩基性官能基を有する樹脂型分散剤(b2)としては、側鎖に3級アミノ基、4級アンモニウム塩基、含窒素複素環などを含む、窒素原子含有グラフト共重合体、窒素原子含有アクリル系ブロック共重合体、又はウレタン系高分子分散剤が好ましく、中でも、アクリル系ブロック共重合体が好ましい。
酸性官能基を有する樹脂型分散剤(b1)としては、カルボン酸基、リン酸基、スルホン酸基などを含む官能基を有する、アクリル系共重合体又はウレタン系高分子分散剤が好ましく、アクリル系共重合体がより好ましく、中でもアクリル系ブロック共重合体が好ましい。酸性官能基を有する樹脂型分散剤(b1)は、現像液に対する耐性を向上する点から、(メタ)アクリレートを含むエチレン性不飽和単量体を重合して成る部位を有し、当該部位のガラス転移温度の理論値が40℃以上が好ましく、80℃以上がより好ましい。また、現像液に対する耐性がさらに向上する点から、酸性官能基を有する樹脂型分散剤として、芳香族カルボキシル基を有する樹脂型分散剤を含むことがより好ましい。
芳香族カルボキシル基を有する樹脂型分散剤とは、その分子内に芳香族カルボキシル基を有するものである。その製造方法としては、例えば、水酸基を有する重合体(G)に芳香族トリカルボン酸無水物及び/又は芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させる方法(1)、芳香族カルボキシル基を有する単量体を用いて重合体を作る方法(2)、水酸基を有する単量体を重合しながら芳香族トリカルボン酸無水物及び/又は芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させる方法(3)、などが挙げられる。中でも、樹脂型分散剤(B)中の芳香族カルボキシル基の個数をより制御し易い点から、上記方法(1)が好ましい。
芳香族カルボキシル基を有する樹脂型分散剤は、分散安定背の点から、水酸基を有する重合体と、芳香族トリカルボン酸無水物及び/又は芳香族テトラカルボン酸二無水物とを反応させてなる分散剤が好ましく、前記水酸基を有する重合体が片末端に水酸基を有する重合体がより好ましく、さらに、片末端に水酸基を有する重合体が、片末端に2つの水酸基を有する重合体がより好ましい。
片末端に水酸基を有する重合体としては、分散安定性の点から、片末端に水酸基を有するポリエステル及び/又はポリエーテル系重合体、または片末端に水酸基を有するビニル系重合体が好ましく、片末端に水酸基を有するビニル系重合体がより好ましい。
また、芳香族トリカルボン酸無水物及び/又は芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、特に芳香族トリカルボン酸無水物、中でも、トリメリット酸無水物を含むことが、顔料分散体の保存安定性に優れるために好ましい。
このような芳香族カルボキシル基を有する樹脂型分散剤を得る方法として、分子内に2つの水酸基と1つのチオール基を有する化合物の存在下、エチレン性不飽和単量体をラジカル重合してなる片末端に2つの水酸基を有するビニル重合体を少なくとも含むポリオール中の水酸基と、芳香族テトラカルボン酸二無水物を少なくとも含むポリカルボン酸無水物中の酸無水物基と、を反応させる方法が挙げられる。
このような芳香族カルボキシル基を有する樹脂型分散剤の中でも、ビニル重合体の構成モノマーとしてメチルメタクリレートを含有することが、現像液に対する耐性が高くなる点から好ましい。中でも、当該重合体中の質量比でメチルメタクリレートの含有量は30%以上が好ましく、50%以上がより好ましく、65%以上が更に好ましい。
芳香族カルボキシル基を有する樹脂型分散剤については、国際公開第2008/007776号パンフレット、特開2009−185277号公報、特開2008−029901号公報に記載されている公知技術を参照できる。
市販の酸性官能基を有する樹脂型分散剤としては、ビックケミー・ジャパン社製のDisperbyk−101、110、111、130、140、170、171、174、180、2001、2020、2025、2070またはBYK−P104、P104S、220S等、日本ルーブリゾール社製のSOLSPERSE−3000、13240、13650、13940、16000、17000、18000、21000、24000、26000、27000、28000、31845、32000、32500、32550、32600、34750、35100、36600、38500、41000、41090、53095、55000等、BASF社製のEFKA−4008、4009、4010、4406、5010、5065、5066、5070等、味の素ファインテクノ社製のアジスパーPA111、PB821、PB822等が挙げられる。
市販の塩基性官能基を有する樹脂型分散剤としては、ビックケミー・ジャパン社製のDisperbyk−101、108、116、130、140、161、162、163、164、165、166、180、182、183、184、185、2000、2001、2020、2025、2050、2070、2150またはBYK−6919等、日本ルーブリゾール社製のSOLSPERSE−13240、13650、13940、20000、24000、26000、31845、32000、32500、32550、34750、35100等、BASF社製のEFKA−4008、4009、4010、4015、4020、4047、4050、4055、4060、4080、4400、4401、4402、4403、4406、4300、4330、4500、4510、4530、4550、4560、4800等、味の素ファインテクノ社製のアジスパー、PB711、PB821、PB822等が挙げられる。
樹脂型分散剤(B)は、1種単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。樹脂型分散剤(B)の含有割合は、着色剤(A)全量に対して5〜200質量%が好ましく、10〜40質量%がより好ましい。樹脂型分散剤(B)を適量含有すると成膜性がより向上する。
<光重合開始剤(C)>
本発明の感光性着色組成物は、紫外線照射により硬化させるため、光重合開始剤(C)を含有する。光重合開始剤(C)は、公知の化合物を適宜選択できる。
光重合開始剤(C)は、例えば、4−フェノキシジクロロアセトフェノン、4−t−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、または2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等のアセトフェノン系化合物;ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、またはベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系化合物;ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、または3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物;チオキサントン、2−クロルチオキサントン、2−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、または2,4−ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物;2,4,6−トリクロロ−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ピペロニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−スチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、または2,4−トリクロロメチル−(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン等のトリアジン系化合物;1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)〕、またはO−(アセチル)−N−(1−フェニル−2−オキソ−2−(4’−メトキシ−ナフチル)エチリデン)ヒドロキシルアミン等のオキシムエステル系化合物;ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、または2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等のホスフィン系化合物;9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物;ボレート系化合物;カルバゾール系化合物;イミダゾール系化合物;チタノセン系化合物等が挙げられる。中でも、感度が高く含有割合を低減することができることから、光重合開始剤(C)としてオキシムエステル系化合物を含むことが好ましい。光重合開始剤(C)は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
