JP6569643B2 - レンズ駆動装置 - Google Patents

Description

本発明は、レンズ駆動装置に関する。

従来から、携帯電話などに搭載される撮像装置に用いるレンズ駆動装置の一種として、スムーズインパクト駆動機構（Smooth Impact Drive Mechanism、「ＳＩＤＭ」は登録商標）を採用したレンズ駆動装置が知られている。

スムーズインパクト駆動機構を採用したレンズ駆動装置が、たとえば特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されたレンズ駆動装置は、スムーズインパクト駆動機構を用いたアクチュエータによって、レンズユニットを光軸方向に対して直交する方向に移動させることで、手ブレ補正機能を実現している。

特開２００９−９３００１号公報

レンズ駆動装置においては、アクチュエータによってレンズを移動させる際に、レンズに意図しない傾き等が発生すると像の乱れ等が生じるため好ましくない。このため、レンズ駆動装置の分野においては、アクチュエータによる駆動時に可動体を安定して移動させることが求められている。

そこで、本発明の一側面は、レンズ駆動の安定化が図られたレンズ駆動装置を提供することを目的とする。

本発明の一側面に係るレンズ駆動装置は、レンズを駆動するレンズ駆動装置であって、レンズ駆動部と該レンズ駆動部を覆うカバーとを備え、レンズ駆動部が、レンズの光軸方向と直交して配置されたベース部材と、ベース部材上にレンズの光軸方向と直交して配置され、ベース部材に対して、レンズの光軸方向と直交する第１の方向に移動可能な第１の可動体と、ベース部材と第１の可動体との間に介在し、ベース部材に固定されるとともに第１の可動体に保持されて、ベース部材と第１の可動体とを第１の方向に相対移動させる第１のアクチュエータと、第１のアクチュエータを第１の可動体に向けて付勢する第１の付勢部と、レンズの光軸方向に配向され、第１の可動体に取り付けられたレンズ枠体とを有し、カバーとレンズ駆動部との間に介在し、第１の可動体をベース部材に向けて付勢する第２の付勢部をさらに備える。

上記レンズ駆動装置では、第１の付勢部は、第１のアクチュエータを第１の可動体側に向けて付勢し、それにより、第１の付勢部と第１の可動体とによって第１のアクチュエータが挟まれた状態となる。第１のアクチュエータはベース部材に固定されているため、ベース部材に対する第１の可動体のがたつきが抑制される。また、第２の付勢部によって、第１の可動体がベース部材に向けて付勢され、それにより、第１の可動体がベース部材から浮いてしまう事態が抑制され、ベース部材に対する第１の可動体のがたつきが抑制される。このように、レンズ駆動装置は、第１の付勢部および第２の付勢部を備えることで、第１の可動体がベース部材から浮いてしまう事態が抑制され、第１の可動体の移動が安定するため、レンズ駆動の安定化が図られる。

本発明の他の側面に係るレンズ駆動装置では、レンズ駆動部が、ベース部材と第１の可動体との間に介在して、第１の可動体を支持する第１のボールと、ベース部材の第１の可動体と対面する側の面、および、第１の可動体のベース部材と対面する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた、第１のボールを収容する第１の窪み部とをさらに有する。この場合、第１のアクチュエータが駆動して、第１の可動体がベース部材に対して第１の方向に移動するときに、第１の窪み部に収容された第１のボールが第１の可動体を支持する。このとき、第１の可動体を支持する第１のボールは、第１の窪み部内において転動するため、第１のアクチュエータの駆動を阻害しない。そのため、第１のアクチュエータは高い位置精度で第１の可動体を移動させることができ、レンズ駆動の安定化が図られる。

第１の付勢部は、第１の可動体によって保持されるバネであってもよい。また、第２の付勢部は、コイルバネと、該コイルバネを覆うキャップとを含んでもよい。さらに、第１のアクチュエータは、第１の方向に延在する第１のシャフトと、該第１のシャフトを第１の方向に進退させる第１の圧電素子とを含んでもよい。

本発明の他の側面に係るレンズ駆動装置では、レンズ駆動部が、第１の可動体上にレンズの光軸方向と直交して配置され、第１の可動体に対して、レンズの光軸方向および第１の方向と直交する第２の方向に移動可能な第２の可動体と、第１の可動体と第２の可動体との間に介在し、第１の可動体に固定されるとともに第２の可動体に保持されて、第１の可動体と第２の可動体とを第２の方向に相対移動させる第２のアクチュエータと、第２のアクチュエータを第２の可動体側に向けて付勢する第３の付勢部とをさらに有する。この場合、第３の付勢部が、第２のアクチュエータを第２の可動体側に向けて付勢し、それにより、第３の付勢部と第２の可動体とによって第２のアクチュエータが挟まれた状態となる。第２のアクチュエータは第１の可動体に固定されているため、第１の可動体に対する第２の可動体のがたつきが抑制される。また、第２の付勢部によって、第２の可動体が第１の可動体に向けて付勢され、それにより、第２の可動体が第１の可動体から浮いてしまう事態が抑制され、第１の可動体に対する第２の可動体のがたつきが抑制される。このように第２の可動体が第１の可動体から浮いてしまう事態が抑制されることで、第２の可動体の移動が安定するため、レンズ駆動の安定化が図られる。

本発明の他の側面に係るレンズ駆動装置では、レンズ駆動部が、第１の可動体と第２の可動体との間に介在して、第２の可動体を支持する第２のボールと、第１の可動体の第２の可動体と対面する側の面、および、第２の可動体の第１の可動体と対面する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた、第２のボールを収容する第２の窪み部とをさらに有し、レンズ枠体は、第２の可動体を介して、第１の可動体に取り付けられている。この場合、第２のアクチュエータが駆動して、第２の可動体が第１の可動体に対して第２の方向に移動するときに、第２の窪み部に収容された第２のボールが第２の可動体を支持する。このとき、第２の可動体を支持する第２のボールは、第２の窪み部内において転動するため、第２のアクチュエータの駆動を阻害しない。そのため、第２のアクチュエータは高い位置精度で第２の可動体を移動させることができ、レンズ駆動の安定化が図られる。

第２のアクチュエータは、第２の方向に延在する第２のシャフトと、該第２のシャフトを第２の方向に進退させる第２の圧電素子とを含んでもよい。

本発明によれば、レンズ駆動の安定化が図られたレンズ駆動装置が提供される。

実施の一態様に係るレンズ駆動装置を示した分解斜視図である。 図１に示したレンズ駆動装置の爆発図である。 図１に示したレンズ駆動部の平面図である。 図３に示したレンズ駆動部の一側面を示した側面図である。 ベース部材の平面図である。 図４とは異なるレンズ駆動部の一側面を示した側面図である。 Ｘ軸可動体の平面図である。 図４に示したＸ軸アクチュエータのＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。 Ｘ軸可動体およびＹ軸可動体の支持構造を示した図である。 図９の窪み部の部分を拡大した要部拡大断面図である。 付勢部の構成を示した斜視図である。 付勢部の構成を示した断面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。

レンズ駆動装置１は、図１に示すように、レンズ駆動部２と、レンズ駆動部２を覆うカバー３とを備えており、取り付けられるべきレンズＬの光軸であるレンズ光軸Ｚ_１を有する。

レンズ駆動部２は、図２に示すように、ベース部材１０、Ｘ軸可動体２０、Ｙ軸可動体３０、およびレンズ枠体４０を備えている。ベース部材１０、Ｘ軸可動体（第１の可動体）２０、Ｙ軸可動体（第２の可動体）３０、およびレンズ枠体４０は、この順で光軸Ｚ_１方向に沿って並んでいる。

