JP6555043B2 - 発光素子及び発光装置 - Google Patents
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Description
また、ある構成要素又は層が、他の構成要素又は層の「上に設けられている」といった場合、ある構成要素又は層は、直接的に他の構成要素又は層の上に設けられているか、あるいは介在する構成要素又は層が存在していることを意味する。
[光源装置の構成]
図1〜図7を参照して、本発明の第1実施形態に係る発光素子を備える発光装置を用いた光源装置2の構成について説明する。
このような光源装置2は、照明用途のほか、例えばカメラのフラッシュモジュール等の外部の装置ユニットに組み込むことができる。外部の装置ユニットとして、例えば、スマートフォン等のカメラ付き携帯端末機等を挙げることができる。
発光装置100は、発光素子1と、外部接続電極8と、を備え、周囲が光反射部材7bに覆われている。発光素子1は、例えば、発光面側に位置する透光性基板10と、透光性基板10の発光面の反対側の面に設けられた半導体積層体20とを含み、半導体積層体20の下面側には外部接続電極8が設けられている。なお、ここでは、発光素子1の概略を説明し、詳細は後記する。また、図1〜図4では、当該図面の説明において上面と呼ぶ側が、発光素子1の上面側に一致しており、図5〜図16では、当該図面の説明において上面と呼ぶ側が、発光素子1の下面側に一致している。
波長変換部材9は、下面が発光素子1の発光面に対向し、発光素子1の発光面の少なくとも一部を覆うように設けられている。波長変換部材9は、発光素子1が発する光の一部により励起され、発光素子1からの光と異なる波長の光を発する。波長変換部材9は、図1に示すように、発光素子1の発光面全体を覆い、かつ波長変換部材9の外周面(外側面)が発光素子1の外側面の外側に位置するように設けられる。波長変換部材9は、第1蛍光体層91と、第2蛍光体層92と、光透過部材93と、を含む。
光透過部材93は、第1蛍光体層91と第2蛍光体層92との間に同心円状に設けられている。これにより、第1蛍光体層91と第2蛍光体層92とを離間させることができるため、第1蛍光体層91と第2蛍光体層92から取り出された光のそれぞれをフレネルレンズ6で有効に利用することができる。光透過部材93を構成する透光性樹脂としては、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、メチルペンテン樹脂、ポリノルボルネン樹脂などの熱可塑性樹脂を用いることができる。特に、耐光性、耐熱性に優れるシリコーン樹脂が好適である。また、光透過部材93を用いる代わりに、例えば、Ag、Al、Pt、Rh、Ir又はこれらの金属を主成分とする合金を含む金属膜などの遮光部材を設けても良く、各蛍光体層91,92からの光を個別に取り出すことができる。また、光透過部材93を設けずに、第1蛍光体層91と第2蛍光体層92とが接していても良い。
光反射部材7a及び光反射部材7bは、発光素子1からの光に対する反射率が高く、例えば、反射率が70%以上のものを意味する。光反射部材7a,7bとしては、例えば透光性樹脂に、光反射性物質を分散させたものが使用できる。光反射性物質としては、例えば、酸化チタン、二酸化ケイ素、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ムライトなどが好適である。光反射性物質は、粒状、繊維状、薄板片状などが利用できるが、特に、繊維状のものは光反射部材7a及び光反射部材7bの熱膨張率を低くして、例えば、発光素子1との間の熱膨張率差を小さくできるので好ましい。光反射性樹脂に含まれる樹脂材料としては、特に、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性の透光性樹脂であるのが好ましい。
フレネルレンズ6は、一方の面(平坦面)から入射される光線を他方の面(同心円状に形成された凹凸面)から出射して前方に集光させる部材である。フレネルレンズ6は、そのレンズの中心が、波長変換部材9の第1蛍光体層91の中心、及び、発光素子1の第1半導体領域21の中心と略一致するように取り付けられる。フレネルレンズ6は、図1に示すように、波長変換部材9の第1蛍光体層91及び第2蛍光体層92の光出射面全体を覆うように設けられる。なお、フレネルレンズ6の外周縁は第2蛍光体層92の外側に位置するように配置されている。
[発光素子1]
図4〜図10に示すように、発光素子1は、透光性基板10と、半導体積層体20と、第1光反射層31pと、第2光反射層32pと、バリア層40と、層間絶縁膜50と、第1導電層61pと、第1n電極61nと、第2導電層62pと、第2n電極62nと、保護膜70と、を備えている。
保護膜70の上には、n側外部接続電極80n、第1p側外部接続電極81p及び第2p側外部接続電極82p(以下、まとめて外部接続電極8ともいう)が設けられる。
発光素子1は、図4、図5、図7〜図10及び図13に示すように、第2半導体領域22に、第2n電極62nを備えると共に、第2p側半導体層22p上に設けられた第2p電極として第2光反射層32pを備えている。
透光性基板10は、図4に示すように、平面形状が略正六角形である。透光性基板10には、例えば、サファイア(Al2O3)のような絶縁性材料や、窒化ガリウム(GaN)のような半導体材料を用いることができる。
半導体積層体20の第1半導体領域21は、図6に示すように、透光性基板10上に設けられたn側半導体層21nと、第1活性層21aと、第1p側半導体層21pとを、備えている。また、これらの半導体層は、それぞれ単層構造でもよいが、組成や膜厚の異なる積層構造であってもよい。特に、第1活性層21aは、単一量子井戸又は多重量子井戸構造であることが好ましい。
一方、第2半導体領域22の内縁には、透光性基板10の各辺、すなわち、六角形の各辺に対応する位置に凹み22cが設けられており、凹み22cは実質的に等間隔に配列されているのが好ましい。この凹み22cと、第1半導体領域21の外縁との間には、p側半導体層が設けられておらず、n側半導体層21n(図9参照)が露出している。なお、内縁の凹み22cは、外縁の凹み22dと同様に、露出されたn側半導体層21nに第2n電極62nを接続するための部位であって、内縁の凹み22cと外縁の凹み22dとが周方向に交互に配置されているため、第2半導体領域22により均一に電流を供給することができる。このとき内縁の凹み22cは、第1半導体領域21に隣接して配列されることになるため、第1半導体領域21における電流拡散にも寄与させることができる。この結果、第1半導体領域21において、孔21hの数を増やさず(発光領域を減らさず)に、発光強度分布を改善することができる。
第1光反射層31pは、第1導電層61pを介して供給される電流を、第1p側半導体層21pにより均一に拡散するための層である。また、第1光反射層31pは、良好な光反射性を有し、半導体積層体20からの光を、光取り出し面側に反射する層としても機能する。
第1光反射層31pは、図6に示すように、第1p側半導体層21pの上面の略全面に接続されている。この第1光反射層31pは、n側半導体層21nの孔21hに対応した位置には孔21hと同心円の開口を有している(図11参照)。ここで略全面とは、第1p側半導体層21pの上面における外縁及び孔21h近傍である内縁以外の領域をいう。例えば、第1光反射層31pは、第1p側半導体層21pの上面のうち90%以上の面に設けられているのが好ましい。
第2光反射層32pは、第1光反射層31pと同様の構成を備えているが、第1光反射層31pとは配置が異なっている。具体的には、第2光反射層32pは、図7〜図10に示すように、第2p側半導体層22pの上面の略全面に接続されている。この第2光反射層32pは、p側半導体層21pの凹み22d,22cに対応した位置には同形状の凹みを有している(図11参照)。このような第1光反射層31p及び第2光反射層32pは、それぞれ良好な光反射性を有する金属材料を用いることができ、例えば、Ag、Al、Pt、Rh、Ir又はこれらの金属を主成分とする合金を好適に用いることができる。また、第1光反射層31p及び第2光反射層32pは、これらの金属材料を単層で、又は積層したものが利用できる。
バリア層40は、第1光反射層31p及び第2光反射層32pを構成する金属材料のマイグレーションを防止するための層である。バリア層40は、図11に示すように、第1光反射層31p及び第2光反射層32pを被覆するように設けられている。詳細には、バリア層40は、図6に示すように、第1光反射層31p(第1p電極)の上面の一部及び側面を被覆するように設けられている。また、バリア層40は、図7〜図10に示すように、第2光反射層32p(第2p電極)の上面の一部及び側面を被覆するように設けられている。なお、平面視では、バリア層40の配置は、各p側半導体層21p,22pの配置と同じであることとした。このようなバリア層40としては、バリア性を有する金属酸化物や金属窒化物を用いることができ、例えば、Si、Ti、Zr、Nb、Ta、Alからなる群より選択された少なくとも一種の酸化物又は窒化物を用いることができる。また、バリア層40は、これらの金属材料を用いた酸化物又は窒化物を単層で、又は積層したものが利用できる。
層間絶縁膜50は、半導体積層体20上に設けられ、n側半導体層21nと接続された第1n電極61n及び第2n電極62nを、それぞれ各p側半導体層21p,22p上に延在させるための絶縁膜である。層間絶縁膜50は、図12に示すように、半導体積層体20のほぼ全面に設けられている。このうち第1半導体領域21では、層間絶縁膜50は、図6に示すように、バリア層40の上面及び側面と、n側半導体層21nの側面とに、設けられている。言い換えると、層間絶縁膜50は、孔21hの底面にてn側半導体層21nを露出するためのn側開口51nを有している。このn側開口51nが設けられた領域には、第1n電極61n(図14参照)が配置される。また、第1半導体領域21において、層間絶縁膜50は、p側開口511p,512pを有している。p側開口511p,512pは、第1p電極(第1光反射層31p)を露出するための開口である。図12に示すように、p側開口511pは円弧形状に形成されており、p側開口512pは、p側開口511pを取り囲むように円環形状に形成されている。ここで、p側開口512pの幅W2は、p側開口511pの幅W1よりも広くなるように形成されている。これらp側開口511p,512pが設けられた領域には、第1導電層61p(図14参照)が配置される。
第1n電極61nは、発光素子1の第1半導体領域21におけるnパッド電極である。第1n電極61nは、層間絶縁膜50を介して第1p電極(第1光反射層31p)上の一部に設けられている。第1n電極61nは、図6に示すように、孔21hを通じてn側半導体層21nと電気的に接続され、かつ層間絶縁膜50の上面まで延在している。第1n電極61nは、図13に示すように、第1半導体領域21上で複数の孔21hの配置領域に沿って延在し、複数の孔21hを一体的に接続している。このように第1n電極61nが、第1半導体領域21の面内において、広範囲に亘る箇所でn側半導体層21nと接続することにより、第1n電極61nを介して供給される電流を、第1半導体領域21のn側半導体層21nに均等に拡散できる。さらに、第1n電極61nは、図14に示すように、平面視(下面視)でn側外部接続電極80nが接続された部分から延在する2つの円弧部611n,612nを有している。円弧部611n,612nにおいてn側外部接続電極80nが接続された側(基端側)は、先端側よりも多くの電流が流れる。基端側における円弧部611n,612nの幅は、先端側における円弧部611n,612nの幅よりも広くなるように設けられている。すなわち、各円弧部611n,612nは、先細りの形状で設けられている。このように円弧部611n,612nの基端側を先端側よりも太くすることで、先端側への電流拡散を促進することができる。その結果、第1n電極61nとn側半導体層21nとを接続する各孔21hに供給される電流を均一化することができる。
第1導電層61pは、発光素子1の第1半導体領域21におけるpパッド電極である。第1導電層61pは、図6に示すように、バリア層40の開口で第1光反射層31pと電気的に接続され、層間絶縁膜50の上面まで延在している。第1導電層61pは、第1光反射層31pを介して第1p側半導体層21pと導通している。このように、第1導電層61pは、第1光反射層31pと共に第1p電極を構成することができる。さらに、第1導電層61pは、保護膜70のp側開口71pを通じて、シード層85を介して第1p側外部接続電極81pとも電気的に接続されている。
また上述したように、層間絶縁膜50は、p側開口512pの幅W2が、p側開口511pの幅W1よりも広くなるように形成されている。このため、図14に示すように、第1導電層61pが第1n電極61nの外側の領域(第1p側半導体層21pの外縁部に沿って複数の孔21hを結んだ線より外側の領域)で第1p電極(第1光反射層31p:図12参照)と接続される幅W2は、第1導電層61pが第1n電極61nの内側の領域(第1p側半導体層21pの外縁部に沿って複数の孔21hを結んだ線より内側の領域)で第1p電極(第1光反射層31p:図12参照)と接続される幅W1よりも広い。これに対して、幅W2と幅W1とが同じである場合、第1導電層61pにおいて、第1n電極61nの外側の領域は、第1n電極61nの内側の領域よりも電流が流れにくくなる傾向がある。しかしながら、幅W2を幅W1よりも広げることにより、第1導電層61pにおいて、第1n電極61nの外側の領域で流れる電流と、内側の領域で流れる電流とを均一化することができる。
第2n電極62nは、発光素子1の第2半導体領域22におけるnパッド電極である。第2n電極62nは、層間絶縁膜50を介して第2p電極(第2光反射層32p)上の一部に設けられ、かつ第1p側半導体層21pと第2p側半導体層22pとの間の領域でn側半導体層21nに接続されている。より具体的には、第2n電極62nは、第1p側半導体層21pと第2p側半導体層22pとの間の領域においてn側半導体層21nに接続された複数の内縁接続部621n(図5及び図9参照)を有している。n側半導体層21nは、内縁接続部621nを介して、第2p側半導体層22pの上に配置された第2n電極62nと接続されているため、第2半導体領域22に供給される電流を均一にすることができる。複数の内縁接続部621nは第2p側半導体層22pの内縁部に沿って配列されている。これにより、複数の内縁接続部621nは、第1p側半導体層21pの外縁部に隣接して配列されることになるため、第1p側半導体層21pの外縁部における電流拡散にも寄与させることができる。これに付随して、第1半導体領域21においてn側半導体層21nの上から第1p側半導体層21pを除去して形成する孔21hの個数を減らすことも可能であり、内縁接続部621nによって、発光領域を減らさずに、電流分布を均一化できる。さらに図12に示すように、層間絶縁膜50のn側開口53nが、第2半導体領域22の内縁の各凹み22cに対応した位置に設けられているので、複数の内縁接続部621nは、第1p側半導体層21pよりも第2p側半導体層22pに近い側に配置されている。これにより、第1p側半導体層21pに電流拡散させると共に、第2p側半導体層22pにおける電流拡散により強く寄与させることができる。
第2導電層62pは、発光素子1の第2半導体領域22におけるpパッド電極である。第2導電層62pは、図8に示すように、層間絶縁膜50のp側開口52pで第2光反射層32pと電気的に接続され、層間絶縁膜50の上面まで延在している。また、第2導電層62pは、第2光反射層32pを介して第2p側半導体層22pと導通している。このように、第2導電層62pは、第2光反射層32pと共に第2p電極を構成することができる。さらに、第2導電層62pは、保護膜70のp側開口721p,722pを通じて、シード層85を介して第2p側外部接続電極82pとも電気的に接続されている。
保護膜70は、半導体積層体20上に設けられ、パッド電極間の短絡から発光素子1を保護する絶縁膜である。保護膜70は、図15に示すように、外部接続電極8を配置する領域かつ第1半導体領域21上において、孔21hを避けた位置にn側開口71nを有すると共に、層間絶縁膜50のp側開口512pの一部に重なるようにp側開口71pを有する。第1半導体領域21上では、保護膜70のp側開口71pを通じて第1導電層61pは第1p側外部接続電極81p(アノード端子)と電気的に接続されている。つまり、このp側開口71pは電流注入箇所となっている。また、保護膜70のn側開口71nを通じて第1n電極61nはn側外部接続電極80n(カソード端子)と電気的に接続されている。つまり、このn側開口71nは電流引き出し箇所となっている。
n側外部接続電極80nは、図5に示すように、平面視(下面視)で矩形の発光素子1の一方の辺の側(図5において左)に設けられている。また、第1p側外部接続電極81pは、前記一方の辺に対向した他方の辺の側(図5において右上)に設けられている。さらに、第2p側外部接続電極82pも、他方の辺の側(図5において右下)に設けられている。
また、発光素子1の表面において、第1p側外部接続電極81p及び第2p側外部接続電極82pを合わせたp側の外部接続電極は、n側外部接続電極80nに対して略左右対称に配置されている。
さらに、発光素子1の表面において、第1p側外部接続電極81pと第2p側外部接続電極82pとは、略上下対称に配置されている。
外部接続電極8の材料としては、Cu、Au、Niなどの金属を好適に用いることができ、これらの金属材料を含む単層で、又は積層したものを利用できる。外部接続電極8は、電解メッキ法により形成することができる。
次に、図1〜図10を参照して、発光装置100の動作について説明する。
発光装置100は、第1p側外部接続電極81p及びn側外部接続電極80nに、実装基板を介して外部電源が接続されると、発光素子1の第1p電極(第1光反射層31p)及び第1n電極61n間に電流が供給される。これにより、発光素子1の第1活性層21aが発光する。この光は、半導体積層体20の第1半導体領域21内を伝播して、発光素子1の上面又は側面(図2参照)から外部に取り出される。なお、発光素子1内を下方向に伝播する光は、第1光反射層31pによって反射され、発光素子1の上面から外部に取り出される。
これに対して、発光装置100では、第1半導体領域21(第1発光部)と第2半導体領域22(第2発光部)とに、異なるn電極(第1n電極61n、第2n電極62n)がそれぞれ接続されている。
これにより、発光素子1では、第1半導体領域21における第1n電極61nから第1p電極(第1光反射層31p)までの電流経路と、第2半導体領域22における第2n電極62nから第2p電極(第2光反射層32p)までの電流経路と、を揃えることができる。そのため、発光素子1は、従来の発光素子よりも電流の偏りを軽減することができる。したがって、発光素子1における電流密度の偏りを軽減できる結果、この発光素子1を用いた発光装置100は、発光強度分布を改善することができる。
また、光源装置2において、発光素子1の第1半導体領域21と第2半導体領域22とを同時に発光させた場合、波長変換部材9から白色光と橙色光との両方が出射され、フレネルレンズ6がこれらの光を集光する。これにより、光源装置2は、演色性の優れた、より自然な白色光に調光することができる。
また、発光素子1は、周囲を光反射部材7bで覆っている。そのため、発光素子1は、円形の第2発光部に対して、外縁形状を、四角形よりも円形に近づけた六角形にした方が、フレネルレンズ6との相性がさらに良くなると共に、第2発光部から光反射部材7bまでの距離を近づけることができるので、光取り出し面側に効率よく光を反射できる。
図16及び図17に示すように、第2実施形態に係る発光素子1B及び発光装置100Bでは、2つの半導体積層体を備える点が第1実施形態に係る発光素子1及び発光装置100と相違している。以下では、発光装置100と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
発光装置100Bは、発光素子1Bと、外部接続電極8(n側外部接続電極80n、第1p側外部接続電極81p、第2p側外部接続電極82p)とを備えている。
第2半導体積層体22Bは、図17において左側に示すように、透光性基板10上に設けられた第2n側半導体層22nと、第2活性層22aと、第2p側半導体層22pとを、備えている。
第2n側半導体層22nは、平面視で第1半導体積層体21Bの周囲に設けられている。
第2p側半導体層22pは、図17に示すように、第2n側半導体層22nの内縁部221nよりも外側(図17において左側)に設けられている。
第2p側半導体層22pは、第2n側半導体層22nの外縁部220nよりも内側(図17において右側)に設けられている。
図17に示すように、発光素子1Bは、第1半導体積層体21B(第1発光部)と、第2半導体積層体22B(第2発光部)との間において、透光性基板10の上から、p側半導体層、活性層及びn側半導体層が除去され、透光性基板10上に、半導体層を介在させずに層間絶縁膜50等が積層されて構成される。
第2n電極62nは、第2n側半導体層22nの内縁部221nに接続された複数の内縁接続部621n(図16及び図17参照)を有している。複数の内縁接続部621nは第2p側半導体層22pの内縁部に沿って配列されている。
第2n電極62nは、第2n側半導体層22nの外縁部220nに接続されている複数の外縁接続部622n(図16参照)を備えている。外縁接続部622nは、透光性基板10の角部、すなわち、第2p側半導体層22pの外縁における六角形の各頂点に対応する角部にそれぞれ配置されている。
また、発光装置100Bは、第1半導体積層体21Bと、第2半導体積層体22Bとが透光性基板10上で分離して設けられているため、各n側半導体層21n,22n内を横方向に伝搬する光を分離端面21e,22e(図17参照)で反射させることができる。これにより、発光素子1Bの光取り出し面側(図17において下側)に第1蛍光体層91及び第2蛍光体層92が設けられた場合、第1蛍光体層91と第2蛍光体層92とをより選択的に発光させることができる。
1,1B 発光素子
2 光源装置
6 フレネルレンズ
7a,7b 光反射部材
8 外部接続電極
80n n側外部接続電極
81p 第1p側外部接続電極
82p 第2p側外部接続電極
85 シード層
9 波長変換部材
91 第1蛍光体層
92 第2蛍光体層
93 光透過部材
10 透光性基板
20 半導体積層体
21 第1半導体領域
21B 第1半導体積層体
21n n側半導体層(第1n側半導体層)
21a 第1活性層
21p 第1p側半導体層
21h 孔
22 第2半導体領域
22B 第2半導体積層体
22n 第2n側半導体層
22a 第2活性層
22p 第2p側半導体層
22c,22d 凹み
21e,22e 端面
210n n側半導体層の外縁部
220n 第2n側半導体層の外縁部
221n 第2n側半導体層の内縁部
31p 第1光反射層(第1p電極)
32p 第2光反射層(第2p電極)
40 バリア層
50 層間絶縁膜
511p,512p,52p p側開口
51n,53n,54n n側開口
61n 第1n電極
611n,612n 円弧部
61p 第1導電層(第1p電極)
62n 第2n電極
621n 内縁接続部
622n 外縁接続部
62p 第2導電層(第2p電極)
70 保護膜
71n,72n n側開口
71p,721p,722p p側開口
Claims (19)
- 透光性基板と、
前記透光性基板上の一部に設けられた第1n側半導体層と、前記第1n側半導体層上に設けられた第1p側半導体層と、を有しており、前記第1p側半導体層に孔が設けられている第1半導体積層体と、
前記透光性基板上であって、平面視で前記第1半導体積層体の周囲に設けられた第2n側半導体層と、前記第2n側半導体層の内縁部よりも外側に設けられた第2p側半導体層と、を有している第2半導体積層体と、
前記第1n側半導体層上、前記第2n側半導体層上、前記第1p側半導体層上及び前記第2p側半導体層上に設けられた層間絶縁膜と、
前記第1p側半導体層上に設けられた第1p電極と、
前記第1p電極上の一部に前記層間絶縁膜を介して設けられ、かつ前記孔を通じて前記第1n側半導体層と接続された第1n電極と、
前記第2p側半導体層上に設けられた第2p電極と、
前記第2p電極上の一部に前記層間絶縁膜を介して設けられ、かつ前記第2n側半導体層の内縁部に接続された第2n電極と、を有することを特徴とする発光素子。 - 透光性基板と、
前記透光性基板上に設けられた1つのn側半導体層と、
前記n側半導体層上の一部に設けられ、孔を有する第1p側半導体層と、
前記n側半導体層上であって、平面視で前記第1p側半導体層の周囲に設けられた第2p側半導体層と、
前記n側半導体層上、前記第1p側半導体層上及び前記第2p側半導体層上に設けられた層間絶縁膜と、
前記第1p側半導体層上に設けられた第1p電極と、
前記第1p電極上の一部に前記層間絶縁膜を介して設けられ、かつ前記孔を通じて前記n側半導体層と接続された第1n電極と、
前記第2p側半導体層上に設けられた第2p電極と、
前記第2p電極上の一部に前記層間絶縁膜を介して設けられ、かつ前記第1p側半導体層と前記第2p側半導体層との間の領域で前記n側半導体層に接続された第2n電極と、を有することを特徴とする発光素子。 - 前記孔を複数有し、複数の前記孔は、前記第1p側半導体層の外縁部に沿って配列されている請求項1又は請求項2に記載の発光素子。
- 前記第1n電極は、複数の前記孔の配列方向に沿って延在し、複数の前記孔を一体的に接続している請求項3に記載の発光素子。
- 前記第1p電極は、
前記第1p側半導体層の上面の略全面に設けられた第1光反射層と、
前記第1光反射層上に前記層間絶縁膜を介して設けられ、平面視で前記第1p側半導体層の外縁部に沿って複数の前記孔を結んだ線よりも内側及び外側のそれぞれの領域に、前記第1p側半導体層の外縁形状に沿って前記第1光反射層と接続される第1導電層と、を含み、
前記第1導電層が前記外側の領域で前記第1光反射層と接続される幅は、前記内側の領域で前記第1光反射層と接続される幅よりも広い請求項4に記載の発光素子。 - 前記第1p側半導体層は、平面視における外縁の形状が円形である請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記第2n電極は、前記第2n側半導体層の内縁部に接続された複数の内縁接続部を有し、
前記複数の内縁接続部は、前記第2p側半導体層の内縁部に沿って配列されている請求項1に記載の発光素子。 - 前記複数の内縁接続部は、前記第1p側半導体層よりも前記第2p側半導体層に近い側に配置されている請求項7に記載の発光素子。
- 前記第2p側半導体層は、平面視における外縁の形状が六角形であり、かつ前記第2n側半導体層の外縁部よりも内側に設けられ、
前記第2n電極は、前記第2n側半導体層の外縁部に接続されている複数の外縁接続部を備え、
前記外縁接続部は、前記六角形の各頂点に対応する角部にそれぞれ配置されている請求項7又は請求項8に記載の発光素子。 - 前記第2n電極は、前記内縁接続部と前記外縁接続部とが周方向に交互に配置されている請求項9に記載の発光素子。
- 前記第2n電極は、前記n側半導体層に接続された複数の内縁接続部を有し、
前記複数の内縁接続部は、前記第2p側半導体層の内縁部に沿って配列されている請求項2に記載の発光素子。 - 前記複数の内縁接続部は、前記第1p側半導体層よりも前記第2p側半導体層に近い側に配置されている請求項11に記載の発光素子。
- 前記第2p側半導体層は、平面視における外縁の形状が六角形であり、かつ前記n側半導体層の外縁部よりも内側に設けられ、
前記第2n電極は、前記n側半導体層の外縁部に接続されている複数の外縁接続部を備え、
前記外縁接続部は、前記六角形の各頂点に対応する角部にそれぞれ配置されている請求項11又は請求項12に記載の発光素子。 - 前記第2n電極は、前記内縁接続部と前記外縁接続部とが周方向に交互に配置されている請求項13に記載の発光素子。
- 請求項4又は請求項5に記載の発光素子において、
前記第1n電極の上面に保護膜が設けられており、
前記透光性基板とは反対側に、一部が前記保護膜上に設けられ前記第1n電極に接続されたn側外部接続電極が設けられており、
前記第1n電極は、平面視で前記n側外部接続電極が接続された部分から延在する2つの円弧部を有し、
前記n側外部接続電極が接続された側における前記円弧部の幅は、先端側における前記円弧部の幅よりも広い発光装置。 - 請求項1乃至請求項14に記載の発光素子において、
前記第1n電極の上面と、前記第1p電極の上面と、前記第2n電極の上面と、前記第2p電極の上面とに保護膜が設けられており、
前記透光性基板とは反対側に、一部が前記保護膜上に設けられた外部接続電極が設けられており、
前記外部接続電極は、
前記第1n電極と前記第2n電極とに接続されたn側外部接続電極と、
前記第1p電極に接続された第1p側外部接続電極と、
前記第2p電極に接続された第2p側外部接続電極と、を有する発光装置。 - 前記発光素子の前記第2p電極は、
前記第2p側半導体層の上面の略全面に接続された第2光反射層と、
前記第2光反射層上に設けられ、かつ前記第2p側外部接続電極が接続された第2導電層と、
を含む請求項16に記載の発光装置。 - 前記発光素子の前記透光性基板側に波長変換部材を備え、
前記波長変換部材は、平面視において、
前記第1p側半導体層を覆う第1蛍光体層と、
前記第1蛍光体層の周囲に設けられ、かつ前記第2p側半導体層を覆う第2蛍光体層と、を含む請求項15乃至請求項17のいずれか一項に記載の発光装置。 - 前記波長変換部材の前記透光性基板とは反対の面側に設けられたフレネルレンズを備える請求項18に記載の発光装置。
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