光重合開始剤の含有量は、着色剤(A)の全量を基準として、0.5〜200質量%が好ましく、1〜150質量%がより好ましい。当該含有割合とすることにより光硬化性および現像性に優れた感光性着色組成物が得られる。
<光重合性化合物(D)>
本発明の感光性着色組成物において、光重合性化合物(D)は、少なくとも、2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)(以下、単に(メタ)アクリレート(d1)とすることがある)を含む。
(2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1))
(メタ)アクリレート(d1)は、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基(CH=C(−R)−C(=O)−O−:Rは水素原子又はメチル基)と、1分子中に1個以上の2級または3級アミノ基を有し、ウレタン結合(−NH−C(=O)−O−)を有しない化合物である。本発明の感光性着色組成物は、上記特定の(メタ)アクリレート(d1)を用いることで光感度が向上するため、パターンの直進性の向上、画素のエッジにおけるテーパー形状や逆テーパー形状の抑制、および現像残渣の抑制が可能なカラーフィルタ用感光性着色組成物が得られる。
(メタ)アクリレート(d1)としては、例えば後述する2官能以上の(メタ)アクリレートの少なくとも一部の(メタ)アクリル酸と、2級アミノ基又は3級アミノ基を有するアミノアルコールとが脱水縮合した(メタ)アクリレートが挙げられる。
(メタ)アクリレート(d1)において、(メタ)アクリロイル基は、1分子中に2個以上有すればよく、2〜6個有することが好ましく、2〜4個有することがより好ましい。
また、(メタ)アクリレート(d1)において、2級アミノ基又は3級アミノ基は1〜6個有することが好ましく、1〜4個有することがより好ましい。
(メタ)アクリレート(d1)は市販品を用いてもよい。市販品としては、例えば、ダイセル・オルネクス社製「EBECRYL80」「EBECRYL7100」や、サートマー社製「CN371 NS」、「CN550」、「CN551 NS」、BASF社製「Laromer 83F」、「Laromer 84F」などが挙げられる。(メタ)アクリレート(d1)は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
(他の光重合性化合物)
本発明の感光性着色組成物は、必要に応じて更に他の光重合性化合物を含有してもよい。光重合性化合物としては、公知の単官能または多官能(メタ)アクリレートが挙げられる。本発明においては、中でも、2級または3級アミノ基を有さない(メタ)アクリレート(d2)(以下、単に(メタ)アクリレート(d2)とすることがある)を含むことが好ましい。
(メタ)アクリレート(d2)としては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等の単官能(メタ)アクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート等の2官能(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート等の3官能(メタ)アクリレート;ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート等の4官能(メタ)アクリレート;ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の5官能以上の(メタ)アクリレート等が挙げられ、これらはアルキレンオキサイド変性体、好ましくは、エチレンオキサイド変性(EO変性)体であってもよい。(メタ)アクリレート(d2)は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
本発明において(メタ)アクリレート(d2)は、画素形状を良好にし、現像残渣の抑制が可能な点から、中でも、5官能以上の(メタ)アクリレート、および3官能以下の(メタ)アクリレートを含むことが好ましい。
本発明において、光重合性化合物(D)の含有量は、感光性着色組成物の不揮発分100質量%中、5〜40質量%が好ましい。5質量%以上であれば、硬化性に優れた感光性着色組成物となる。また、40質量%以下であれば、着色剤(A)など他の成分の含有割合を相対的に高めることができ、所望の色味や分散性の向上等を図ることができる。
前記2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)の含有量が、光重合性化合物(D)100質量%中、10〜50質量%が好ましく、12.5〜47.5質量%がより好ましい。
また、前記2級または3級アミノ基を有さない(メタ)アクリレート(d2)の含有量が光重合性化合物(D)100質量%中、50〜90質量%が好ましく、52.5〜87.5質量%がより好ましい。
(メタ)アクリレート(d1)と、(メタ)アクリレート(d2)とを上記の割合で組み合わせて用いることにより、より画素形状を良好にし、現像残渣の抑制することができる。
また、(メタ)アクリレート(d2)として、5官能以上の(メタ)アクリレート、および3官能以下の(メタ)アクリレートを組み合わせて用いる場合、その質量比は特に限定されないが、例えば、1:9〜9:1とすることができ、中でも2:8〜8:2とすることが好ましい。
<他の成分>
本発明の感光性着色組成物は、必要に応じてさらに他の成分を含有してもよい。他の成分としては、例えば、紫外線吸収剤(E)、重合禁止剤(F)、色素誘導体、バインダー樹脂、レベリング剤、溶剤などが挙げられる。
本発明の感光性着色組成物は、更に紫外線吸収剤(E)を含有してもよい。紫外線吸収剤により、現像後のパターンの解像性がより向上する。紫外線吸収剤(E)は公知のものの中から適宜選択できる。例えば、ベンゾフェノン系、トリアジン系、ベンゾトリアゾール系などの紫外線吸収剤が挙げられ、本発明においてはベンゾトリアゾール系の紫外線吸収剤が好ましい。ベンゾトリアゾール系の紫外線吸収剤としては、例えば、BASF社製TINUVIN 324、 326、 329等、シプロ化成社製シーソーブ 107等、ADEKA社製アデカスタブ LA−F70等が挙げられる。紫外線吸収剤(E)は1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
紫外線吸収剤(E)の含有量は、感光性着色組成物100質量部に対し、1質量部以下が好ましく、0.01〜0.5質量部がより好ましい。0.01質量部以上であれば画素の耐候性が向上する。一方、1質量部以下であれば、感光性着色組成物の露光感度が低下し難い。