ベース部材１０は、略矩形板状の外形を有し、光軸Ｚ_１に対して直交するように配置されている。光軸Ｚ_１はベース部材１０の略中央を通過し、光軸Ｚ_１が通過する中央領域には、光軸Ｚ_１を中心とする真円形の開口１１が設けられている。ベース部材１０は、たとえば、ガラスや無機材料等で構成されたフィラーを含む樹脂材料（液晶ポリマー等）で構成される。ベース部材１０は、たとえば射出成形によって形成することができる。

図３〜５に示すように、ベース部材１０の上面には、Ｘ軸アクチュエータＡＸを下方から支持するアクチュエータ保持部１２が設けられている。アクチュエータ保持部１２は、光軸Ｚ_１方向から見たときに、ベース部材１０の外周縁を構成する４つの辺のうちの一つの辺に沿ってＸ軸アクチュエータＡＸが延在するように設けられている。以下の説明では、Ｘ軸アクチュエータＡＸが延在する方向とＸ軸方向とも称す。

ここで、Ｘ軸アクチュエータＡＸの構成について説明する。

Ｘ軸アクチュエータＡＸは、スムーズインパクト駆動機構を構成するアクチュエータである。Ｘ軸アクチュエータＡＸは、角柱状のＸ軸圧電素子ＰＸ（第１の圧電素子）、Ｘ軸駆動シャフトＳＸ（第１のシャフト）、及び錘部ＷＸを備えている。

Ｘ軸圧電素子ＰＸは、一方向において伸縮可能な素子であり、Ｘ軸方向に沿って延在しているためにＸ軸方向に伸縮可能である。Ｘ軸圧電素子ＰＸは、圧電材料で構成されている。圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（いわゆる、ＰＺＴ）、水晶、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）、ニオブ酸タンタル酸カリウム（Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ_３）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）およびチタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ_３）等の無機圧電材料を用いることができる。Ｘ軸圧電素子ＰＸは、上記圧電材料からなる複数の圧電層と複数の電極層とが交互に積層された積層構造にすることができる。Ｘ軸圧電素子ＰＸに印加する電圧を制御することで、Ｘ軸圧電素子ＰＸの伸縮を制御することができる。

Ｘ軸圧電素子ＰＸは、一方向に伸縮可能な形状であれば、角柱状に限らず、円柱状等であってもよい。

Ｘ軸駆動シャフトＳＸは、円柱状に形成され、円柱形状の軸線がＸ軸方向に沿って延在するようにアクチュエータ保持部１２上に載置されている。Ｘ軸駆動シャフトＳＸは、カーボンファイバ等の繊維を含む複合樹脂材料で構成されている。

Ｘ軸駆動シャフトＳＸにおけるＸ軸方向の一方の端部は、Ｘ軸圧電素子ＰＸにおけるＸ軸方向の一方の端部に固定されている。そのため、Ｘ軸圧電素子ＰＸをＸ軸方向に関して伸縮させることで、Ｘ軸駆動シャフトＳＸをＸ軸方向の向きに進退させることができる。

錘部ＷＸは、Ｘ軸圧電素子ＰＸにおけるＸ軸方向の他方の端部に固定されている。錘部ＷＸは、タングステンやタングステン合金など比重の高い材料から形成されており、Ｘ軸駆動シャフトＳＸよりも重くなるように設計されている。Ｘ軸駆動シャフトＳＸよりも錘部ＷＸを重くすることで、Ｘ軸圧電素子ＰＸが伸縮したときに、錘部ＷＸは変位しにくく、Ｘ軸駆動シャフトＳＸのほうを効率よく変位させることができる。

上述したＸ軸圧電素子ＰＸとＸ軸駆動シャフトＳＸとの固定、および、Ｘ軸圧電素子ＰＸと錘部ＷＸとの固定には、エポキシ接着剤等の接着剤を用いることができる。

そして、ベース部材１０のアクチュエータ保持部１２は、Ｘ軸アクチュエータＡＸの軸線ＬＸがベース部材１０に対して平行になるように、Ｘ軸アクチュエータＡＸ側に向けて立ち上がるように設けられている。

アクチュエータ保持部１２は、Ｘ軸駆動シャフトＳＸを保持するシャフト保持部１２ａ、１２ｂと、錘部ＷＸを保持する錘保持部１２ｃとを備えている。

シャフト保持部１２ａ、１２ｂは、Ｘ軸駆動シャフトＳＸの先端部（すなわち、Ｘ軸圧電素子ＰＸ側とは反対側の端部）を保持するシャフト保持部１２ａと、Ｘ軸駆動シャフトＳＸの基端部（すなわち、Ｘ軸圧電素子ＰＸ側の端部）を保持するシャフト保持部１２ｂとで構成されている。シャフト保持部１２ａ、１２ｂはいずれも、Ｘ軸駆動シャフトＳＸを保持するためのＵ字状またはＶ字状の溝を有しており、Ｘ軸駆動シャフトＳＸのＸ軸方向への移動を許容しつつＸ軸方向以外の方向への移動を制限している。シャフト保持部１２ａ、１２ｂはいずれも、Ｘ軸駆動シャフトＳＸとは接着剤等で固定されておらず、Ｘ軸駆動シャフトＳＸはＸ軸方向に沿って摺動可能となっている。シャフト保持部１２ａ、１２ｂにより、Ｘ軸駆動シャフトＳＸの先端部および基端部を保持することで、Ｘ軸駆動シャフトＳＸをＸ軸方向に高い精度で配向させることができる。

錘保持部１２ｃは、錘部ＷＸの下面（すなわち、ベース部材１０側の面）Ｗａおよび端面Ｗｂに接して錘部ＷＸを保持している。錘部ＷＸは、エポキシ接着剤等の接着剤で錘保持部１２ｃに固定されており、Ｘ軸方向へ移動することができない。

すなわち、Ｘ軸アクチュエータＡＸは、アクチュエータ保持部１２により、Ｘ軸駆動シャフトＳＸはＸ軸方向に沿って摺動可能ではあるが、錘部ＷＸは固定された状態となっている。

Ｘ軸可動体２０も、ベース部材１０同様、略矩形板状の外形を有し、光軸Ｚ_１に対して直交するように配置されている。Ｘ軸可動体２０は、光軸Ｚ_１方向から見て、ベース部材１０と略同一の寸法であり、ベース部材１０と重なるように配置されている。Ｘ軸可動体２０には、ベース部材１０同様、光軸Ｚ_１が通過する中央領域に光軸Ｚ_１を中心とする真円形の開口２１が設けられている。Ｘ軸可動体２０に設けられた開口２１と、ベース部材１０に設けられた開口１１とは、略同じ寸法となるように設計されている。Ｘ軸可動体２０も、ベース部材１０と同様の樹脂材料（液晶ポリマー等）で構成することができ、たとえば射出成形によって形成することができる。

図６、７に示すように、Ｘ軸可動体２０の上面には、Ｙ軸アクチュエータＡＹを下方から支持するアクチュエータ保持部２２が設けられている。アクチュエータ保持部２２は、光軸Ｚ_１方向から見たときに、Ｘ軸可動体２０の外周縁を構成する４つの辺のうちのＸ軸方向とは直交する一つの辺に沿ってＹ軸アクチュエータＡＹが延在するように設けられている。以下の説明では、Ｙ軸アクチュエータＡＹが延在する方向とＹ軸方向とも称す。

ここで、Ｙ軸アクチュエータＡＹの構成について説明する。

Ｙ軸アクチュエータＡＹは、Ｘ軸アクチュエータＡＸ同様、スムーズインパクト駆動機構を構成するアクチュエータである。Ｙ軸アクチュエータＡＹも、Ｘ軸アクチュエータＡＸ同様、角柱状のＹ軸圧電素子ＰＹ（第２の圧電素子）、Ｙ軸駆動シャフトＳＹ（第２のシャフト）、及び錘部ＷＹを備えている。

Ｙ軸圧電素子ＰＹは、一方向において伸縮可能な素子であり、Ｙ軸方向に沿って延在しているためにＹ軸方向に伸縮可能である。Ｙ軸圧電素子ＰＹは、上述したＸ軸圧電素子ＰＸと同様の圧電材料で構成されている。Ｙ軸圧電素子ＰＹも、複数の圧電層と複数の電極層とが交互に積層された積層構造にすることができる。Ｙ軸圧電素子ＰＹに印加する電圧を制御することで、Ｙ軸圧電素子ＰＹの伸縮を制御することができる。

Ｙ軸圧電素子ＰＹは、一方向に伸縮可能な形状であれば、角柱状に限らず、円柱状等であってもよい。

Ｙ軸駆動シャフトＳＹは、円柱状に形成され、円柱形状の軸線がＹ軸方向に沿って延在するようにアクチュエータ保持部２２上に載置されている。Ｙ軸駆動シャフトＳＹは、Ｘ軸駆動シャフトＳＸ同様、カーボンファイバ等の繊維を含む複合樹脂材料で構成されている。

Ｙ軸駆動シャフトＳＹにおけるＹ軸方向の一方の端部は、Ｙ軸圧電素子ＰＹにおけるＹ軸方向の一方の端部に固定されている。そのため、Ｙ軸圧電素子ＰＹをＹ軸方向に関して伸縮させることで、Ｙ軸駆動シャフトＳＹをＹ軸方向の向きに進退させることができる。

錘部ＷＹは、Ｙ軸圧電素子ＰＹにおけるＹ軸方向の他方の端部に固定されている。錘部ＷＹは、錘部ＷＸ同様、タングステンやタングステン合金など比重の高い材料から形成されており、Ｙ軸駆動シャフトＳＹよりも重くなるように設計されている。

上述したＹ軸圧電素子ＰＹとＹ軸駆動シャフトＳＹとの固定、および、Ｙ軸圧電素子ＰＹと錘部ＷＹとの固定には、エポキシ接着剤等の接着剤を用いることができる。

そして、Ｘ軸可動体２０のアクチュエータ保持部２２は、Ｙ軸アクチュエータＡＹの軸線がＸ軸可動体２０に対して平行になるように、Ｙ軸アクチュエータＡＹ側に向けて立ち上がるように設けられている。

アクチュエータ保持部２２は、Ｙ軸駆動シャフトＳＹを保持するシャフト保持部２２ａ、２２ｂと、錘部ＷＹを保持する錘保持部２２ｃとを備えている。

シャフト保持部２２ａ、２２ｂは、Ｙ軸駆動シャフトＳＹの先端部（すなわち、Ｙ軸圧電素子ＰＹ側とは反対側の端部）を保持するシャフト保持部２２ａと、Ｙ軸駆動シャフトＳＹの基端部（すなわち、Ｙ軸圧電素子ＰＹ側の端部）を保持するシャフト保持部２２ｂとで構成されている。シャフト保持部２２ａ、２２ｂはいずれも、Ｙ軸駆動シャフトＳＹを保持するためのＵ字状またはＶ字状の溝を有しており、Ｙ軸駆動シャフトＳＹのＹ軸方向への移動を許容しつつＹ軸方向以外の方向への移動を制限している。シャフト保持部２２ａ、２２ｂはいずれも、Ｙ軸駆動シャフトＳＹとは接着剤等で固定されておらず、Ｙ軸駆動シャフトＳＹはＹ軸方向に沿って摺動可能となっている。シャフト保持部２２ａ、２２ｂにより、Ｙ軸駆動シャフトＳＹの先端部および基端部を保持することで、Ｙ軸駆動シャフトＳＹをＹ軸方向に高い精度で配向させることができる。

錘保持部２２ｃは、錘部ＷＹの下面（すなわち、Ｘ軸可動体２０側の面）Ｗａおよび端面Ｗｂに接して錘部ＷＹを保持している。錘部ＷＹは、エポキシ接着剤等の接着剤で錘保持部２２ｃに固定されており、Ｙ軸方向へ移動することができない。

すなわち、Ｙ軸アクチュエータＡＹは、アクチュエータ保持部２２により、Ｙ軸駆動シャフトＳＹはＹ軸方向に沿って摺動可能ではあるが、錘部ＷＹは固定された状態となっている。

また、Ｘ軸可動体２０には、Ｘ軸アクチュエータＡＸが設けられたベース部材１０の辺に対応する辺に、スライダー部２４が設けられている。

スライダー部２４は、Ｘ軸可動体２０のその他の部分よりも隆起しており、スライダー部２４の下には、Ｘ軸アクチュエータＡＸおよびアクチュエータ保持部２２が収容される空間が画成されている。

スライダー部２４は、Ｘ軸アクチュエータＡＸに沿うようにＸ軸方向に延びており、Ｘ軸アクチュエータＡＸを上側から覆っている。

スライダー部２４は、上方に延びる一対の柱部２４ａ、２４ｂと、一対の柱部２４ａ、２４ｂの間に架けられた梁部２４ｃとで構成されている。一対の柱部２４ａ、２４ｂは、Ｘ軸アクチュエータＡＸの先端部側に位置する柱部２４ａと、Ｘ軸アクチュエータＡＸの基端部側に位置する柱部２４ｂとで構成されている。また、ベース部材１０からの高さ位置に関しては、一対の柱部２４ａ、２４ｂの高さ位置は、Ｘ軸アクチュエータＡＸの軸線ＬＸの高さ位置と略同じとなっている。一対の柱部２４ａ、２４ｂのそれぞれの高さ（光軸Ｚ_１方向における長さ）は、梁部２４ｃが、ベース部材１０、Ｘ軸可動体２０およびＸ軸アクチュエータＡＸの軸線ＬＸに対して平行になるように設計されている。

梁部２４ｃには、下方に延びる一対のシャフト保持部２４ｄ、２４ｅが設けられている。一対のシャフト保持部２４ｄ、２４ｅはいずれも、Ｘ軸アクチュエータＡＸのＸ軸駆動シャフトＳＸに接して、上側からＸ軸アクチュエータＡＸのＸ軸駆動シャフトＳＸを保持している。一対のシャフト保持部２４ｄ、２４ｅは、Ｘ軸駆動シャフトＳＸの先端部（すなわち、Ｘ軸圧電素子ＰＸ側とは反対側の端部）を保持するシャフト保持部２４ｄと、Ｘ軸駆動シャフトＳＸの基端部（すなわち、Ｘ軸圧電素子ＰＸ側の端部）を保持するシャフト保持部２４ｅとで構成されている。シャフト保持部２４ｄ、２４ｅはいずれも、Ｘ軸駆動シャフトＳＸを保持するためのＵ字状またはＶ字状の溝を有しており、Ｘ軸駆動シャフトＳＸのＸ軸方向への移動を許容しつつＸ軸方向以外の方向への移動を制限している。シャフト保持部２４ｄ、２４ｅはいずれも、Ｘ軸駆動シャフトＳＸとは接着剤等で固定されておらず、Ｘ軸駆動シャフトＳＸはＸ軸方向に沿って摺動可能となっている。

Ｘ軸アクチュエータＡＸの先端部側に位置する柱部２４ａにはバネ２６（第１の付勢部）が巻き付けられている。バネ２６は、たとえば、ある程度の弾性を有する金属板材を用いて形成される。

