JP6565100B2 - 光断層計測装置および光断層計測方法 - Google Patents
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Description
図14に照射光学系および試料を機械的走査する方式の概念図を示す。本方式は最も基本的なものであり、図14に示す概念図は、CLSMの一般的な基本構成であると言える。この方式では、対物レンズ等で構成される照射光学系または計測試料そのものを自動ステージ等によって機械的に走査し、計測試料上の集光位置をz軸沿ってステップ移動させるものである。上述した通り、本方式は、最も基本的な方式であり、付加的な光学素子が不要であるという利点がある。しかし、機械的な走査であるため走査速度が制限されるという問題点がある。
図15に平行平板ガラスを用いる方式の概念図を示す。この方式は、直接、計測試料の機械的走査をすることなくz軸上における焦点位置をステップ移動させることができる。原理としては、対物レンズと計測試料の間に厚さd、屈折率nである平行平板ガラスを挿入した際に、屈折の効果によって焦点位置がz=d×(1−1/n)だけ変位することを利用している。実際には、複数の異なる厚さの平行平板ガラスを円盤の円周上に並べて配置し、それを高速に回転することで高速な焦点のステップ移動を実現する。計測試料を自動ステージ等によって機械的に走査するのに対し、この方式はより高速にz軸上の走査が可能となる点が特長である。しかし、複数の平行平板を配置する円盤による系の大型化や円盤を高速回転させることで発生する振動によって計測精度が低下するなどの問題点がある。
(1)z軸上で機械的な走査が必須であり計測時間が増大する。
(2)z軸の走査のために付加的な部品が必要なため系が大型化する。
(3)光検出器のSNRとの兼ね合いによってz軸方向の空間分解能が犠牲となる。
後述するように、本発明の実施の形態に係る光断層計測装置では、共焦点レーザ走査型顕微鏡(CLSM)の計測時間およびz軸方向の空間分解能を向上させることを目的とする。
図1は、本発明の実施形態1に係る光学系1a(光断層計測装置)の構成を示す図である。図1の(a)は、測定過程における光学系1aの構成を示し、図1の(b)は、仮想4f光学系による計測位置制御および再生過程を示す。
レーザ11から出射された光波は対物レンズ12によって集光され、ピンホール13を通過する。その後、ピンホール13を通過した光波は結像レンズ14によって平行光となる。そして、その平行光は計測試料OB側に配置された対物レンズ16によって再度集光され、計測試料OBに入射する。ここで、計測試料OBは説明の簡単のため、光軸方向に沿って複数の反射面を有する物体を想定しているが、必ずしもそのような試料に限定されない。このとき、計測試料OBからの反射光は、試料内の対物レンズ焦点位置から反射される光波とそれ以外の位置(非焦点位置)から反射される複数の光波に分かれる。これらの光波をまとめて反射信号光とし、光複素振幅計測器17によってデジタルデータ(光複素振幅情報)として計測する〔従来のCLSMでは、対物レンズ焦点位置から反射される光波のみを信号光としている〕。
光学的測定過程において計測された反射信号光の複素振幅のデジタルデータに対し、コンピュータ上で、二枚のレンズから構成される4f結像光学系(仮想4f光学系)の伝達関数を乗算する。その後、高速フーリエ変換(FFT: Fast Fourier Transform)を実行し、集光面(フーリエ領域)の複素振幅分布を得る。そして、その複素振幅分布に対して仮想ピンホールの伝達関数を乗算する(図14および15にあるピンホールbを透過したのと同様の効果がある)。このとき、仮想4f光学系の片方のFTレンズのシフト(デフォーカス)を行うことによって所望のz軸上の位置のみの強度情報を得ることができる。デフォーカスを全く行わない場合は、通常のCLSMと同様に対物レンズ16の焦点位置から反射した成分のみの強度情報が得られる。
(1)元の複素振幅(測定過程において計測された複素振幅)に対し入力面からレンズ面までの自由空間伝搬の伝達関数を乗算する。
(2)自由空間伝搬後の複素振幅の位相項に対しレンズの位相因子exp[ik(dx2+dy2)/f]を付加する(iは虚数単位、kは波数、dx、dyはxy面上の座標位置、fはレンズの焦点距離である)。
(3)レンズ面から集光面までの自由空間伝搬の伝達関数を乗算する。
(4)集光面から二つ目のレンズ面までの自由空間伝搬の伝達関数を乗算する。
(5)自由空間伝搬後の複素振幅の位相項に対しレンズの位相因子exp[ik(dx2+dy2)/f]を付加する。
(6)レンズ面から結像面までの自由空間伝搬の伝達関数を乗算する。
(7)高速フーリエ変換(FFT)を実行し、集光面の複素振幅分布を求める。
(8)集光面の複素振幅分布に対し、仮想ピンホールの伝達関数(ピンホール関数)を乗算する。
図2は、本発明の実施形態2に係る光学系1b(光断層計測装置)の構成を示す図である。図2の(a)は、測定過程における光学系1bの構成を示し、図1の(b)は、仮想4f光学系による計測位置制御および再生過程を示す。
図3は、本発明の実施形態3に係る光学系1c(光断層計測装置)の構成を示す図である。図3の(a)は、測定過程における光学系1cの構成を示し、図3の(b)は、仮想4f光学系による計測位置制御および再生過程を示す。
図4は、本発明の実施形態4に係る光学系1d(光断層計測装置)の構成を示す図である。図4の(a)は、測定過程における光学系1dの構成を示し、図4の(b)は、仮想4f光学系による計測位置制御および再生過程を示す。
上記実施形態1〜4の光学系では、計測試料OB内の対物レンズ焦点位置から反射される光波とそれ以外の位置(非焦点位置)から反射される複数の光波をまとめて反射信号光とし複素振幅計測する。そして、コンピュータ21上の仮想光学系における仮想4f結像光学系をデフォーカスさせる。従って、上記実施形態1〜4の光学系では、実際の光学系上での複素振幅計測を1回だけ行えば、その情報を元にコンピュータ21上の繰り返し計算のみによって全ての深さ方向情報の取得が可能となり、実光学系上での機械的走査を排除、または大幅に減らすことが可能となる〔従来のCLSMと比べて計測速度を10〜1000倍程度向上〕。
(1)仮想4f光学系によってz軸上の走査を完全に排除または大幅に削減し、計測時間を10〜1000倍程度向上する。
(2)仮想ピンホールによって光検出器(光複素振幅計測器17)のSNRの低下を招くことなくz軸方向の空間分解能を1.5〜5倍程度向上する。
(3)一部の実光学処理を仮想光学系処理に置き換えることで実際の光学系の小型化が可能となる。
以下では、数値解析と実験の両方で上記実施形態1〜4の光学系の効果を示す。
図5では、本解析の光学モデル、図6では、同光学モデルに係るパラメータを示す。本解析では、本発明を適用したCLSM(光断層計測装置)のz軸方向の空間分解能を評価した。さらに、以下では、上記本発明を適用したCLSMの効果によってz軸上の情報の一括計測が可能となることを示す。具体的には、ミラー(単一の反射面を想定)とプレパラート試料に用いるカバーガラスを複数枚配置したもの(理想的に厚さを0として、複数の反射面を想定)を計測試料とした計測シミュレーションを行った。仮想4f光学系における自由空間伝搬には、角スペクトル法(ASM: Angular Spectrum Method)〔非特許文献7〕を用いているが、上述したようにこの手法に限定されない。また、本解析ではPSLMによって定常的な位相変調を与えることでy方向の走査を行っており、解析を簡単にするため、x方向の走査は行っていない。
本実験では、上記した数値解析と同様にz軸方向の空間分解能を評価し、z軸上の情報の一括計測が可能となることを示す。図10に本実験で用いた実験光学系を示す。用いた光源の波長は532nm、対物レンズ(OL2)のNAは0.4、焦点深度は4.45μmのものを用いた。また、数値解析と同様にy軸方向の操作はPSLMを用いて行った。また、光複素振幅計測器には高精度な複素振幅計測が可能なホログラフィックダイバーシティ干渉法(HDI: Holographic Diversity Interferometry)〔非特許文献8〕を用いた(必ずしもこの方法に限定されるわけではない)。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
17 光複素振幅計測器(光複素振幅情報取得部)
18 ガルバノミラー
19 PSLM(位相型空間光変調器)
20 マイクロレンズアレイ
21 コンピュータ(演算処理部)
OB 計測試料(物体)
Claims (6)
- 物体の断層を計測する光断層計測装置であって、
上記物体に対するレーザ光の照射により生じた多重散乱光からなる反射信号光の光複素振幅を計測した結果である光複素振幅情報を取得する光複素振幅情報取得部と、
取得した光複素振幅情報に4f結像光学系の伝達関数を乗算し、その乗算結果にフーリエ変換を施すことによって形成される仮想4f光学系の出力結果を演算する演算処理部と、を備えることを特徴とする光断層計測装置。 - 上記仮想4f光学系は、上記乗算結果に上記フーリエ変換を施した結果に、さらに仮想ピンホールの伝達関数を乗算することで形成されることを特徴とする請求項1に記載の光断層計測装置。
- 上記物体および上記光複素振幅情報取得部の間における上記レーザ光の経路上にガルバノミラーが配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光断層計測装置。
- 上記物体および上記光複素振幅情報取得部の間における上記レーザ光の経路上に位相型空間光変調器が配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光断層計測装置。
- 上記物体および上記光複素振幅情報取得部の間における上記レーザ光の経路上に、複数の微小なレンズで構成されるマイクロレンズアレイが配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光断層計測装置。
- 物体の断層を計測する光断層計測方法であって、
上記物体に対するレーザ光の照射により生じた多重散乱光からなる反射信号光の光複素振幅を計測した結果である光複素振幅情報を取得する光複素振幅情報取得ステップと、
取得した光複素振幅情報に4f結像光学系の伝達関数を乗算し、その乗算結果にフーリエ変換を施すことによって形成される仮想4f光学系の出力結果を演算する演算処理ステップと、を含むことを特徴とする光断層計測方法。
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