本発明の感光性着色組成物は、更に重合禁止剤(F)を含有してもよい。重合禁止剤により、感光性着色組成物の保存安定性が向上する。重合禁止剤(F)は公知のものの中から適宜選択できる。例えば、ヒンダードフェノール系、キノン系、ニトロソアミン系、フェノチアジン系などの重合禁止剤が挙げられ、本発明においてはキノン系の重合禁止剤が好ましい。キノン系の重合禁止剤としては、例えば、精工化学社製「MH」(メチルヒドロキノン)などが挙げられる。重合禁止剤(F)は1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
重合禁止剤(F)の含有量は、感光性着色組成物100質量部に対し、0.001〜0.02質量部が好ましい。0.001質量部以上であれば感光性着色樹脂組成物の保存安定性に優れている。一方、1質量部以下であれば、感光性着色組成物の露光時の硬化阻害が抑制される。
本発明の感光性着色組成物は、更に色素誘導体を含有してもよい。色素誘導体を用いることにより、分散後の着色剤(A)の再凝集を防止したり、画素の分光特性の向上や、組成物の粘度安定性が良好になるなど、種々の効果を付与することができる。また、色素誘導体は、耐溶剤性の弱い顔料の表面を保護する効果もあるため、現像液等に対する耐薬品性が良好となる。
本発明において色素誘導体とは、顔料、染料等の着色剤を変性し、着色剤(A)の分散安定性または溶解安定性を向上できる分散助剤をいう。
本発明に用いる色素誘導体における色素は、前記着色剤(A)に記載の有機顔料及び染料の中から適宜選択することができる。色素誘導体は、これら有機色素残基に酸性基、塩基性基、中性基などを有する公知の顔料誘導体、染料誘導体などが挙げられる。例えば、スルホ基、カルボキシ基、リン酸基などの酸性官能基を有する化合物およびこれらのアミン塩や、スルホンアミド基や末端に3級アミノ基などの塩基性官能基を有する化合物、フェニル基やフタルイミドアルキル基などの中性官能基を有する化合物が挙げられる。特開昭63−305173号公報、特公昭57−15620号公報、特公昭59−40172号公報、特公昭63−17102号公報、特公平5−9469号公報、特開2001−335717号公報、特開2003−128669号公報、特開2004−091497号公報、特開2007−156395号公報、特開2008−094873号公報、特開2008−094986号公報、特開2008−095007号公報、特開2008−195916号公報、特許第4585781号公報、特開2006−291194号公報、特開2007−226161号公報、特開2007−314681号公報、特開2007−314785号公報、特開2012−226110号公報、特開2017−165820号公報、特開2005−181383号公報、などに記載の公知の色素誘導体が挙げられる。なおこれらの文献には、色素誘導体を誘導体、顔料誘導体、顔料分散剤もしくは単に化合物などと記載している場合があるが、前記した有機色素残基に酸性基、塩基性基、中性基などの官能基を有する化合物は、色素誘導体と同義である。また、これらは単独又は2種類以上を混合して用いることができる。
色素誘導体のなかでも、具体的には以下の式(1−1)〜式(3−10)及び式(4−1)〜(4−5)で表される化合物が粘度安定性と耐薬品性の観点で特に好ましい。
Figure 0006584621
[式(1)〜式(3)中のR101は、下表1に記載の置換基を表す。]
Figure 0006584621
Figure 0006584621
[式(4)中のR102およびR103は、下表2に記載の置換基を表す。]
Figure 0006584621
色素誘導体の配合量は、添加顔料の分散性向上の観点から、顔料100質量部に対し、好ましくは0.5質量部以上、さらに好ましくは1質量部以上、最も好ましくは3質量部以上である。また、耐熱性、耐光性の観点から、顔料100質量部に対し、好ましくは40質量部以下、さらに好ましくは35質量部以下である。
また、本発明の着色樹脂組成物は、バインダー樹脂を含有してもよい。バインダー樹脂としては、公知の熱可塑性樹脂、及び熱硬化性樹脂の中から適宜選択できる。熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、ビニル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン(HDPE、LDPE)、ポリブタジエン、及びポリイミド樹脂等が挙げられる。
バインダー樹脂は、可視光領域の400〜700nmの全波長領域において分光透過率が好ましくは80%以上、より好ましくは95%以上の樹脂が好ましい。また、アルカリ現像型着色レジストの形態で用いる場合には、酸性基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアルカリ可溶性樹脂が好ましい。また、さらに光感度を向上させるために、エチレン性不飽和活性二重結合を有するエネルギー線硬化性樹脂を用いることもできる。
バインダー樹脂として、アルカリ可溶性とエネルギー線硬化性とを併せもつ樹脂を用いてもよい。
上記熱可塑性樹脂を構成するモノマーとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、又はエトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレート類;(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジエチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、ダイアセトン(メタ)アクリルアミド、又はアクリロイルモルホリン等の(メタ)アクリルアミド類;スチレン、又はα−メチルスチレン等のスチレン類;エチルビニルエーテル、n−プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、n−ブチルビニルエーテル、又はイソブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類;酢酸ビニル、又はプロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類;シクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、1,2−ビスマレイミドエタン1,6−ビスマレイミドヘキサン、3−マレイミドプロピオン酸、6,7−メチレンジオキシ−4−メチル−3−マレイミドクマリン、4,4’−ビスマレイミドジフェニルメタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、N,N’−1,3−フェニレンジマレイミド、N,N’−1,4−フェニレンジマレイミド、N−(1−ピレニル)マレイミド、N−(2,4,6−トリクロロフェニル)マレイミド、N−(4−アミノフェニル)マレイミド、N−(4−ニトロフェニル)マレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−ブロモメチル−2,3−ジクロロマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオナート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチラート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドヘキサノアート、N−[4−(2−ベンゾイミダゾリル)フェニル]マレイミド、9−マレイミドアクリジン等のN−置換マレイミド類が挙げられる。
特に、N−置換マレイミド由来の構成単位を有することが好ましく、なかでも耐熱性の点からシクロヘキシルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、1,2−ビスマレイミドエタンが好ましく、特にシクロヘキシルマレイミドが好ましい。