柱部２４ａに巻き付けられたバネ２６は、柱部２４ａに直交する方向に延びて、バネ２６の先端部がＸ軸アクチュエータＡＸのＸ軸駆動シャフトＳＸに達している。

バネ２６の先端部には、Ｘ軸駆動シャフトＳＸと摩擦係合する摩擦係合部２６ａが設けられている。具体的には、図８に示すように、摩擦係合部２６ａは、バネ２６の先端部からＸ軸駆動シャフトＳＸの下面まで延びて、Ｘ軸駆動シャフトＳＸの下面を所定の圧力でＸ軸可動体２０に向けて上方に付勢している。スライダー部２４は、一対のシャフト保持部２４ｄ、２４ｅによってＸ軸駆動シャフトＳＸを上側から保持しているため、Ｘ軸駆動シャフトＳＸは、スライダー部２４の一対のシャフト保持部２４ｄ、２４ｅとバネ２６とによって上下方向から把持されて摩擦係合されている。

そのため、Ｘ軸アクチュエータＡＸの伸縮時に伸張時と収縮時との速度差を生じさせると、Ｘ軸アクチュエータＡＸのＸ軸駆動シャフトＳＸに摩擦係合されたバネ２６が、Ｘ軸アクチュエータＡＸの伸縮方向（すなわち、Ｘ方向）に駆動される。また、バネ２６の駆動に伴い、バネ２６に連結されたスライダー部２４およびＸ軸可動体２０も、Ｘ軸アクチュエータＡＸの伸縮方向に駆動される。

Ｙ軸可動体３０は、ベース部材１０およびＸ軸可動体２０同様、略矩形板状の外形を有し、光軸Ｚ_１に対して直交するように配置されている。Ｙ軸可動体３０は、光軸Ｚ_１方向から見て、ベース部材１０およびＸ軸可動体２０と略同一の寸法であり、Ｘ軸可動体２０と重なるように配置されている。Ｙ軸可動体３０には、ベース部材１０およびＸ軸可動体２０同様、光軸Ｚ_１が通過する中央領域に光軸Ｚ_１を中心とする真円形の開口３１が設けられている。Ｙ軸可動体３０に設けられた開口３１と、ベース部材１０に設けられた開口１１およびＸ軸可動体２０に設けられた開口２１とは、略同じ寸法となるように設計されている。Ｙ軸可動体３０も、ベース部材１０およびＸ軸可動体２０と同様の樹脂材料（液晶ポリマー等）で構成することができ、たとえば射出成形によって形成することができる。

Ｙ軸可動体３０の上面には、光軸Ｚ_１方向に配向されたＺ軸アクチュエータＡＺの下端部を収容するアクチュエータ保持部３２が設けられている。アクチュエータ保持部３２は、平面視で矩形状の窪みである。

Ｚ軸アクチュエータＡＺは、Ｘ軸アクチュエータＡＸおよびＹ軸アクチュエータＡＹ同様、スムーズインパクト駆動機構を構成するアクチュエータである。Ｚ軸アクチュエータＡＺも、Ｘ軸アクチュエータＡＸおよびＹ軸アクチュエータＡＹ同様、角柱状のＺ軸圧電素子ＰＺ、Ｚ軸駆動シャフトＳＺ、および錘部ＷＺを備えている。Ｚ軸アクチュエータＡＺでは、Ｙ軸可動体３０に近い方から、錘部ＷＺ、Ｚ軸圧電素子ＰＺ、Ｚ軸駆動シャフトＳＺの順に並んでいる。

Ｚ軸アクチュエータＡＺのＺ軸圧電素子ＰＺ、Ｚ軸駆動シャフトＳＺおよび錘部ＷＺ、の形状、構成および材料は、上述したＸ軸アクチュエータＡＸのＸ軸圧電素子ＰＸ、Ｘ軸駆動シャフトＳＸおよび錘部ＷＸや、Ｙ軸アクチュエータＡＹのＹ軸圧電素子ＰＹ、Ｙ軸駆動シャフトＳＹおよび錘部ＷＹと同一または同様である。

Ｚ軸アクチュエータＡＺは、その下端部にある錘部ＷＺが、Ｙ軸可動体３０に設けられたアクチュエータ保持部３２に収容されて固定されている。アクチュエータ保持部３２は、Ｚ軸アクチュエータＡＺの錘部ＷＺ全体を収容できる形状および寸法に設計されている。アクチュエータ保持部３２の深さは、Ｚ軸アクチュエータＡＺの錘部ＷＺが脱離しにくいように、Ｚ軸アクチュエータＡＺの錘部ＷＺの高さより深く設計される。Ｚ軸アクチュエータＡＺがアクチュエータ保持部３２に配置されたときに、Ｚ軸アクチュエータＡＺの軸線ＬＺが、レンズ駆動装置１のレンズ光軸Ｚ_１と平行になるように設計されている。

なお、Ｚ軸圧電素子ＰＺとＺ軸駆動シャフトＳＺとの固定、Ｚ軸圧電素子ＰＺと錘部ＷＺとの固定、および錘部ＷＺとアクチュエータ保持部３２との固定には、エポキシ接着剤等の接着剤を用いることができる。

また、Ｙ軸可動体３０には、Ｙ軸アクチュエータＡＹが設けられたＸ軸可動体２０の辺に対応する辺に、スライダー部３４Ａ、３４Ｂが設けられている。

スライダー部３４Ａ、３４Ｂは、Ｙ軸可動体３０のその他の部分よりも隆起しており、スライダー部３４Ａ、３４Ｂの下には、Ｙ軸アクチュエータＡＹおよびアクチュエータ保持部２２が収容される空間が画成されている。

スライダー部３４Ａ、３４Ｂは、Ｙ軸方向において対向する第１のスライダー部３４Ａおよび第２のスライダー部３４Ｂで構成されており、Ｙ軸アクチュエータＡＹに沿うように延びて、Ｙ軸アクチュエータＡＹを上側から覆っている。

第１のスライダー部３４Ａは、上方に延びる柱部３４ａと、第２のスライダー部３４Ｂに向けて延びる片持梁部３４ｂとで構成されている。ベース部材１０からの高さ位置に関しては、柱部３４ａの高さ位置は、Ｙ軸アクチュエータＡＹの軸線ＬＹの高さ位置と略同じとなっている。片持梁部３４ｂは、柱部３４ａに直交する方向に延びて、片持梁部３４ｂの先端部がＹ軸アクチュエータＡＹのＹ軸駆動シャフトＳＹに達している。片持梁部３４ｂの先端部には、下方に延びるシャフト保持部３４ｃが設けられている。シャフト保持部３４ｃは、Ｙ軸アクチュエータＡＹのＹ軸駆動シャフトＳＹの先端部（すなわち、Ｙ軸圧電素子ＰＹ側とは反対側の端部）に接して、上側からＹ軸アクチュエータＡＹのＹ軸駆動シャフトＳＹを保持している。シャフト保持部３４ｃは、上述したＸ軸可動体２０のシャフト保持部２４ｄ、２４ｅ同様、Ｙ軸駆動シャフトＳＹを保持するためのＵ字状またはＶ字状の溝を有しており、Ｙ軸駆動シャフトＳＹのＹ軸方向への移動を許容しつつＹ軸方向以外の方向への移動を制限している。

第２のスライダー部３４Ｂは、上方に延びる柱部３４ｄと、第１のスライダー部３４Ａに向けて延びる片持梁部３４ｅとで構成されている。ベース部材１０からの高さ位置に関しては、柱部３４ｄの高さ位置は、Ｙ軸アクチュエータＡＹの軸線ＬＹの高さ位置と略同じとなっている。片持梁部３４ｅは、柱部３４ｄに直交する方向に延びて、片持梁部３４ｅの先端部がＹ軸アクチュエータＡＹのＹ軸駆動シャフトＳＹに達している。片持梁部３４ｅの先端部には、下方に延びるシャフト保持部３４ｆが設けられている。シャフト保持部３４ｆは、Ｙ軸アクチュエータＡＹのＹ軸駆動シャフトＳＹの基端部（すなわち、Ｙ軸圧電素子ＰＹ側の端部）に接して、上側からＹ軸アクチュエータＡＹのＹ軸駆動シャフトＳＹを保持している。シャフト保持部３４ｆは、上述したＸ軸可動体２０のシャフト保持部２４ｄ、２４ｅ同様、Ｙ軸駆動シャフトＳＹを保持するためのＵ字状またはＶ字状の溝を有しており、Ｙ軸駆動シャフトＳＹのＹ軸方向への移動を許容しつつＹ軸方向以外の方向への移動を制限している。

