JP6576092B2 - 面発光レーザ、情報取得装置及び撮像装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、波長可変帯域が広い面発光レーザを提供することである。
以下に、本実施形態に係る波長可変型の面発光レーザの一例であるMEMS−VCSELの構成について説明する。図1(a)は、本実施形態におけるMEMS−VCSELの断面模式図、図1(b)は、本実施形態におけるMEMS−VCSELの上面模式図を示している。なお、図1(a)は、図1(b)のA−A’断面の模式図に対応する。
第2反射鏡は、誘電体からなる高屈折率層と誘電体からなる低屈折率層とが光学厚さ1/4波長で交互に積層されたDBRで構成されている。そのDBRの高屈折率層としては酸化チタンや五酸化タンタル、低屈折率層としては酸化シリコンなどを用いることができる。また、DBRの積層数やペア数は、所望の反射帯域が得られれば、適宜設定することができる。DBRを構成する各層の光学厚さは、第2反射鏡の反射率スペクトルのうち99.5%以上の反射率を有する波長帯域の中心波長をλとすると、λ/4の奇数倍が好ましいがそれに限らない。成膜ばらつきなどを考慮してDBRの高屈折率層、低屈折率層の光学厚さは、下記の式を満たせばよい。式1、2を満たすDBRであれば、高い反射率特性を得ることができる。
(λ/4)×(2n+3/4)≦t1≦(λ/4)×(2n+5/4) ・・・式1
(λ/4)×(2m+3/4)≦t2≦(λ/4)×(2m+5/4) ・・・式2
ここで、t1、t2はそれぞれ、第2反射鏡の高屈折率層、低屈折率層の光学厚さである。n、mはそれぞれ0以上の整数である。
梁部は、半導体からなる高屈折率層と半導体からなる低屈折率層とが光学厚さ1/4波長で交互に積層されたDBRを有している。そのDBRの高屈折率層、低屈折率層のペアとしては、Al0.4Ga0.6AsとAl0.9Ga0.1Asや、GaAsとAl0.9Ga0.1Asが挙げられる。また、DBRの積層数やペア数は、所望の反射帯域が得られれば、適宜設定することができる。DBRを構成する各層の光学厚さは、第2反射鏡の反射率スペクトルのうち99.5%以上の反射率を有する波長帯域の中心波長をλとすると、λ/4の奇数倍が好ましいがそれに限らない。成膜ばらつきなどを考慮してDBRの高屈折率層、低屈折率層の光学厚さは、下記の式を満たせばよい。式3、4を満たDBRであれば、高い反射率特性を得ることができる。
(λ/4)×(2k+3/4)≦t3≦(λ/4)×(2k+5/4) ・・・式3
(λ/4)×(2l+3/4)≦t4≦(λ/4)×(2l+5/4) ・・・式4
ここで、t3、t4はそれぞれ、梁部のDBRの高屈折率層、低屈折率層の光学厚さである。k、lはそれぞれ0以上の整数である。
第1反射鏡は、例えば、高屈折率の層と低屈折率の層とが光学厚さ1/4波長で交互に積層されたDBRで構成されている。第1反射鏡は、波長可変範囲を広くするためには、出来る限り広帯域において高反射率を有することが好ましい。DBRは、半導体で構成されたDBR、誘電体で構成されたDBRのどちらを用いることもできる。一般的に、誘電体で構成されたDBRの方が半導体で構成されたDBRよりも、高屈折率の層と低屈折率の層の屈折率差を大きくしやすいため、少ない積層数で高い反射率を実現できる。一方、半導体で構成されたDBRはペア数が多くなってしまうが、結晶成長により活性層などと一括で成膜でき、ドーピングにより電流を流すことができる等のプロセス上の利点がある。
活性層は電流を注入したり、光を吸収させることで光を発生する材料であれば特に限定されない。850nm付近の波長帯域の光を出射させる場合、AlnGa1−nAs(0≦n≦1)からなる量子井戸構造を有する材料を用いることができる。また、1060nm付近の波長帯域の光を出射させる場合、InnGa1−nAs(0≦n≦1)からなる材料などを用いることができる。
間隙には、通常固体が存在しない。よって、その雰囲気により間隙は真空であってもよいし、空気、不活性ガス、水のような液体といった流体が存在してもよい。なお、間隙の構造体の厚さ方向の長さは、波長可変帯域幅や可動反射鏡のプルインを考慮して決定することができる。例えば、間隙を空気とした1060nmを中心として波長可変帯域幅100nmで可変する際には、間隙の長さは2μm程度となる。
第1電極、第2電極及び第3電極は、チタンや金などの単体の金属や合金、または金属膜の積層体を用いることができる。例えば、Ti/Au、AuGe/Ni/Auを電極材料として用いることができる。また、第1電極は、キャリアが注入できれば、第1反射鏡の下側ではなく、第1反射鏡の上側であってもよい。また、梁部と第3電極との間に静電引力を働かせて梁部を駆動する場合、第2電極は、梁部の支持領域に配置されていなくても、可動部分に配置されていてもよい。なお、活性層が光励起によって励起される場合には、第1電極は不要である。
本実施形態では、実施形態1の面発光レーザを光源装置として用いた情報取得装置の例について説明する。波長可変型の光源装置は、光通信用光源や光計測用光源として利用することができる。さらに、波長可変型の光源装置は、非侵襲、非破壊で測定対象物の内部の情報を取得する情報取得装置の光源装置として利用することができる。以下では、本実施形態の光源装置を用いた情報取得装置の一例として、光干渉断層撮像装置(以下、OCT装置という)について図8を用いて説明する。
実施形態1による面発光レーザは、上記のOCT装置以外にも、光通信用光源や光計測用光源として利用できる。また、実施形態1を適用したVCSEL構造を同一平面上に複数配列してアレイ光源として使用してもよい。
図1(a)は、本実施例におけるVCSELの層構造を示す断面模式図である。本実施例におけるMEMS−VCSELは、GaAsをベースとした化合物半導体で構成されており、1060nm付近で波長掃引できるように設計されたものである。
103 活性層
106 間隙
110 梁部
120 第2反射鏡
Claims (17)
- 第1反射鏡と、前記第1反射鏡の上に配置された活性層と、前記活性層と間隙を介して配置された梁部と、前記梁部の上に配置された第2反射鏡と、を有する波長可変型の面発光レーザであり、
前記第2反射鏡は、誘電体層が積層された分布ブラッグ反射鏡を有し、
前記梁部は、導電性を有する半導体層が積層された分布ブラッグ反射鏡を有することを特徴とする面発光レーザ。 - 前記梁部の光学厚さは、前記第2反射鏡の反射率スペクトルのうち99.5%以上の反射率を有する波長帯域の中心波長以上の厚さであることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ。
- 前記第2反射鏡の前記分布ブラッグ反射鏡は、第1の層と前記第1の層よりも屈折率が小さい第2の層とが交互に積層された構成であることを特徴とする請求項1又は2に記載の面発光レーザ。
- 前記第2反射鏡の反射率スペクトルのうち99.5%以上の反射率を有する波長帯域の中心波長をλ、前記第2反射鏡の前記分布ブラッグ反射鏡の前記第1の層と前記第2の層の光学厚さをそれぞれt1、t2とすると、下記の式を満たすことを特徴とする請求項3に記載の面発光レーザ。
(λ/4)×(2n+3/4)≦t1≦(λ/4)×(2n+5/4)
(λ/4)×(2m+3/4)≦t2≦(λ/4)×(2m+5/4)
ここで、n、mはそれぞれ0以上の整数である。 - 前記梁部の前記分布ブラッグ反射鏡は、第3の層と前記第3の層よりも屈折率が小さい第4の層とが交互に積層された構成であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の面発光レーザ。
- 前記梁部の分布ブラッグ反射鏡のうち前記活性層に最も近い側の半導体層は、前記第4の層であることを特徴とする請求項5に記載の面発光レーザ。
- 前記第2反射鏡の反射率スペクトルのうち99.5%以上の反射率を有する波長帯域の中心波長をλ、前記梁部の前記分布ブラッグ反射鏡の前記第3の層と前記第4の層の光学厚さをそれぞれt3、t4とすると、下記の式を満たすことを特徴とする請求項5又は6に記載の面発光レーザ。
(λ/4)×(2k+3/4)≦t3≦(λ/4)×(2k+5/4)
(λ/4)×(2l+3/4)≦t4≦(λ/4)×(2l+5/4)
ここで、k、lはそれぞれ0以上の整数である。 - 第1反射鏡と、前記第1反射鏡の上に配置された活性層と、前記活性層と間隙を介して配置された梁部と、前記梁部の上に配置された第2反射鏡と、を有する波長可変型の面発光レーザであり、
前記第2反射鏡は、誘電体層が積層された分布ブラッグ反射鏡を有し、
前記梁部は、内部にある複数の反射面を有し、
前記梁部は、前記活性層から射出された光の一部を、前記梁部と前記間隙との界面にある反射面と前記梁部と前記第2反射鏡との界面にある反射面と前記梁部の内部にある複数の反射面それぞれで反射させ、前記梁部の各反射面で反射した光を互いに干渉させて、前記梁部と前記間隙との界面にある反射面と前記梁部と前記第2反射鏡との界面にある反射面による干渉効果を弱め合う構成であることを特徴とする面発光レーザ。 - 第1反射鏡と、前記第1反射鏡の上に配置された活性層と、前記活性層と間隙を介して配置された梁部と、前記梁部の上に配置された第2反射鏡と、を有する波長可変型の面発光レーザであり、
前記第2反射鏡は、誘電体層が積層された分布ブラッグ反射鏡を有し、
前記梁部は、前記第2反射鏡の反射率スペクトルのうち99.5%以上の反射率を有する波長帯域が、単層で構成されるよりも広がるような多層膜で構成されていることを特徴とする面発光レーザ。 - 前記梁部の光学厚さは、前記第2反射鏡の反射率スペクトルのうち99.5%以上の反射率を有する波長帯域の中心波長以上の厚さであることを特徴とする請求項8又は9に記載の面発光レーザ。
- 前記第2反射鏡の前記分布ブラッグ反射鏡は、第1の層と前記第1の層よりも屈折率が小さい第2の層とが交互に積層された構成であることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の面発光レーザ。
- 前記第2反射鏡の反射率スペクトルのうち99.5%以上の反射率を有する波長帯域の中心波長をλ、前記第2反射鏡の前記分布ブラッグ反射鏡の前記第1の層と前記第2の層の光学厚さをそれぞれt1、t2とすると、下記の式を満たすことを特徴とする請求項11に記載の面発光レーザ。
(λ/4)×(2n+3/4)≦t1≦(λ/4)×(2n+5/4)
(λ/4)×(2m+3/4)≦t2≦(λ/4)×(2m+5/4)
ここで、n、mはそれぞれ0以上の整数である。 - 前記梁部は、分布ブラッグ反射鏡を有し、
前記梁部の前記分布ブラッグ反射鏡は、第3の層と前記第3の層よりも屈折率が小さい第4の層とが交互に積層された構成であることを特徴とする請求項8乃至12のいずれか1項に記載の面発光レーザ。 - 前記梁部の分布ブラッグ反射鏡のうち前記活性層に最も近い側の半導体層は、前記第4の層であることを特徴とする請求項13に記載の面発光レーザ。
- 前記第2反射鏡の反射率スペクトルのうち99.5%以上の反射率を有する波長帯域の中心波長をλ、前記梁部の前記分布ブラッグ反射鏡の前記第3の層と前記第4の層の光学厚さをそれぞれt3、t4とすると、下記の式を満たすことを特徴とする請求項13又は14に記載の面発光レーザ。
(λ/4)×(2k+3/4)≦t3≦(λ/4)×(2k+5/4)
(λ/4)×(2l+3/4)≦t4≦(λ/4)×(2l+5/4) - 請求項1乃至15のいずれか1項に記載の面発光レーザと、
測定対象物の内部情報を取得する情報取得部と、を有することを特徴とする情報取得装置。 - 請求項1乃至15のいずれか1項に記載の面発光レーザと、
前記面発光レーザからの光を測定対象物へ照射する照射光と参照光とに分岐させ、前記測定対象物に照射された光の反射光と前記参照光による干渉光を発生させる干渉光学系と、
前記干渉光を受光する光検出部と、
前記光検出部からの信号に基づき、前記測定対象物の情報を取得する情報取得部と、を有することを特徴とする撮像装置。
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Families Citing this family (5)
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DE102017204478A1 (de) * | 2017-03-17 | 2018-09-20 | Jenoptik Laser Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines oberflächenemittierenden Halbleiterlasers mit veränderlicher Wellenzahl |
WO2019217444A1 (en) * | 2018-05-08 | 2019-11-14 | The Regents Of The University Of California | Air cavity dominant vcsels with a wide wavelength sweep |
WO2020247291A1 (en) * | 2019-06-03 | 2020-12-10 | Optonomous Technologies, Inc. | Vertical-cavity surface-emitting laser using dichroic reflectors |
JP2021114594A (ja) * | 2019-08-27 | 2021-08-05 | 株式会社東芝 | 光半導体素子 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3687063T2 (de) | 1985-10-16 | 1993-03-18 | British Telecomm | Optische komponente mit wellenleiter. |
US5771253A (en) * | 1995-10-13 | 1998-06-23 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | High performance micromechanical tunable verticle cavity surface emitting laser |
JP2002500446A (ja) | 1997-12-29 | 2002-01-08 | コアテック・インコーポレーテッド | マイクロエレクトロメカニカル的に同調可能な共焦型の垂直キャビティ表面放出レーザ及びファブリー・ペローフィルタ |
US6813291B2 (en) * | 1998-06-26 | 2004-11-02 | Coretek Inc | Tunable fabry-perot filter and tunable vertical cavity surface emitting laser |
US6538748B1 (en) | 2000-04-14 | 2003-03-25 | Agilent Technologies, Inc | Tunable Fabry-Perot filters and lasers utilizing feedback to reduce frequency noise |
US6833958B2 (en) | 2001-02-06 | 2004-12-21 | Agilent Technologies, Inc. | Optical cavities for optical devices |
US6546029B2 (en) * | 2001-03-15 | 2003-04-08 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne | Micro-electromechanically tunable vertical cavity photonic device and a method of fabrication thereof |
US6970488B2 (en) | 2002-10-16 | 2005-11-29 | Eastman Kodak Company | Tunable organic VCSEL system |
JP2004273906A (ja) | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | 光増幅部一体型面発光レーザ素子 |
JP4200431B2 (ja) | 2003-03-17 | 2008-12-24 | 横河電機株式会社 | 面発光レーザ |
WO2005089098A2 (en) | 2004-01-14 | 2005-09-29 | The Regents Of The University Of California | Ultra broadband mirror using subwavelength grating |
US7701588B2 (en) | 2006-04-11 | 2010-04-20 | Santec Corporation | Swept source type optical coherent tomography system |
US8309929B2 (en) | 2008-03-18 | 2012-11-13 | Lawrence Livermore National Security, Llc. | Tunable photonic cavities for in-situ spectroscopic trace gas detection |
JP2010062426A (ja) | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Sun Tec Kk | 波長走査型レーザ光源 |
US8989230B2 (en) | 2009-02-20 | 2015-03-24 | Vixar | Method and apparatus including movable-mirror mems-tuned surface-emitting lasers |
JP5794664B2 (ja) * | 2011-01-20 | 2015-10-14 | キヤノン株式会社 | 断層画像生成装置及び断層画像生成方法 |
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