JP6561764B2 - 発振器、電子機器および基地局 - Google Patents

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Description

本発明は、電子部品用パッケージ、発振器、電子機器および基地局に関するものである。
従来から、例えば、通信機器等の周波数制御に用いる高精度な発振特性を有する発振器として、例えば、所定の周波数で振動する振動片を有し、当該振動片を所定の温度に制御するよう構成されている恒温槽付水晶発振器(Oven Controlled Crystal Oscillator:OCXO)が知られている。このような恒温槽付水晶発振器によれば、外部の温度変化に影響されずに、安定的な周波数の信号を出力することができる。
恒温槽付水晶発振器の一例として、特許文献1に記載の圧電発振器がある。特許文献1に記載の圧電発振器は、板状をなす下蓋カバーおよび有底筒状をなす上蓋カバーで構成されているパッケージと、パッケージ内に設けられている回路基板と、回路基板上に発熱体を介して載置されていて、振動片を有する振動子と、を備える。そして、特許文献1に記載の圧電発振器では、リード端子を介して、回路基板が下蓋カバーに接続されている。
このような構成の圧電発振器では、リード端子を介して回路基板を下蓋カバーに接続する際、下蓋カバーに対する回路基板の位置決めがなされないため、例えば、下蓋カバーに対して回路基板が斜めに設置されてしまい、その結果、回路基板の一部が下蓋カバーに接触してしまうおそれがあった。そのため、従来の発振器では、振動片がパッケージ外部の温度変化の影響を受け易くなり、その結果、周波数安定度が悪化してしまうという問題があった。
特開2015−95790号公報
本発明の目的は、第1基板にベース部材が接触することを低減することができる電子部品用パッケージを提供すること、また、かかる電子部品用パッケージを備えた発振器、電子機器および基地局を提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の電子部品用パッケージは、ベース部材と、
前記ベース部材の一方の面から突出し、電子部品を搭載している第1基板に当接する絶縁性を有する第1突出部と、を備えていることを特徴とする。
このような電子部品用パッケージによれば、第1突出部が第1基板に当接することで、第1基板とベース部材との間の距離(ギャップ)を所定の間隔に定めることができ、よって、第1基板とベース部材とが接触することを防止または低減することができる。そのため、ベース部材と第1基板との間の熱伝導を低減することができるので、電子部品が、電子部品用パッケージの外部における温度変化の影響を受けることを低減することができる。その結果、電子部品の温度制御を高精度に行うことができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記ベース部材の他方の面から突出し、前記ベース部材を搭載している第2基板に当接する絶縁性を有する第2突出部を備えていることが好ましい。
これにより、第2突出部が第2基板に当接することで、第2基板とベース部材との距離(ギャップ)を所定の間隔に定めることができ、よって、第2基板とベース部材とが接触することを防止または低減することができる。そのため、ベース部材と第2基板との間の熱伝導を低減することができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記ベース部材には、貫通孔が設けられており、
前記第1突出部および前記第2突出部は、前記貫通孔を貫通する部材と一体で構成されていることが好ましい。
これにより、第1突出部および第2突出部を一括して容易に形成することができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記第1突出部と前記第2突出部とは、前記ベース部材の平面視で、重なっていることが好ましい。
これにより、ベース部材の設計を容易にすることができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記ベース部材の平面視で、前記第1突出部と前記第2突出部とは異なる位置に設けられていることが好ましい。
これにより、第1突出部と第2突出部との間の熱の伝達経路を長くすることができる。そのため、第1突出部および第2突出部を介した電子部品用パッケージ内外における熱の伝達を低減することができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記ベース部材を平面視したとき、前記第1突出部の面積は、前記第2突出部の面積よりも小さいことが好ましい。
これにより、第1基板に対する第1突出部の接触面積を比較的小さくすることができる。そのため、第1突出部を介してベース部材から第1基板へ熱が伝達されることをより低減することができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記第1突出部の突出高さは、前記第2突出部の突出高さよりも低いことが好ましい。
これにより、第1基板とベース部材との間の距離を比較的短くすることができる。そのため、電子部品用パッケージの低背化を図ることができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記第1基板は、前記第1突出部に当接する部分に設けられた凹部または貫通孔を有していることが好ましい。
これにより、第1基板とベース部材との間の距離を小さくすることができ、よって、パッケージの低背化を図ることができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記第1突出部および前記第2突出部の少なくとも一方は、球面状をなす表面を有することが好ましい。
これにより、第1基板に対する第1突出部の接触面積や、第2基板に対する第2突出部の接触面積を比較的小さくすることができる。そのため、第1突出部を介した第1基板とベース部材との間の熱伝達や、第2突出部を介した第2基板とベース部材との間の熱伝達をより低減することができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記第1基板を貫通し、前記第1基板と電気的に接続されている導電性を有するピン部材を備えており、
前記第1突出部および前記ピン部材は、それぞれ、前記第1基板を前記ベース部材に対して支持していることが好ましい。
このようなピン部材を例えば第2基板と電気的に接続することで、第1基板と第2基板とを電気的に接続することができる。
ここで、ピン部材は、第1基板を貫通している構成であるため、ピン部材だけではベース部材に対して第1基板を高精度に位置決めすることが難しい。これに対し、本発明の電子部品用パッケージは、第1基板に当接する第1突出部を備えているため、ベース部材に対して第1基板を高精度に位置決めすることができ、よって、第1基板がベース部材に接触することを低減することができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記第1突出部は、ガラスを含むことが好ましい。
これにより、第1突出部を介した第1基板とベース部材との間の熱伝達をより低減することができる。また、第1突出部がガラスを含むことで、第1突出部を比較的変形し難いものとすることができる。また、絶縁性を有する第1突出部を容易に形成することができる。
本発明の電子部品用パッケージでは、前記第1突出部を少なくとも3つ以上有することが好ましい。
これにより、第1基板に対する第1突出部の接触面積を小さくしつつ、ベース部材に対する第1基板の姿勢をより高精度に規制することができる。そのため、第1基板とベース部材との間の熱伝導を低減しつつ、第1基板とベース部材との間の距離のばらつきを低減することができる。
本発明の発振器は、本発明の電子部品用パッケージと、
前記第1基板と、
前記第1基板に設けられており、振動片を有する振動子と、
前記振動子に電気的に接続されている発振回路と、を備えることを特徴とする。
このような発振器によれば、第1基板がベース部材に接触することが低減された電子部品用パッケージを備えているため、第1基板とベース部材との接触による温度変動が低減され、周波数変化が少ない高安定な発振器を提供することができる。
本発明の発振器では、前記振動片の温度を制御する温度制御素子を備えることが好ましい。
これにより、振動片を所望の温度に維持することができる。特に、電子部品用パッケージ内を減圧状態とした場合、振動片の温度変動を低減して、優れた周波数安定度を有する恒温槽付発振器を実現することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電子部品用パッケージを備えることを特徴とする。
このような電子機器によれば、高い信頼性を発揮することができる。
本発明の基地局は、本発明の電子部品用パッケージを備えることを特徴とする。
このような基地局によれば、高い信頼性を発揮することができる。
本発明の第1実施形態に係る電子部品用パッケージを備える発振器を示す断面図である。 図1に示す発振器の平面図である。 図1に示す規制部材を示す断面図である。 図3に示す規制部材を製造する方法を示す断面図である。 本発明の第2実施形態に係る電子部品用パッケージが有する規制部材を示す断面図である。 本発明の第3実施形態に係る電子部品用パッケージが有する規制部材を示す断面図である。 本発明の第4実施形態に係る電子部品用パッケージを備える発振器を示す断面図である。 本発明の第4実施形態に係る電子部品用パッケージの変形例を示す断面図である。 本発明の第5実施形態に係る発振器が有する第1基板の一部を示す断面図である。 本発明の第5実施形態に係る発振器が有する第1基板の変形例を示す断面図である。 本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器を適用したデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。 本発明の発振器を備える移動体を適用した自動車を示す斜視図である。 本発明の基地局を適用した測位システムを示す概略構成図である。
以下、本発明の電子部品用パッケージ、発振器、電子機器および基地局を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
1.発振器
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子部品用パッケージを備える発振器を示す断面図である。図2は、図1に示す発振器の平面図である。図3は、図1に示す規制部材を示す断面図である。図4は、図3に示す規制部材を製造する方法を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図1中の上側を「上」、下側を「下」という。
図1に示す発振器1は、ベース部材21および蓋部材22を有するパッケージ2(電子部品用パッケージ)と、パッケージ2内に設けられた第1基板3(回路基板)と、第1基板3の上方に設けられていて振動片42を有する振動子4と、複数の回路部品61と、を有する。また、発振器1は、図1に示すように、例えば、実装基板である第2基板9などに実装して用いられる。
この発振器1は、恒温槽付水晶発振器(Oven Controlled Crystal Oscillator:OCXO)であり、振動片42の温度を所定の温度に制御するよう構成されている。このため、外部の温度変化による影響が小さく、周波数安定度が高い出力信号を得ることができる。
以下、発振器1の各部の構成を順次説明する。
[パッケージ]
パッケージ2は、第1基板3、振動子4および複数の回路部品61を収納する機能を有している。
図1に示すように、パッケージ2は、板状のベース部材21と、有底筒状の蓋部材22と、を有している。また、パッケージ2は、ベース部材21に設けられた複数(本実施形態では4つ)のピン部材23と、複数(本実施形態では4つ)の規制部材7と、を有している。
蓋部材22は、その開口がベース部材21で塞がれるようにしてベース部材21に接合されている。これにより、第1基板3、振動子4および複数の回路部品61が収納された空間S1が形成されている。
ベース部材21と蓋部材22とは、気密的に接合されており、空間S1は、減圧状態であってもよく、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガスが充填されていてもよい。
ベース部材21と蓋部材22との接合方法としては、空間S1の気密性を確保できる方法であれば特に限定されず、例えば、ろう接、シーム溶接、エネルギー線溶接等による接合方法が挙げられる。
また、ベース部材21および蓋部材22の構成材料としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、樹脂材料、セラミック材料、ガラス材料、金属材料等を用いることができる。
なお、図示はしないが、ベース部材21には、ピン部材23と電気的に接続された配線、電極および端子等が設けられていてもよい。
また、前述したように、パッケージ2は、複数(本実施形態では4つ)のピン部材23(リード端子)と、複数(本実施形態では4つ)の規制部材7と、を有している。
複数のピン部材23は、それぞれ、長尺な棒状をなし、ベース部材21の厚さ方向に貫通していてベース部材21に固定されている。また、複数のピン部材23は、それぞれ、第2基板9の厚さ方向に貫通していて第2基板9に固定されている。
また、図2に示すように、複数のピン部材23は、それぞれ、ベース部材21の外周部に設けられている。本実施形態では、ベース部材21は、その厚さ方向から見た平面視(ベース部材21の平面視)で四角形状をなしており、複数のピン部材23は、それぞれ、ベース部材21の角部に設けられている。
なお、複数の規制部材7については後に詳述する。
[第1基板]
図1に示すように、第1基板3(回路基板)は、ベース部材21の上方に設けられている。第1基板3の表面には、配線や電極等(図示せず)が形成されている。これら配線や電極等は、複数のピン部材23と電気的に接続されている。
図2に示すように、第1基板3は、平面視で四角形状をなし、第1基板3の各角部には、前述した複数のピン部材23が貫通している。さらに、複数のピン部材23によって、第1基板3と第2基板9とは電気的に接続されている。
第1基板3の構成材料としては、特に限定されず、例えば、樹脂材料、セラミック材料、金属材料等を用いることができる。また、第1基板3の表面に形成された配線や電極等(図示せず)の構成材料としては、例えば、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、ニッケル(Ni)、金(Au)等の金属材料を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。
[振動子]
図1に示すように、振動子4は、複数のリードフレーム51を介して第1基板3に支持されている。
振動子4は、パッケージ41と、パッケージ41に収納された振動片42、温度制御素子43および集積回路44と、を有している。
パッケージ41は、上面に開口している凹部414を有する箱状の基体411と、凹部414の開口を塞ぐように、シールリング412を介して基体411に接合された板状の蓋体413と、を有している。そして、凹部414が蓋体413によって塞がれることにより、振動片42、温度制御素子43および集積回路44が収納された空間S2が形成されている。また、空間S2は、減圧状態となっている。
また、基体411には、図示はしないが、振動片42、温度制御素子43および集積回路44と電気的に接続された配線や電極等が形成されている。
また、基体411および蓋体413の構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、樹脂材料、セラミック材料、ガラス材料等を用いることができる。
集積回路44は、凹部414の底面に設けられている。集積回路44は、例えば、振動片42を発振させる発振回路や、温度制御素子43を制御する温度制御回路等を有する。
また、集積回路44は、前述した基体411に形成されている配線や電極等(図示せず)に電気的に接続されている。
なお、本実施形態では、前述したように、パッケージ41の内部に集積回路44が設けられているが、集積回路44は、パッケージ41の外部に設けられていてもよい。
温度制御素子43は、基体411上に設けられている。温度制御素子43は、振動片42の温度を所定の温度に制御する機能を有する。
温度制御素子43は、例えば、発熱用ICであり、発熱回路と温度センサーとを備えている。発熱回路は、抵抗に電流が流れることで発熱する回路である。なお、発熱回路は、パワートランジスター等の電力を入力することで発熱する素子であってもよい。温度センサーは、振動片42に近接して設けられており、温度に応じた信号を出力する。温度センサーは、例えば、ダイオードやサーミスターによって構成されている。
このような温度制御素子43では、温度センサーからの信号を基に、集積回路44が有する温度制御回路(図示せず)により発熱回路を制御することで、振動片42を所定の温度に制御する。
また、温度制御素子43は、前述した基体411に形成されている配線や電極等(図示せず)に電気的に接続されている。
なお、温度制御素子43の配置等は、振動片42の温度を所定の温度に制御することができれば、図示のものに限定されない。
振動片42は、温度制御素子43上に設けられている。
本実施形態では、振動片42として、SCカット水晶振動片を用いている。これにより、発振器1の周波数安定性を特に優れたものとすることができる。なお、振動片42は、SCカット水晶振動片に限定されず、例えば、ATカット水晶振動片や、BTカット水晶振動片等いかなるものを用いてもよい。
また、振動片42には、図示はしないが、励振電極が設けられており、この励振電極は、前述した基体411に形成されている配線や電極等(図示せず)に電気的に接続されている。
[回路部品]
図1に示すように、複数の回路部品61は、振動子4の下面および第1基板3の上面に設けられている。複数の回路部品61は、前述した集積回路44とともに、発振回路や温度制御回路等を構成する回路構成部材である。このような回路部品61としては、例えば、IC、抵抗素子、コンデンサー素子、インダクター素子等が挙げられる。
以上、発振器1の構成について簡単に説明した。次に、前述したパッケージ2が有する複数の規制部材7について詳述する。
(規制部材)
前述したように、パッケージ2は、ベース部材21に設けられた複数の規制部材7を有している。
図1に示すように、複数の規制部材7は、それぞれ、ベース部材21の厚さ方向に貫通していてベース部材21に固定されている。また、複数の規制部材7は、それぞれ、第1基板3および第2基板9に当接するようにして設けられている。
図2に示すように、複数の規制部材7は、それぞれ、ベース部材21の周縁部(本実施形態では角部)に設けられており、互いに離間して設けられている。
図3に示すように、規制部材7は、ベース部材21の上面(一方の面)から突出している第1突出部71と、ベース部材21の下面(他方の面)から突出している第2突出部72と、第1突出部71と第2突出部72とを繋ぎ、ベース部材21の厚さ方向に貫通して形成された貫通孔211内に充填されている接続部材73と、を有する。
第1突出部71および第2突出部72と、これらを繋ぐ接続部材73とは、一体で構成されている。また、本実施形態では、第1突出部71、第2突出部72および接続部材73は、主としてガラスを含む材料で構成されていて、絶縁性を有している。
また、第1突出部71は、半球体の上端部を欠いたような形状であり、第1突出部71の外表面711は、上端を除く部分が球面に沿った形状(球面状)をなし、上端が平坦面となっている。そして、外表面711のうちの平坦面に、第1基板3が当接している。第1基板3に当接している部分が平坦面であることで、第1基板3を安定して支持することができる。
一方、第2突出部72は、半球体のような形状であり、第2突出部72の外表面721は、球面に沿った形状(球面状)をなす。そして、外表面721の下端には、第2基板9が当接している。
また、第1突出部71と第2突出部72とは、ベース部材21の平面視で重なっている。
このような第1突出部71と第2突出部72とを有する規制部材7によれば、ベース部材21を第2基板9に支持し、第1基板3をベース部材21に支持するとともに、ベース部材21と第2基板9との間の距離、および、第1基板3とベース部材21の間の距離を規制することができる。
具体的には、パッケージ2が、ベース部材21の上面から突出する第1突出部71を有しているため、ベース部材21上に第1基板3を搭載すると、第1突出部71が第1基板3に当接する。このように、第1突出部71が第1基板3に当接することで、第1基板3とベース部材21との間の距離(ギャップ)を所定の間隔に定めることができる。そのため、第1基板3とベース部材21とが接触することを防止または低減することができ、よって、ベース部材21と第1基板3との間の熱伝導を低減することができる。これにより、第1基板3にリードフレーム51を介して接続されている振動子4が、パッケージ2外部の温度変化の影響を受けることを低減することができるので、振動子4が有する振動片42の温度制御を高精度に行うことができる。その結果、発振器1は、周波数変化が少ない高安定な信号を出力することができる。
ここで、前述したように、パッケージ2では、規制部材7だけでなく、複数のピン部材23によっても、ベース部材21に第1基板3が支持されている。
このような複数のピン部材23をベース部材21および第1基板3に固定する際には、例えば、複数のピン部材23をベース部材21に対して固定した後に、ピン部材23を第1基板3に挿通させる。その際、ピン部材23の幅が一定であるため、第1基板3の位置を規制することができない。仮に、ピン部材23を、第1基板3の位置を規制し得る構成にしようとすると、加工が難しい。
これに対し、本実施形態のパッケージ2は、第1基板3に当接するように設けられた第1突出部71を備えているため、ベース部材21に対して第1基板3を高精度に位置決めすることができる。また、規制部材7の形成は、後述するように比較的容易である。
また、本実施形態のパッケージ2は、第1突出部71に加え、ベース部材21の下面から突出した第2突出部72を有している。第2突出部72も、第1突出部71と同様に、第2基板9を貫通しているピン部材23とは異なり、第2基板9に当接するように設けられている。そのため、第2突出部72が第2基板9に当接することで、第2基板9とベース部材21との間の距離(ギャップ)を所定の間隔に定めることができる。このため、第2基板9とベース部材21とが接触することを防止または低減することができ、よって、ベース部材21と第2基板9との間の熱伝導を低減することができる。
また、パッケージ2は、前述したように、第1突出部71を4つ有し、4つの第1突出部71は、互いに離間して設けられている。そのため、ベース部材21に対する第1基板3の姿勢をより高精度に規制することができる。よって、第1基板3とベース部材21との間の距離のばらつきをより低減することができる。
同様に、パッケージ2は、第2突出部72を4つ有し、4つの第2突出部72は、互いに離間して設けられている。そのため、第2基板9に対する第2突出部72の接触面積をより小さくしつつ、第2基板9に対するベース部材21の姿勢をより高精度に規制することができる。このため、第2突出部72を介した第2基板9とベース部材21との熱伝達をより低減することができるとともに、第2基板9とベース部材21との間の距離のばらつきをより低減することができる。
なお、本実施形態では、パッケージ2は、第1突出部71を4つ有しているが、パッケージ2は、第1突出部71を少なくとも3つ有していれば、上述した効果と同等の効果を発揮することができる。なお、第2突出部72についても同様である。
さらに、前述したように、第2突出部72の外表面721は、球面状(曲面状)をなす。これにより、第2基板9に対する第2突出部72の接触面積をさらに小さくすることができる。そのため、第2突出部72を介した第2基板9とベース部材21との熱伝達をより低減することができる。
なお、本実施形態では、第2突出部72の外表面721全体は、球面状であったが、外表面721は、全てが球面状でなく、少なくとも外表面721のうちの第2基板9と当接する部分が球面状をなしていれば、前述した効果と同等の効果を発揮することができる。
また、図3に示すように、第1突出部71の突出高さT1は、第2突出部72の突出高さT2よりも小さい。そのため、第1突出部71に当接している第1基板3とベース部材との間の距離は、第2突出部72に当接している第2基板9とベース部材21との間の距離よりも短くなっている。これにより、第1基板3とベース部材21との間の距離を比較的短くすることができ、よって、パッケージ2の低背化を図ることができる。
また、前述したように、規制部材7は、第1突出部71および第2突出部72が接続部材73とともに一体で構成されている。このため、第1突出部71および第2突出部72を一括して容易に形成することができる。したがって、第1突出部71および第2突出部72を有するパッケージ2をより容易に製造することができる。
また、第1突出部71、第2突出部72および接続部材73が、平面視で重なっている。このため、ベース部材21の設計を容易にすることができる。
また、前述したように、規制部材7は、主としてガラスを含む材料で構成されており、絶縁性を有している。規制部材7が絶縁性を有することで、第1基板3、ベース部材21および第2基板9間での規制部材7を介した短絡を防止または低減することができる。また、規制部材7が主としてガラスを含む材料で構成されていることで、第1基板3、ベース部材21および第2基板9間での熱伝達をより低減することができる。また、主としてガラスを含む材料を用いることで、形状が変形し難い規制部材7を形成することができる。
なお、本実施形態では、規制部材7は、主としてガラスを含む材料で構成されているが、規制部材7は、少なくとも表面が絶縁性を有するものであれば特に限定されず、例えば、樹脂材料を主として含む材料で構成されていてもよい。
このような規制部材7は、例えば、図4に示すような、2つの治具81、82を用いて形成することができる。2つの治具81、82のうちの一方の治具81は、上面に開口した凹部811を有する。また、他方の治具82は、上面および下面に貫通した貫通孔821を有する。
まず、治具81の凹部811と治具82の貫通孔821がそれぞれベース部材21の貫通孔211と平面視で重なるように、ベース部材21を挟むようにしてベース部材21に対して治具81、82を配置する。そして、貫通孔821、貫通孔211および凹部811で構成された穴に、主としてガラスを含む材料を溶融して入れた後、これを硬化させる。これにより、第1突出部71、接続部材73および第2突出部72が一体である規制部材7を形成することができる。
このようにして規制部材7を形成すると、貫通孔821側では、主としてガラスを含む材料は、表面張力により球面状に盛り上がった状態で硬化される。そのため、上記方法によれば、球面状の表面を有する第2突出部72を容易に形成することができる。
一方、凹部811側では、主としてガラスを含む材料が、凹部811の平坦な底面に追従した状態で硬化される。よって、図3に示すように、上端を除く部分が球面状をなし、上端が平坦面をなす第1突出部71が形成される。
特に、規制部材7を構成する材料として、主としてガラスを含む材料を用いることで、上記のような方法によって、球面状の表面を有する第1突出部71および第2突出部72を容易に形成することができる。
<第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図5は、本発明の第2実施形態に係る電子部品用パッケージが有する規制部材を示す断面図である。
本実施形態に係る電子部品用パッケージは、規制部材の構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。
なお、以下の説明では、第2実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図5では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図5に示すパッケージ2Aが有する規制部材7Aは、第1突出部71Aと第2突出部72との構成がほぼ同等になっている。
具体的には、第1突出部71Aの外表面711Aの全体が、球面状をなし、第1突出部71Aの突出高さT1と第2突出部72の突出高さT2とが、ほぼ同等である。
本実施形態では、第1突出部71Aの外表面711Aが、第2突出部72の外表面721と同様に球面状をなすことで、第1基板3に対する第1突出部71Aの接触面積をより小さくすることができる。そのため、第1突出部71Aを介した第1基板3とベース部材21との間の熱伝達をより低減することができる。
なお、本実施形態では、第1突出部71Aの外表面711A全体は、球面状であったが、外表面711Aは、全てが球面状でなく、外表面711Aのうちの第1基板3と当接する部分が、少なくとも球面状をなしていれば、前述した効果と同等の効果を発揮することができる。
また、外表面711Aが全て球面状をなす第1突出部71Aの形成では、第1実施形態で用いた治具81(底面が平坦面である凹部を有する治具81)の代わりに、球面状に凹没した治具(図示せず)を用いればよい。