なお、第１のスライダー部３４Ａのシャフト保持部３４ｃおよび第２のスライダー部３４Ｂのシャフト保持部３４ｆはいずれも、Ｙ軸駆動シャフトＳＹとは接着剤等で固定されておらず、Ｙ軸駆動シャフトＳＹはＹ軸方向に沿って摺動可能となっている。

Ｙ軸アクチュエータＡＹの先端部側に位置する第１のスライダー部３４Ａの柱部３４ａにはバネ３６（第３の付勢部）が巻き付けられている。バネ３６は、たとえば、ある程度の弾性を有する金属板材を用いて形成される。

柱部３４ａに巻き付けられたバネ３６は、柱部３４ａに直交する方向に延びて、バネ３６の先端部がＹ軸アクチュエータＡＹのＹ軸駆動シャフトＳＹに達している。

バネ３６の先端部には、Ｙ軸駆動シャフトＳＹと摩擦係合する摩擦係合部３６ａが設けられている。バネ３６の摩擦係合部３６ａは、上述したバネ２６の摩擦係合部２６ａ同様、バネ３６の先端部からＹ軸駆動シャフトＳＹの下面まで延びて、Ｙ軸駆動シャフトＳＹの下面を所定の圧力でＹ軸可動体３０に向けて上方に付勢している。スライダー部３４Ａ、３４Ｂは、シャフト保持部３４ｃ、３４ｆによってＹ軸駆動シャフトＳＹを上側から保持しているため、Ｙ軸駆動シャフトＳＹは、スライダー部３４Ａ、３４Ｂのシャフト保持部３４ｃ、３４ｆとバネ３６とによって上下方向から把持されて摩擦係合されている。

そのため、Ｙ軸アクチュエータＡＹの伸縮時に伸張時と収縮時との速度差を生じさせると、Ｙ軸アクチュエータＡＹのＹ軸駆動シャフトＳＹに摩擦係合されたバネ３６が、Ｙ軸アクチュエータＡＹの伸縮方向（すなわち、Ｙ方向）に駆動される。また、バネ３６の駆動に伴い、バネ３６に連結されたスライダー部３４ＡおよびＹ軸可動体３０も、Ｙ軸アクチュエータＡＹの伸縮方向に駆動される。

また、Ｙ軸可動体３０の上面には、後述するレンズ枠体４０を案内するガイド部３７が設けられている。ガイド部３７は、所定距離だけ離間されて立設された一対の角柱で構成されており、各角柱は光軸Ｚ_１方向に延びている。そして、ガイド部３７の角柱間に、レンズ枠体４０の一部が入り込んでおり、レンズ枠体４０は角柱に沿って光軸Ｚ_１方向に案内される。

レンズ枠体４０は、図２に示すように、レンズの光軸Ｚ_１方向と直交するように配置された円管状の部材であり、レンズ光軸Ｚ_１の方向に配向されている。レンズ枠体４０はその中央に開口４１を有し、開口４１にはレンズ光軸Ｚ_１の向きにレンズＬが取り付けられ得る。レンズＬは、複数のレンズで構成されたレンズユニットであってもよく、単一のレンズであってもよい。レンズ枠体４０の開口４１は、ベース部材１０に設けられた開口１１、Ｘ軸可動体２０に設けられた開口２１、およびＹ軸可動体３０に設けられた開口３１と、略同じ寸法となるように設計されている。レンズ枠体４０も、ベース部材１０、Ｘ軸可動体２０、およびＹ軸可動体３０と同様の樹脂材料（液晶ポリマー等）で構成することができ、たとえば射出成形によって形成することができる。

レンズ枠体４０の外周面には、上述したＹ軸可動体３０のガイド部３７の角柱間に嵌り込む突出部４２が設けられている。突出部４２の形状および寸法は、ガイド部３７の角柱間に画成された空間の形状および寸法とほぼ同じであるが、該空間のほうがわずかに大きく、該空間に突出部４２を嵌め込むことができる。レンズ枠体４０の突出部４２とガイド部３７との嵌合により、レンズ枠体４０のレンズ光軸Ｚ_１周りの回転が抑制されている。

また、レンズ枠体４０の外周面には、後述する摩擦係合ユニット５０のバネ部材５２の後端部５２ｂを収容してバネ部材５２を位置決め固定する固定部４３が設けられている。

さらに、レンズ枠体４０の外周面には、Ｚ軸アクチュエータＡＺに対応する位置に、Ｚ軸アクチュエータＡＺのＺ軸駆動シャフトＳＺを部分的に収容する略Ｕ字状の収容部４４が設けられている。収容部４４には、スライダー部材５４が取り付けられている。

本実施形態では、バネ部材５２とスライダー部材５４とで摩擦係合ユニット５０が構成されており、摩擦係合ユニット５０によって、レンズ枠体４０がＺ軸アクチュエータＡＺに摩擦係合される。

バネ部材５２は、弾性を有する帯状の金属製部材であり、レンズ枠体４０の外周面に沿って配置されている。バネ部材５２は、Ｚ軸アクチュエータＡＺに接する先端部５２ａと、レンズ枠体４０の固定部４３に固定される固定端である後端部５２ｂとを有する。バネ部材５２の少なくとも先端部５２ａは、レンズ光軸Ｚ_１およびＺ軸アクチュエータＡＺの軸線ＬＺと直交するように配置される。バネ部材５２は、一枚の金属板材を打ち抜き加工および曲げ加工等することで得られる。

スライダー部材５４は、レンズ枠体４０の収容部４４の内側面に沿う略Ｕ字状の金属製部材である。スライダー部材５４は、少なくとも２点において、収容部４４に収容されるＺ軸アクチュエータＡＺのＺ軸駆動シャフトＳＺと接している。スライダー部材５４は、金属板材を曲げ加工することで得られる。

Ｚ軸アクチュエータＡＺは、バネ部材５２の先端部５２ａとスライダー部材５４との間においてＺ軸駆動シャフトＳＺが挟まれる。摩擦係合ユニット５０のバネ部材５２の弾性によって、バネ部材５２からスライダー部材５４の方向に付勢されることで、摩擦係合ユニット５０は、Ｚ軸アクチュエータＡＺのＺ軸駆動シャフトＳＺに摩擦係合される。

そのため、Ｚ軸アクチュエータＡＺの伸縮時に伸張時と収縮時との速度差を生じさせると、Ｚ軸アクチュエータＡＺのＺ軸駆動シャフトＳＺに摩擦係合された摩擦係合ユニット５０が、Ｚ軸アクチュエータＡＺの伸縮方向（すなわち、光軸Ｚ_１方向）に駆動される。また、摩擦係合ユニット５０の駆動に伴い、摩擦係合ユニット５０のバネ部材５２の後端部５２ｂに連結されたレンズ枠体４０も、Ｚ軸アクチュエータＡＺの伸縮方向に駆動される。

次に、Ｘ軸可動体２０およびＹ軸可動体３０の支持構造について、図５、７、９、１０を参照しつつ説明する。

図５に示すように、ベース部材１０上には、複数個のボール（第１のボール）Ｂ１が配置されている。本実施形態では、１０個のボールＢ１がベース部材１０上に配置されている。そして、ボールＢ１が配置されたベース部材１０の上にＸ軸可動体２０を重ねることで、ボールＢ１をベース部材１０とＸ軸可動体２０との間に介在させている。それにより、ボールＢ１が、Ｘ軸可動体２０を下方から支持する。

