JP6563396B2 - 微量レベルの酸性および塩基性amcを測定するための液体非含有試料トラップおよび分析方法 - Google Patents
微量レベルの酸性および塩基性amcを測定するための液体非含有試料トラップおよび分析方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6563396B2 JP6563396B2 JP2016540414A JP2016540414A JP6563396B2 JP 6563396 B2 JP6563396 B2 JP 6563396B2 JP 2016540414 A JP2016540414 A JP 2016540414A JP 2016540414 A JP2016540414 A JP 2016540414A JP 6563396 B2 JP6563396 B2 JP 6563396B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- trap
- acidic
- gas
- molecular contaminants
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/96—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation using ion-exchange
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N1/2205—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling with filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N1/2214—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling by sorption
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/40—Concentrating samples
- G01N1/405—Concentrating samples by adsorption or absorption
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N2030/022—Column chromatography characterised by the kind of separation mechanism
- G01N2030/025—Gas chromatography
Description
本願は、2013年9月6日に出願された米国仮特許出願第61/874,706号明細書、および2014年1月29日に出願された米国仮特許出願第61/933,294号明細書の利益を主張する。これらの出願の教示全体が参照により本明細書に援用される。
本発明の一形態は、ガス中の微量レベルの酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質用の液体非含有トラップを提供する。液体非含有トラップは、入口と出口とを備えるハウジングと;入口と出口との間の流路と;入口と出口との間の流路内に位置し、かつハウジング内に封止された硬質焼結親水性材料とを備える。硬質焼結親水性材料は、ガス中の酸性の空気中分子状汚染物質をトラップするための塩基種約0.05ミリモル当量〜約10ミリモル当量、またはガス中の塩基性の空気中分子状汚染物質をトラップするための酸種約0.05ミリモル当量〜約10ミリモル当量で官能化されている。
本発明の別の形態は、ガス中の微量レベルの酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質用の液体非含有トラップのハウジングである。ハウジングは、長軸を有し、内面と、外面と、入口と、上流面とを備える中空で実質的に円筒状の上流部品であって、内面が入口から上流面の方に外側に向かってテーパを形成し、および上流面で終端するテーパ状の部分を有する、上流部品と;出口と下流面とを備える中空で実質的に円筒状の下流部品と;上流部品と下流部品とが互いに対して回転しないように、上流部品を下流部品に固定するロックナットとを備える。上流面および下流面は一緒に、環境から封止され、かつ入口と出口との間の流路内に位置する空間を形成する。
本発明の別の形態は、ガス流中の微量レベルの酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質をトラップする方法である。本方法は、検出可能な量の酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質を硬質焼結親水性材料でトラップするのに十分な流量でかつ十分な時間にわたり、ガス流を本明細書に記載の液体非含有トラップの入口に流入させ、流路を通過させ、および出口から流出させる工程を含む。