このようなパッケージ2Aによっても、第1基板3がベース部材21に接触することを低減することができる。
<第3実施形態>
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
図6は、本発明の第3実施形態に係る電子部品用パッケージが有する規制部材を示す断面図である。
本実施形態に係る電子部品用パッケージは、規制部材の構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。
なお、以下の説明では、第3実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図6では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図6に示すパッケージ2Bが有する規制部材7Bでは、ベース部材21の平面視において、第1突出部71Bの面積が、第2突出部72の面積よりも小さくなっている。また、第1実施形態における第1突出部71の突出高さT1に比べ、本実施形態における第1突出部71Bの突出高さT1がさらに低くなっている。
なお、第1突出部71Bは、平面視において、接続部材73の中央部に位置している。
このように、平面視における第1突出部71Bの面積をより小さくすることで、曲率半径をより小さくすることができ、よって、第1基板3に対する第1突出部71Bの接触面積を比較的小さくすることができる。そのため、第1突出部71Bを介した第1基板3とベース部材21との熱伝達をより低減することができる。
また、第1突出部71Bの突出高さT1をさらに低くすることで、パッケージ2Bの更なる低背化を図ることができる。
このようなパッケージ2Bによっても、第1基板3がベース部材21に接触することを低減することができる。
<第4実施形態>
次に、本発明の第4実施形態について説明する。
図7は、本発明の第4実施形態に係る電子部品用パッケージを備える発信器を示す断面図である。図8は、本発明の第4実施形態に係る電子部品用パッケージの変形例を示す断面図である。
本実施形態に係る電子部品用パッケージは、規制部材の構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。
なお、以下の説明では、第4実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図7および図8では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図7に示す発振器1Cが有するパッケージ2Cは、複数(本実施形態では4つ)の第1規制部材7C1と、複数(本実施形態では4つ)の第2規制部材7C2と、を有する。
複数の第1規制部材7C1と複数の第2規制部材7C2とは、それぞれ、ベース部材21の周縁部(具体的にはベース部材21の角部)に設けられている。
第1規制部材7C1は、第1突出部71Cと、ベース部材21の厚さ方向に貫通して形成された貫通孔211C内に充填されている充填部材74とを有する。第1突出部71Cおよび充填部材74は、一体で構成されている。
第2規制部材7C2は、第2突出部72Cと、ベース部材21の厚さ方向に貫通して形成された貫通孔211C内に充填されている充填部材75とを有する。第2突出部72Cおよび充填部材75は、一体で構成されている。
前述したように、パッケージ2Cでは、第1突出部71Cと第2突出部72Cとが、ベース部材21の平面視で、異なる位置に設けられている。このため、第1突出部71Cと第2突出部72Cとの間の熱の伝達経路を長くすることができる。そのため、第1突出部71Cおよび第2突出部72Cを介したパッケージ2C内外の熱の伝達を低減することができる。
なお、第1突出部71Cと第2突出部72Cとの配置は、図7に示す配置に限定されず、例えば、第1突出部71Cと第2突出部72Cとは、図8に示すように配置されていてもよい。すなわち、第1突出部71Cが、ベース部材21の角部に設けられており、第2突出部72Cが、ベース部材21の隣接する2つの角部の間(外周部の辺に沿った部分の途中)に設けられていてもよい。
このようなパッケージ2Cによっても、第1基板3がベース部材21に接触することを低減することができる。
<第5実施形態>
次に、本発明の第5実施形態について説明する。
図9は、本発明の第5実施形態に係る発振器が有する第1基板の一部を示す断面図である。図10は、本発明の第5実施形態に係る発振器が有する第1基板の変形例を示す断面図である。
本実施形態に係る発振器は、第1基板の構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。
なお、以下の説明では、第5実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図9では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図9に示す発振器1Dが有する第1基板3Dは、規制部材7Aが当接する部分に凹部31が形成されている。凹部31は、第1突出部71Aの上端部に対応した形状をなしている。このため、パッケージ2Aが有するベース部材21上に第1基板3Dを搭載すると、凹部31内に第1突出部71Aの上端部が配置される。これにより、第1基板3Dとベース部材21との間の距離をより小さくすることができ、よって、パッケージ2Aの低背化をさらに図ることができる。
上記では、第1基板3Dに凹部31が形成されている例を説明したが、例えば、第1基板3Dに、凹部31の代わりに、第1基板3Dの上面および下面の双方に開口している貫通孔が形成されていてもよい。また、上記では凹部31を第1突出部71Aの上端部に対応した形状としたが、凹部31の形状はこれに限定されない。
例えば、図10に示すように、第1基板3Dに、平面視において第1突出部71Aより面積が小さい貫通孔32が形成されていてもよい。この場合、貫通孔32の周囲の部分が第1突出部71Aに当接する。これにより、第1基板3Dと第1突出部71Aとが接触する面積を減らすことができる。そのため、第1基板3Dからベース部材21への熱の伝達をより低減することができる。また、凹部31の形成に比べて貫通孔32の形成の方が容易である。
2.電子機器
次に、本発明の発振器を備える電子機器について説明する。
図11は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1108を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、パッケージ2(電子部品用パッケージ)を有する発振器1が内蔵されている。
図12は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機1200は、アンテナ(図示せず)、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1208が配置されている。このような携帯電話機1200には、パッケージ2(電子部品用パッケージ)を有する発振器1が内蔵されている。
図13は、本発明の電子機器を適用したデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。
デジタルスチールカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。そして、撮影者が表示部1310に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押すと、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ1300には、パッケージ2(電子部品用パッケージ)を有する発振器1が内蔵されている。
このような電子機器は、パッケージ2(電子部品用パッケージ)を有する発振器1を備えているので、優れた信頼性を有している。
なお、本発明の電子機器は、図11のパーソナルコンピューター、図12の携帯電話機、図13のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計(スマートウォッチを含む)、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンタ)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、HMD(ヘッドマウントディスプレイ)等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレータ、ネットワークサーバー等に適用することができる。
3.移動体
次に、本発明の発振器を備える移動体について説明する。
図14は、本発明の発振器を備える移動体を適用した自動車を示す斜視図である。
図14に示す自動車1500は、車体1501と、4つの車輪1502と、を有しており、車体1501に設けられた図示しない動力源(エンジン)によって車輪1502を回転させるように構成されている。この自動車1500には、パッケージ2(電子部品用パッケージ)を有する発振器1が内蔵されている。
発振器1は、例えば、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。このように、自動車1500に、パッケージ2(電子部品用パッケージ)を有する発振器1を内蔵することで、信頼性の高い自動車1500が得られる。
4.基地局
次に、本発明の発振器を備える基地局について説明する。
図15は、本発明の基地局を適用した測位システムを示す概略構成図である。
図15に示す測位システム100は、GPS衛星200と、基地局300と、GPS受信装置400とで構成されている。
GPS衛星200は、測位情報(GPS信号)を送信する。
基地局300は、例えば電子基準点(GPS連続観測局)に設置されたアンテナ301を介してGPS衛星200からの測位情報を高精度に受信する受信装置302と、アンテナ303を介して受信装置302で受信した測位情報を送信する送信装置304とを備える。
ここで、基地局300が有する受信装置302は、その基準周波数発振源として、前述したパッケージ2(電子部品用パッケージ)を有する発振器1を備える電子装置である。このような受信装置302は、優れた信頼性を有する。また、受信装置302で受信された測位情報は、リアルタイムで送信装置304により送信される。
GPS受信装置400は、アンテナ401を介してGPS衛星200からの測位情報を受信する衛星受信部402と、アンテナ403を介して基地局300からの測位情報を受信する基地局受信部404とを備える。
以上、本発明の電子部品用パッケージ、発振器、電子機器および基地局を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
1…発振器、1C…発振器、1D…発振器、2…パッケージ、2A…パッケージ、2B…パッケージ、2C…パッケージ、3…第1基板、32…貫通孔、3D…第1基板、4…振動子、7…規制部材、7A…規制部材、7B…規制部材、7C1…第1規制部材、7C2…第2規制部材、9…第2基板、21…ベース部材、22…蓋部材、23…ピン部材、31…凹部、41…パッケージ、42…振動片、43…温度制御素子、44…集積回路、51…リードフレーム、61…回路部品、71…第1突出部、71C…第1突出部、71A…第1突出部、71B…第1突出部、72…第2突出部、72C…第2突出部、73…接続部材、74…充填部材、75…充填部材、81…治具、82…治具、211…貫通孔、211C…貫通孔、411…基体、412…シールリング、413…蓋体、414…凹部、711…外表面、711A…外表面、721…外表面、811…凹部、821…貫通孔、100…測位システム、200…GPS衛星、300…基地局、301…アンテナ、302…受信装置、303…アンテナ、304…送信装置、400…GPS受信装置、401…アンテナ、402…衛星受信部、403…アンテナ、404…基地局受信部、1100…パーソナルコンピューター、1102…キーボード、1104…本体部、1106…表示ユニット、1108…表示部、1200…携帯電話機、1202…操作ボタン、1204…受話口、1206…送話口、1208…表示部、1300…デジタルスチールカメラ、1302…ケース、1304…受光ユニット、1306…シャッターボタン、1308…メモリー、1310…表示部、1500…自動車、1501…車体、1502…車輪、S1…空間、S2…空間、T1…突出高さ、T2…突出高さ

Claims (13)

  1. 振動子を搭載している第1基板と、
    前記第1基板を収容しているパッケージと、
    前記振動子の温度を制御する温度制御素子と、を備え、
    前記パッケージは、
    ベース部材と、
    前記ベース部材の一方の面から突出し、前記第1基板に当接しており、絶縁性を有する第1突出部と、
    前記ベース部材の他方の面から突出し、絶縁性を有する第2突出部と、を有し、
    前記ベース部材には、絶縁性を有する部材で充填された貫通孔が設けられており、
    前記第1突出部および前記第2突出部は、前記部材と一体で構成されていることを特徴とする発振器。
  2. 前記ベース部材の平面視で、前記第1突出部と前記第2突出部とが重なっている、請求項1に記載の発振器。
  3. 前記ベース部材の平面視で、前記第1突出部と前記第2突出部とが重なっていない、請求項に記載の発振器。
  4. 前記ベース部材の平面視で、前記第1突出部の面積は、前記第2突出部の面積よりも小さい、請求項ないしのいずれか1項に記載の発振器。
  5. 前記第1突出部の突出高さは、前記第2突出部の突出高さよりも低い、請求項ないしのいずれか1項に記載の発振器。
  6. 前記第1基板は、前記第1突出部に当接する部分に凹部または貫通孔が設けられている、請求項ないしのいずれか1項に記載の発振器。

  7. 前記第1突出部および前記第2突出部の少なくとも一方は、球面状をなす表面を有する、請求項ないしのいずれか1項に記載の発振器。
  8. 振動子を搭載している第1基板と、
    前記第1基板を収容しているパッケージと、
    前記振動子の温度を制御する温度制御素子と、を備え、
    前記パッケージは、
    ベース部材と、
    前記ベース部材の一方の面から突出し、前記第1基板に当接しており、絶縁性を有する第1突出部と、を有し、
    前記第1基板は、前記第1突出部に当接する部分に凹部または貫通孔が設けられていることを特徴とする発振器。
  9. 前記第1基板および前記ベース部材を貫通し、前記第1基板と電気的に接続されており、導電性を有するピン部材を備える、請求項1ないしのいずれか1項に記載の発振器。
  10. 前記第1突出部は、ガラスを含む、請求項1ないしのいずれか1項に記載の発振器。
  11. 前記第1突出部を3つ以上有する、請求項1ないし10のいずれか1項に記載の発振器。
  12. 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の発振器を備えることを特徴とする電子機器。
  13. 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の発振器を備えることを特徴とする基地局。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7268394B2 (ja) * 2019-02-22 2023-05-08 セイコーエプソン株式会社 発振器、電子機器および移動体
JP2020178258A (ja) * 2019-04-19 2020-10-29 日本電波工業株式会社 水晶発振器及びその製造方法
CN112383289B (zh) * 2020-10-30 2024-05-28 梅州市高晶电子有限公司 一种抗干扰的石英晶体谐振器

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4298580B2 (ja) * 2003-09-24 2009-07-22 日本電波工業株式会社 恒温槽を用いた高安定用の水晶発振器
US20090051447A1 (en) 2007-08-24 2009-02-26 Mccracken Jeffrey A Ovenized oscillator
JP5826532B2 (ja) * 2010-07-15 2015-12-02 新光電気工業株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP5845014B2 (ja) 2010-09-14 2016-01-20 日本電波工業株式会社 表面実装型水晶発振器
CN102904545A (zh) * 2012-10-10 2013-01-30 日照汇丰电子有限公司 微小晶体谐振器
CN202872742U (zh) * 2012-11-08 2013-04-10 烟台福峰电子有限公司 晶体基座及采用该基座的石英晶体谐振器
CN103840788A (zh) * 2012-11-26 2014-06-04 苏州工业园区阳晨封装技术有限公司 储能焊陶瓷封装外壳及使用该外壳的晶体振荡器
JP6119294B2 (ja) * 2013-02-18 2017-04-26 セイコーエプソン株式会社 量子干渉装置、原子発振器および移動体
JP6179155B2 (ja) * 2013-03-27 2017-08-16 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器、および移動体
JP2015095790A (ja) 2013-11-13 2015-05-18 日本電波工業株式会社 圧電発振器
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