JP6564683B2 - デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
前記第一電極の上部に配置され前記第一電極が露出するような開口部を有する第2絶縁膜を形成する第二工程と、
前記開口部を有する前記第2絶縁膜及び前記第一電極を覆うように多層素子膜を形成する第三工程と、
前記開口部の位置に対応して自己整合的に形成された前記多層素子膜の窪みにエッチングマスクを埋設する第四工程と、
前記エッチングマスクをマスクとして前記多層素子膜をエッチングする第五工程と、
その後、前記多層素子膜を包むように保護膜を形成する第六工程と、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法とする。
真空処理装置内において、前記エッチングマスクに対して露出した領域の前記加工層を、クラスターイオンビームを用いて加工する工程と、
を有することを特徴とするプラズマ処理方法とする。
Claims (3)
- 第一の絶縁膜が有する第一の開口部に第一の金属膜を埋め込むことにより第一の電極を形成する第一の工程と、
前記第一の絶縁膜の上方に成膜された第二の絶縁膜に前記第一の電極を露出させ断面形状がディンプル状の形状である第二の開口部を形成する第二の工程と、
前記第二の絶縁膜の上方に多層素子膜を成膜する第三の工程と、
前記多層素子膜の上方に成膜された第二の電極となる第二の金属膜をエッチバックまたは研磨することにより前記多層素子膜の窪みに埋め込まれた前記第二の金属膜以外の前記第二の金属膜を除去する第四の工程と、
前記多層素子膜の窪みに埋め込まれた前記第二の金属膜をマスクとして前記多層素子膜をプラズマエッチングする第五の工程とを有し、
前記多層素子膜は、第一の磁性体膜と前記第一の磁性体膜の上方に配置された金属酸化膜と前記金属酸化膜の上方に配置された第二の磁性体膜を含み、
平面図における前記第二の開口部は、前記平面図における前記第一の開口部を含む
ことを特徴とするデバイスの製造方法。 - 第一の絶縁膜が有する第一の開口部に第一の金属膜を埋め込むことにより第一の電極を形成する第一の工程と、
前記第一の絶縁膜の上方に成膜された第二の絶縁膜に前記第一の電極を露出させ断面形状が垂直形状である第二の開口部を形成する第二の工程と、
前記第二の絶縁膜の上方に多層素子膜を成膜する第三の工程と、
前記多層素子膜の上方に成膜された第二の電極となる第二の金属膜をエッチバックまたは研磨することにより前記多層素子膜の窪みに埋め込まれた前記第二の金属膜以外の前記第二の金属膜を除去する第四の工程と、
前記多層素子膜の窪みに埋め込まれた前記第二の金属膜をマスクとして前記多層素子膜をプラズマエッチングする第五の工程とを有し、
前記多層素子膜は、第一の磁性体膜と前記第一の磁性体膜の上方に配置された金属酸化膜と前記金属酸化膜の上方に配置された第二の磁性体膜を含み、
平面図における前記第二の開口部は、前記平面図における前記第一の開口部を含む
ことを特徴とするデバイスの製造方法。 - 請求項1または請求項2のいずれか一項に記載のデバイスの製造方法において、
前記第五の工程は、クラスターイオンビームを用いて行われる
ことを特徴とするデバイスの製造方法。
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