JP6579011B2 - タンクの気密検査方法 - Google Patents

Description

本発明はタンクの気密性を検査するための方法に関する。

気体、液体といった流体を充填するタンク（容器）の気密性を検査する方法として、検査チャンバ内において検査対象のタンクに検査用ガスを充填して、検査チャンバ内に漏出出したガスを検出する方法が知られている（例えば、引用文献１）。

特開２０１１−０８９６２０号公報

タンクの気密検査において、検査用ガスをタンクに充填する際には、断熱圧縮によりタンク内の温度が上昇する。高圧の設定圧力まで検査用ガスをタンクに充填する場合には、所定の上限温度以下で充填を行うことが法令で定められている。検査用ガスの充填速度を上げるとタンク内の温度上昇の速度も上がるため、法定の上限温度以下でタンクへの検査用ガスの充填を行うために、従来、比較的低速で検査ガスの充填を行っており、タンクへの検査用ガスの充填には、時間を要していた。

タンクの気密検査に要する時間の短縮の要請から、タンクへの検査用ガスの充填に要する時間の短縮が望まれている。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本発明の一形態によれば、タンクの気密検査方法が提供される。このタンクの気密検査方法は、第１のタンクと第２のタンクを用意するタンク用意工程と、前記第１のタンクと前記第２のタンクとの間を熱的に接続する接続工程と、前記第１のタンクにガスを充填する充填工程と、前記接続工程の後、前記第２のタンクへの前記ガスの充填と前記第１のタンクからの前記ガスの放出を所定の時間同時に行う充填放出工程と、を備える。

第１のタンクからのガスの放出時にはガスの断熱膨張のためタンク内温度が低下し、第２のタンクへのガスの充填時にはガスの断熱圧縮のためタンク内温度が上昇する。この形態のタンクの気密検査方法によれば、第１のタンクと第２のタンクとが熱的に接続された上で、第２のタンクへのガスの充填と第１のタンクからのガスの放出が所定の時間同時に行われるため、第１のタンクと第２のタンクとの間で熱交換が行われ、第１のタンクの温度低下および第２のタンクの温度上昇を抑制することができる。そのため、第２のタンクへのガスの充填速度および、第１のタンクからのガスの放出速度を上げることができ、タンクへのガスの充填、放出に要する時間を短縮することができる。

なお、本発明は、種々の態様で実現することが可能である。例えば、タンクの気密検査システムとしても実現可能である。

第１実施形態において用いられる気密検査システムを概略的に示す説明図である。 気密検査装置において行われる気密検査の工程を示す工程図である。 気密検査システムにおいて行われる気密検査の工程を示す工程図である。 第２実施形態において用いられる気密検査システムを概略的に示す説明図である。

本発明に係るタンクの気密検査方法、並びにタンクの気密検査方法を実行するための気密検査システムについて以下説明する。

Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態において用いられる気密検査システム１０００を概略的に示す説明図である。気密検査システム１０００は、第１の気密検査装置１００Ａと、第２の気密検査装置１００Ｂと、ヒートパイプ８０と、制御部９０と、を備える。気密検査システム１０００は、第１の気密検査装置１００Ａによる第１のタンクＴＡの気密検査と、第２の気密検査装置１００Ｂによる第２のタンクＴＢの気密検査とを並行して行う。第１の気密検査装置１００Ａと第２の気密検査装置１００Ｂとは、同一の構成であり、それぞれ、単独でも用いることができる。以下、第１の気密検査装置１００Ａと第２の気密検査装置１００Ｂとを区別するときには、それぞれの構成要素の符号にも、末尾に「Ａ」，「Ｂ」を付すものとする。一方、第１の気密検査装置１００Ａと第２の気密検査装置１００Ｂとを区別しないときには、双方を単に「気密検査装置１００」と呼び、構成要素の符号についても、末尾の「Ａ」，「Ｂ」を省略する。同様に、第１のタンクＴＡと第２のタンクＴＢとを区別するときには、それぞれの構成要素等の符号にも、末尾に「Ａ」，「Ｂ」を付し、第１のタンクＴＡと第２のタンクＴＢとを区別しないときには、双方を単に「タンクＴ」と呼び、構成要素の符号についても、末尾の「Ａ」，「Ｂ」を省略する。