各ボールＢ１は、真球状となるように設計されており、金属等の導電材料で構成されている。ボールＢ１は、ベース部材１０の外周縁を構成する４つの辺の全てに配置され、一箇所に偏らないように分散的に配置されている。

ベース部材１０の上面には、ボールＢ１の下部を収容する複数の窪み部Ｃ１が設けられている。複数の窪み部Ｃ１は、ボールＢ１の数と同じ数だけ設けられており、本実施形態では、１０個の窪み部Ｃ１が設けられている。各窪み部Ｃ１は、Ｘ軸方向に延びる溝状であり、ボールＢ１の直径と同じまたはボールＢ１の直径よりわずかに大きい溝幅を有している。

上記構成によれば、ボールＢ１は、ベース部材１０上に設けられた窪み部Ｃ１内においてＸ軸方向に転動自在となっている。

また、図９に示すように、Ｘ軸可動体２０の下面には、ボールＢ１の上部を収容する複数の窪み部Ｄ１が設けられている。複数の窪み部Ｄ１は、ベース部材１０の窪み部Ｃ１に対応する位置に設けられており、窪み部Ｃ１と対向している。各窪み部Ｄ１は、Ｘ軸方向に延びており、ベース部材１０の窪み部Ｃ１と同一形状および同一寸法を有している。そのため、ボールＢ１は、図１０に示すように、ベース部材１０の窪み部Ｃ１およびＸ軸可動体２０の窪み部Ｄ１の両方に収容され、両窪み部Ｃ１、Ｄ１によって画成される空洞Ｅ１内において転動する。

窪み部Ｃ１の内面は、導電材料で構成された導電膜１８で覆われている。導電膜１８は、ベース部材１０上に形成された所定の配線１９に接続されている。ベース部材１０上には、ベース部材１０の側面に設けられた外部端子Ｔから延びる各種の配線１９が形成されている。窪み部Ｄ１の内面も、導電材料で構成された導電膜２８で覆われている。導電膜２８は、Ｘ軸可動体２０の下面に形成された所定の配線２９に接続されている。導電膜１８、２８は、たとえば無電解めっき等によって形成され得る。

各ボールＢ１は、導電性を有するため、互いに接触するボールＢ１および導電膜１８、２８を介して、対応するベース部材１０の配線１９とＸ軸可動体２０の配線２９との導通が図られる。また、両窪み部Ｃ１、Ｄ１はいずれもＸ軸方向に延びているため、ボールＢ１を介して重なるベース部材１０とＸ軸可動体２０とは、Ｘ軸方向に関する相対移動のみが許容され、Ｘ軸方向以外の方向に関する相対移動が制限されている。光軸Ｚ_１方向から見て、ボールＢ１および窪み部Ｃ１、Ｄ１の位置を光軸Ｚ_１からより離れた位置とすることで、Ｘ軸可動体の相対移動がＸ軸方向から逸れにくくなる。

図７に示すように、Ｘ軸可動体２０上にも、複数個のボール（第２のボール）Ｂ２が配置されている。本実施形態では、６個のボールＢ２がＸ軸可動体２０上に配置されている。そして、ボールＢ２が配置されたＸ軸可動体２０の上にＹ軸可動体３０を重ねることで、ボールＢ２をＸ軸可動体２０とＹ軸可動体３０との間に介在させている。それにより、ボールＢ２が、Ｙ軸可動体３０を下方から支持する。

各ボールＢ２は、上述したボールＢ１同様、真球状となるように設計されており、金属等の導電材料で構成されている。ボールＢ２は、Ｘ軸可動体２０の外周縁を構成する４つの辺の全てに配置され、一箇所に偏らないように分散的に配置されている。

Ｘ軸可動体２０の上面には、ボールＢ２の下部を収容する複数の窪み部Ｃ２が設けられている。複数の窪み部Ｃ２は、ボールＢ２の数と同じ数だけ設けられており、本実施形態では、６個の窪み部Ｃ２が設けられている。各窪み部Ｃ２は、Ｙ軸方向に延びる溝状であり、ボールＢ２の直径と同じまたはボールＢ２の直径よりわずかに大きい溝幅を有している。

上記構成によれば、ボールＢ２は、Ｘ軸可動体２０上に設けられた窪み部Ｃ２内においてＹ軸方向に転動自在となっている。

また、図９に示すように、Ｙ軸可動体３０の下面には、ボールＢ２の上部を収容する複数の窪み部Ｄ２が設けられている。複数の窪み部Ｄ２は、Ｘ軸可動体２０の窪み部Ｃ２に対応する位置に設けられており、窪み部Ｃ２と対向している。各窪み部Ｄ２は、Ｙ軸方向に延びており、Ｘ軸可動体２０の窪み部Ｃ２と同一形状および同一寸法を有している。そのため、ボールＢ２は、Ｘ軸可動体２０の窪み部Ｃ２およびＹ軸可動体３０の窪み部Ｄ２の両方に収容され、両窪み部Ｃ２、Ｄ２によって画成される空洞内において転動する。

両窪み部Ｃ２、Ｄ２の内面は、上述した窪み部Ｃ１、Ｄ１の内面と同様に、導電材料で構成された導電膜で覆われている。各導電膜は、Ｘ軸可動体２０の上面およびＹ軸可動体３０の下面にそれぞれ形成された所定の配線２９、３９に接続されている。

各ボールＢ２は、導電性を有するため、互いに接触するボールＢ２および導電膜を介して、対応するＸ軸可動体２０の配線２９とＹ軸可動体３０の配線３９との導通が図られる。また、両窪み部Ｃ２、Ｄ２はいずれもＹ軸方向に延びているため、ボールＢ２を介して重なるＸ軸可動体２０とＹ軸可動体３０とは、Ｙ軸方向に関する相対移動のみが許容され、Ｙ軸方向以外の方向に関する相対移動が制限されている。光軸Ｚ_１方向から見て、ボールＢ２および窪み部Ｃ２、Ｄ２の位置を光軸Ｚ_１からより離れた位置とすることで、Ｙ軸可動体の相対移動がＹ軸方向から逸れにくくなる。

上述したベース部材１０、Ｘ軸可動体２０、およびＹ軸可動体３０の各配線１９、２９、３９は、各アクチュエータＡＸ、ＡＹ、ＡＺの圧電素子への電圧印加や、各方向における変位や振動を検出する磁気センサ６０からの信号出力等に用いられる。磁気センサ６０は、対向配置された磁石６１の磁気的な変化を検出することで、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向および光軸方向における変位や振動を検出する。

次に、レンズ駆動部２に設けられた付勢部７０について、図３、１１、１２を参照しつつ説明する。

図３に示すように、Ｙ軸可動体３０の上面には、レンズ枠体４０が存在しない領域であってレンズ枠体４０の周辺領域に、複数の付勢部７０（第２の付勢部）が設けられている。本実施形態では、３つの付勢部７０が設けられている。各付勢部７０は、図１１に示すように、コイルバネ７２とキャップ７４とで構成されている。コイルバネ７２は、その下端部がＹ軸可動体３０に設けられた保持穴３８ａを有するバネ保持部３８によって保持されており、光軸Ｚ_１方向に沿って延在している。キャップ７４は、頂部７２ａおよび側周部７２ｂを有している。頂部７２ａは、コイルバネ７２の上端部が当接する部分であり、上側が凸となるように頂面が湾曲している。側周部７２ｂは、コイルバネ７２を囲う円管状の部分である。図１１、１２に示すように、キャップ７４の内部には、頂部７４ａと側周部７４ｂとで円柱状のキャビティ７５が画成されている。キャビティ７５の径は、コイルバネ７２を収容できるようにコイルバネ７２の径よりもわずかに大きく設計されている。キャビティ７５の高さｈ１は、コイルバネ７２のＹ軸可動体３０の上面からの高さＨよりも低く設計されている。そのため、図１２に示すように、Ｙ軸可動体３０のバネ保持部３８に収容されたコイルバネ７２にキャップ７４を完全に被せたときには、コイルバネ７２はキャップ７４の頂部７４ａによって下方に押されて圧縮状態となる。このとき、付勢部７０には上向きの付勢力が生じる。