バインダー樹脂は、着色剤(A)100質量部に対し、5〜60質量部が好ましい。5質量部以上であれば、アルカリ現像性に優れる。また、60質量部以下であれば、耐熱性及び耐候性に優れた画素を得ることができる。
バインダー樹脂の質量平均分子量(Mw)は、着色剤(A)の分散性の点から、5,000〜100,000の範囲が好ましく、8,000〜50,000がよりこのましい。また数平均分子量(Mn)は2,500〜50,000の範囲が好ましく、Mw/Mnの値は10以下が好ましい。
ここで質量平均分子量(Mw)、数平均分子量(Mn)は、東ソー株式会社製ゲルパーミエイションクロマトグラフィー「HLC−8120GPC」において、分離カラムを4本直列に繋ぎ、充填剤には順に東ソー株式会社製「TSK−GEL SUPER H5000」、「H4000」、「H3000」、及び「H2000」を用い、移動相にテトラヒドロフランを用いて測定したポリスチレン換算分子量である。
バインダー樹脂は、着色剤の分散性、現像性、及び耐熱性の点から、酸価20〜300mgKOH/gの樹脂を用いることが好ましい。酸価が20mgKOH/g以上であれば、カルボキシル基が十分に含まれるため、アルカリ現像性に優れ、微細パターンの形成性に優れている。一方、300mgKOH/g以下とすることにより、良好な画素形状が得られる。
アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性基を有するエチレン性不飽和モノマーの共重合体が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂として具体的には、酸性基を有するアクリル樹脂、α−オレフィン/(無水)マレイン酸共重合体、スチレン/スチレンスルホン酸共重合体、エチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、又はイソブチレン/(無水)マレイン酸共重合体等が挙げられる。中でも、酸性基を有するアクリル樹脂、及びスチレン/スチレンスルホン酸共重合体から選ばれる少なくとも1種の樹脂、特に酸性基を有するアクリル樹脂は、耐熱性、透明性が高いため、好適に用いられる。
エネルギー線硬化性樹脂としては、例えば、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等の反応性の置換基を有する高分子にイソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等の反応性置換基を有する(メタ)アクリル化合物やケイヒ酸を反応させて、(メタ)アクリロイル基、スチリル基等の光架橋性基を該高分子に導入した樹脂が用いることができる。又、スチレン−無水マレイン酸共重合物やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む高分子をヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル化合物によりハーフエステル化したものを用いてもよい。
本発明の着色組成物には、透明基板上での組成物のレベリング性を良くするため、レベリング剤を添加してもよい。レベリング剤としては、主鎖にポリエーテル構造またはポリエステル構造を有するジメチルシロキサンが好ましい。主鎖にポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、東レ・ダウコーニング社製FZ−2122、ビックケミー社製BYK−333などが挙げられる。主鎖にポリエステル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、ビックケミー社製BYK−310、BYK−370などが挙げられる。主鎖にポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンと、主鎖にポリエステル構造を有するジメチルシロキサンとは、併用することもできる。レベリング剤の含有量は、感光性着色組成物100質量%中、0.003〜1.0質量%が好ましい。
レベリング剤は、分子内に疎水基と親水基を有するいわゆる界面活性剤の一種で、中でも、親水基を有しながらも水に対する溶解性が小さく、着色組成物に添加したときに、その表面張力低下能が低いという特徴を有するものが好ましい。さらにレベリング剤は、表面張力低下能が低いにも拘らずガラス板への濡れ性が良好なものが好ましく、泡立ちによる塗膜の欠陥が出現しない添加量において十分に帯電性を抑止できるものがより好ましい。このような好ましい特性を有するレベリング剤としては、ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンが挙げられる。当該ポリアルキレンオキサイド単位としては、ポリエチレンオキサイド単位、ポリプロピレンオキサイド単位が挙げられる。ジメチルポリシロキサンは、ポリエチレンオキサイド単位とポリプロピレンオキサイド単位とを共に有していてもよい。
ポリアルキレンオキサイド単位とジメチルポリシロキサンとの結合形態は、ポリアルキレンオキサイド単位がジメチルポリシロキサンの繰り返し単位中に結合したペンダント型、ジメチルポリシロキサンの末端に結合した末端変性型、ジメチルポリシロキサンと交互に繰り返し結合した直鎖状のブロックコポリマー型のいずれであってもよい。ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンは、東レ・ダウコーニング株式会社から市販されており、例えば、FZ−2110、FZ−2122、FZ−2130、FZ−2166、FZ−2191、FZ−2203、FZ−2207が挙げられるが、これらに限定されない。
レベリング剤には、アニオン性、カチオン性、ノニオン性、または両性の界面活性剤を補助的に加えてもよい。界面活性剤は、1種単独で又は2種以上。
レベリング剤に補助的に加えるアニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどが挙げられる。
レベリング剤に補助的に加えるカオチン性界面活性剤としては、アルキル4級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。レベリング剤に補助的に加えるノニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレート;アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤、また、フッ素系やシリコーン系の界面活性剤が挙げられる。
また、本発明の感光性着色組成物は、溶剤を含有してもよい。溶剤は、着色剤(A)を分散乃至溶解するものの中から適宜選択できる。
溶剤としては、例えば乳酸エチル、ベンジルアルコール、1,2,3−トリクロロプロパン、1,3−ブタンジオール、1,3−ブチレングリコール、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,4−ジオキサン、2−ヘプタノン、2−メチル−1,3−プロパンジオール、3,5,5−トリメチル−2−シクロヘキセン−1−オン、3,3,5−トリメチルシクロヘキサノン、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メチル−1,3−ブタンジオール、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール、3−メトキシ−3−メチルブチルアセテート、3−メトキシブタノール、3−メトキシブチルアセテート、4−ヘプタノン、m−キシレン、m−ジエチルベンゼン、m−ジクロロベンゼン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、n−ブチルアルコール、n−ブチルベンゼン、n−プロピルアセテート、o−キシレン、o−クロロトルエン、o−ジエチルベンゼン、o−ジクロロベンゼン、p−クロロトルエン、p−ジエチルベンゼン、sec−ブチルベンゼン、tert−ブチルベンゼン、γ−ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノールアセテート、シクロヘキサノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸n−アミル、酢酸n−ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル等が挙げられる。溶剤は1種単独で又は2種以上を組み合わせることができる。溶剤は、着色剤(A)の分散性の点から、中でも、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のグリコールアセテート類、ベンジルアルコール等の芳香族アルコール類やシクロヘキサノン等のケトン類が好ましい。
溶剤は、着色組成物を適正な粘度に調節し、目的とする均一な膜厚のフィルタセグメントを形成できることから、着色剤(A)100質量%に対して、500〜4000質量%が好ましい。
<感光性着色組成物の製造方法>
本発明の感光性着色組成物は、着色剤(A)と、樹脂型分散剤(B)と、光重合開始剤(C)と、光重合性化合物(D)と、必要に応じて用いられる各成分を均一に分散可能な方法であればよく、公知の分散法から適宜選択できる。例えば、各成分を、ニーダー、2本ロールミル、3本ロールミル、ボールミル、横型サンドミル、縦型サンドミル、アニュラー型ビーズミル、またはアトライター等の各種分散手段を用いて微細に分散して製造できる。このとき、2種以上の有機顔料等を同時に溶剤に分散しても良いし、別々に分散したものを混合してもよい。
本発明の感光性着色組成物は、上記分散を実施した後に、例えば、重力加速度3000〜25000Gの遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、5μm以上の粗大粒子、好ましくは1μm以上の粗大粒子、さらに好ましくは0.5μm以上の粗大粒子および混入した塵の除去を行うことが好ましい。
染料等、溶解性が高い着色剤を用いる場合、攪拌により溶解すれば、上記のような微細に分散して製造する必要はない。
(カラーフィルタの製造方法)
本発明の感光性着色樹脂組成物を用いてカラーフィルタを製造する方法について、一例を挙げて説明する。図1はカラーフィルタを構成する画素の模式的な断面図である。図1の例に示すカラーフィルタ10は、基材1上に画素2を有しており、当該画素2が本発明の感光性着色樹脂組成物の硬化物である。画素2は、通常3色以上の画素が規則的に配置されており、画素間には遮光部を有していてもよい。画素の厚みは特に限定されないが、例えば、0.1〜5μmである。
まず、本発明の感光性着色樹脂組成物を、スプレーコート法、ディップコート法、バーコート法、コールコート法、スピンコート法などの塗布手段を用いて基材1上に塗布して、ウェット塗膜を形成する。次いで、必要に応じて、ホットプレートやオーブンなどを用いて該ウェット塗膜を乾燥させたのち、これに、所定のパターンのマスクを介して露光し、光重合性化合物(D)の光重合反応を行う。光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプなどの紫外線、電子線等が挙げられる。露光量は、使用する光源や塗膜の厚みなどによって適宜すればよい。また、露光後に加熱処理を行い、重合反応を促進してもよい。
次に現像液を用いて現像処理し、未露光部分を溶解、除去することにより、所望のパターンの画素が形成される。現像液としては、露光部と未露光部との溶解度差の大きな有機溶剤を用いてもよく、また、アルカリ溶液を用いてもよい。このアルカリ溶液には、界面活性剤などを適量添加してもよい。
現像処理後は、通常、現像液の洗浄、及び硬化膜の乾燥が行われ、画素が形成される。なお、現像処理後に、画素を十分に硬化させるために加熱処理を行ってもよい。
本発明の感光性着色樹脂組成物は、エッジにおけるテーパー形状や逆テーパー形状が抑制され、現像残渣が抑制された画素が形成可能であり、液晶表示装置、及び有機EL装置等のカラー表示用途もしくは透過光補正用途、ならびに固体撮像素子の色分解用途に用いられるカラーフィルタ用の画素形成用途に好適に用いることができる。
以下に、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。なお、実施例および比較例中、「部」とは「質量部」を意味する。
まず、実施例および比較例で用いた樹脂型分散剤、バインダー樹脂溶液、光重合性単量体、色素誘導体および顔料分散体の製造方法について説明する。また、樹脂型分散剤およびバインダー樹脂の質量平均分子量(Mw)は、TSKgelカラム(東ソー社製)を用い、RI検出器を装備したGPC(東ソー社製、HLC−8120GPC)で、展開溶媒にTHFを用いて測定したポリスチレン換算の質量平均分子量(Mw)である。樹脂型分散剤のアミン価は、0.1Nの塩酸水溶液を用い、電位差滴定法によって求めた後、水酸化カリウムの当量に換算した。樹脂型分散剤のアミン価は、固形分のアミン価である。
<樹脂型分散剤溶液(B)の製造>
[樹脂型分散剤(B−1)]
ガス導入管、コンデンサー、攪拌翼、および温度計を備え付けた反応装置に、メチルメタクリレート20部、n−ブチルメタクリレート60部、テトラメチルエチレンジアミン13.2部を仕込み、窒素を流しながら50℃で1時間撹拌し、系内を窒素置換した。次に、ブロモイソ酪酸エチル9.3部、塩化第一銅5.6部、PGMAc133部を仕込み、窒素気流下で、110℃まで昇温して第一ブロックの重合を開始した。4時間重合後、重合溶液をサンプリングして固形分測定を行い、不揮発分から換算して重合転化率が98%以上であることを確認した。
次に、この反応装置に、PGMAc61部、第二ブロックモノマーとしてジメチルアミノエチルメタクリレート20部(以下、DMという)を投入し、110℃・窒素雰囲気下を保持したまま撹拌し、反応を継続した。ジメチルアミノエチルメタクリレート投入から2時間後、重合溶液をサンプリングして固形分測定を行い、不揮発分から換算して第二ブロックの重合転化率が98%以上であることを確認し、反応溶液を室温まで冷却して重合を停止した。
得られたブロック共重合体溶液に不揮発分が40質量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加した。このようにして、固形分当たりのアミン価が71.4mgKOH/g、質量平均分子量9900(Mw)、不揮発分が40質量%のポリ(メタ)アクリレート骨格であり、3級アミノ基を有する樹脂型分散剤溶液(B−1)を得た。
[樹脂型分散剤(B−2)]
ガス導入管、温度計、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、n−ブチルメタクリレート80.0部、メチルメタクリレート30.0部、を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を80℃に加熱して、3−メルカプト−1,2−プロパンジオール3.0部に、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル0.1部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.3部に溶解した溶液を添加して、10時間反応した。固形分測定により95%が反応したことを確認した。このとき、質量平均分子量が4,000であった。次に、トリメリット酸二無水物(ダイセル社製)を21.3部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート70.1部、触媒として1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン0.2部を追加し、120℃で7時間反応させた。酸価の測定で98%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了した。反応終了後、不揮発分が50質量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して調製し、酸価43mgKOH/g、質量平均分子量9,000の酸性官能基を有する分散剤(B−2)の溶液を得た。
[樹脂型分散剤(B−3)]
ガス導入管、温度計、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、メチルメタクリレート70.0部、エチルアクリレート10.0部、t−ブチルメタクリレート20.0部を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を80℃に加熱して、3−メルカプト−1,2−プロパンジオール6.0部に、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル0.1部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.3部に溶解した溶液を添加して、10時間反応した。固形分測定により95%が反応したことを確認した。このとき、質量平均分子量が4,000であった。次に、ピロメリット酸二無水物(株式会社ダイセル社製)を9.7部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート70.1部、触媒として1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン0.2部を追加し、120℃で7時間反応させた。酸価の測定で98%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了した。反応終了後、不揮発分が50質量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して調製し、酸価43mgKOH/g、質量平均分子量9,500の酸性官能基を有する分散剤(B−3)の溶液を得た。
<バインダー樹脂溶液(E)の製造>
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート196部を仕込み、80℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、ベンジルメタクリレート20.0部、n−ブチルメタクリレート17.2部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート12.9部、メタクリル酸12.0部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート(東亞合成株式会社製「アロニックスM110」)20.7部、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル1.1部の混合物を2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に3時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。
室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が40質量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加してバインダー樹脂溶液(E)を調製した。質量平均分子量(Mw)は26000であった。
<光重合性単量体の製造>
国際公開第2010/146801号の実施例Aの記載を参考に、原料である多官能(メタ)アクリレート及びジイソシアネートを下記の組合せにして、光重合性単量体であるウレタンアクリレート(DU−1)、(DU−2)を製造した。
・ウレタンアクリレート(DU−1):ジペンタエリスリトールペンタアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートの組合せ)
・ウレタンアクリレート(DU−2):ペンタエリスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート(ペンタエリスリトールトリアクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートの組合せ)
<色素誘導体の製造>
[色素誘導体(H−1)]
特開2007−156395号公報に記載の「キノフタロン誘導体Aの合成」、「顔料分散剤A」の合成を参考に、原料としてテトラクロロ無水フタル酸の代わりに無水フタル酸を用い、N−アミノエチルピペリジンの代わりにジメチルアミノプロピルアミンを用いて、下記化学式で表される色素誘導体(H−1)を得た。
Figure 0006584621
[色素誘導体(H−2)]
特開2007−156395号公報に記載の「顔料分散剤Dの合成」に従い、下記化学式で表される色素誘導体(H−2)を得た。
Figure 0006584621
[色素誘導体(H−3)]
上記色素誘導体(H−2)の合成で使用した中間体Hの代わりにC.I.ピグメントオレンジ62を用いて、下記化学式で表される色素誘導体(H−3)を得た。
Figure 0006584621
[色素誘導体(H−4)]
特開2011−227491号公報に記載の銅フタロシアニンのアミン化合物(C−3)の製造にしたがって、下記化学式で表される色素誘導体(H−4)を得た。
Figure 0006584621
(式中、Pcはフタロシアニンを表す)
<微細化顔料の製造>
[赤色微細化顔料(R1)]
ジケトピロロピロール系赤色顔料C.I.ピグメントレッド 254(PR254、BASF社製「IRGAZIN RED 2030」)200部、塩化ナトリウム1400部、およびジエチレングリコール360部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、80℃で6時間混練した。次にこの混練物を8000部の温水に投入し、80℃に加熱しながら2時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウムおよびジエチレングリコールを除いた後、85℃で一昼夜乾燥し、190部のジケトピロロピロール系の赤色微細化顔料(R1)を得た。
[青色微細化顔料(B1)]
フタロシアニン系青色顔料C.I.ピグメントブルー15:6(PB15:6、トーヨーカラー株式会社製「LIONOL BLUE ES」)200部、塩化ナトリウム1400部、およびジエチレングリコール360部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、80℃で6時間混練した。次にこの混練物を8000部の温水に投入し、80℃に加熱しながら2時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウムおよびジエチレングリコールを除いた後、85℃で一昼夜乾燥し、青色微細化顔料(B1)を得た。
[黄色微細化顔料(Y1)]
イソインドリノン系黄色顔料3C.I.ピグメントイエロー 139(PY139、BASF社製「PALIOTOL YELLOW D1819」)100部、粉砕した食塩800部、およびジエチレングリコール180部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、70℃で4時間混練した。この混合物を温水3000部に投入し、約80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして食塩および溶剤を除いた後、80℃で24時間乾燥し、96部の黄色微細化顔料(Y1)を得た。
[黄色微細化顔料(Y2)]
アゾ系黄色顔料C.I.ピグメントイエロー 150(PY150、ランクセス社製「E−4GN」)100部、粉砕した食塩500部、およびジエチレングリコール250部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、70℃で4時間混練した。この混合物を温水5000部に投入し、約80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして食塩および溶剤を除いた後、80℃で24時間乾燥し、490部の黄色微細化顔料(Y3)を得た。
[紫色微細化顔料(V1)]
ジオキサジン系紫色顔料C.I.ピグメントバイオレット 23(トーヨーカラー社製「LIONOGEN VIOLET RL」)200部、塩化ナトリウム1400部、およびジエチレングリコール360部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、80℃で6時間混練した。次にこの混練物を8000部の温水に投入し、80℃に加熱しながら2時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウムおよびジエチレングリコールを除いた後、85℃で一昼夜乾燥し、ジオキサジン系の紫色微細化顔料(V1)を得た。
<顔料分散体の調製>
[緑色顔料分散体(GP−1)]
下記の組成の混合物を均一に撹拌混合した後、直径0.5mmのジルコニアビーズを用いて、アイガーミルで10時間分散した後、1.0μmのフィルタで濾過し、緑色顔料分散体(GP−1)を調製した。
・C.I.ピグメントグリーン58 14.0部
(DIC社製「FASTOGEN GREEN A110」)
・樹脂型分散剤(B−1)溶液 6.0部
・樹脂型分散剤(B−2)溶液 6.0部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 74.0部
[緑色顔料分散体(GP−2)]
下記の組成の混合物を使用し、緑色顔料分散体(GP−1)と同様にして緑色顔料分散体(GP−2)を調製した。
・C.I.ピグメントグリーン36 7.0部
(トーヨーカラー株式会社製「リオノールグリーン6YK」)
・黄色微細化顔料(Y2)(C.I.ピグメントエロー150) 7.0部
・色素誘導体(H−2) 1.0部
・樹脂型分散剤(B−3)溶液 10.0部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 75.0部
[黄色顔料分散体(YP−1)]
下記の組成の混合物を均一に撹拌混合した後、直径0.5mmのジルコニアビーズを用いて、アイガーミルで10時間分散した後、1.0μmのフィルタで濾過し、黄色顔料分散体(YP−1)を調製した。
・黄色微細化顔料(Y2)(C.I.ピグメントエロー150) 12.25部
・色素誘導体(H−2) 1.75部
・樹脂型分散剤(B−3) 12.00部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 74.00部
[黄色顔料分散体(YP−2)]
下記の組成の混合物を均一に撹拌混合した後、直径0.5mmのジルコニアビーズを用いて、アイガーミルで10時間分散した後、1.0μmのフィルタで濾過し、黄色顔料分散体(YP−2)を調製した。
・黄色微細化顔料(Y1)(C.I.ピグメントイエロー139) 12.25部
・色素誘導体(H−3) 1.75部
・樹脂型分散剤(B−3)溶液 12.00部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 74.00部
[黄色顔料分散体(YP−3)]
下記の組成の混合物を均一に撹拌混合した後、直径0.5mmのジルコニアビーズを用いて、アイガーミルで10時間分散した後、1.0μmのフィルタで濾過し、黄色顔料分散体(YP−3)を調製した。
・モノアゾ系顔料(C.I.ピグメントエロー185) 12.25部
(BASF(株)社製「PALIOTOL YELLOW D1155」)
・色素誘導体(H−3) 1.75部
・樹脂型分散剤(B−3)溶液 12.00部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 74.00部
[赤色顔料分散体(RP−1)
下記の組成の混合物を使用し、緑色顔料分散体P−G1と同様にして赤色顔料分散体(RP−1)を調製した。
・ジケトピロロピロール系顔料(C.I.ピグメントレッド254) 12.25部
(BASF社製「イルガフォーレッドB−CF」)
・樹脂型分散剤(B−3)溶液 12.00部
・色素誘導体(H−2) 1.75部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 74.00部
[青色顔料分散体(BP−1)の調製]
下記の組成の混合物を使用し、緑色顔料分散体P−G1と同様にして青色顔料分散体(BP−1)を調製した。
・青色微細化顔料(B1)(C.I.ピグメントブルー15:6) 10.08部
・微細化紫色顔料(V1)(C.I.ピグメントバイオレット23) 2.52部
・色素誘導体(H−4) 1.58部
・樹脂型分散剤(B−3)溶液 8.40部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 74.00部
<カラーフィルタ用感光性着色組成物の調製>
[実施例1:カラーフィルタ用感光性着色組成物(RS−1)]
下記の混合物(合計100部)を均一になるように攪拌混合した後、1.0μmのフィルタで濾過して、感光性着色組成物(GT−1)を得た。
・緑色顔料分散体1(GP−1)溶液 50.0部
・黄色顔料分散体1(YP−2)溶液 21.4部
・バインダー樹脂溶液(E) 5.5部
・光重合性単量体(D1) 1.2部
・光重合性単量体(D4) 1.4部
・光重合性単量体(D5) 1.4部
・光重合開始剤(C1) 0.5部
・紫外線吸収剤(E1) 0.1部
・レベリング剤溶液 1.0部
東レ・ダウコーニング社製「FZ−2122」(不揮発分100質量%)1部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート99部で希釈した溶液)
・重合禁止剤溶液 1.0部
精工化学社製「MH」(不揮発分100質量%)1部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート99部で希釈した溶液)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 16.5部
ここで、光重合性単量体(D1)〜(D5)、光重合開始剤(C1)〜(C2)、及び紫外線吸収剤(E1)は以下のとおりである。
・光重合性単量体(D1) 2級または3級アミノ基を有する4官能アクリレート
(ダイセル・オルネクス社製「EBECRYL80」)
・光重合性単量体(D2) 2級または3級アミノ基を有する2官能アクリレート
(ダイセル・オルネクス社製「EBECRYL7100」)
・光重合性単量体(D3) 2級または3級アミノ基を有する2官能アクリレート
(サートマー社製「CN371 NS」)
・光重合性単量体(D4) トリメチロールプロパンEO変性トリアクリレート
(東亜合成社製「アロニックスM−350」)(重合性官能基数:3)
・光重合性単量体(D5) ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(新中村化学社製「A−DPH」)(重合性官能基数:6)
・光重合開始剤(C1) エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)
(BASF社製「IRGACURE OXE 02」)
・光重合開始剤(C2) 2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−-モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン
(BASF社製「IRGACURE 379EG」)
・紫外線吸収剤(E1) (2−(3−tブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール
(BASF社製「TINUVIN 326」)
・紫外線吸収剤(E2) 6,6’,6’’−(1,3,5−トリアジン−2,4,6−トリイル)トリス(3−ヘキシルオキシ−2−メチルフェノール)
(ADEKA社製「アデカスタブ LA−F70」)
・紫外線吸収剤(E3) 2,2’,4,4‘-テトラヒドロキシベンゾフェノン
(シプロ化成社製「SEESORB107」)
[実施例2〜7、10〜21、参考例8〜9、比較例1〜3]
実施例1において、各成分の組成を表3、又は表4のように変更する以外は、実施例1と同様にして、実施例2〜7、10〜21、参考例8〜9、比較例1〜3の感光性着色組成物をそれぞれ得た。
Figure 0006584621
Figure 0006584621
<露光感度評価>
各実施例および比較例のカラーフィルタ用感光性着色組成物を、それぞれ平坦化膜付きシリコンウェハ上に塗布し、プリベイクとして、100℃のホットプレートで1分間加熱した。次に、i線ステッパー(キャノン株製FPA−5510iZ)を用い、0.8μm角の正方形ピクセルパターンを有するマスクを介し、焦点距離を−0.6μm、露光量1000〜10000J/mの範囲で1000J/m間隔で露光を行った。現像、熱処理後の画素の下底線幅(図1参照)が0.8μmになる露光量を適正露光量として、適正露光量を以下の基準で評価した。結果を表5に示す。なお、評価◎、○、△は実用域、×は実用不可である。
(露光感度評価基準)
◎:適正露光量が3000J/m以下
○:適正露光量が4000〜6000J/m
△:適正露光量が7000〜9000J/m
×:適正露光量が10000J/m以上
[画素の形成]
各実施例および比較例のカラーフィルタ用感光性着色組成物を、露光量を上記で評価された適正露光量に設定した以外は、上記露光感度評価と同様にして、下底線幅が0.8μmの固体撮像子向けカラーフィルタ画素を形成した。この方法で得られた画素の断面は、いずれも図1の例に示されるように、下底線幅が上底線幅よりも長くなっている。
以下、得られた画素について下記の評価を行った。なお、いずれの評価項目も評価◎、○、△は実用域、×は実用不可である。
<解像性評価>
形成された画素形状についてSEM(日立ハイテクノロジーズ社製S−3000)で観察し評価した。露光感度評価における適正露光量において形成した画素を用いて、解像性を以下の基準で評価した。結果を表5に示す。
(解像性評価基準)
◎:上底線幅/下底線幅≧0.85
○:0.80≦上底線幅/下底線幅<0.85
△:0.75≦上底線幅/下底線幅<0.80
×:上底線幅/下底線幅<0.75
<密着性評価>
形成された画素の密着性について測長SEMで観察し評価した。密着性を以下の基準で評価した。結果を表5に示す。
(密着性評価基準)
◎:画素の剥がれ、歪みがなかった
〇:0.6μm以上の画素の剥がれ、歪みはないが、0.6μm未満の画素の剥がれ、歪みがあった
△:0.7μm以上の画素の剥がれ、歪みはないが、0.6μm以上0.7μm未満の画素の剥がれ、歪みがあった
×:0.7μm以上の画素の剥がれ、歪みがあった
<残渣特性評価>
画素が形成されたシリコンウェハ上の残渣について、測長SEMで観察し評価した。熱処理後の画素間のパターン未形成部において残渣が占める割合(残渣を有する部分の面積/パターン未形成部全体の面積)を算出し、残渣特性を以下の基準で評価した。結果を表5に示す。
◎:残渣がパターン未形成部の3.0%未満
〇:残渣がパターン未形成部の3.0%以上5.0%未満
△:残渣がパターン未形成部の5.0%以上10.0%未満
×:残渣がパターン未形成部の10.0%以上
Figure 0006584621

表5に示されるとおり、前記光重合性化合物(D)が、2級または3級アミノ基を有し、ウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)を含む、実施例2〜7、10〜21のカラーフィルタ用感光性着色組成物によれば、露光感度、解像性、密着性、残渣特性に優れた画素パターンを形成することができることが明らかとなった。

これに対し、2級または3級アミノ基を有する2官能以上の(メタ)アクリレートを含まない比較例1の感光性着色組成物は解像度に劣る結果であった。また、比較例2及び3に示されるとおり、2級または3級アミノ基を有していてもウレタン結合を有するアクリレートを用いた感光性着色組成物では、解像度が悪く、また現像残渣が残りやすかった。
1 基材
2 画素
3 上底線
4 下底線

Claims (10)

  1. 着色剤(A)、樹脂型分散剤(B)、光重合開始剤(C)、および光重合性化合物(D)を含有し、
    前記光重合性化合物(D)が、2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)、及び、2級または3級アミノ基を有さない(メタ)アクリレート(d2)を含み、
    前記2級または3級アミノ基を有さない(メタ)アクリレート(d2)が、5官能以上の(メタ)アクリレート、および3官能以下の(メタ)アクリレートを含む、カラーフィルタ用感光性着色組成物。
  2. 前記着色剤(A)が、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン58、およびC.I.ピグメントグリーン59からなる群より選択される1種以上を含む、請求項1記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
  3. 光重合性化合物(D)の含有量が、感光性着色組成物の不揮発分100質量%中、5〜40質量%である、請求項1又は2に記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
  4. 前記2級または3級アミノ基を有しウレタン結合を有さない2官能以上の(メタ)アクリレート(d1)の含有量が、光重合性化合物(D)100質量%中、10〜50質量%である、請求項1〜いずれか1項に記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
  5. 前記光重合開始剤(C)が、オキシムエステル系光重合開始剤を含む、請求項1〜いずれか1項に記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
  6. さらに紫外線吸収剤(E)を含有する、請求項1〜いずれか1項に記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
  7. さらに重合禁止剤(F)を含有する、請求項1〜いずれか1項に記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
  8. 液晶表示装置に具備されるカラーフィルタに用いられることを特徴とする、請求項1〜いずれか1項に記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
  9. 有機EL装置に具備されるカラーフィルタに用いられることを特徴とする、請求項1〜いずれか1項に記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
  10. 固体撮像素子に具備されるカラーフィルタに用いられることを特徴とする、請求項1〜いずれか1項に記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
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