タンクＴは、ガスが収容されるタンク本体ＴＳと、ガスの充填口となる第１の口金部Ｂ１と、ヒートパイプ８０が接続される第２の口金部Ｂ２と、を備える。

気密検査装置１００は、検査チャンバ１０と、検査用ガス供給部２０と、検査用ガス検出器３０と、を備える。

検査チャンバ１０は、内部に検査対象となるタンクＴを収容可能な略直方体形状の金属製筐体である。検査チャンバ１０は、タンクＴを搬入・搬出するための開口部、開口部に配置され開口部を開放または閉塞するための扉有している。扉および開口部の少なくともいずれか一方にはシール部が配置されており、扉が開口部を閉じている際には、検査チャンバ１０は密閉される。検査チャンバ１０内に収容されたタンクＴには、第１の口金部Ｂ１の近傍に、温度センサ７２および圧力センサ７４が設置される。検査チャンバ１０は、チャンバ内圧力調整器（不図示）を備え、検査チャンバ内圧力は、所定の真空度に調整されうる。

検査用ガス供給部２０は、検査用ガス貯蔵器、検査用ガス供給ポンプ、希釈用ガス貯蔵器、希釈用ガス供給ポンプ、および気化器等（不図示）を備え、制御部９０に制御されてタンクＴに希釈用ガスによって所定の濃度に希釈された検査用ガスを供給する。タンクＴに対して検査用ガスを充填する際には、圧力センサ７４により検出される圧力が、予め定められたタンク圧力、例えば、８０Ｍｐａとなるまで充填を継続する。

本実施形態においては、検査用ガスとして希釈ヘリウムガスが用いられる。希釈用ガスとしては窒素ガスが用いられる。検査用ガスは、第１のガス配管４０を介してタンクＴに充填される。気密検査終了後、タンクＴに充填された検査用ガスは、第１のガス配管４０から分岐して設けられた第２のガス配管５０を介して大気中に放出される。なお、大気中に放出される代わりに、検査に再度用いるために回収されてもよい。第２のガス配管５０には、放出弁５２が設けられ、タンクＴ内の圧力（圧力センサ７４により検出）が異常に高くなったときや、検査終了後に、制御部９０に制御され、開弁される。

検査用ガス検出器３０は、検査用ポンプによって検査用ガス配管６０を介して検査チャンバ１０内の気体を吸引し、吸引した気体中における検査用ガスのリーク量（ｍｌ／ｈ）を検出する。本実施形態においては希釈ヘリウムガスが用いられるため、検出されたリーク量に対して換算処理を行った上で、１００％ヘリウムガスを用いた場合のリーク量が求められる。

ヒートパイプ８０は、金属の管中に揮発性の液体を封入した伝熱部材であり、第１のタンクＴＡの第２の口金部Ｂ２Ａと、第２のタンクＴＢの第２の口金部Ｂ２Ｂとに接続され、第１のタンクＴＡと第２のタンクＴＢとを、熱的に接続する。伝熱部材として、ヒートパイプ８０に代えて、熱伝導率の高い金属（例えば、銅等）柱を用いてもよい。

制御部９０は、予め用意されたプログラムに従って、気密検査システム１０００の各部を制御する。制御部９０は、検査用ガス供給部２０および放出弁５２を制御して、タンクＴに対する検査用ガスの充填、放出のタイミングを制御する。また、制御部９０は、検査用ガス検出器３０を制御して、検査用ガスのリーク量を検出させ、検出結果を受信する。本実施形態において、制御部９０は、温度センサ７２、圧力センサ７４による検出結果を受信し、受信結果に基づいて、検査用ガス供給部２０および放出弁５２を制御する。また、制御部９０は、検査用ガス検出器３０による測定結果に基づいて、タンクＴの気密検査合否判定を行い、判定結果を、表示部（不図示）に表示させる。制御部９０は、温度センサ７２、圧力センサ７４による検出結果、検査用ガス検出器３０による測定結果を、表示部に表示させてもよい。

図２は、気密検査装置１００において行われる気密検査の工程を示す工程図である。気密検査システム１０００における第１の気密検査装置１００Ａおよび第２の気密検査装置１００Ｂそれぞれにおいて、図２に示す工程が行われる。

ステップＳ１０１では、作業者が、検査チャンバ１０内にタンクＴを搬入する。ステップＳ１０２では、作業者が、第１のガス配管４０を第１の口金部Ｂ１に接続する。ステップＳ１０３では、作業者が操作部（不図示）を介して制御部９０にガスパージの指示を入力すると、制御部９０は、放出弁５２を開弁すると共に、検査用ガス供給部２０を制御して、窒素ガスを用いてタンクＴ内ガスのパージを行う。制御部９０は所定の時間、パージを行うと、検査用ガス供給部２０による窒素ガスの供給を停止すると共に、放出弁５２を閉弁する。ステップＳ１０４では、作業者が、ヒートパイプ８０を第２の口金部Ｂ２に接続し、検査チャンバ１０の扉を閉めて検査チャンバ１０を密閉状態とし、チャンバ内の圧力を所定の真空度に調整する。図２に示すステップＳ１０１〜１０４を、タンクの設置処理（ステップＳ２１０）とも呼ぶ。

ステップＳ１０５では、制御部９０は、検査用ガス供給部２０を制御して、希釈ヘリウムガスのタンクＴへの充填を開始する。制御部９０は、圧力センサ７４により検出されるタンクＴ内の圧力が８０ＭＰａとなるまで充填を実行する。なお、タンクＴへの検査用ガスの充填圧力は、任意に設定可能である。

ステップＳ１０６では、制御部９０によって制御され、検査用ガス検出器３０は、検査用ガスのリーク量（ｍｌ／ｈ）の測定を行い、測定結果を制御部９０に送信する。制御部９０は、受信した測定結果に基づいて、対象タンクの気密検査の合否を判定する（リーク判定とも呼ぶ）。具体的には、タンクＴに対する検査用ガスの充填が完了すると、制御部９０は、タンクＴの温度および圧力が安定するまで待機したのち、検査用ガス検出器３０による測定を行わせる。安定待機は、予め実験的に求められた安定に要する時間待機するようにしてもよいし、温度センサ７２によって検出されるタンクＴの温度または温度の変化率が所定値以下になるまで待機するようにしてもよい。なお、タンクＴの温度に代えてタンクＴの圧力の変化率を参照しても良い。本実施形態においては検査用ガスとして希釈ヘリウムガスが用いられているので、ヘリウム濃度１００％への換算、時間当たりへの換算、並びに、検査体積の検査チャンバ１０の容積への換算を経て、判定に用いられるリーク量が得られる。制御部９０は、これらの換算結果（リーク量）を用いて、気密検査の合否を判定する。例えば、リーク量＜５ｍｌ／ｈ／Ｌの場合、対象タンクは気密検査に合格と判定する。

ステップＳ１０７では、制御部９０は、放出弁５２を開弁させて、タンクＴ内の検査用ガスを放出させる。タンクＴ内の検査用ガスは、第１のガス配管４０および第２のガス配管５０を介して、大気中に放出される。圧力センサ７４によって検出されるタンクＴ内の圧力値が０ｋＰａになると、制御部９０は、放出弁５２を閉弁させる。なお、圧力センサ７４から制御部９０が受信したタンクＴ内の圧力値は、制御部９０に接続された表示部（不図示）に表示される。

ステップＳ１０８では、作業者は、表示部を見てタンクＴ内の圧力値が０ｋＰａになったことを確認した後、検査チャンバ１０の扉を開けて、ヒートパイプ８０を第２の口金部Ｂ２から取り外す。ステップＳ１０９では、作業者は、検査チャンバ１０内からタンクＴを搬出し、検査対象の１基のタンクＴに対する気密検査が完了する。図２に示すステップＳ１０８〜１０９を、タンクの搬出処理（ステップＳ２２０）とも呼ぶ。図２に示すステップＳ１０１〜１０９を、気密検査装置１００において行われる気密検査処理（ステップＳ１００（ｎ）（ｎは１以上の整数））とも呼ぶ。ここで、ステップＳ１００に（ｎ）を付したのは、後に詳述するように、本実施形態の気密検査システム１０００では、ｎ基の第１のタンクＴＡ（気密検査対象タンク）を、第１の気密検査装置１００Ａで検査すると共に、ｎ基の第２のタンクＴＢ（気密検査対象タンク）を、第２の気密検査装置１００Ｂで検査するため、各気密検査装置１００において、ステップＳ１００がｎ回繰り返されるためである。ｎ回繰り返されるステップＳ１００の各回を区別するために、（ｎ）を付している。なお、各回を区別しない場合には、単にステップＳ１００と呼ぶ。気密検査システム１０００において、第１の気密検査装置１００Ａにおける気密検査（ステップＳ１００Ａ）と、第２の気密検査装置１００Ｂにおける気密検査（ステップＳ１００Ｂ）は、並行して実行される。

図３は、気密検査システム１０００において行われる気密検査の工程を示す工程図である。図３において、左のラインは、第１の気密検査装置１００Ａにおける工程を示し、右のラインは第２の気密検査装置１００Ｂにおける工程を示す。なお、図３は、ｎ＝２の例を示している。

作業者は、第１の気密検査装置１００Ａにおいて、第１のタンクＴＡ（１）を設置し（ステップＳ２１０Ａ）、第２の気密検査装置１００Ｂにおいて、第２のタンクＴＢ（１）を設置する（ステップＳ２１０Ｂ）。これらのタンクの設置処理において、ヒートパイプ８０の一端が第１のタンクＴＡ（１）の第２の口金部Ｂ２Ａ（１）に取付けられると共に、ヒートパイプ８０の他端が第２のタンクＴＢ（１）の第２の口金部Ｂ２Ｂ（１）に取付けられ、第１のタンクＴＡ（１）と第２のタンクＴＢ（１）とが熱的に接続される。

制御部９０は、まず、第１の気密検査装置１００Ａにおいて、検査用ガス充填処理（ステップＳ１０５Ａ）を行い、第１のタンクＴＡ（１）のリーク量を測定して合否判定を行う（ステップＳ１０６Ａ）。

その後、制御部９０は、第１の気密検査装置１００Ａにおける検査用ガス放出処理（ステップＳ１０７Ａ）と、第２の気密検査装置１００Ｂにおける検査用ガス充填処理（ステップＳ１０５Ｂ）を、同時に開始する。このとき、第１のタンクＴＡ（１）と第２のタンクＴＢ（１）とは、ヒートパイプ８０によって熱的に接続されているため、第１のタンクＴＡ（１）と第２のタンクＴＢ（１）との間で熱交換が行われる。第２のタンクＴＢ（１）では、検査用ガスの充填時に、ガスの断熱圧縮に伴い、タンク内温度が上昇する。一方、第１のタンクＴＡ（１）では、検査用ガスの放出時に、ガスの断熱膨張に伴いタンク内温度が低下する。すなわち、ヒートパイプ８０によって熱的に接続されている第１のタンクＴＡ（１）と第２のタンクＴＢ（１）とに温度勾配が生じるため、第２のタンクＴＢ（１）から第１のタンクＴＡ（１）に熱が移動する。そのため、第１のタンクＴＡ（１）においては、検査用ガスの放出に伴うタンク内温度の低下が抑制され、第２のタンクＴＢ（１）においては、検査用ガスの充填に伴うタンク内温度の上昇が抑制される。本実施形態におけるステップＳ１０７ＡとステップＳ１０５Ｂとを同時に行う工程を、「充填放出工程」とも呼ぶ。

制御部９０は、第２のタンクＴＢ（１）内の温度および圧力が安定するまで待機した後、第２の気密検査装置１００Ｂの検査用ガス検出器３０Ｂにリーク量の測定を実行させ、第２のタンクＴＢ（１）の気密検査合否判定を行う（ステップＳ１０６Ｂ）。

作業者は、第２のタンクＴＢ（１）の気密検査合否判定（ステップＳ１０６Ｂ）が終了すると、第１の気密検査装置１００Ａの検査チャンバ１０Ａの扉を開け、第１のタンクＴＡ（１）の第２の口金部Ｂ２Ａ（１）に接続されたヒートパイプ８０を取り外し、第１のタンクＴＡ（１）を検査チャンバ１０Ａから搬出する（ステップＳ２２０Ａ）。これにより、第１の気密検査装置１００Ａにおける第１のタンクＴＡ（１）に対する気密検査（ステップＳ１００Ａ（１））が終了する。例えば、第２のタンクＴＢ（１）の気密検査合否判定の終了を、表示部に表示したり、音声、ビープ音等の音で報知するように構成されてもよい。このようにすると、作業者は、第２のタンクＴＢ（１）の気密検査合否判定の終了を容易に認識することができる。以下に説明する第１のタンクＴＡ（２）の気密検査合否判定の終了についても同様である。

作業者は、第１のタンクＴＡ（１）の搬出が完了すると（ステップＳ１００Ａ（１）のステップＳ２２０Ａ）、代わりに、第１のタンクＴＡ（１）とは別の（２基めの）第１のタンクＴＡ（２）を、第１の気密検査装置１００Ａに設置する（ステップＳ２１０Ａ）。上述の通り、ヒートパイプ８０の他端は第２のタンクＴＢ（１）の第１の口金部Ｂ１Ｂ（１）に取付けられており（ステップＳ１００Ｂ（１）におけるステップＳ１０４Ｂ）、ステップＳ２１０Ａにおいて、ヒートパイプ８０の一端が第１のタンクＴＡ（２）の第１の口金部Ｂ１Ａ（２）に取付けられると（ステップＳ１０４Ａ）、第１のタンクＴＡ（２）と第２のタンクＴＢ（１）とが熱的に接続される。

制御部９０は、第１の気密検査装置１００Ａにおける第１のタンクＴＡ（２）に対する検査用ガス充填処理（ステップＳ１０５Ａ）と、第２の気密検査装置１００Ｂにおける第２のタンクＴＢ（１）に対する検査用ガス放出処理（ステップＳ１０７Ｂ）を、同時に開始する。このとき、第１のタンクＴＡ（２）と第２のタンクＴＢ（１）とは、ヒートパイプ８０によって熱的に接続されているため、第１のタンクＴＡ（１）と第２のタンクＴＢ（１）との間で熱交換が行われる。第１のタンクＴＡ（２）では、検査用ガスの充填時に、ガスの断熱圧縮に伴い、タンク内温度が上昇する。一方、第２のタンクＴＢ（１）では、検査用ガスの放出時に、ガスの断熱膨張に伴いタンク内温度が低下する。すなわち、ヒートパイプ８０によって熱的に接続されている第１のタンクＴＡ（２）と第２のタンクＴＢ（１）とに温度勾配が生じるため、第１のタンクＴＡ（２）から第２のタンクＴＢ（１）に熱が移動する。そのため、第２のタンクＴＢ（１）においては、検査用ガスの放出に伴うタンク内温度の低下が抑制され、第１のタンクＴＡ（２）においては、検査用ガスの充填に伴うタンク内温度の上昇が抑制される。本実施形態におけるステップＳ１０５ＡとステップＳ１０７Ｂとを同時に行う工程を、「充填放出工程」とも呼ぶ。

制御部９０は、第１のタンクＴＡ（２）内の温度および圧力が安定するまで待機した後、第１の気密検査装置１００Ａの検査用ガス検出器３０Ａにリーク量の測定を実行させ、２基めの第１のタンクＴＡ（２）の気密検査合否判定を行う（ステップＳ１０６Ａ）。

作業者は、２基めの第１のタンクＴＡ（２）の気密検査合否判定（ステップＳ１０６Ａ）が終了すると、第２の気密検査装置１００Ｂの検査チャンバ１０Ｂの扉を開け、第２のタンクＴＢ（１）の第２の口金部Ｂ２Ｂ（１）に接続されたヒートパイプ８０を取り外し、第２のタンクＴＢ（１）を検査チャンバ１０Ｂから搬出する（ステップＳ２２０Ｂ）。これにより、第２の気密検査装置１００Ｂにおける１基めの第２のタンクＴＢ（１）に対する気密検査（ステップＳ１００Ｂ（１））が終了する。

作業者は、第２のタンクＴＢ（１）の搬出が完了すると（ステップＳ１００Ｂ（１）のステップＳ２２０Ｂ）、代わりに、第２のタンクＴＢ（１）とは別の（２基めの）第２のタンクＴＢ（２）を、第２の気密検査装置１００Ｂに設置する（ステップＳ１００Ｂ（２）のステップＳ２１０Ｂ）。その後、制御部９０が、１基めの第２のタンクＴＢ（１）に対する処理と同様に、２基めの第２のタンクＴＢ（２）に対してステップＳ１０５Ｂ〜１０７Ｂを実行し、作業者がステップＳ２２０Ｂを実行して、第２の気密検査装置１００Ｂにおける第２のタンクＴＢ（２）に対する気密検査（ステップＳ１００Ｂ（２））が終了する。

制御部９０は、第２の気密検査装置１００Ｂにおける第２のタンクＴＢ（２）に対する気密検査（ステップＳ１００Ｂ（２））における検査用ガス充填処理（ステップＳ１０５Ｂ）の開始と同時に、第１の気密検査装置１００Ａにおける第１のタンクＴＡ（２）に対する気密検査（ステップＳ１００Ａ（２））における検査用ガス放出処理（ステップＳ１０７Ａ）を開始する。これにより、上述と同様に、第１のタンクＴＡ（２）におけるタンク内温度の低下が抑制されると共に、第２のタンクＴＢ（２）におけるタンク内温度の上昇が抑制される。

作業者は、２基めの第２のタンクＴＢ（２）の気密検査合否判定（ステップＳ１００Ｂ（２）のステップＳ１０６Ｂ）が終了すると、第１の気密検査装置１００Ａの検査チャンバ１０Ａの扉を開け、第１のタンクＴＡ（２）の第２の口金部Ｂ２Ａ（２）に接続されたヒートパイプ８０を取り外し、第１のタンクＴＡ（２）を検査チャンバ１０Ａから搬出する（ステップＳ２２０Ａ）。これにより、第１の気密検査装置１００Ａにおける２基めの第１のタンクＴＡ（２）に対する気密検査（ステップＳ１００Ａ（２））が終了する。

第１の気密検査装置１００Ａにおける２基めの第１のタンクＴＡ（２）に対する気密検査（ステップＳ１００Ａ（２））と、第２の気密検査装置１００Ｂにおける２基めの第２のタンクＴＢ（２）に対する気密検査（ステップＳ１００Ｂ（２））の両方が終了すると、気密検査システム１０００におけるタンクの気密検査が終了する。図３に示した例では、第１の気密検査装置１００Ａにおいて２基の第１のタンクＴＡ、第２の気密検査装置１００Ｂにおいて２基の第２のタンクＴＢの気密検査を実施しており、合計４基のタンクＴの気密検査を実行している。

気密検査システム１０００におけるタンクの気密検査において、１基めの第１のタンクＴＡ（１）に対する検査用ガスの充填処理（ステップＳ１００Ａ（１）のステップＳ１０５Ａ）は、従来通り、検査チャンバ１０Ａ内の気体との熱交換により、タンク内温度が所定の範囲内に収まる程度の低速で行われる。同様に、２基めの第２のタンクＴＢ（２）に対する検査ガスの放出処理（ステップＳ１００Ｂ（２）のステップＳ１０７Ｂ）も、従来通り、検査チャンバ１０Ａ内の気体との熱交換により、タンク内温度が所定の範囲内に収まる程度の低速で行われる。すなわち、ステップＳ１００Ａ（２）のステップＳ１０５Ａ、ステップＳ１００Ｂ（１）のステップＳ１０５Ｂ、ステップＳ１００Ｂ（２）のステップＳ１０５Ｂにおける検査用ガスの充填速度は、ステップＳ１００Ａ（１）のステップＳ１０５Ａにおける検査用ガスの充填速度より早い。また、ステップＳ１００Ａ（１）のステップＳ１０７Ａ、ステップＳ１００Ａ（２）のステップＳ１０７Ａ、ステップＳ１００Ｂ（１）のステップＳ１０７Ｂにおける検査用ガスの放出速度は、ステップＳ１００Ｂ（２）のステップＳ１０７Ｂにおける検査用ガスの放出速度より早い。

本実施形態において、気密検査システム１０００が制御部９０を備える構成を例示したが、気密検査システム１０００は制御部９０を備えない構成にしてもよい。例えば、検査用ガス供給部２０、検査用ガス検出器３０、放出弁５２等を作業者が操作することにより、ステップＳ１０３，１０５，１０６，１０７の処理を実行させてもよい。

以上説明したように、本実施形態のタンクの気密検査方法によれば、検査対象となる２基のタンクＴ（第１のタンクＴＡと第２のタンクＴＢ）がヒートパイプ８０を介して熱的に接続され、一方のタンクＴの検査ガスの放出と、他方のタンクＴの検査ガスの充填が同時に開始される。そのため、タンクＴの検査ガスの放出と、他方のタンクＴの検査ガスの充填が同時に行われている間は、両タンクＴ間で熱交換が行われる。その結果、検査ガスの放出が行われるタンクＴにおいては、タンク内温度の低下が抑制され、検査ガスの充填が行われるタンクＴにおいては、タンク内温度の上昇が抑制される。

タンクの気密性検査において、タンク内の温度が、所定の範囲に収まるようにタンクに対する検査用ガスの充填、放出を行うことが望ましい。タンク内の温度の上限は、日本国内においては法令で定められており、例えば、８５℃である。タンク内温度の下限は、例えば、製品性能から定められる。本実施形態では、タンク内温度の下限は、タンクの割れの発生が起こらない温度の下限を用いて定められており、例えば、−６０℃である。なお、タンク内温度の上下限値は、本実施形態に限定されず、適宜設定することができる。例えば、法定の上限温度よりも低い温度を設定してもよい。

従来、タンクの気密性検査に要する時間の短縮要請がある。タンクの気密性検査に要する時間の短縮は、タンクに対する検査用ガスの充填、放出速度を上げることで実現できる。しかしながら、検査用ガスの充填、放出速度を上げる（単位時間当たりの流量を増加する）と、タンク内温度が急激に上昇、低下して、タンク内温度が所定の範囲内に収まらないおそれがある。これに対し、本実施形態のタンクの気密検査方法では、上述の通り、検査ガスの放出が行われるタンクＴにおいては、タンク内温度の低下が抑制され、検査ガスの充填が行われるタンクＴにおいては、タンク内温度の上昇が抑制される。そのため、検査用ガスの充填、放出速度を上げても、タンク内の温度を所定の温度範囲内に収めることが可能となる。その結果、タンクの気密性検査に要する時間を短縮することができる。なお、検査用ガスの充填、放出速度は、タンク内温度の許容範囲、検査用ガスの温度、検査チャンバ１０内の温度、タンクの容量、検査用ガスの種類等に基づいて適切に定めることができる。

Ｂ．第２実施形態：
図４は、第２実施形態において用いられる気密検査システム２０００を概略的に示す説明図である。気密検査システム２０００は、検査用ガス分配部２００と、第１の気密検査システム部１１００Ａと、第２の気密検査システム部１１００Ｂと、を備える。気密検査システム２０００は、第１の気密検査システム部１１００Ａによる２基のタンクＴの気密検査と、第２の気密検査システム部１１００Ｂによる２基のタンクＴの気密検査とを並行して行う。第１の気密検査システム部１１００Ａと第２の気密検査システム部１１００Ｂとは、同一の構成である。以下、第１の気密検査システム部１１００Ａと第２の気密検査システム部１１００Ｂとを区別しないときには、双方を単に「気密検査システム部１１００」と呼び、末尾の符号「Ａ」，「Ｂ」を省略する。本実施形態における気密検査システム２０００は、第１実施形態において用いられる気密検査システム１０００における制御部９０と同様の制御部を備えるが、気密検査システム２０００の構成を明瞭に示すため、制御部および信号線の図示を省略している。

気密検査システム部１１００は、第１実施形態において用いられた気密検査システム１０００と、第１の検査用ガス供給部２０Ａと、第２の検査用ガス供給部２０Ｂと、制御部９０と、を備えない点で異なるものの、他の構成は同一である。そのため、同一の符号を用いて、その説明を省略する。気密検査システム部１１００の第１のガス配管４０は、検査用ガス分配部２００に接続されている。

検査用ガス分配部２００は、第１実施形態において用いられた検査用ガス供給部２０と、一端が検査用ガス供給部２０に接続され、他端が４本に分岐された分配配管４４と、を備える。分配配管４４の各分岐管上には、それぞれ、開閉弁４２Ａ、４２Ｂが設けられている。本実施形態において用いられる気密検査システム２０００では、検査対象の４基のタンクＴに対して、検査用ガス分配部２００から検査用ガスが供給される。検査用ガス分配部２００は、制御部（不図示）に制御されて、開閉弁４２Ａ、開閉弁４２Ｂの開閉を行うことにより、各タンクＴへの検査用ガスの供給を行う。

本実施形態では、第１の気密検査システム部１１００Ａ、第２の気密検査システム部１１００Ｂ、それぞれにおいて、図３に示した気密検査工程を同時に実行する。具体的には、第１の気密検査システム部１１００Ａにおいて、第１のタンクＴＡに対して、図３の左のラインの工程を実行し、第２のタンクＴＢに対して図３の右のラインの工程を実行する。第２の気密検査システム部１１００Ｂにおいても同様である。気密検査システム２０００において、図３に示す気密検査が終了すると、８基のタンクＴの気密検査が完了する。本実施形態においても、第１実施形態と同様に、気密検査システム２０００が制御部を備えない構成にしてもよい。例えば、検査用ガス分配部２００に設けられたガス供給用のボタンを作業者が操作することにより、検査用ガス供給部２０を制御すると共に、開閉弁４２Ａ、４２Ｂを開閉してステップＳ１０３，１０５の処理を実行させてもよい。また、検査用ガス検出器３０、放出弁５２等を作業者が操作することにより、ステップＳ１０６，１０７の処理を実行させてもよい。

以上説明したように、気密検査システム２０００を用いても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。気密検査システム２０００を用いると、４基のタンクＴの気密検査を並行して進めることができるため、気密検査に要する時間をさらに短縮することができる。また、１つの検査用ガス供給部２０を用いて、検査用ガスを４基のタンクＴに分配するため、検査用ガス供給部２０を複数備える構成と比較して、気密検査システムを安価に構成することができる。

Ｃ．変形例：
この発明は上記の実施形態や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。

（１）上記実施形態において、一方のタンクＴにおける検査用ガスの放出と、他方のタンクＴにおける検査用ガスの充填とを同時に開始する例を示したが、同時に開始しなくてもよい。一方のタンクＴにおける検査用ガスの放出と、他方のタンクＴにおける検査用ガスの充填とが所定の時間同時に行われればよい。所定の時間は、タンク内温度が所定の範囲内に収まるように、例えば、実験的（シミュレーションを含む）に予め定めることができる。一方のタンクＴにおける検査用ガスの放出と、他方のタンクＴにおける検査用ガスの充填とが所定の時間同時に行われれば、例えば、一方のタンクＴにおける検査用ガスの放出を開始した後に、他方のタンクＴにおける検査用ガスの充填を開始してもよい。逆に、一方のタンクＴにおける検査用ガスの充填を開始した後に、他方のタンクＴにおける検査用ガスの放出を開始してもよい。

（２）上記実施形態において、検査対象の１基のタンクＴに対する気密検査処理（ステップＳ１００）が、各気密検査装置において２回繰り返される例を示して説明したが、１回でもよいし、３回以上行ってもよい。検査対象のタンクＴの数に応じて、適宜変更可能である。

（３）上記第１実施形態において、２基のタンクＴの気密検査を並行して行える気密検査システム１０００、上記第２実施形態において、４基のタンクＴの気密検査を並行して行える気密検査システム２０００を例示したが、気密検査システムの構成は、上記実施形態に限定されない。例えば、気密検査システム１０００（制御部９０を除く）を複数備える気密検査システムを構成してもよい。この場合、複数の気密検査システム１０００を制御する制御部を備えてもよい。また、気密検査システム２０００における気密検査システム部１１００を、３以上備える構成にしてもよい。その場合、検査用ガス分配部２００における分岐管の本数を、気密検査システム部１１００の台数に合わせればよい。

（４）上記実施形態では、いわゆるベルジャー法を例示したが、スニッファー法、加圧積分法によって気密検査を実施する場合にも、上記のように、２つのタンクを熱的に接続し、一方のタンクへの検査用ガスの充填と、他方のタンクからの検査用ガスの放出とを所定の時間同時に行うことにより、タンク内温度を調整することができるため、検査用ガスの充填と放出に要する時間を短縮することができる。

（５）上記実施形態では、伝熱部材としてのヒートパイプ８０によって、第１のタンクＴＡと第２のタンクＴＢとを熱的に接続しているが、第１のタンクＴＡと第２のタンクＴＢとを熱的に接続する方法は、上記実施形態に限定されない。例えば、第１のタンクＴＡの第２の口金部Ｂ２Ａと第２のタンクＴＢの第２の口金部Ｂ２Ｂとを接触させてもよい。第２の口金部Ｂ２として熱伝導率の高い材料を採用すると、第１のタンクＴＡと第２のタンクＴＢとの間で容易に熱交換を行わせることができる。

以上、実施例、変形例に基づき本発明について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれる。たとえば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

１０Ａ、１０Ｂ…検査チャンバ
２０…検査用ガス供給部
２０Ａ…第１の検査用ガス供給部
２０Ｂ…第２の検査用ガス供給部
３０Ａ、３０Ｂ…検査用ガス検出器
４０Ａ、４０Ｂ…第１のガス配管
４２Ａ、４２Ｂ…開閉弁
４４…分配配管
５０Ａ、５０Ｂ…第２のガス配管
５２Ａ，５２Ｂ…放出弁
６０Ａ、６０Ｂ…検査用ガス配管
７２Ａ、７２Ｂ…温度センサ
７４Ａ、７４Ｂ…圧力センサ
８０…ヒートパイプ
９０…制御部
１００Ａ…第１の気密検査装置
１００Ｂ…第２の気密検査装置
２００…検査用ガス分配部
１０００…気密検査システム
１１００Ａ…第１の気密検査システム部
１１００Ｂ…第２の気密検査システム部
２０００…気密検査システム
Ｂ１Ａ、Ｂ１Ｂ…第１の口金部
Ｂ２Ａ、Ｂ２Ｂ…第２の口金部
ＴＡ…第１のタンク
ＴＢ…第２のタンク
ＴＳＡ、ＴＳＢ…タンク本体

Claims (2)

1. タンクの気密検査方法であって、
   第１のタンクと第２のタンクを用意するタンク用意工程と、
   前記第１のタンクと前記第２のタンクとの間を熱的に接続する接続工程と、
   前記第１のタンクにガスを充填する充填工程と、
   前記接続工程の後、前記第２のタンクへの前記ガスの充填と前記第１のタンクからの前記ガスの放出を所定の時間同時に行う充填放出工程と、
   を備える、
   タンクの気密検査方法。
2. 請求項１記載のタンクの気密検査方法であって、
   前記接続工程は、前記第１のタンクと前記第２のタンクとを、揮発性の液体が封入されたヒートパイプによって熱的に接続する工程である、タンクの気密検査方法。

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