また、キャップ７４の高さｈ２は、レンズ駆動部２にカバー３を取り付けたときの、カバー３とＹ軸可動体３０の上面との光軸Ｚ_１方向における離間距離と同じになるように設計されている。そのため、レンズ駆動部２にカバー３を取り付けたときには、コイルバネ７２が圧縮状態となり、付勢部７０に生じた付勢力がカバー３を上向きに付勢するとともに、その反力で、Ｙ軸可動体３０が下向き（すなわち、ベース部材１０の向き）に付勢される。その結果、付勢部７０は、Ｙ軸可動体３０と、Ｙ軸可動体３０とベース部材１０との間に介在するＸ軸可動体２０とを、ベース部材１０の向きに所定の圧力で押し付ける。この圧力は、コイルバネ７２の太さや高さ、キャップ７４のキャビティ７５の高さ等を調整することによって調整可能である。複数の付勢部７０は、均一な圧力となるように調整され得る。

以上において説明したとおり、レンズ駆動装置１は、レンズＬを駆動するレンズ駆動装置であって、レンズ駆動部２とレンズ駆動部２を覆うカバー３とを備え、レンズ駆動部２が、レンズＬの光軸Ｚ_１方向と直交して配置されたベース部材１０と、ベース部材１０上にレンズＬの光軸Ｚ_１方向と直交して配置され、ベース部材１０に対してＸ軸方向（第１の方向）に移動可能なＸ軸可動体２０（第１の可動体）と、ベース部材１０とＸ軸可動体２０との間に介在し、ベース部材１０に固定されるとともにＸ軸可動体２０に保持されて、ベース部材１０とＸ軸可動体２０とをＸ軸方向に相対移動させるＸ軸アクチュエータＡＸ（第１のアクチュエータ）と、Ｘ軸アクチュエータＡＸをＸ軸可動体２０に向けて付勢するバネ２６と、レンズＬの光軸Ｚ_１方向に配向され、Ｙ軸可動体３０を介してＸ軸可動体２０に取り付けられたレンズ枠体４０とを有し、カバー３とレンズ駆動部２との間に介在し、Ｘ軸可動体２０をベース部材１０に向けて付勢する付勢部７０をさらに備える。

レンズ駆動装置１においては、バネ２６は、Ｘ軸アクチュエータＡＸをＸ軸可動体２０側に向けて付勢し、それにより、バネ２６とＸ軸可動体２０とによってＸ軸アクチュエータＡＸが挟まれた状態となる。Ｘ軸アクチュエータＡＸはベース部材１０に固定されているため、ベース部材１０に対するＸ軸可動体２０のがたつきが抑制される。また、付勢部７０によって、Ｘ軸可動体２０がベース部材１０に向けて付勢され、それにより、Ｘ軸可動体２０がベース部材１０から浮いてしまう事態が抑制され、ベース部材１０に対するＸ軸可動体のがたつきが抑制される。

このように、レンズ駆動装置１は、バネ２６および付勢部７０を備えることで、Ｘ軸可動体２０がベース部材１０から浮いてしまう事態が抑制され、Ｘ軸可動体２０の移動が安定するため、レンズ駆動の安定化が図られている。

また、レンズ駆動部２は、ベース部材１０とＸ軸可動体２０との間に介在して、Ｘ軸可動体２０を支持するボールＢ１（第１のボール）と、ベース部材１０の上面およびＸ軸可動体２０の下面の両方に設けられた、ボールＢ１を収容する窪み部Ｃ１、Ｄ１（第１の窪み部）とを有している。そのため、Ｘ軸アクチュエータＡＸが駆動して、Ｘ軸可動体２０がベース部材１０に対してＸ軸方向に移動するときに、窪み部Ｃ１、Ｄ１に収容されたボールＢ１がＸ軸可動体２０を支持する。このとき、Ｘ軸可動体２０を支持するボールＢ１は、窪み部Ｃ１、Ｄ１内において転動するため、Ｘ軸アクチュエータＡＸの駆動を阻害しない。そのため、Ｘ軸アクチュエータＡＸは高い位置精度でＸ軸可動体２０を移動させることができ、レンズ駆動の安定化が図られる。

なお、ボールＢ１を収容する窪み部は、必ずしも、ベース部材１０の上面およびＸ軸可動体２０の下面の両方に設ける必要はなく、いずれか一方の面のみに設けても、上述した効果と同様の効果を奏する。

また、必要に応じて、Ｘ軸可動体２０にレンズ枠体４０を直接取り付けて、Ｙ軸可動体３０を省略することもできる。

さらに、窪み部Ｃ１、Ｄ１がＸ軸方向に延びた形状を有しているため、ボールＢ１を介して重なるベース部材１０とＸ軸可動体２０とは、Ｘ軸方向に関する相対移動のみが許容され、Ｘ軸方向以外の方向に関する相対移動が制限されている。したがって、Ｘ軸可動体２０は高い精度でＸ軸方向に案内され、レンズ駆動のさらなる安定化が図られる。

上述した実施形態では、一方向に延びた形状の窪み部Ｃ１、Ｄ１を示しているが、平面視にて真円形状を呈するボウル状の窪み部であってもよい。ボウル状の窪み部の径は、ボールＢ１の径と同一またはボールＢ１の径より大きくすることができる。

その上、レンズ駆動装置１においては、レンズ駆動部２が、Ｘ軸可動体２０上にレンズＬの光軸Ｚ_１方向と直交して配置され、Ｘ軸可動体２０に対してＹ軸方向（第２の方向；すなわち、レンズＬの光軸Ｚ_１方向およびＸ軸方向と直交する方向）に移動可能なＹ軸可動体３０と、Ｘ軸可動体２０とＹ軸可動体３０との間に介在し、Ｘ軸可動体２０に固定されるとともにＹ軸可動体３０に保持されて、Ｘ軸可動体２０とＹ軸可動体３０とをＹ軸方向に相対移動させるＹ軸アクチュエータＡＹ（第２のアクチュエータ）と、Ｙ軸アクチュエータＡＹをＹ軸可動体３０側に向けて付勢するバネ３６とをさらに有する。この場合、バネ３６が、Ｙ軸アクチュエータＡＹをＹ軸可動体３０側に向けて付勢し、それにより、バネ３６とＹ軸可動体３０とによってＹ軸アクチュエータＡＹが挟まれた状態となる。Ｙ軸アクチュエータＡＹはＸ軸可動体２０に固定されているため、Ｘ軸可動体２０に対するＹ軸可動体３０のがたつきが抑制される。また、付勢部７０によって、Ｙ軸可動体３０がＸ軸可動体２０に向けて付勢され、それにより、Ｙ軸可動体３０がＸ軸可動体２０から浮いてしまう事態が抑制され、Ｘ軸可動体２０に対するＹ軸可動体３０のがたつきが抑制される。

このようにＹ軸可動体３０がＸ軸可動体２０から浮いてしまう事態が抑制されることで、Ｙ軸可動体３０の移動が安定するため、レンズ駆動の安定化が図られる。

また、レンズ駆動装置１では、レンズ駆動部２が、Ｘ軸可動体２０とＹ軸可動体３０との間に介在して、Ｙ軸可動体３０を支持するボールＢ２（第２のボール）と、Ｘ軸可動体２０の上面およびＹ軸可動体３０の下面の両方に設けられた、ボールＢ２を収容する窪み部Ｃ２、Ｄ２（第２の窪み部）とを有している。

そのため、Ｙ軸アクチュエータＡＹが駆動して、Ｙ軸可動体３０がＸ軸可動体２０に対してＹ軸方向に移動するときに、窪み部Ｃ２、Ｄ２に収容されたボールＢ２がＹ軸可動体３０を支持する。このとき、Ｙ軸可動体３０を支持するボールＢ２は、窪み部Ｃ２、Ｄ２内において転動するため、Ｙ軸アクチュエータＡＹの駆動を阻害しない。そのため、Ｘ軸アクチュエータＡＸと同様に、Ｙ軸アクチュエータＡＹも、高い位置精度でＹ軸可動体３０を移動させることができ、レンズ駆動のさらなる安定化が図られる。

なお、ボールＢ２を収容する窪み部は、必ずしも、Ｘ軸可動体２０の上面およびＹ軸可動体３０の下面の両方に設ける必要はなく、いずれか一方の面のみに設けても、上述した効果と同様の効果を奏する。

上述した実施形態では、一方向に延びた形状の窪み部Ｃ２、Ｄ２を示しているが、平面視にて真円形状を呈するボウル状の窪み部であってもよい。ボウル状の窪み部の径は、ボールＢ２の径と同一またはボールＢ２の径より大きくすることができる。

レンズ駆動装置１では、ボールＢ１、Ｂ２が導電材料で構成され、かつ、窪み部Ｃ１、Ｃ２、Ｄ１、Ｄ２の内面が導電材料で覆われており、ボールＢ１、Ｂ２が、ベース部材１０、Ｘ軸可動体２０およびＹ軸可動体３０との互いの間の配線の一部を構成している。そのため、ボールＢ１、Ｂ２は、Ｘ軸可動体２０やＹ軸可動体３０を支持する部材として利用されるだけでなく、配線の一部としても利用されている。ボールＢ１、Ｂ２は、必ずしもボール全体が導電材料で構成されている必要はなく、少なくとも表面が導電材料で構成されていれば、配線の一部として利用可能である。

レンズ駆動装置１では、ボールＢ１を複数備えるとともにボールＢ１と同数の窪み部Ｃ１、Ｄ１を備え、かつ、ボールＢ２を複数備えるとともにボールＢ２と同数の窪み部Ｃ２、Ｄ２を備え、ボールＢ１および窪み部Ｃ１、Ｄ１の数がボールＢ２および窪み部Ｃ２、Ｄ２の数よりも多くなっている。Ｘ軸可動体２０がＹ軸可動体３０を支持しており、Ｘ軸可動体２０の安定性がＹ軸可動体３０の安定性に影響する。そのため、ボールＢ１および窪み部Ｃ１、Ｄ１の数を多くして、Ｘ軸可動体２０の安定性が高まれば、Ｙ軸可動体３０の安定性も高まる。

なお、レンズ駆動装置は、上述した実施形態に限らず、様々に変形することができる。 たとえば、各アクチュエータの構成は、光軸方向や光軸に直交する方向（Ｘ軸方向やＹ軸方向）に可動体を駆動できる構成であれば、上述した構成に限定されない。

また、付勢部は、Ｘ軸可動体２０およびＹ軸可動体３０をベース部材１０に向けて付勢できる構成であれば、上述した構成に限定されない。付勢部は、たとえば柱状の弾性体（シリコーンゴム等）のみで構成することもできる。

互いに対面する窪み部の形状は、必ずしも同一形状や同一寸法である必要はなく、互いに異なる寸法や形状であってもよい。

１…レンズ駆動装置、１０…ベース部材、２０…Ｘ軸可動体、２６…バネ、３０…Ｙ軸可動体、３６…バネ、４０…レンズ枠体、ＡＸ…Ｘ軸アクチュエータ、ＡＹ…Ｙ軸アクチュエータ、ＡＺ…Ｚ軸アクチュエータ、Ｂ１、Ｂ２…ボール、Ｃ１、Ｃ２、Ｄ１、Ｄ２…窪み部、Ｌ…レンズ、ＰＸ…Ｘ軸圧電素子、ＰＹ…Ｙ軸圧電素子、ＳＸ…Ｘ軸駆動シャフト、ＳＹ…Ｙ軸駆動シャフト。

Claims (8)

1. レンズを駆動するレンズ駆動装置であって、
   レンズ駆動部と該レンズ駆動部を覆うカバーとを備え、
   前記レンズ駆動部が、
   前記レンズの光軸方向と直交して配置されたベース部材と、
   前記ベース部材上に前記レンズの光軸方向と直交して配置され、前記ベース部材に対して、前記レンズの光軸方向と直交する第１の方向に移動可能な第１の可動体と、
   前記ベース部材と前記第１の可動体との間に介在し、前記ベース部材に固定されるとともに前記第１の可動体に保持されて、前記ベース部材と前記第１の可動体とを前記第１の方向に相対移動させる第１のアクチュエータと、
   前記第１のアクチュエータを、前記レンズの光軸方向に沿う方向に前記第１の可動体側に向けて付勢する第１の付勢部と、
   前記レンズの光軸方向に配向され、前記第１の可動体に取り付けられたレンズ枠体と
   を有し、
   前記カバーと前記レンズ駆動部との間に介在し、前記第１の可動体を前記レンズの光軸方向に沿う方向に前記ベース部材に向けて付勢する第２の付勢部をさらに備える、レンズ駆動装置。
2. 前記レンズ駆動部が、
   前記ベース部材と前記第１の可動体との間に介在して、前記第１の可動体を支持する第１のボールと、
   前記ベース部材の前記第１の可動体と対面する側の面、および、前記第１の可動体の前記ベース部材と対面する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた、第１のボールを収容する第１の窪み部と
   をさらに有する、請求項１に記載のレンズ駆動装置。
3. 前記第１の付勢部が、前記第１の可動体によって保持されるバネである、請求項１または２に記載のレンズ駆動装置。
4. 前記第２の付勢部が、コイルバネと、該コイルバネを覆うキャップとを含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載のレンズ駆動装置。
5. 前記第１のアクチュエータが、前記第１の方向に延在する第１のシャフトと、該第１のシャフトを前記第１の方向に進退させる第１の圧電素子とを含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載のレンズ駆動装置。
6. 前記レンズ駆動部が、
   前記第１の可動体上に前記レンズの光軸方向と直交して配置され、前記第１の可動体に対して、前記レンズの光軸方向および前記第１の方向と直交する第２の方向に移動可能な第２の可動体と、
   前記第１の可動体と前記第２の可動体との間に介在し、前記第１の可動体に固定されるとともに前記第２の可動体に保持されて、前記第１の可動体と前記第２の可動体とを前記第２の方向に相対移動させる第２のアクチュエータと、
   前記第２のアクチュエータを前記第２の可動体側に向けて付勢する第３の付勢部と
   をさらに有する、請求項１〜５のいずれか一項に記載のレンズ駆動装置。
7. 前記レンズ駆動部が、
   前記第１の可動体と前記第２の可動体との間に介在して、前記第２の可動体を支持する第２のボールと、
   前記第１の可動体の前記第２の可動体と対面する側の面、および、前記第２の可動体の前記第１の可動体と対面する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた、第２のボールを収容する第２の窪み部と
   をさらに有し、
   前記レンズ枠体は、前記第２の可動体を介して、前記第１の可動体に取り付けられている、請求項６に記載のレンズ駆動装置。
8. 前記第２のアクチュエータが、前記第２の方向に延在する第２のシャフトと、該第２のシャフトを前記第２の方向に進退させる第２の圧電素子とを含む、請求項６または７に記載のレンズ駆動装置。

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