序論
レチクルのヘイズ(reticle hazing)(1)、フォトレジストとの反応および腐食(2)を含む、フォトリソグラフィー用途における酸性および塩基性AMCに関するプロセスおよび設備の問題は文書で十分立証されてきた。フォトリソグラフィーにおけるAMC曝露に対する重要なプロセスの感度が高くなるにつれ、推奨される許容濃度は低下し続け、AMCのモニタリングおよび懸念がリソグラフィーベイ以外の領域にも拡大し、電気化学蒸着、化学的機械的平坦化(CMP)、ウエハハンドリングおよびドライエッチングが含まれるようになってきた。International Technology Roadmap for Semiconductors(ITRS)は、22ナノメートル(nm)ノードでは酸と塩基の両方について10pptの最小検出限界を推奨しており、これらの検出限界は、14nmおよび10nm技術(3)の導入でppqレベルに低下すると考えられている。極紫外(EUV)リソグラフィーの導入に関するAMC制御および規格は、現在、依然として遠紫外(DUV)リソグラフィーのものに基づいているが、新規なプロセスまたは設備感度の発見時には、それらの限界をさらに押し下げるように変更することができる。本明細書に記載の濃度は全て、体積単位(v/v)、モル単位(mol/mol)で記載されており、質量に基づいていない。
HCl+H2O⇔H3O++Cl− (1)
NH3(g)+H2O⇔NH3(aq)+NH4 ++OH− (2)
溶液中で解離せず、アンモニア水のままとなる量はICにより検出されない。解離しないガスの量は変わり、温度とインピンジャー溶液の全pHの両方に依存するため、測定に一貫性がなくなることが多い。
本明細書に記載の液体非含有トラップは、複数種または1種の酸、例えば、H3PO4を捕捉し、塩基を捕捉するために、例えば、NaHCO3などの塩基でコーティングされている固体媒体で酸性化合物および塩基性化合物を捕捉し、この後、その媒体を水、例えば、脱イオン水中で抽出してICで分析する。これにより、水インピンジャーと比較して試料の処理に1つの物流(logistical)工程(捕捉したイオンの水への溶解)が増えるが、これには多くの利点がある。
トラップの能力は、化学反応が終了する前に、どの程度の質量のAMC種をトラップすることができ、どの程度の質量の化合物が保持されることなくトラップを破過できるかを表す。能力は、所定の濃度でのサンプリング時間の潜在的限界、または、所定のサンプリング時間でサンプリングできる最大濃度の限界である。それは最終的に時間と濃度の両方によって変わるため、能力はppb−時間(ppb−h)で表され、既知の量を用いることにより時間または最大濃度のいずれかの算出が可能となる。
比較のために、既知量のNH3を負荷した複数の試料を採取することにより、液体非含有トラップ、標準的な液体インピンジャー(脱イオン水を収容する)、および0.005Mリン酸をスパイク添加したインピンジャーの精度および確度を求めた。純粋なDI水デバイスと比較するために、NH3のイオン化を最大限にするためにインピンジャーの酸性化を行った。
制御された実験室条件での試料トラップの性能は、最適な性能を示す。しかし、現場でサンプリングする場合、外部条件の制御は理想的でないことがあり、あまり制御されていない条件下での試料トラップの性能を評価した。方法の検証を行うために、比較のために、半導体環境と内部サポート(internal support)の両方で現場に液体非含有トラップを標準的なインピンジャーと並行して設置した。
サンプリング後、液体非含有トラップ固体媒体を30mlのHDPE容器に移し、脱イオン水および音波処理を用いて抽出した。次いで、電気分解の抑制および電気伝導率の検出を備えたThermo−Fisher(登録商標)Dionex(登録商標)ICS3000イオンクロマトグラフィーシステムを用いて抽出溶液を分析した。システムのアニオンチャネルは、水酸化カリウム溶離液勾配をAS19 250×2mm分析カラムおよびCRD200炭酸塩除去デバイスと共に使用する。カチオンチャネルはメタンスルホン酸溶離液勾配とCS19 250×2mm分析カラムを使用する。
媒体選択
固体多孔質媒体は、その実用性、操作および準備、ならびに捕捉用化学物質でのコーティング、および対象となるAMCを単通で低濃度のAMCの検出に必要な流量で捕捉する際の効率のため選択した。塩基トラップ用の実際の固体多孔質材料は、抽出後に廃棄することができる低コストで使い捨てのトラップ構成部品である。
図1Bに示すようにトラップを組み立てた。媒体の取り扱いにはTEFLON(登録商標)コーティングした鉗子を使用し、ディスクをその側面で固定することにより表面接触を最小限に抑えた。5/16”レンチを使用して、初期締付度(initial tightness)を4分の1過ぎるようにロックナットを締め付け、媒体との適切なシールを確保した。
