JP6550592B2

JP6550592B2 - 電子部品装着装置

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Publication number: JP6550592B2
Application number: JP2016179067A
Authority: JP
Inventors: 奥田　修; 修奥田; 一信酒井; エイリワタリ
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2016-09-14
Filing date: 2016-09-14
Publication date: 2019-07-31
Anticipated expiration: 2036-09-14
Also published as: JP2018046122A

Description

本発明は、ノズルの吸引孔に負圧を作用させることにより電子部品を保持して基板に装着する電子部品装着装置に関するものである。

基板に電子部品を装着して実装基板を生産する部品実装分野においては、電子部品装着装置の装着ヘッドに備えられたノズルによって電子部品を負圧により吸着して保持する方法が広く用いられている。この種の電子部品装着装置では、装着ヘッドが備えたノズルシャフトに設けられたノズルホルダにノズルを交換自在に装着できるように構成されており、これにより作業対象となる電子部品の形状やサイズに応じたノズルの種類を変更や、メンテナンスなどのためにノズルを脱着することが可能になっている。そしてこれらのノズルには、吸引した空気中の異物を濾過するためのフィルタが内蔵されている（例えば特許文献１，２参照）。

特許文献１に示す先行技術においては、ヘッド本体部２０の下端がノズルホルダとなっており、ヘッド本体部２０の通気口２０ａが下端に開口する位置に形成されたフィルタホルダ２２に、ノズル２１から吸引した空気を濾過するためのフィルタ３０を着脱自在に装着した例が記載されている。また特許文献２に示す先行技術では、ノズルホルダに装着される真空吸着ノズル２において吸着軸部（一端部２ｃ）を突出させて収納する収納部が設けられたノズル本体部（フランジ３）の内部にフィルタ４を収納する構成が記載されている。

特開２００８−３４４１０号公報特開２０１２−１４３８６１号公報

上述の特許文献例に示す先行技術には、異物の濾過用のフィルタの装着構造に起因して以下のような課題があった。まず先行技術においては、ノズルの内部にフィルタを装着する構成となっていることから、フィルタの形状やサイズの制約が避け難く、小サイズのフィルタを狭隘な部位に装着する構造にならざるを得ない。この結果、フィルタに十分な濾過面を確保することができないために使用寿命が短くなると云う濾過性能に関する難点とともに、メンテナンスや交換のための着脱時の作業性が悪いという課題があった。加えて部品装着分野では電子部品の微細化が進展し、これにより電子部品を保持するノズルやノズルを保持するノズルホルダを従来よりもさらに小径・小型化することが求められるようになっている。しかしながら上述の特許文献例を含め、従来技術にはこのような要請を実現するための構成は開示されておらず、新たな方策が求められていた。

そこで本発明は、電子部品を負圧により保持するノズルをノズルホルダに着脱自在に保持させ、ノズルから吸い込んだ空気を濾過するフィルタを有するカートリッジを備えた構成において、ノズルホルダの小型化とともにカートリッジのノズルホルダへの収納および取り出しを容易にすることができる電子部品装着装置を提供することを目的とする。

本発明の電子部品装着装置は、先端部に開口した吸引孔に負圧を作用させて電子部品を保持するノズルと、下端部に前記ノズルを着脱自在に保持するノズルホルダを有するメインシャフトと、前記ノズルから吸い込んだ空気をろ過するフィルタを有するカートリッジとを備えた電子部品装着装置であって、前記ノズルホルダは、入り口から前記カートリッジを挿入して収納する挿入孔と、前記挿入孔に負圧を導入する通気孔とを有する筒状のホルダ筒部と、前記挿入孔の入り口を塞ぐ状態で前記挿入孔に挿入された前記ノズルの被係合部に係合する係合部が形成されたクランプレバーとを有し、前記クランプレバーは、前記ノズルが前記ノズルホルダから取り外されたときは前記挿入孔の半径方向に沿って前記挿入孔側に変位して挿入孔内のカートリッジが抜けるのを防止する。

本発明によれば、電子部品を負圧により保持するノズルをノズルホルダに着脱自在に保持させ、ノズルから吸い込んだ空気を濾過するフィルタを有するカートリッジを備えた構成において、ノズルホルダの小型化とともにカートリッジのノズルホルダへの収納および取り出しを容易にすることができる。

本発明の一実施の形態の電子部品装着装置の全体構成を示す斜視図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられる装着ヘッドの構成説明図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられる装着ヘッドの部分断面図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトにおけるノズルホルダの正面図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトにおけるノズルホルダの側面図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトにおけるノズルホルダの断面図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトにおけるノズルホルダの斜視図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトにおけるノズルホルダのホルダ筒部の断面図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトにおけるノズルホルダの断面図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるノズルホルダにおけるカートリッジ取り外し状態を示す断面図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトのシャフト連結部の部分側面図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトのシャフト連結部の構成を示す部分斜視図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトのシャフト連結部の部分断面図本発明の一実施の形態の電子部品装着装置に用いられるメインシャフトのシャフト連結部の機能説明図

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１を参照して、電子部品装着装置１の構造を説明する。以下、基板の搬送方向をＸ方向、Ｘ方向と水平面内において直交する方向をＹ方向、ＸＹ平面に対して直交する方向をＺ方向、Ｚ方向を軸として回転する水平面内の方向をθ方向と定義する。電子部品装着装置１は、ノズルの吸引孔に負圧を作用させて電子部品を真空吸着により保持して基板に装着する機能を有する。図１において、基台１ａの中央部には、Ｘ方向に延びた一対の搬送コンベアを備えた基板搬送機構２が配設されている。基板搬送機構２は部品装着対象の基板３を上流側装置から受け取って搬送し、以下に説明する部品搭載機構による装着作業位置に位置決め保持する。

基板搬送機構２の両側方には、部品供給部４が配設されている。部品供給部４は、フィーダテーブル４ａ上に複数のテープフィーダ５を並設して構成されている。テープフィーダ５は、基板３に装着される電子部品を収納したキャリアテープをピッチ送りすることにより、装着対象の電子部品を部品搭載機構の装着ヘッド８による取り出し位置に供給する。

次に、部品搭載機構について説明する。基台１ａのＸ方向の端部には、リニア駆動機構を備えたＹ軸ビーム６が配設されており、Ｙ軸ビーム６にはリニア駆動機構を備えたＸ軸ビーム７がＹ方向に移動自在に装着されている。Ｘ軸ビーム７にはプレート部材９がＸ方向に移動自在に装着されており、プレート部材９には装着ヘッド８が保持フレーム１０を介して装着されている。

装着ヘッド８は、基板３に装着される電子部品Ｐ（図４参照）をノズル２０（図２、図４参照）によって部品供給部４からピックアップして保持する機能を有している。ノズル２０としては、先端部に開口した吸引孔に負圧発生源によって発生された負圧を作用させて電子部品Ｐを保持する吸着ノズルが用いられている。装着ヘッド８は、Ｙ軸ビーム６、Ｘ軸ビーム７を駆動することによりＸ方向、Ｙ方向へ水平移動し、ノズル２０に保持された電子部品Ｐを基板搬送機構２に位置決め保持された基板３に装着する。

次に、図２、図３を参照して、装着ヘッド８の構造を説明する。図２において、装着ヘッド８は、保持フレーム１０と保持フレーム１０に固定されるカバー８ａによって側面と上面が覆われた構造を有している。保持フレーム１０の下部には、ロータ保持部１１が水平方向に延出して設けられている。ロータ保持部１１には、ロータである円柱形のメインシャフト保持部１２が、ベアリング１１ａを介してＺ方向の回転軸ＣＬを軸心として回転自在に保持されている（図３参照）。

メインシャフト保持部１２には、回転軸ＣＬ廻りの同心配置で複数のメインシャフト１５が、昇降機構２５によって昇降可能な状態で保持されている。メインシャフト１５は、下端部にノズル２０を着脱自在に保持するノズルホルダ１９を有している。本実施の形態においてメインシャフト１５は、メインシャフト保持部１２を昇降させる昇降機構２５に連結する第１シャフト１７（メインシャフト上部）と、第２シャフト１８（メインシャフト下部）とに分割されている。第２シャフト１８は、ノズルホルダ１９とメインシャフト保持部１２に保持される部分とを含んだ構成となっている。第１シャフト１７と第２シャフト１８は、第１シャフト１７の下端部に設けられたシャフト連結部１６を介して連結される（図１１，図１２参照）。

メインシャフト保持部１２の上面には、回転軸ＣＬを軸心とする保持体従動ギア１３が固着されており、ロータ保持部１１の上方にはインデックス駆動モータ１４が配設されている。インデックス駆動モータ１４には、保持体従動ギア１３と噛合するインデックス駆動ギア１４ａが装着されている。インデックス駆動モータ１４を駆動することによりインデックス駆動ギア１４ａを介して保持体従動ギア１３が駆動され、これによりメインシャフト保持部１２は保持体従動ギア１３とともにインデックス回転する（矢印ａ）。

図２において、保持フレーム１０の上部には、円筒カム２２を固定するカム保持部２１が水平方向に延出して設けられている。円筒カム２２の外周面にはガイド溝２２ａが設けられている。ガイド溝２２ａは、保持フレーム１０とは反対側が高く、保持フレーム１０に近づくにつれて緩やかに低くなるように設けられている。各メインシャフト１５の第１シャフト１７に取り付けられたカムフォロア２３は、ガイド溝２２ａに沿って移動できるように円筒カム２２に装着されている。メインシャフト保持部１２がインデックス回転すると、メインシャフト１５はこれに倣って水平方向に周回移動しながら円筒カム２２のガイド溝２２ａに沿って上下運動する。円筒カム２２は、ガイド溝２２ａが最も低くなる箇所で一部が切除されており、その切除箇所ではガイド溝２２ａは途切れている。

保持フレーム１０と円筒カム２２の間には、昇降機構２５が配設されている。昇降機構２５は、Ｚ方向に延びたねじ軸２４ａ、ねじ軸２４ａを回転駆動する昇降モータ２４、ねじ軸２４ａに螺合するナット２４ｂを含んで構成されている。ナット２４ｂには、円筒カム２２の切除箇所に沿って昇降移動可能なカムフォロア保持具２４ｃが設けられている。カムフォロア保持具２４ｃは、昇降モータ２４の駆動によってナット２４ｂとともに昇降する。カムフォロア保持具２４ｃは、切除箇所で途切れたガイド溝２２ａを補完する形状を有している。

ガイド溝２２ａに沿って移動してきたカムフォロア２３はこの位置でガイド溝２２ａから外れ、ガイド溝２２ａと同じ高さ位置で待機するカムフォロア保持具２４ｃに乗り移って保持される。この状態で昇降モータ２４が駆動されると、カムフォロア保持具２４ｃおよびカムフォロア２３は、カムフォロア２３とともに昇降する（矢印ｂ）。図３に示すように、第１シャフト１７の上端部には、略Ｌ字状のジョイント部１７ａがθ方向に回転自在に装着されており、ジョイント部１７ａには、カムフォロア２３が水平方向を軸心とする回転軸を外側に向けて取り付けられている。この構成により、カムフォロア２３が昇降するとジョイント部１７ａを介して結合された第１シャフト１７が昇降し、したがって第１シャフト１７とシャフト連結部１６を介して連結された第２シャフト１８の下端部のノズルホルダ１９に保持されたノズル２０が昇降する（矢印ｃ）。

すなわち、カムフォロア保持具２４ｃがカムフォロア２３を保持するメインシャフト１５の位置は、当該メインシャフト１５がノズル２０によって電子部品Ｐを吸着して取り出すため、また保持した電子部品Ｐを基板３に装着するために昇降する昇降位置Ｍとなっている。ロータ保持部１１には、ノズル２０に保持された電子部品Ｐを下方から撮像するための部品認識部２６が設けられている。部品認識部２６は、メインシャフト保持部１２に保持されたメインシャフト１５の下端部のノズル２０が、メインシャフト保持部１２のインデックス回転により部品認識位置Ｒに位置したタイミングにおいて、当該ノズル２０に保持された電子部品Ｐの状態を下方から撮像する機能を有している。

すなわち部品認識部２６は、部品認識位置Ｒの下方およびカメラ２６ａの下方にそれぞれ配設されたミラー２６ｂを有している。部品認識位置Ｒに位置するノズル２０に保持された電子部品Ｐの撮像光をこれらのミラー２６ｂによってカメラ２６ａに導くことにより、ノズル２０に保持された電子部品Ｐの画像が取得され、これらの取得画像を認識処理することにより、電子部品Ｐの識別や位置ずれ状態が認識される。電子部品Ｐを基板３に搭載する際は、部品認識部２６による電子部品Ｐの認識結果を加味し、装着ヘッド８におけるメインシャフト１５のθ方向位置や部品搭載機構によるＸＹ方向位置の装着位置補正が行われる。

次に図３を参照して、装着ヘッド８におけるメインシャフト１５の回転駆動系、吸引・排気系の構成を説明する。なお本実施の形態に示すメインシャフト１５は、カムフォロア２３、ジョイント部１７ａ、ノズル回転ギア３７および下端部にシャフト連結部１６を備えた第１シャフト１７と、下端部にノズルホルダ１９を有する第２シャフト１８とを、シャフト連結部１６を介して連結した構成となっている。

図３に示すように、メインシャフト１５の第２シャフト１８は、メインシャフト保持部１２を上下に貫通して設けられた貫通孔３０を挿通している。貫通孔３０の内径は第２シャフト１８の外径よりも大きく設定されており、第２シャフト１８が貫通孔３０を挿通した状態において、貫通孔３０の内部には空隙部３０ａが形成される。各貫通孔３０の上下両端部には軸受け部３１が装着されており、第２シャフト１８は軸受け部３１に摺動自在且つ気密に嵌合している。これにより、空隙部３０ａを外部に対して密封した状態で、メインシャフト１５の昇降および軸廻りの回転が可能となっている。

図３において、メインシャフト保持部１２の上面には、メインシャフト保持部１２の回転軸ＣＬを中心とする取り付け穴１２ａが設けられている。円筒カム２２を上下に貫く円柱状の回転体３５は、その先端部３５ａを取り付け穴１２ａにベアリング３５ｂを介して嵌入させることで、メインシャフト保持部１２に対して回転自在に配設されている。

回転体３５の上端部付近には、回転軸ＣＬを軸心とするθ回転従動ギア２８が固着されている。円筒カム２２の上方には、θ回転従動ギア２８と噛み合うθ回転駆動ギア２７ａが装着されたθ回転モータ２７が配置されている。θ回転従動ギア２８は、θ回転モータ２７の駆動によってθ回転駆動ギア２７ａを介してθ方向に回転する。これにより、回転体３５は、θ回転従動ギア２８とともにθ方向に回転する（矢印ｄ）。

回転体３５におけるメインシャフト保持部１２と円筒カム２２の間には、メインシャフト１５の昇降ストロークに対応させて上下方向に長く伸びたノズル駆動ギア３６が結合されている。各メインシャフト１５には、ノズル駆動ギア３６と噛み合う位置にノズル回転ギア３７が結合されている。各メインシャフト１５は、ノズル駆動ギア３６の駆動によってノズル回転ギア３７を介して一斉にθ方向に回転する（矢印ｅ）。このように、メインシャフト１５は、θ回転モータ２７の駆動によってθ方向に回転し、これにより、第２シャフト１８の下端部のノズルホルダ１９に保持されたノズル２０もθ方向に回転する（矢印ｆ）。

次に、装着ヘッド８の吸引・排気系について説明する。図３において、第２シャフト１８の内部には、下端部がノズル２０に通じるシャフト内孔１８ａが設けられている。シャフト内孔１８ａはノズルホルダ１９に設けられた通気孔４０ａ、フィルタ６２を介してノズル２０に設けられたノズル流路２０ｇ（図６参照）に連通する。シャフト内孔１８ａの上方には、上下の２つの軸受け部３１に挟まれた位置において第２シャフト１８の外周面に開口して空隙部３０ａと連通する開口部１８ｂが設けられている。開口部１８ｂは、メインシャフト１５が上下動しても上下の２つの軸受け３１に挟まれた空隙部３０ａの範囲内に位置する。

メインシャフト保持部１２の内部には、メインシャフト保持部１２の上部中央に設けられた取り付け穴１２ａの上面に開口した共通流路１２ｂが、回転軸ＣＬに沿う縦方向に設けられている。共通流路１２ｂは、取り付け穴１２ａに嵌入する回転体３５の内部に設けられた回転体内孔３５ｃに連通する。回転体内孔３５ｃは、回転体３５の上端部に接続された管２９を介して負圧発生源３３に通じている。負圧発生源３３を作動させることにより、回転体内孔３５ｃを介して共通流路１２ｂ内を吸引して負圧を付与することができる。したがって共通流路１２ｂは、ノズル２０に負圧を付与する負圧側流路となっている。

また共通流路１２ｂは、メインシャフト保持部１２の内部に設けられた流路切り替え部３２を介して各貫通孔３０の空隙部３０ａと連通している。流路切り替え部３２は、ノズル２０と連通するノズル側流路、すなわち空隙部３０ａと連通しさらに開口部１８ｂ、シャフト内孔１８ａおよびノズルホルダ１９を介して連通するノズル２０のノズル流路２０ｇの接続先を切り替える機能を有している。この接続先切り替え機能により、ノズル２０の接続先として、ノズル２０に負圧を付与するための負圧側流路である共通流路１２ｂと、ノズル２０に正圧を付与するための正圧側流路（図示省略）とのいずれかを選択して切り替える。このように流路切り替えを行うことにより、ノズル２０による電子部品Ｐの負圧による吸着保持と、保持した電子部品Ｐの正圧による離脱とを選択して実行させることができる。

次に図４〜図１０を参照して、メインシャフト１５を構成する第２シャフト１８の下端部に設けられたノズルホルダ１９の構成および機能について説明する。図４に示すように、第２シャフト１８の下端部に設けられたノズルホルダ１９は、ホルダ筒部４０、クランプレバー５０およびクランプレバー５０をホルダ筒部４０に対して付勢して固定するための支点バネ５８、クランプバネ５９を有している。ノズルホルダ１９の下端はホルダ筒部４０のノズル受け部４０ｂ（図７、図８も参照）となっており、ノズル２０をノズルホルダ１９に装着して保持させた状態では、ノズル２０の鍔部２０ｂの上面がノズル受け部４０ｂに当接する。そしてこの状態でノズル２０に負圧を付与することにより、先端部２０ａの吸着面に電子部品Ｐを保持する。

ここで図６を参照して、ノズルホルダ１９に保持されるノズル２０の構成を説明する。ノズルホルダ１９には、ノズル２０は電子部品Ｐを吸着保持する吸着孔２０ｆが設けられた先端部２０ａと、ノズルホルダ１９に着脱自在に装着される部位である被装着部２０ｃとを有し、ノズルホルダ１９への装着時にノズル受け部４０ｂに当接する鍔部２０ｂが側方に延出して設けられた構成となっている。

さらに被装着部２０ｃには上部側の端部に設けられた径大部２０ｄと、クランプレバー５０の係合部５７を係合させてノズル２０を固定するための被係合部２０ｅとが設けられている。ノズル２０の内部には先端部２０ａから被装着部２０ｃにかけて貫通したノズル流路２０ｇ（第１の吸引路）が、先端部２０ａに開口した吸着孔２０ｆに通じて設けられている。

そしてノズル２０は、ノズル流路２０ｇに導入された負圧によって先端部２０ａに電子部品Ｐを真空吸着により保持する。なお、ノズルホルダ１９において被装着部２０ｃの上方には、ノズル２０から吸引した空気を濾過するフィルタ６２を内部に保持するフィルタ保持体６１を有するカートリッジ６０が収納されている。

次に図７，図８を参照して、ホルダ筒部４０およびクランプレバー５０の形状および機能について説明する。図７に示すように、ホルダ筒部４０はノズル２０に設けられた被装着部２０ｃ（図６参照）が挿入される挿入孔４１を有する筒状の部材である。図７，図８（図７におけるＡ−Ａ断面）に示すように、挿入孔４１の一方の側面（図７における上面）には、挿入孔４１に通じる開口部４１ａが形成されている。

ホルダ筒部４０において開口部４１ａが形成された範囲の側面には、上側から第１の切り欠き部４２、第２の切り欠き部４３、第３の切り欠き部４４の３つの切り欠き部が形成されている。これらの切り欠き部は、ホルダ筒部４０の筒部を開口部４１ａと平行な面で部分的に切除した形状となっている。さらに第２の切り欠き部４３、第３の切り欠き部４４が形成された位置には、それぞれ支点バネ保持部４６、クランプバネ保持部４７が形成されている。開口部４１ａには、図７に示す形状のクランプレバー５０が一つ嵌着される。

クランプレバー５０は、挿入孔４１に挿入された被装着部２０ｃを、以下に説明する作用部５２に設けられた係合部５７によって係止する機能を有している。すなわち本実施の形態においては、挿入孔４１に挿入されたノズル２０の被装着部２０ｃに開口部４１ａを介して一つのクランプレバー５０の係合部５７を係合させるようにしている。このように単一のクランプレバー５０によってノズル２０を係止する構成とすることにより、ノズルホルダ１９の小形化が実現される。

クランプレバー５０は、上面にホルダ筒部４０において開口部４１ａが形成された部分の外周とほぼ同様の曲率の円周面を有し、開口部４１ａ、第１の切り欠き部４２、第２の切り欠き部４３、第３の切り欠き部４４に嵌入可能な平面形状を有する異形部材である。クランプレバー５０の詳細形状および機能を説明する。クランプレバー５０の中央部は支点部５１となっておいる。支点部５１には、第２の切り欠き部４３に嵌入可能な形状の張り出し部５１ａが両側に延出して設けられており、張り出し部５１ａの下面には支点支持部４５に当接してクランプレバー５０を揺動させる際の中心となる当接支点５６が設けられている。

支点部５１から下方へ延びた位置は作用部５２となっている。作用部５２には、第３の切り欠き部４４に嵌入可能な形状の張り出し部５２ａが両側に延出して設けられている。また作用部５２の下面には、挿入孔４１に挿入された被装着部２０ｃの被係合部２０ｅに係合する形状の係合部５７が設けられている（図６も参照）。さらに支点部５１から上側に延出した位置は操作部５３となっており、操作部５３には第１の切り欠き部４２に嵌入可能な形状の張り出し部５３ａが両側に延出して設けられている。

すなわち上記構成に示すように、クランプレバー５０は、支点部５１と、この支点部５１から下方へ延びた作用部５２と、支点部５１から上方向に延びた操作部５３とを有する構成となっている。そして上述のようにホルダ筒部４０の側面には、第１の切り欠き部４２、第２の切り欠き部４３、第３の切り欠き部４４の３つの切り欠き部が形成されており、クランプレバー５０の少なくとも一部がこれらの切り欠き部の内側に配置された構成となっている。このように、ホルダ筒部４０に形成された切り欠き部にクランプレバー５０の一部を配置することにより、ノズルホルダ１９の外形形状を小型化することが可能となっている。

支点部５１と操作部５３の間には、狭い溝形状の支点部側溝５４が設けられており、また作用部５２と支点部５１との間には、幅広の溝形状の作用部側溝５５が設けられている。図４，図５に示すように、クランプレバー５０のホルダ筒部４０への装着に際しては、まず張り出し部５３ａ、５１ａ、５２ａをそれぞれ第１の切り欠き部４２、第２の切り欠き部４３、第３の切り欠き部４４に嵌入させる。このとき、張り出し部５１ａの下面に設けられた当接支点５６が、第２の切り欠き部４３の切り欠き面である支点支持部４５（図７参照）に当接する。すなわちホルダ筒部４０には、第２の切り欠き部４３に当接支点５６を支持する支点支持部４５が設けられている。このようにホルダ筒部４０に設けられた第２の切り欠き部４３を、クランプレバー５０を支持するための支点支持部４５として用いることにより、ノズルホルダ１９の外形を小型化することができる。

支点部側溝５４、支点バネ保持部４６の外周には、これらを周回して螺旋状に巻き付けるコイルバネを用いた支点バネ５８が装着されている。支点バネ５８は、クランプレバー５０の支点部５１の当接支点５６を支点支持部４５に付勢する第２の弾性部材となっている。これによりクランプレバー５０は、支点部５１の当接支点５６を支点支持部４５に当接させた状態が保たれ、支点支持部４５によって当接支点５６を中心にして揺動可能に保持された状態となる。

このような構成により、クランプレバー５０が支点部５１の当接支点５６を中心に揺動することによって以下の機能が実現される。すなわち作用部５２側をホルダ筒部４０の内部側へ変位させることにより、作用部５２に形成された係合部５７をホルダ筒部４０の内部である挿入孔４１内に進出させる構造となっている。これに対し操作部５３側をホルダ筒部４０の内部側へ変位させると作用部５２が外側に開いて、ホルダ筒部４０の挿入孔４１内に挿入された被装着部２０ｃの係止を解除することができるとともに、後述するように、カートリッジ６０を入り口４１ｂ（図７参照）を介して挿入孔４１へ出し入れすることが可能になる（図１０参照）。

すなわち上述構成のクランプレバー５０には、挿入孔４１の入り口４１ｂを塞ぐ状態で挿入孔４１に挿入されたノズル２０の被装着部２０ｃに開口部４１ａを介して係合する係合部５７が形成されている。これによりノズル２０に係合してノズルホルダ１９に固定装着する係合機能とともに、ノズル２０が存在しない場合には挿入孔４１の開口部４１ａを係合部５７によって塞いでカートリッジ６０の抜け止めを防止する抜け止め機能を有するようになっている。そして本実施の形態では、ノズルホルダ１９はこのような機能のクランプレバー５０を一つのみ有し、ノズル２０の係止およびカートリッジ６０の抜け止めを単一のクランプレバー５０のみで行う構成となっており、ノズルホルダ１９を小型・コンパクト化することが実現されている。

図５に示す状態、すなわちノズル２０をホルダ筒部４０に挿入して保持させた状態において、ホルダ筒部４０のノズル受け部４０ｂは、クランプレバー５０の下端部５０ａよりも下方に位置するようになっている。これにより、ホルダ筒部４０の下端部分がクランプレバー５０を防護するバンパとして機能し、クランプレバー５０の下端部にノズルやその他の異物が衝突することによるダメージを防止することができる。

本実施の形態における構成のように、クランプレバー５０を支点バネ５８やクランプバネ５９などの弾性部材によって保持する構成において、想定外の外力が作用することによる支点のずれやクランプレバー５０の脱落などの不具合を防止ることができる。またホルダ筒部４０のノズル受け部４０ｂは、ノズルホルダ１９に装着されるノズル２０の鍔部２０ｂに当接するノズル受けとなっており、ノズルホルダ１９に装着されたノズル２０のがたつきを防止することが可能となっている。

ホルダ筒部４０のクランプバネ保持部４７、クランプレバー５０の作用部側溝５５の外周には、これらを周回して螺旋状に巻回して圧縮コイルばねを用いたクランプバネ５９が装着されている。クランプバネ５９は支点部５１の係合部５７を挿入孔４１に挿入された被装着部２０ｃに付勢する第１の弾性部材となっている。このとき、クランプバネ５９がクランプレバー５０の作用部側溝５５およびホルダ筒部４０のクランプバネ保持部４７を周回して巻回するように、クランプバネ５９をセットする。この状態では図５に示すように、クランプレバー５０とホルダ筒部４０の一部はクランプバネ５９の内径空間５９ａに挿入された形態となっており、クランプバネ５９はクランプレバー５０とホルダ筒部４０に接触した状態でノズルホルダ１９に装着されている。

このようにクランプバネ５９によってクランプレバー５０をホルダ筒部４０に保持させる形態において、本実施の形態ではクランプバネ保持部４７よりも作用部側溝５５が狭く設定されていることから、クランプバネ５９はクランプレバー５０側の作用部側溝５５によって他の部分、すなわちホルダ筒部４０のクランプバネ保持部４７側よりも、上下方向に大きく圧縮されている。これにより複数条のコイルリングを巻回させた構成の圧縮コイルバネを用いたクランプバネ５９において、下側に位置する複数のコイルリング５９＊はクランプバネ保持部４７と作用部側溝５５との間で傾斜した状態で巻回される。

これにより、これら傾斜状態にあるコイルリング５９＊には、通常の圧縮コイルバネの使用状態では発生しない張力（矢印ｇ）が作用する。そしてこの張力により、作用部側溝５５が設けられた支点部５１をホルダ筒部４０の内側方向、すなわち挿入孔４１に装着された被装着部２０ｃに対して係合部５７を押し付ける方向の係止力が作用する。これにより、小サイズのクランプバネ５９を用いるコンパクトな構成によって、クランプレバー５０に対して閉じる方向に十分な大きさの力を付与することができ、被装着部２０ｃを安定して係止することが可能となっている。

図８に示すように、ホルダ筒部４０に設けられた挿入孔４１の上側の端部には挿入孔４１に負圧を導入する通気孔４０ａが設けられており、通気孔４０ａは図３に示す回転体内孔３５ｃを介して負圧発生源３３に接続されている。すなわち通気孔４０ａは負圧発生源３３につながる第２の吸引路を構成しており、上述構成のノズルホルダ１９においては、第２の吸引路の末端に連通して形成された挿入孔４１にノズル２０の被装着部２０ｃを挿入してノズル２０を着脱自在に保持するようになっている。また挿入孔４１は、ノズル２０から吸い込んだ空気をろ過するフィルタ６２を有するカートリッジ６０を挿入して収納する機能を有している。

そして挿入孔４１の下側は開放された入り口４１ｂとなっており、ノズルホルダ１９内に収納されるカートリッジ６０（図６参照）や、ノズル２０の被装着部２０ｃを挿入する際の入り口となっている。さらに挿入孔４１の奥部には、挿入孔４１に挿入されたカートリッジ６０の上側の端部が当接して位置を規制する位置規制面であるストッパ４１ｃが設けられている。

次に図６、図９、図１０を参照して、前述構成のノズルホルダ１９を備えた電子部品装着装置１で使用され、ホルダ筒部４０に挿入された状態でノズルホルダ１９に装着されるカートリッジ６０およびカートリッジ６０の着脱構造について説明する。

図６は、ノズルホルダ１９にカートリッジ６０が収納され、さらにノズル２０がノズルホルダ１９に保持された状態を示している。まずカートリッジ６０の構成を説明する。カートリッジ６０は、挿入孔４１内に挿入される筒状のフィルタ保持体６１およびフィルタ保持体６１の内部空間６１ａに配置されたフィルタ６２と、フィルタ保持体６１の一端部６１ｂに配置された環状のパッキン６３と、フィルタ保持体６１の他端部６１ｃの内部に設けられた通気穴６１ｅと、他端部６１ｃに配置されたパッド部６４とを備えた構成となっている。

フィルタ保持体６１は、ホルダ筒部４０に形成された挿入孔４１に挿入可能な外形寸法を有するとともに、一端部６１ｂから他端部６１ｃにかけて貫通した内部空間６１ａを有する。フィルタ６２は、内部空間６１ａ内に配置され、第１の吸引路であるノズル流路２０ｇから吸引された空気を濾過する機能を有している。パッキン６３は、挿入孔４１の奥部に設けられたストッパ４１ｃに当接することにより、第２の吸引路である通気孔４０ａと内部空間６１ａとを気密に接続する。パッド部６４は、挿入孔４１に挿入された被装着部２０ｃの径大部２０ｄに当接することにより、ノズル流路２０ｇと内部空間６１ａとを気密に接続する。

このようにフィルタ６２やパッキン６３、パッド部６４と一体化したカートリッジ６０を挿入孔４１内に挿入することのみで、カートリッジ６０をノズルホルダ１９に容易に着脱することができ、フィルタ着脱作業の作業性が大きく改善されている。さらにカートリッジ６０の上下単にパッキン６３やパッド部６４を介在させることにより、気密の確保のみならず、ノズル２０を着脱する際の衝撃緩和の効果を有している。

ここでフィルタ保持体６１内の内部空間６１ａに装着されるフィルタ６２の構造について説明する。フィルタ６２は、フィルタ保持体６１の内部空間６１ａ側の内壁６１ｄと接触する基部６２ａと、内壁６１ｄと隙間を空けた状態で基部６２ａからフィルタ保持体６１の他端部６１ｃ側へ突出した濾過部６２ｂと、基部６２ａに開口した凹部６２ｃとを有する構成となっている。

フィルタ６２のフィルタ保持体６１への装着構造をこのような簡便な方式とすることにより、フィルタ保持体６１にフィルタ６２を固定するための特別な構造を必要とせず、小型簡便な構成のカートリッジが実現されている。また濾過部６２ｂの断面形状をＵ字状とするとともに、フィルタ保持体６１の内壁６１ｄと非接触とすることにより、小径サイズで大きな濾過面積を確保することができ、フィルタ６２の小型化と濾過性能の向上を両立させることができる。

またフィルタ６２のフィルタ保持体６１への装着状態において、基部６２ａはフィルタ保持体６１の内部空間６１ａから突出しており、パッキン６３はその突出部に保持された形態となっている。これにより、フィルタ保持体６１にパッキン６３を固定するための特別な構造を設ける必要がなく、単に円筒形状の基部６２ａの外周に環状のパッキン６３を保持させるのみで、パッキン６３を装着することができる。

図９は、図６に示す状態から、ノズル２０を取り外すときの状態を示している。このノズル２０の取り外しは、ノズル２０に手操作またはノズルチェンジャなどによって、引き抜き方向（矢印ｈ）に力を作用させることにより行われる。すなわちこの引抜き力により、クランプバネ５９の付勢力に抗して作用部５２の係合部５７が被係合部２０ｅから離脱し、これにより被装着部２０ｃの係止が解除されて、ノズル２０をノズルホルダ１９から取り外すことが可能となる。なお、ノズル２０をノズルホルダ１９に保持させる際には、被装着部２０ｃを挿入孔４１内に挿入して押し込む操作を行う。これにより作用部５２の係合部５７が被係合部２０ｅに嵌合して被装着部２０ｃの係止が行われる。

このようにしてノズル２０がノズルホルダ１９から取り外されたときは、ホルダ筒部４０の内部の挿入孔４１において支点部５１に対応する位置には係止対象物が存在しないようになる。本実施の形態においては、クランプレバー５０は支点部５１の当接支点５６を中心に揺動可能であることから、クランプレバー５０の作用部５２は支点バネ５８の付勢力によって挿入孔４１側に変位する（矢印ｉ）。そして変位した作用部５２の係合部５７は挿入孔４１内に進出して入り口４１ｂを塞ぐ状態となり、収納されているカートリッジ６０の抜け落ちを防止する。このような構成により、クランプレバー５０によりカートリッジ６０の抜け止めを兼ねることができ、ノズルホルダ１９の小型化が可能となっている。

図１０は、ノズルホルダ１９からノズル２０を取り外した状態において、カートリッジ６０をノズルホルダ１９に対して脱着するときの状態を示している。この場合には、クランプレバー５０の操作部５３側を手操作によってホルダ筒部４０の内部側へ変位させる（矢印ｊ）。これにより、クランプレバー５０は支点部５１の当接支点５６（図４参照）を中心に所定回転量だけ揺動し、作用部５２が外側に開く方向に変位する（矢印ｋ）。これにより、作用部５２の係合部５７は挿入孔４１内から退出し、入り口４１ｂを介してカートリッジ６０を挿入孔４１内へ出し入れ（矢印ｍ）することが可能となる。

図９，図１０に示す操作が可能となることにより、ノズル２０の自動交換中のようにノズルホルダ１９内にカートリッジ６０のみが収納されている状態にあっても、カートリッジ６０の脱落が防止される。そして必要時にはクランプレバー５０を操作するのみで、ノズルホルダ１９の挿入孔４１からカートリッジ６０の取り出しや交換を行うことができる。本実施の形態では、カートリッジ６０を筒状のフィルタ保持体６１の内部にフィルタ６２を保持させる簡単な構成となっていることから、ノズルホルダ１９の挿入孔４１へのカートリッジ６０の出し入れを容易に行うことができる。

次に、図１１〜図１４を参照して、メインシャフト１５を構成する第１シャフト１７と第２シャフト１８との連結構造について説明する。図１１は、第１シャフト１７の下端部に設けられたシャフト連結部１６に、第１シャフト１７の上端部に設けられた挿入端部１８ｃ（図１２参照）を挿入して、シャフト連結部１６に第２シャフト１８を保持させた状態を示している。

図１２に示すように、第２シャフト１８の上端の所定範囲には、一面をＤカットした形状の挿入端部１８ｃが設けられている。挿入端部１８ｃの下部にはメインシャフト１５の軸方向に対して直交する方向に直線的に溝部１８ｄが形成されている。第１シャフト１７の下端部に設けられたシャフト連結部１６は、シャフトホルダ筒部７０、シャフトクランプレバー８０およびクランプバネ８９（図１１）を有する構成となっている。クランプバネ８９は、シャフトクランプレバー８０をシャフトホルダ筒部７０に装着された挿入端部１８ｃの溝部１８ｄ対して付勢する弾性部材としての機能を有する。

シャフトホルダ筒部７０は、第２シャフト１８の挿入端部１８ｃが挿入される挿入孔７１を有する筒状であり、その一方の側面には挿入孔７１に通じる開口部７１ａが形成されている。シャフトホルダ筒部７０において開口部７１ａの略中央部の側面には、シャフトホルダ筒部７０の筒部を開口部７１ａと平行な面で部分的に切除した形状の切り欠き部７２が形成されている。さらに切り欠き部７２が形成された位置には、支点バネ保持部７５が形成されている。

開口部７１ａには、図１２に示す形状のシャフトクランプレバー８０が一つ嵌着され、シャフトクランプレバー８０は挿入孔７１に挿入された挿入端部１８ｃを、以下に説明する作用部８２に設けられた係合部８７によって係止する機能を有している。すなわち本実施の形態においては、挿入孔７１に挿入された挿入端部１８ｃの溝部１８ｄに、開口部７１ａを介して一つのシャフトクランプレバー８０の係合部８７を係合させるようにしている。このように単一のシャフトクランプレバー８０によって挿入端部１８ｃを係止する構成とすることにより、ノズルホルダ１９の小形化が実現されるとともに、１つのシャフトクランプレバー８０を操作するのみで第１シャフト１７から第２シャフト１８の連結・取り外しが行えることから、作業時の操作性が向上する。

シャフトクランプレバー８０の詳細形状および機能を説明する。シャフトクランプレバー８０の中央部は支点部８１となっている。支点部８１には切り欠き部７２に嵌入可能な形状の張出し部８１ａが両側に延出して設けられており、張り出し部８１ａの下面には支点支持部７４に当接してシャフトクランプレバー８０を揺動させる際の中心となる当接支点８６が設けられている。支点部８１から下方へ延びた位置は作用部８２となっている。作用部８２の下面には、下面には挿入孔７１に挿入された挿入端部１８ｃの溝部１８ｄに係合する形状の係合部８７が設けられている（図１３も参照）。さらに支点部８１から上側に延出した位置は操作部８３となっている。

すなわち上記構成に示すように、シャフトクランプレバー８０は、支点部８１と、この支点部８１から下方へ延びた作用部８２と、支点部８１から上方向に延びた操作部８３とを有する構成となっている。そして上述のようにシャフトホルダ筒部７０の側面には、切り欠き部７２が形成されており、シャフトクランプレバー８０の少なくとも一部が切り欠き部７２の内側に配置された構成となっている。このように、シャフトホルダ筒部７０に形成された切り欠き部にシャフトクランプレバー８０の一部を配置することにより、シャフト連結部１６の外形形状を小型化することが可能となっている。

支点部８１には、狭い溝形状の支点部側溝８４が設けられており、また作用部８２には、幅広の溝形状の作用部側溝８５が設けられている。図１１に示すように、シャフトホルダ筒部７０のシャフトクランプレバー８０への装着に際しては、まず張り出し部８１ａを切り欠き部７２に嵌入させる。このとき、張り出し部８１ａの下面に設けられた当接支点８６が、切り欠き部７２の切り欠き面である支点支持部７４（図１２参照）に当接する。すなわちシャフトホルダ筒部７０には、切り欠き部７２に当接支点８６を支持する支点支持部７４が設けられている。このようにシャフトホルダ筒部７０に設けられた切り欠き部７２をシャフトクランプレバー８０を支持するための支点支持部７４として用いることにより、シャフト連結部１６の外形を小型化することができる。

支点部側溝８４、支点バネ保持部７５の外周には、これらを周回して螺旋状に巻き付けるコイルバネを用いた支点バネ８８が装着されている。支点バネ８８は、シャフトクランプレバー８０の支点部８１の当接支点８６を支点支持部７４に付勢する機能を有する。これによりシャフトクランプレバー８０は、支点部８１の当接支点８６を支点支持部７４に当接させた状態が保たれ、支点支持部７４によって当接支点８６を中心にして揺動可能に保持された状態となる。

このような構成により、シャフトクランプレバー８０が支点部８１の当接支点８６を中心に揺動することによって以下の機能が実現される。すなわち作用部８２側をシャフトホルダ筒部７０の内部側へ変位させることにより、作用部８２に形成された係合部８７をシャフトホルダ筒部７０の内部である挿入孔７１内に進出させる構造となっている。これに対し操作部８３側をシャフトホルダ筒部７０の内部側へ変位させると作用部８２が外側に開いて、シャフトホルダ筒部７０の挿入孔７１内に挿入された挿入端部１８ｃの係止を解除して、シャフト連結部１６による第１シャフト１７と第２シャフト１８との連結を解除することができる。

シャフトホルダ筒部７０のクランプバネ保持部４７、シャフトクランプレバー８０の作用部側溝８５の外周には、これらを周回して螺旋状に巻回して圧縮コイルばねを用いたクランプバネ８９が装着されている。クランプバネ８９は、作用部８２の係合部８７を挿入孔７１に挿入された挿入端部１８ｃの溝部１８ｄに付勢する弾性部材となっている。このとき、クランプバネ８９がシャフトクランプレバー８０の作用部側溝８５およびシャフトホルダ筒部７０のクランプバネ保持部７６を周回して巻回するように、クランプバネ８９をセットする。この状態では図１３に示すように、シャフトクランプレバー８０とシャフトホルダ筒部７０の一部はクランプバネ８９の内径空間８９ａに挿入された形態となっており、クランプバネ８９はシャフトクランプレバー８０とシャフトホルダ筒部７０に接触した状態でシャフト連結部１６に装着されている。

このようにクランプバネ８９によってシャフトクランプレバー８０をシャフトホルダ筒部７０に保持させる形態において、本実施の形態ではクランプバネ保持部７６よりも作用部側溝８５が狭く設定されていることから、クランプバネ８９はシャフトクランプレバー８０側の作用部側溝８５によって他の部分、すなわちシャフトホルダ筒部７０のクランプバネ保持部７６側よりも、上下方向に大きく圧縮されている。これにより複数状のコイルリングを巻回させた構成のクランプバネ８９において、下側に位置する複数のコイルリング８９＊（図１１参照）は作用部側溝８５とクランプバネ保持部７６との間で傾斜した状態で巻回される。

これにより、これら傾斜状態にあるコイルリング８９＊には通常の圧縮コイルバネの使用状態では発生しない張力（矢印ｎ）が作用する。そしてこの張力により、作用部側溝８５が設けられた作用部８２をシャフトホルダ筒部７０の内側方向、すなわち挿入孔７１に挿入された挿入端部１８ｃの溝部１８ｄに対して係合部８７を押し付ける方向の係止力が作用する。これにより、小サイズのクランプバネ８９を用いるコンパクトな構成によって、シャフトクランプレバー８０に対して閉じる方向に十分な大きさの力を付与することができ、挿入端部１８ｃの溝部１８ｄを安定して係止して、シャフト連結部１６における振動の発生などの不具合を防止することが可能となっている。

図１３は、第１シャフト１７に設けられた上述構成のシャフト連結部１６を介して第１シャフト１７と第２シャフト１８とを連結した状態を示している。すなわち、シャフトホルダ筒部７０に設けられた挿入孔７１内に下方から第２シャフト１８の挿入端部１８ｃを挿入し、シャフトホルダ筒部７０の受け端部７０ｂに第２シャフト１８の当接部１８ｅ（図１２も参照）が当接するまで押し込む。この操作においては、まず作用部８２が挿入端部１８ｃの端部によってクランプバネ８９の付勢力に抗して押し広げられる。次いで挿入端部１８ｃに設けられた溝部１８ｄが係合部８７の位置まで到達することにより、係合部８７は溝部１８ｄに係合してクランプバネ８９の付勢力によって係止される。

図１４は、図１３に示す連結状態から、第２シャフト１８を取り外す操作を示している。すなわちこの取り外し操作においては、まずシャフトクランプレバー８０の操作部８３を手指などによって押圧して、挿入孔７１の内側へ押し込む（矢印ｏ）操作を行う。この操作により、シャフトクランプレバー８０は支点部８１の当接支点８６（図１２）を中心にして揺動し、作用部８２がクランプバネ８９の付勢力に抗して外側へ開く方向に変位する（矢印ｐ）。これにより、係合部８７の溝部１８ｄへの係合状態が解除され、挿入端部１８ｃを挿入孔７１から引き出す（矢印ｑ）操作が可能となる。

この取り外し操作において、一つのシャフトクランプレバー８０を対象とする簡単な押圧操作のみで第２シャフト１８を取り出すことができる。またメインシャフト１５において、第１シャフト１７にはシャフト連結部１６と下方に位置するメインシャフト保持部１２（図２参照）との間に作業の障害となる部品等が存在しないことから、第１シャフト１７と第２シャフト１８との抜き差し差作業を良好な作業性で行うことが可能となっている。

上記説明したように、本実施の形態に示す電子部品装着装置は、メインシャフト１５の下端部にノズル２０を着脱自在に保持するノズルホルダ１９を、ノズル２０の被装着部２０ｃが挿入される挿入孔４１を有する筒状であり、一方の側面に挿入孔４１に通じる開口部４１ａが形成されたホルダ筒部４０と、開口部４１ａを介して挿入孔４１に挿入されたノズル２０の被装着部２０ｃに係合する係合部５７を有する単一のクランプレバー５０と、係合部５７を挿入孔４１に挿入されたノズル２０の被装着部２０ｃに付勢するクランプバネ５９とを有する構成としたものである。これにより、電子部品を負圧により保持するノズル２０をノズルホルダ１９に着脱自在に保持させる構成において、ノズル２０およびノズルホルダ１９の小型化を実現することができる。

また本実施の形態に示す電子部品装着装置は、ノズル２０から吸い込んだ空気をろ過するフィルタ６２を有するカートリッジ６０をノズルホルダ１９内に収納する構成において、ノズルホルダ１９を、入り口４１ｂからカートリッジ６０を挿入して収納する挿入孔４１と、挿入孔４１に負圧を導入する通気孔４０ａとを有する筒状のホルダ筒部４０と、挿入孔４１の入り口４１ｂを塞ぐ状態で挿入孔４１に装着されたノズル２０の被装着部２０ｃに係合する係合部５７が形成されたクランプレバー５０とを有し、クランプレバー５０は、ノズル２０がノズルホルダ１９から取り外されたときは挿入孔４１側に変位して挿入孔４１内のカートリッジ６０が抜けるのを防止するようにしたものである。これにより、電子部品を負圧により保持するノズル２０をノズルホルダ１９に着脱自在に保持させ、ノズル２０から吸い込んだ空気を濾過するフィルタ６２を有するカートリッジ６０を備えた構成において、ノズルホルダ１９の小型化とともにカートリッジ６０のノズルホルダ１９への収納および取り出しを容易にすることができる。

また本実施の形態に示す電子部品装着装置用のカートリッジは、ノズルホルダ１９に収納されるカートリッジ６０の構成を、挿入孔４１に挿入可能な外形寸法を有するとともに一端部６１ｂから他端部６１ｃにかけて貫通した内部空間６１ａを有するフィルタ保持体６１と、内部空間６１ａに配置され、第１の吸引路であるノズル流路２０ｇから吸引された空気をろ過するフィルタ６２と、フィルタ保持体６１の一端部６１ｂに配置され、挿入孔４１の奥部に設けられたストッパ４１ｃに当接することにより第２の吸引路である通気孔４０ａと内部空間６１ａとを気密に接続する環状のパッキン６３と、フィルタ保持体６１の他端部６１ｃに配置され、挿入孔４１に挿入された被装着部２０ｃに当接することによりノズル流路２０ｇと内部空間６１ａとを気密に接続する弾性部材から成るパッド部６４とを備えた構成としている。これにより、ノズル２０から吸い込んだ空気を濾過するフィルタ６２を有するカートリッジ６０を備えた構成において、ノズルホルダ１９の小型化とともにフィルタ６２の濾過性能の向上および着脱時の作業性を向上させることができる。

さらに本実施の形態に示す電子部品装着装置は、下端部にノズル２０を着脱自在に保持するノズルホルダ１９を有するメインシャフト１５を、昇降機構２５に連結するメインシャフト上部である第１シャフト１７と、ノズルホルダ１９とメインシャフト保持部１２に保持される部分を含むメインシャフト下部である第２シャフト１８とに分割した構成において、第１シャフト１７の下端部には第２シャフト１８に設けられた挿入端部１８ｃを挿入して保持するシャフト連結部１６を有し、第２シャフト１８の挿入端部１８ｃにメインシャフト１５の軸方向に対して直交する方向に直線的に形成された溝部１８ｄを設け、シャフト連結部１６に溝部１８ｄに係合するシャフトクランプレバー８０と、このシャフトクランプレバー８０を溝部１８ｄに付勢する弾性部材としてのクランプバネ８９を有する構成としている。これにより、ノズル２０を保持するノズルホルダ１９を有するメインシャフト１５をシャフト連結部１６を介して上下に着脱可能に２分割した構成において、シャフト連結部１６の構造の小型化および簡便化を図るとともに、着脱時の作業性を改善することができる。

本発明の電子部品装着装置は、電子部品を負圧により保持するノズルをノズルホルダに着脱自在に保持させ、ノズルから吸い込んだ空気を濾過するフィルタを有するカートリッジを備えた構成において、ノズルホルダの小型化とともにカートリッジのノズルホルダへの収納および取り出しを容易にすることができるという効果を有し、ノズルによって電子部品を負圧により吸着して保持する部品装着分野において有用である。

１電子部品装着装置
８装着ヘッド
１２メインシャフト保持部
１５メインシャフト
１６シャフト連結部
１７第１シャフト
１８第２シャフト
１９ノズルホルダ
２０ノズル
２０ａ先端部
２０ｇノズル流路
２０ｃ被装着部
２５昇降機構
４０ホルダ筒部
４０ａ通気孔
４１挿入孔
４１ａ開口部
４１ｃストッパ
４５支点支持部
５０クランプレバー
５１,８１支点部
５２，８２作用部
５３，８３操作部
５７係合部
５８支点バネ
５９，８９クランプバネ
６０カートリッジ
６１フィルタ保持体
６２フィルタ
６３パッキン
６４パッド部
７０シャフトホルダ筒部
７１挿入孔
８０シャフトクランプレバー
８７係合部

Claims

先端部に開口した吸引孔に負圧を作用させて電子部品を保持するノズルと、
下端部に前記ノズルを着脱自在に保持するノズルホルダを有するメインシャフトと、前記ノズルから吸い込んだ空気をろ過するフィルタを有するカートリッジとを備えた電子部品装着装置であって、
前記ノズルホルダは、
入り口から前記カートリッジを挿入して収納する挿入孔と、
前記挿入孔に負圧を導入する通気孔とを有する筒状のホルダ筒部と、
前記挿入孔の入り口を塞ぐ状態で前記挿入孔に挿入された前記ノズルの被係合部に係合する係合部が形成されたクランプレバーとを有し、
前記クランプレバーは、前記ノズルが前記ノズルホルダから取り外されたときは前記挿入孔の半径方向に沿って前記挿入孔側に変位して挿入孔内のカートリッジが抜けるのを防止する、電子部品装着装置。
クランプレバーは、支点部と、この支点部から下方へ延びた作用部と、前記支点部から上方向に延びた操作部を有し、
前記支点部を中心に揺動することにより前記作用部に形成された前記係合部を前記ホルダ筒部の内部に進出させる構造であり、
前記操作部を前記ホルダ筒部の内部側へ変位させると前記作用部が外側に開いて、前記カートリッジの前記挿入孔への出し入れが可能になる、請求項１に記載の電子部品装着装置。
前記カートリッジは、筒状のフィルタ保持体とこのフィルタ保持体の内部に保持されたフィルタを有する、請求項１または２に記載の電子部品装着装置。