JP6569485B2 - 原料のリチャージ又は単結晶引上げに用いられる蓋付容器 - Google Patents
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図1及び図2に示す引上げ装置10により引上げられる単結晶は、この実施の形態ではシリコン単結晶である。このシリコン単結晶の引上げ装置10は、内部を真空可能に構成されたメインチャンバ12と、このチャンバ12内の中央に設けられたルツボ13とを備える。メインチャンバ12は円筒状の真空容器である。またルツボ13は、石英により形成されシリコン融液14が貯留される有底円筒状の内層容器13aと、黒鉛により形成され上記内層容器13aの外側に嵌合された有底円筒状の外層容器13bとからなる。外層容器13bの底部にはシャフト16の上端が接続され、このシャフト16の下端にはシャフト16を介してルツボ13を回転させかつ昇降させるルツボ駆動手段17が設けられる。更にルツボ13の外周面は円筒状のヒータ18によりルツボ13の外周面から所定の間隔をあけて包囲され、このヒータ18の外周面は円筒状の保温筒19によりヒータ18の外周面から所定の間隔をあけて包囲される。
図6は本発明の第2の実施の形態を示す。この実施の形態では、蓋付容器66の容器本体67が円筒状に形成され、蓋68が容器本体67に遊嵌可能な円筒状に形成される。容器本体67の下面は閉止され、容器本体67の上面は開放される。また、蓋68の上面は閉止され、蓋68の下面は開放される。一方、離脱阻止機構69は、容器本体67の外周面に形成された突起69aと、蓋68の外周面に形成され突起69aに遊嵌可能なL字状溝69bとを有する。上記突起69aは円柱状に形成され、容器本体67の軸方向の略中央に突設される。また、L字状溝69bは、容器本体67の軸線方向に延びる縦溝69cと、容器本体67の円周方向に延びる横溝69dとからなる。縦溝69cは蓋68の下端から軸方向の中央まで延びて設けられ、横溝69dの一端は縦溝69cの上端に連通接続される。更に、蓋68の中心から横溝69dの一端に向って延びる直線と、蓋68の中心から横溝69dの他端に向って延びる直線とのなす角度は、90〜180度程度であることが好ましい。上記蓋付容器66以外は第1の実施の形態と同一に構成される。
図7及び図8は本発明の第3の実施の形態を示す。この実施の形態では、蓋付容器76の容器本体77が四角筒状に形成され、容器本体77の開口部近傍の互いに対向する側面に一対の第1長孔77a,77aがそれぞれ形成される。容器本体77の下面は閉止され、容器本体77の上面は開放される。上記一対の第1長孔77a,77aは容器本体77の上部に水平方向に延びてそれぞれ形成される。また、蓋78は、容器本体77に遊挿可能な四角板状の中蓋78aと、容器本体77の一対の第1長孔77a,77aに挿通可能に形成され基端に第1長孔77aに挿通不能な頭部78cが形成された外蓋78bとを有する。上記中蓋78aは落とし蓋として機能を有する。また、外蓋78bの基端には、この外蓋78bの一方の面に突出することにより第1長孔77aに挿通不能な頭部78cが形成される、即ち外蓋78bは側面視略L字状に形成される。更に、離脱阻止機構79は、外蓋78bのうち容器本体77の第1長孔77aから容器本体77の外方に突出した先端近傍に形成された第2長孔79aと、この第2長孔79aに挿通可能な抜止め板79bとを有する。抜止め板79bの基端には、この抜止め板79bの一方の面に突出することにより第2長孔79aに挿通不能な頭部79cが形成される、即ち抜止め板79bは側面視略L字状に形成される。上記蓋付容器76以外は第1の実施の形態と同一に構成される。
図9は本発明の第4の実施の形態を示す。この実施の形態では、蓋付容器86の容器本体87が円筒状に形成され、蓋88が容器本体87に遊嵌可能な円筒状に形成される。円筒状の容器本体87の下面は閉止され、上面は開放される。また、円筒状の蓋88の上面は閉止され、下面は開放される。一方、離脱阻止機構89は、容器本体87の開口部近傍の周面に形成された第1係止孔89aと、蓋88の周面に形成され蓋88の容器本体87への遊嵌時に第1係止孔89aに連通する第2係止孔89bと、第2係止孔89b及び第1係止孔89aに圧入されてこれらの係止孔89b,89aに係止可能なテーパピン89cとを有する。第1及び第2係止孔89a,89bは円形にそれぞれ形成され、テーパピン89cの大径部は第1及び第2係止孔89a,89bの孔径より僅かに大きく形成され、テーパピン89cの小径部は第1及び第2係止孔89a,89bの孔径より僅かに小さく形成される。上記蓋付容器以外は第1の実施の形態と同一に構成される。
図1及び図2に示すシリコン単結晶の引上げ装置を用いて、抵抗率仕様を8〜12Ω・cmと高抵抗率の範囲内に想定した直径約200mmの2本のシリコン単結晶を1つのルツボから引上げた。上記ルツボを用いて引上げるシリコン単結晶が1番目のシリコン単結晶であるとき、この1番目のシリコン単結晶を引上げる前に、シリコン原料を原料供給管からルツボに供給した。具体的には、先ず、開閉弁を閉じた状態で原料供給管に一定量の原料及び低濃度のドーパント(シリコンとボロンの合金)を収容した(原料収容工程)。このとき、ドーパントが収容された蓋付容器は原料供給管に収容しなかった。次に、開閉弁を開いて原料供給管の開放された下端からシリコン原料及び低濃度のドーパントをルツボに供給した(原料供給工程)。上記原料収容工程と上記原料供給工程とを3回繰り返してルツボに所定量のシリコン原料及び低濃度のドーパントを投入した。更に、ルツボに貯留されたシリコン融液にシリコン種結晶を浸して、シリコン単結晶を引上げた。このシリコン単結晶を参考例1とした。
図1及び図2に示すシリコン単結晶の引上げ装置を用いて、抵抗率仕様を1.5〜2.0Ω・cmと高抵抗率の範囲内に想定した直径約200mmの2本のシリコン単結晶を1つのルツボから順次引上げた。上記ルツボを用いて引上げるシリコン単結晶が1番目のシリコン単結晶であるとき、参考例1と同様にして原料収容工程と原料供給工程とを3回繰返してルツボに所定量のシリコン原料を投入した。更に、ルツボに貯留されたシリコン融液にシリコン種結晶を浸して、シリコン単結晶を引上げた。このシリコン単結晶を参考例2とした。
参考例1及び2と実施例1及び2のシリコン単結晶を所定の幅で切断して複数の輪切り体を作製し、この輪切り体の抵抗率をLoresta-GP MCP-T610(三菱化学アナリテック社製)によりそれぞれ測定した。その結果を図10〜図13に示す。なお、図10〜13において、固化率とは、ルツボに貯留されたシリコン融液の初期チャージ質量に対するシリコン単結晶の引上げ質量の割合をいう。また、図10には、抵抗率仕様が8〜12Ω・cmを想定してシリコン融液の初期チャージ質量に対し固化率90%強の引上げを行ったときの抵抗率プロファイルを示し、図11には、抵抗率仕様が1.5〜2.0Ω・cmを想定してシリコン融液の初期チャージ質量に対し固化率90%強の引上げを行ったときの抵抗率プロファイルを示す。更に、図12には、抵抗率仕様が0.010〜0.020Ω・cmを想定してシリコン融液の初期チャージ質量に対し固化率90%強の引上げを行ったときの抵抗率プロファイルを示し、図13には、抵抗率仕様が0.005〜0.010Ω・cmを想定してシリコン融液の初期チャージ質量に対し固化率90%強の引上げを行ったときの抵抗率プロファイルを示す。
14 シリコン融液
21 シリコン原料
22 原料供給管
23 開閉弁
24 ドーパント
26,66,76,86 蓋付容器
27,67,77,87 容器本体
28,68,78,88 蓋
28a 第1蓋体
28b 第2蓋体
29 離脱阻止機構
29a,69a 突起
29b 第1凹部
29c 第2凹部
69b L字状溝
69c 縦溝
69d 横溝
77a 第1長孔
78a 中蓋
78b 外蓋
78c 外蓋の頭部
79a 第2長孔
79b 抜止め板
89a 第1係止孔
89b 第2係止孔
89c テーパピン
Claims (4)
- 原料のリチャージ又は単結晶引上げに用いられ、単結晶のドーパントを融液に添加するために原料と同一材質により形成された蓋付容器であって、
ドーパントを収容する容器本体と、
この容器本体の開口部を開放可能に閉止する蓋と、
前記蓋が前記容器本体から離脱するのを阻止する離脱阻止機構と
を備え、
前記容器本体が円筒状に形成され、前記蓋が前記容器本体に遊挿可能な円板状にそれぞれ形成された第1及び第2蓋体を有し、前記離脱阻止機構が、前記容器本体の開口部内周面に形成された突起と、前記第1及び第2蓋体の外周面に前記突起に相応する形状にそれぞれ形成された第1及び第2凹部とを有することを特徴とする蓋付容器。 - 原料のリチャージ又は単結晶引上げに用いられ、単結晶のドーパントを融液に添加するために原料と同一材質により形成された蓋付容器であって、
ドーパントを収容する容器本体と、
この容器本体の開口部を開放可能に閉止する蓋と、
前記蓋が前記容器本体から離脱するのを阻止する離脱阻止機構と
を備え、
前記容器本体が円筒状に形成され、前記蓋が前記容器本体に遊嵌可能な円筒状に形成され、前記離脱阻止機構が、前記容器本体の外周面に形成された突起と、前記蓋の外周面に形成され前記突起に遊嵌可能なL字状溝とを有し、前記L字状溝が、前記容器本体の軸線方向に延びる縦溝と、前記容器本体の円周方向に延びる横溝とからなることを特徴とする蓋付容器。 - 原料のリチャージ又は単結晶引上げに用いられ、単結晶のドーパントを融液に添加するために原料と同一材質により形成された蓋付容器であって、
ドーパントを収容する容器本体と、
この容器本体の開口部を開放可能に閉止する蓋と、
前記蓋が前記容器本体から離脱するのを阻止する離脱阻止機構と
を備え、
前記容器本体が四角筒状に形成され、前記容器本体の開口部近傍の互いに対向する側面に一対の第1長孔がそれぞれ形成され、前記蓋が、前記容器本体に遊挿可能な四角板状の中蓋と、前記容器本体の一対の第1長孔に挿通可能に形成され基端に前記第1長孔に挿通不能な頭部が形成された外蓋とを有し、前記離脱阻止機構が、前記外蓋の前記第1長孔から突出した先端近傍に形成された第2長孔と、前記第2長孔に挿通可能な抜止め板とを有することを特徴とする蓋付容器。 - 原料のリチャージ又は単結晶引上げに用いられ、単結晶のドーパントを融液に添加するために原料と同一材質により形成された蓋付容器であって、
ドーパントを収容する容器本体と、
この容器本体の開口部を開放可能に閉止する蓋と、
前記蓋が前記容器本体から離脱するのを阻止する離脱阻止機構と
を備え、
前記容器本体が円筒状に形成され、前記蓋が前記容器本体に遊嵌可能な円筒状に形成され、前記離脱阻止機構が、前記容器本体の開口部近傍の周面に形成された第1係止孔と、前記蓋の周面に形成され前記蓋の前記容器本体への遊嵌時に前記第1係止孔に連通する第2係止孔と、前記第2係止孔及び前記第1係止孔に圧入されてこれらの係止孔に係止可能なテーパピンとを有することを特徴とする蓋付容器。
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