ロックナットを回して外すことによりトラップを開放した。底部組立体を下にしてトラップを垂直に保持した。媒体が底部組立体内に留まるように、上部組立体を底部組立体から分離した。底部を倒置し、倒置された底部組立体を試料バイアルの口の上に位置合わせすることにより媒体が30mL試料バイアルに入るようにした。媒体が組立体にはまって動かなくなった場合、化学的に清浄なプッシュロッドをトラップ開口部に挿入し、それを使用して媒体をバイアルに押し込んだ。
液体への試料ガスの拡散および溶解がなくなり、アンモニアの捕捉は簡単な酸/塩基反応に基づいて起こり、液体非含有トラップの能力は主にイオン結合のための活性部位の数、即ち、多孔質材料をコーティングするのに使用される酸の量と性質によって決まり、NH3は基材の表面で一アンモニウム塩と二アンモニウム塩の組み合わせを形成する(式4)。三アンモニウム塩は不安定である。
NH3(g)+H3PO4⇔(NH4)H2PO4+(NH4)2HPO4 (4)
SO2に関するトラップ能力は、RH0%および捕捉効率90%では5ppb−hであると求められた。水分を加えて相対湿度22%にすると、トラップ能力はCE90%で60ppb−hに増加し、相対湿度35%でのトラップ能力は99%では400ppb−h超に増加した。図3は、能力に対する捕捉効率のグラフであり、RH0%、22%および35%での液体非含有酸トラップのSO2に関する能力を示す。
SO2(g)+H2O⇔HSO3 −+H+ (6)
得られる硫酸水素イオンは遊離しており、媒体の表面上でNaHCO3と反応し、硫酸ナトリウム塩を生成する(式7)。
HSO3 −+2NaHCO3(s)⇔Na2SO4(s)+H2O+2CO2+H+ (7)
算出され、モニタで検証された負荷濃度8.0ppbに対して、NH3に関する標準的な水インピンジャーの平均捕捉効率は、RH40%では88%であった。いかなる特定の理論に拘束されることを望むものではないが、標準的なインピンジャーでの低い捕捉効率は、溶液中でのアンモニアの部分的解離(式2)および/または空気気泡から水柱への不完全な拡散に起因する可能性がある。溶液のpHの低下は、アンモニア濃度の低下または酸種の存在に起因し、アンモニアのイオン化に直接影響を及ぼし、平衡がますますアンモニウム生成の方に移動する。この結果、イオンクロマトグラフィー分析でアンモニアおよびアミンに関して特有の非直線検量線が得られる。
標準的な水インピンジャーのSO2に関する平均捕捉効率は、RH36%で、負荷濃度16.8ppbでは91%であった。しかし、この平均は、外れたデータ点が1つ存在する(高い標準偏差に現れている)ため大きく偏倚しており、それを除外すると、捕捉効率は86%に低下する。低い捕捉効率は、溶液中で複数の中間種が生成し、それらの中間種の濃度の上昇に伴いイオン化が低下することに起因する。このことから、捕捉効率が濃度に反比例し、総SO2濃度が増加するにつれ低下することが分かる。また亜硫酸アニオンと硫酸アニオンの生成によりインピンジが酸性化し、溶液のpHが低下するにつれ、平衡はますます気相の方に移動する。二酸化硫黄性能試験のデータを表2に要約する。
SO2+H2O2⇔2H++SO4 2− (9)
2NO+3H2O2→2H++2NO3 −+2H2O (10)
CO2+2H2O2→H++HCO4 −+2H2O (11)
液体非含有トラップでは、さらなる酸化を引き起こす原因が存在しないため、式10および11に記載される反応は最小限に抑えられる。
HFの捕捉に関して、RH40%でサンプリングされた空気では、水インピンジャーの捕捉効率は98.2%であり、液体トラップの捕捉効率は100.2%であった。液体非含有トラップの方が水インピンジャーより精度が僅かに良く、標準偏差3.5%であった。HFは水とあらゆる割合で十分に混和し、他のハロゲン化水素と異なり、水素結合により相互作用するため、水インピンジャーでは高い捕捉効率が期待される。液体非含有トラップでの主要な捕捉機構は、純粋にイオン反応である(式12)。
NaHCO3(S)+HF(g)→NaF(s)+CO2(g)+H2O(l) (12)
HFに関する性能実験の結果を表3に要約する。
酢酸の捕捉に関して、標準的なインピンジャーの平均捕捉効率は、RH36%では98.2%であり、相対標準偏差が4.1%であった。液体非含有トラップは捕捉効率が96.1%とほぼ同じであり、標準的なインピンジャーと比較してばらつきが僅かに高かった。CH3COOHは主にイオン結合により捕捉される(式13)ため、特にCH3COOHに関して低い性能が予測される理由はないが、酢酸のpKaがかなり高い(弱酸性)ことが、捕捉効率が100%未満になる一因となり得る。
NaHCO3+CH3COOH⇔NaCH3COO−+CO2+H2O (13)
それにもかかわらず、これは、半導体産業での酢酸モニタリングに十分な結果であると見なされる。酢酸に関する性能試験の結果を表4に要約する。
制御された実験室条件での試料トラップの性能は、最適な性能を示す。しかし、現場でサンプリングする場合、外部条件は理想的でないことがあり、サンプリングは作業者による試料の取り扱い、発送等を必要とする可能性がある。
液体非含有トラップの貯蔵寿命は、コーティングされた基材を幾つか製造した後、これらを3ヶ月間貯蔵し、余剰の試料を毎週分析して、起こり得る傾向を観測することにより調べた。データから、検出レベルを上回る影響を及ぼすことなく、液体非含有トラップを化学的に清浄な容器に貯蔵し最大3ヶ月間冷蔵できることが示唆される。データのプロットから、貯蔵中、NH3濃度の増加傾向がないことが分かった。この貯蔵寿命は有機AMCトラップのものに匹敵し、即時設置できるように比較的迅速に配送し、現場で貯蔵することを可能にする。
水充填インピンジャートラップの欠点に対処するために、酸性気相汚染物とアルカリ性気相汚染物の両方に特化した液体非含有吸着性トラップを開発してきた。液体非含有塩基トラップのアンモニアに関する能力の結果は、捕捉効率100%で、水分なし(CDAまたはN2のサンプリングをシミュレートする)では200ppb−h超、RH40%では350ppb−hであった。二酸化硫黄に関する能力の結果は、サンプリングしたガスの含水率に大きく依存し:相対湿度0%では、捕捉効率90%で能力が5ppb−hしかなかったが、相対湿度40%では1200ppb−h超に指数関数的に増加した。HFに関する性能および酢酸に関する性能は十分であり、標準的なインピンジャーのものに匹敵した。
(1)Grenon B.,Bhattacharyya K.,Volk W.,Phan K.,Poock A.,“Reticle surface contaminants and their relationship to sub−pellicle defect formation”,Proceedings of SPIE,Metrology,Inspection and Process control for Microlithography XVIII,Vol.5375,pp.355−62,(2004).
(2)Dean,K.R.,Miller,D.A.,Carpio,R.A.,Petersen,J.S.,&Rich,G.K.,“Effects of Airborne Molecular Contamination on DUV Photoresists”,Journal of Photopolymer Science and Technology,10(3),pp.425−443,(1997).
(3)International Roadmap Committee(IRC),ITRS yield Enhancement Table,Table YE4“AMC Monitoring Methods”(2012).
(4)Gutherie,P.“Tautomerice quilibria and pKa Values for‘sulfurous acid’in aqueous solution:a thermodynamic analysis”,Canadian Journal of Chemistry,57,pp.454(1979).
(5)Lobert,Juergen M.,Grayfer A.and Oleg K.,“Virtual NOx−:A Measurement Artifact in Wet Impinger Air Sampling.”,Entegris Application Note APN000015,(2006).
(6)Vogt,S.;Landoni,C.,“Monitoring acidic and basic contamination in leading edge lithography and metrology applications:quantative comparison of solid−state and impinger based sampling methods.”,Proceedings of SPIE,Metrology,Inspection and Process Control for Microlithography XXIV,Vol.7638,pp.7638,763825−7,(2010).
(7)Giguere P.and Turrell,S.,”The nature of hydrofluoric acid:A spectroscopic study of the proton−transfer complex H3O+...F−”,Journal of the American Chemistry Society,102(17),pp.5473,(1980).
Claims (5)
- ガス中の微量レベルの酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質用の液体非含有トラップであって、
入口と出口とを備えるハウジングと;
前記入口と前記出口との間の流路と;
前記入口と前記出口との間の前記流路内に位置し、かつ前記ハウジング内に封止された硬質焼結親水性材料の多孔質の固形塊であって、真空下でもしくは10atm以下の圧力で、または毎分20リットル(lpm)以下のガス流の流量で、その構造的完全性を維持し、前記硬質焼結親水性材料は水で濡らすことができ、前記硬質焼結親水性材料が前記ガス中の酸性の空気中分子状汚染物質をトラップするための0.05ミリモル当量〜10ミリモル当量の塩基種で、または前記ガス中の塩基性の空気中分子状汚染物質をトラップするための0.05ミリモル当量〜10ミリモル当量の酸種で官能化された、多孔質の固形塊と
を備える、液体非含有トラップ。 - ガス中の微量レベルの酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質用の液体非含有トラップであって、
入口と出口とを備えるハウジングと;
前記入口と前記出口との間の流路と;
前記入口と前記出口との間の前記流路内に位置し、かつ前記ハウジング内に封止された硬質焼結親水性材料の多孔質の固形塊であって、真空下でもしくは10atm以下の圧力で、または毎分20リットル(lpm)以下のガス流の流量で、その構造的完全性を維持し、前記硬質焼結親水性材料は水で濡らすことができ、前記硬質焼結親水性材料が前記ガス中の酸性の空気中分子状汚染物質と反応して溶媒に可溶な反応生成物を生成する0.05ミリモル当量〜10ミリモル当量の塩基種で、または前記ガス中の塩基性の空気中分子状汚染物質と反応して溶媒に可溶な反応生成物を生成する0.05ミリモル当量〜10ミリモル当量の酸種で官能化された、多孔質の固形塊と
を備える、液体非含有トラップ。 - 前記溶媒が水である、請求項2に記載の液体非含有トラップ。
- ガス流中の微量レベルの酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質を検出または測定する方法であって、
検出可能な量の前記酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質を硬質焼結親水性材料でトラップするのに十分な流量でかつ十分な時間にわたり、ガス流を、請求項1〜3のいずれか一項に記載の液体非含有トラップの前記入口に流入させ、前記流路を通過させ、および前記出口から流出させる工程と;
前記トラップされた酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質を前記硬質焼結親水性材料から脱離させ、それにより試料を提供する工程と;
前記試料の、微量レベルの前記酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質を分析し、それにより前記ガス流中の微量レベルの酸性または塩基性の空気中分子状汚染物質を検出または測定する工程と
を含む、方法。 - 前記時間が2〜8時間である、請求項4に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361874706P | 2013-09-06 | 2013-09-06 | |
US61/874,706 | 2013-09-06 | ||
US201461933294P | 2014-01-29 | 2014-01-29 | |
US61/933,294 | 2014-01-29 | ||
PCT/US2014/054266 WO2015035148A2 (en) | 2013-09-06 | 2014-09-05 | Liquid-free sample traps and analytical method for measuring trace level acidic and basic amc |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016534358A JP2016534358A (ja) | 2016-11-04 |
JP2016534358A5 JP2016534358A5 (ja) | 2017-10-12 |
JP6563396B2 true JP6563396B2 (ja) | 2019-08-21 |
Family
ID=51541395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016540414A Active JP6563396B2 (ja) | 2013-09-06 | 2014-09-05 | 微量レベルの酸性および塩基性amcを測定するための液体非含有試料トラップおよび分析方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10031114B2 (ja) |
EP (1) | EP3042175B1 (ja) |
JP (1) | JP6563396B2 (ja) |
KR (1) | KR102233080B1 (ja) |
CN (1) | CN105705930B (ja) |
SG (2) | SG10201802878YA (ja) |
TW (1) | TWI661196B (ja) |
WO (1) | WO2015035148A2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10942096B2 (en) * | 2017-09-07 | 2021-03-09 | Elemental Scientific, Inc. | Automated system for remote inline concentration of ultra-low concentrations in pure chemicals |
SG11202107495UA (en) * | 2019-02-28 | 2021-08-30 | Yoshino Gypsum Co Ltd | Apparatus for inspecting plate-like bodies |
FR3095516B1 (fr) * | 2019-04-25 | 2022-10-14 | Univ De Pau Et Des Pays De Ladour | Dispositif de prélèvement d’un échantillon d’éléments d’intérêt présents à l’état de traces dans un gaz sous pression |
CN112945692A (zh) * | 2021-02-05 | 2021-06-11 | 成都理工大学 | 一种环境水中痕量重金属的鼓泡分离在线富集系统 |
US20220357242A1 (en) * | 2021-05-07 | 2022-11-10 | Entegris, Inc. | Multistage gas sampling trap and detection of sulfurous species contaminant |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3985017A (en) | 1975-01-02 | 1976-10-12 | Abcor, Inc. | Gaseous contaminate dosimeter and method |
USD320842S (en) | 1989-01-26 | 1991-10-15 | Claber S.P.A. | Quick-connect coupling |
US5302191A (en) * | 1992-09-01 | 1994-04-12 | President And Fellows Of Harvard College | Denuder for gas sampling |
US5438884A (en) * | 1993-11-04 | 1995-08-08 | Bellaire Industries, Inc. | Flush mount fitting for gas emission sample container |
DE29623801U1 (de) * | 1995-03-03 | 1999-11-11 | Alltech Associates Inc | Apparat zur elektrochemischen Modifizierung chromatographischen Materials |
JP3421551B2 (ja) * | 1997-09-18 | 2003-06-30 | 株式会社東芝 | 捕集方法及び捕集装置 |
JP3934240B2 (ja) * | 1998-03-16 | 2007-06-20 | 株式会社東芝 | 捕集剤及びその製造方法、捕集装置及びその製造方法 |
KR100825146B1 (ko) * | 2000-05-05 | 2008-04-24 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 산성 중합체와 물리적 흡착 매체를 사용하는 필터 |
JP2002357517A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-12-13 | Hitachi Chem Co Ltd | Voc捕集用パッシブサンプラー |
JP3550389B2 (ja) | 2002-01-31 | 2004-08-04 | 株式会社住化分析センター | 気体中の塩基性化合物の定量方法 |
USD473633S1 (en) | 2002-06-18 | 2003-04-22 | Success & Tech Industrial Co., Ltd. | Soft sleeve for fast copper pipe joint |
US7299711B1 (en) * | 2002-11-27 | 2007-11-27 | Sandia Corporation | Analyte separation utilizing temperature programmed desorption of a preconcentrator mesh |
JP2004191120A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-08 | Hitachi Chem Co Ltd | パッシブサンプラー |
JP4542315B2 (ja) * | 2003-03-05 | 2010-09-15 | 株式会社堀場製作所 | ガス測定用フィルタ及びその製造方法 |
US7537629B2 (en) * | 2003-06-30 | 2009-05-26 | Institute Of Occupational Safety And Health, Council Of Labor Affairs | Porous metal denuder |
US7132011B2 (en) * | 2003-09-02 | 2006-11-07 | Entegris, Inc. | Reactive gas filter |
US7430893B2 (en) | 2003-12-03 | 2008-10-07 | Entegris, Inc. | Systems and methods for detecting contaminants |
US20050120775A1 (en) * | 2003-12-03 | 2005-06-09 | Extraction Systems, Inc. | Systems and methods for detecting contaminants |
USD543948S1 (en) | 2004-08-27 | 2007-06-05 | John Mezzalingua Associates, Inc. | Co-axial cable connector |
JP2006275551A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Sumika Chemical Analysis Service Ltd | 基板製造局所空間の汚染状態の評価方法 |
ITMI20061525A1 (it) | 2006-08-01 | 2008-02-02 | Fondazione Salvatore Maugeri Clinica Del ... | Dispositivo di campionamento di sostanze volatili |
CN201531600U (zh) * | 2009-09-23 | 2010-07-21 | 浙江国泰密封材料股份有限公司 | 组合唇形密封环 |
-
2014
- 2014-09-05 SG SG10201802878YA patent/SG10201802878YA/en unknown
- 2014-09-05 JP JP2016540414A patent/JP6563396B2/ja active Active
- 2014-09-05 WO PCT/US2014/054266 patent/WO2015035148A2/en active Application Filing
- 2014-09-05 EP EP14766367.8A patent/EP3042175B1/en active Active
- 2014-09-05 KR KR1020167008646A patent/KR102233080B1/ko active IP Right Grant
- 2014-09-05 TW TW103130745A patent/TWI661196B/zh active
- 2014-09-05 SG SG11201601251RA patent/SG11201601251RA/en unknown
- 2014-09-05 US US14/916,845 patent/US10031114B2/en active Active
- 2014-09-05 CN CN201480049096.9A patent/CN105705930B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3042175B1 (en) | 2023-08-30 |
CN105705930B (zh) | 2019-11-12 |
US20160216241A1 (en) | 2016-07-28 |
US10031114B2 (en) | 2018-07-24 |
JP2016534358A (ja) | 2016-11-04 |
SG11201601251RA (en) | 2016-03-30 |
EP3042175A2 (en) | 2016-07-13 |
KR102233080B1 (ko) | 2021-03-29 |
TWI661196B (zh) | 2019-06-01 |
TW201518727A (zh) | 2015-05-16 |
SG10201802878YA (en) | 2018-05-30 |
WO2015035148A2 (en) | 2015-03-12 |
KR20160051841A (ko) | 2016-05-11 |
WO2015035148A3 (en) | 2015-05-28 |
CN105705930A (zh) | 2016-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6563396B2 (ja) | 微量レベルの酸性および塩基性amcを測定するための液体非含有試料トラップおよび分析方法 | |
Rossi | Heterogeneous reactions on salts | |
KR100935384B1 (ko) | 가스 스트림 중 입자의 측정 및/또는 분석을 위한 시스템및 이를 포함하는 방법 | |
Zhou et al. | Kinetic limitations in gas-particle reactions arising from slow diffusion in secondary organic aerosol | |
JP4986632B2 (ja) | ウェハ輸送コンテナのパージング | |
JP5367710B2 (ja) | 高温および高圧下で酸化を利用する水性サンプル中の炭素測定 | |
US6321587B1 (en) | Solid state fluorine sensor system and method | |
US7368289B2 (en) | Filter for determination of mercury in exhaust gases | |
US7867779B2 (en) | System and method comprising same for measurement and/or analysis of particles in gas stream | |
US20080009099A1 (en) | System and method of monitoring contamination | |
CN108352345A (zh) | 测量用于基片的气氛输送和存储的运输箱的污染物的方法和系统 | |
Hanson et al. | H 2 SO 4 and particle production in a photolytic flow reactor: chemical modeling, cluster thermodynamics and contamination issues | |
EP1866621B1 (en) | Conditioning system and method for use in the measurement of mercury in gaseous emissions | |
JP2001153854A5 (ja) | ||
González-Aguirre et al. | Ammonia sorption outgassing and cross contamination ability of Entegris FOUPs evaluation and its volatile acids comparison | |
Lobert et al. | Advances in the understanding of low molecular weight silicon formation and implications for control by AMC filters | |
US20110123400A1 (en) | Apparatus for detecting metal concentration in an atmosphere | |
Fitz et al. | Evaluation of diffusion denuder coatings for removing acid gases from ambient air | |
JP2003302317A (ja) | 気中化学汚染不純物成分の捕集方法 | |
Yoo et al. | Monitoring and purge parameters of ammonia for the front opening unified pod (FOUP) | |
JP2003275530A (ja) | エアフィルタ | |
JP2004226098A (ja) | 流体変調式測定装置 | |
Lobert et al. | Measurement of low molecular weight silicon AMC to protect UV optics in photo-lithography environments | |
JP2000180348A (ja) | ガス状汚染物質の濃度測定装置及び方法 | |
Vogt et al. | Approaches to airborne molecular contamination assessment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170830 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170830 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20171124 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20171225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180820 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190524 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20190531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190716 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190724 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6563396 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |