JP6573629B2 - 高純度耐熱金属粉体、及び無秩序な組織を有し得るスパッタリングターゲットにおけるその使用 - Google Patents
高純度耐熱金属粉体、及び無秩序な組織を有し得るスパッタリングターゲットにおけるその使用 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6573629B2 JP6573629B2 JP2016561807A JP2016561807A JP6573629B2 JP 6573629 B2 JP6573629 B2 JP 6573629B2 JP 2016561807 A JP2016561807 A JP 2016561807A JP 2016561807 A JP2016561807 A JP 2016561807A JP 6573629 B2 JP6573629 B2 JP 6573629B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass
- less
- powder
- ppm
- metal powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
- B22F1/05—Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
- B22F1/052—Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles characterised by a mixture of particles of different sizes or by the particle size distribution
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/02—Compacting only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/12—Both compacting and sintering
- B22F3/1208—Containers or coating used therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/12—Both compacting and sintering
- B22F3/14—Both compacting and sintering simultaneously
- B22F3/15—Hot isostatic pressing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
- C22C1/045—Alloys based on refractory metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
- C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
- C22F1/16—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of other metals or alloys based thereon
- C22F1/18—High-melting or refractory metals or alloys based thereon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3414—Targets
- H01J37/3426—Material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/10—Sintering only
- B22F3/1003—Use of special medium during sintering, e.g. sintering aid
- B22F2003/1014—Getter
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
Description
本願は、その内容を参照により明確に援用するどちらも2014年4月11日に出願された米国特許出願第61/978,341号及び同61/978,349号の出願日の利益を主張するものである。
ターゲット厚さとは、3次元スパッタリングターゲットの最小寸法を指す。例として、板構造を有するターゲットの場合、板は、各々が長さ及び幅(例えば、矩形の場合)又は直径(円形の場合)を有する上面と下面を有し、上面と下面の間の距離である厚さを有する。
Claims (16)
- 金属粉体の少なくとも1個の塊を製造する方法であって、前記方法が、以下のステップ、
a.初期酸素含有量を有する耐熱金属粉体の最初の塊を反応器中に配置するステップ、
b.捕捉金属の塊を前記耐熱金属粉体の最初の塊から離して前記反応器内に配置するステップ、ここで、前記捕捉金属の前記塊と前記耐熱金属粉体の最初の塊は混合されていない、
c.前記捕捉金属の少なくとも一部を少なくとも部分的に気化させ、前記初期酸素含有量の少なくとも一部と反応させて、前記捕捉金属の少なくとも一部と一緒に捕捉金属酸化物を形成させる捕捉温度に前記反応器内で加熱するステップ、及び
d.得られる酸素含有量が前記初期酸素含有量よりも少ない得られる耐熱金属粉体の塊が形成されるように、前記捕捉金属酸化物を前記耐熱金属粉体の最初の塊から分離させるステップ、
を含み、
前記金属粉体の少なくとも1個の塊がタンタルから本質的になり、
前記金属粉体の少なくとも1個の塊が、スパッタリングターゲットを製造するのに有用であり、且つ、
前記金属粉体の少なくとも1個の塊が粒径約10から約1000μmの粒子少なくとも約95重量パーセントを含み、粒子の少なくとも約10重量パーセントは粒径が約150μmを超えるものとされ、前記初期酸素含有量が約300重量ppmを超える、
方法。 - 前記金属粉体の少なくとも1個の塊の前記得られる酸素含有量が約1から約125ppmの範囲であり、及び/又は任意の得られる捕捉金属が約0.3から約10ppmの量で存在する、請求項1に記載の方法。
- 前記捕捉金属がマグネシウムであり、前記金属粉体の少なくとも1個の塊の酸素含有量が約75ppm未満であり、マグネシウム含有量が約15ppm未満である、請求項1に記載の方法。
- 前記金属粉体の少なくとも1個の塊が純度少なくとも約99.995%のタンタル粉体からなる、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記得られる耐熱金属粉体の塊が少なくとも約99.95重量パーセントのタンタルを含む、請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記耐熱金属粉体の最初の塊が深さ約0.3cmから約3.5cmの層状である、請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- 前記加熱ステップが前記反応器中で温度約800から約1000℃で約30分間から約2時間加熱することを含む、請求項1から6のいずれかに記載の方法。
- スパッタリングターゲットを製造する方法であって、以下のステップ、
a.請求項1から7のいずれかに記載の方法によって調製される金属粉体の少なくとも1個の塊を封入するステップ、及び
b.前記金属粉体の少なくとも1個の塊が前記容器中に存在する間に、前記金属粉体の少なくとも1個の塊を圧密化して、初期結晶学的組織を有する得られる高密度塊を形成するステップ、ここで、前記圧密化ステップは、前記得られる高密度塊中で得られる前記初期結晶学的組織が本質的に理論的に無秩序でほぼ均一な結晶学的組織であるような条件下で実施され、前記方法は、前記圧密化ステップの後及びスパッタリングの前に、前記得られる高密度塊のほぼ全体にわたって前記初期結晶学的組織を変えるステップを含まないステップ、
を含む方法。 - 前記方法が粉体のプラズマ処理又は他のプラズマ加工のステップを含まない、請求項8に記載の方法。
- 前記得られる高密度塊が、酸素含有量約125PPM未満、酸素に対する親和性が前記耐熱金属よりも高い金属約10PPM未満、又は両方を有する、請求項8又は9に記載の方法。
- 前記圧密化ステップが、前記金属粉体の少なくとも1個の塊を熱間静水圧プレスすることによって行われる、請求項8から10のいずれかに記載の方法。
- 熱間静水圧プレスが温度約1000℃から1200℃未満で行われ、前記熱間静水圧プレスステップが圧力100から250MPaで、理論密度の少なくとも98%の密度を得るのに十分な期間行われる、請求項11に記載の方法。
- 前記得られる高密度塊が、スパッタリングターゲット本体全体にほぼ均一に分布するグレインを含むスパッタリングターゲット本体であり、前記グレインの平均粒径が約40から約125μmである、請求項8から12のいずれかに記載の方法。
- 前記得られる高密度塊が、スパッタリングターゲット本体全体でほぼ均一な結晶学的組織を有し、結晶学的組織バンディング及び/又は結晶学的組織勾配が本質的にないスパッタリングターゲット本体である、請求項8から13のいずれかに記載の方法。
- 前記スパッタリングターゲット本体全体の<100>、<110>及び<111>の結晶学的組織の体積比が約5〜15:15〜30:10〜25の範囲である、請求項8から14のいずれかに記載の方法。
- 前記スパッタリングターゲット本体が、以下、
a.結晶学的組織バンディング及び結晶学的組織勾配が本質的にない前記ターゲット本体全体で均一な結晶学的組織、ここで、前記スパッタリングターゲット本体全体の<100>、<110>及び<111>の結晶学的組織の体積比が約1:2:1.4である、
b.<100>及び<111>配向に対して約7%未満のバンディング係数、前記ターゲット本体は、平均厚さ方向勾配の絶対値が前記<100>及び<111>配向に対して約6%/mm未満である、
c.酸素含有量が約125ppm未満及びマグネシウム含有量約10ppm未満である、又は
d.aからcの任意の組合せ、
のいずれかを有するタンタルスパッタリングターゲット本体である、請求項15に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201461978341P | 2014-04-11 | 2014-04-11 | |
US201461978349P | 2014-04-11 | 2014-04-11 | |
US61/978,341 | 2014-04-11 | ||
US61/978,349 | 2014-04-11 | ||
PCT/US2015/024928 WO2015157421A1 (en) | 2014-04-11 | 2015-04-08 | High purity refractory metal sputtering targets which have a uniform random texture manufactured by hot isostatic pressing high purity refractory metal powders |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017517627A JP2017517627A (ja) | 2017-06-29 |
JP6573629B2 true JP6573629B2 (ja) | 2019-09-11 |
Family
ID=54264613
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016561807A Active JP6573629B2 (ja) | 2014-04-11 | 2015-04-08 | 高純度耐熱金属粉体、及び無秩序な組織を有し得るスパッタリングターゲットにおけるその使用 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10023953B2 (ja) |
EP (1) | EP3129176A1 (ja) |
JP (1) | JP6573629B2 (ja) |
TW (1) | TWI600784B (ja) |
WO (1) | WO2015157421A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA3227568A1 (en) | 2018-03-05 | 2020-02-06 | Global Advanced Metals Usa, Inc. | Spherical tantalum powder, products containing the same, and methods of making the same |
KR102546515B1 (ko) | 2018-03-05 | 2023-06-23 | 글로벌 어드밴스드 메탈스 유에스에이, 아이엔씨. | 구형 분말을 함유하는 애노드 및 커패시터 |
US20190271068A1 (en) * | 2018-03-05 | 2019-09-05 | Global Advanced Metals Usa, Inc. | Powder Metallurgy Sputtering Targets And Methods Of Producing Same |
US11289276B2 (en) | 2018-10-30 | 2022-03-29 | Global Advanced Metals Japan K.K. | Porous metal foil and capacitor anodes made therefrom and methods of making same |
EP3951004A4 (en) * | 2019-03-26 | 2022-12-14 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | NIOBIUM SPRAYINGTARGET |
CN110983277A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-04-10 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种用于钕铁硼永磁材料的旋转稀土靶材及制备方法和修复方法 |
CN111230129B (zh) * | 2020-03-18 | 2022-08-16 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种钨钛混粉方法 |
CN111438355B (zh) * | 2020-04-13 | 2022-02-22 | 河北晟华新材料科技有限公司 | 一种铬铝硅靶材及其制备方法 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH677530A5 (ja) | 1988-11-17 | 1991-05-31 | Eidgenoess Munitionsfab Thun | |
US5242481A (en) * | 1989-06-26 | 1993-09-07 | Cabot Corporation | Method of making powders and products of tantalum and niobium |
US6348113B1 (en) | 1998-11-25 | 2002-02-19 | Cabot Corporation | High purity tantalum, products containing the same, and methods of making the same |
JP2001020065A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-23 | Hitachi Metals Ltd | スパッタリング用ターゲット及びその製造方法ならびに高融点金属粉末材料 |
US6261337B1 (en) | 1999-08-19 | 2001-07-17 | Prabhat Kumar | Low oxygen refractory metal powder for powder metallurgy |
US6521173B2 (en) | 1999-08-19 | 2003-02-18 | H.C. Starck, Inc. | Low oxygen refractory metal powder for powder metallurgy |
NZ527628A (en) | 2001-02-20 | 2004-07-30 | H | Refractory metal plates with uniform texture and methods of making the same |
US7081148B2 (en) | 2001-09-18 | 2006-07-25 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Textured-grain-powder metallurgy tantalum sputter target |
US6770154B2 (en) | 2001-09-18 | 2004-08-03 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Textured-grain-powder metallurgy tantalum sputter target |
JP3633543B2 (ja) * | 2001-10-23 | 2005-03-30 | 住友金属鉱山株式会社 | ニオブおよび/またはタンタルの粉末の製造法 |
US20040016635A1 (en) | 2002-07-19 | 2004-01-29 | Ford Robert B. | Monolithic sputtering target assembly |
TWI341337B (en) * | 2003-01-07 | 2011-05-01 | Cabot Corp | Powder metallurgy sputtering targets and methods of producing same |
US7381282B2 (en) * | 2004-04-07 | 2008-06-03 | Hitachi Metals, Ltd. | Co alloy target and its production method, soft magnetic film for perpendicular magnetic recording and perpendicular magnetic recording medium |
WO2006001976A2 (en) | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Tosoh Smd, Inc. | High purity target manufacturing methods |
CA2607091C (en) | 2005-05-05 | 2014-08-12 | H.C. Starck Gmbh | Coating process for manufacture or reprocessing of sputter targets and x-ray anodes |
US20080078268A1 (en) | 2006-10-03 | 2008-04-03 | H.C. Starck Inc. | Process for preparing metal powders having low oxygen content, powders so-produced and uses thereof |
US8197894B2 (en) | 2007-05-04 | 2012-06-12 | H.C. Starck Gmbh | Methods of forming sputtering targets |
US20090010792A1 (en) * | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Heraeus Inc. | Brittle metal alloy sputtering targets and method of fabricating same |
US8250895B2 (en) | 2007-08-06 | 2012-08-28 | H.C. Starck Inc. | Methods and apparatus for controlling texture of plates and sheets by tilt rolling |
KR101201577B1 (ko) * | 2007-08-06 | 2012-11-14 | 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨 | 향상된 조직 균일성을 가진 내화 금속판 |
JP5342810B2 (ja) | 2008-06-09 | 2013-11-13 | 株式会社コベルコ科研 | Al基合金スパッタリングターゲット材の製造方法 |
EP2536862A4 (en) * | 2010-02-15 | 2016-07-13 | Federal Mogul Corp | MOTHER ALLOY FOR PRODUCING SINTERED CURVED STEEL PARTS AND METHOD FOR PRODUCING SINTERED CURED PIECES |
JP5165100B1 (ja) * | 2011-11-01 | 2013-03-21 | 三菱マテリアル株式会社 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
CN102513537B (zh) | 2011-12-06 | 2013-07-17 | 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 | 一种氩气雾化粉末TiAl合金板材的制备方法 |
-
2015
- 2015-04-08 EP EP15717391.5A patent/EP3129176A1/en active Pending
- 2015-04-08 US US14/681,660 patent/US10023953B2/en active Active
- 2015-04-08 JP JP2016561807A patent/JP6573629B2/ja active Active
- 2015-04-08 WO PCT/US2015/024928 patent/WO2015157421A1/en active Application Filing
- 2015-04-13 TW TW104111728A patent/TWI600784B/zh active
-
2018
- 2018-06-19 US US16/012,092 patent/US20190032196A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI600784B (zh) | 2017-10-01 |
US10023953B2 (en) | 2018-07-17 |
WO2015157421A9 (en) | 2015-12-03 |
WO2015157421A1 (en) | 2015-10-15 |
TW201602380A (zh) | 2016-01-16 |
EP3129176A1 (en) | 2017-02-15 |
US20150292081A1 (en) | 2015-10-15 |
US20190032196A1 (en) | 2019-01-31 |
JP2017517627A (ja) | 2017-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6573629B2 (ja) | 高純度耐熱金属粉体、及び無秩序な組織を有し得るスパッタリングターゲットにおけるその使用 | |
KR102490248B1 (ko) | 분말 야금 스퍼터링 표적 및 그의 생성 방법 | |
JP5684821B2 (ja) | タングステンターゲットの製造方法 | |
TW201641727A (zh) | 磁性材濺鍍靶及其製造方法 | |
WO1995004167A1 (fr) | Cible en siliciure metallique a point de fusion eleve, son procede de production, couche en siliciure metallique a point de fusion eleve, et dispositif a semi-conducteurs | |
US20130240352A1 (en) | Sputtering Target | |
JP6262332B2 (ja) | Al−Te−Cu−Zr合金からなるスパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
TWI678426B (zh) | 矽化鎢靶部件及其製造方法,以及矽化鎢膜的製造方法 | |
WO2019092969A1 (ja) | タングステンスパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
TWI675116B (zh) | Ti-Al合金濺鍍靶 | |
JP2005529239A (ja) | 処理従順な金属間化合物スパッタリングターゲットの製造方法 | |
JP2023165778A (ja) | スパッタリングターゲット及び、スパッタリングターゲットの製造方法 | |
TWI519648B (zh) | Ti-Al alloy sputtering target | |
WO2016017605A1 (ja) | 酸化物焼結体 | |
JP3998972B2 (ja) | スパッタリング用タングステンターゲットの製造方法 | |
WO2020170949A1 (ja) | 酸化物焼結体、スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 | |
JP2005516116A (ja) | 安定化した結晶粒度の耐火金属粉末冶金による延伸材 | |
JP3551355B2 (ja) | Ruターゲットおよびその製造方法 | |
JP7072664B2 (ja) | スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 | |
KR101605633B1 (ko) | 반도체용 탄탈럼 타겟의 제조방법 및 이로부터 제조된 탄탈럼 스퍼터링 타겟 | |
WO2023243566A1 (ja) | 窒化ガリウムの焼結体及びその製造方法 | |
WO2021241522A1 (ja) | 金属-Si系粉末、その製造方法、並びに金属-Si系焼結体、スパッタリングターゲット及び金属-Si系薄膜の製造方法 | |
Kapylou et al. | Effect of compacting pressure, powder degassing and thermobaric treatment on densification and properties of nanocrystalline titanium nitride | |
JP6282755B2 (ja) | Al−Te−Cu−Zr系合金からなるスパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JPH09172205A (ja) | 熱電材料の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20161208 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161213 |
|
A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A529 Effective date: 20161207 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20161207 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181012 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20181219 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190409 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190722 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190813 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6573629 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |