JP6531950B2 - ガラスフィルム積層体の検査方法及び検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、支持ガラスにガラスフィルムを積層してなるガラスフィルム積層体の検査方法及び検査装置に関する。

省スペース化の観点から、従来普及していたＣＲＴ型ディスプレイに替わり、近年は液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。

フラットパネルディスプレイ等のデバイスに使用される基板やカバーガラスには、更なる薄型化と高い可撓性を実現することへのニーズが高まっている。ガラス基板に可撓性を付与するには、ガラス基板を薄く形成することが有効であり、特許文献１には、厚みが２００μｍ以下のガラスフィルム（超薄板ガラス）が開示されている。

フラットパネルディスプレイ等の電子デバイスに使用されるガラス基板には、加工処理や洗浄処理等、様々な製造関連処理が施される。ところが、これら電子デバイスに使用されるガラス基板を薄く形成すると、ガラスは脆性材料であるため、応力変化により破損に至り、上記の製造関連処理を行う際に、取扱いが大変困難であるという問題がある。加えて、厚みが２００μｍ以下のガラスフィルムは可撓性に富むため、処理を行う際に位置決めを行い難いという問題もある。

また、ガラスフィルムの取り扱い性を向上させるために、特許文献１では、支持ガラス上にガラスフィルムを積層させたガラスフィルム積層体が開示されている。これによれば、単体では強度や剛性のないガラスフィルムを剛性の高い支持ガラスに積層しているため、処理の際にガラスフィルム積層体全体として位置決めが容易となる。

また、ガラスフィルム積層体は、処理終了後にガラスフィルムを破損することなく速やかに支持ガラスから剥離することが可能である。さらに、ガラスフィルム積層体の厚みを従来のガラス基板の厚みと同一とすれば、従来のガラス基板用の電子デバイス製造ラインを共用して、電子デバイスを製造することも可能になる。

特開２０１１−１８３７９２号公報

図１にガラスフィルム積層体の一例を示す。この例において、ガラスフィルム積層体１は、矩形状のガラスフィルム２と、このガラスフィルム２よりも面積が大きな矩形状の支持ガラス３とを有する。ガラスフィルム２は、その各縁部２ａが、支持ガラス３の各縁部３ａとほぼ平行となるように、支持ガラス３の表面に固定されている。すなわち、ガラスフィルム２の各縁部２ａと、支持ガラス３の各縁部３ａとは所定の距離Ｄ１，Ｄ２で離間している。

電子デバイスを製造するにあたり、ガラスフィルム２の縁部２ａと、支持ガラス３の縁部３ａとの距離Ｄ１，Ｄ２に高い寸法精度が要求される場合がある。この場合、この距離Ｄ１，Ｄ２に関してガラスフィルム積層体１の検査が行われる。

従来、この検査は、作業員がゲージ付のルーペを使用して距離Ｄ１，Ｄ２を測定することにより行われており、このために以下のような問題があった。すなわち、ガラスフィルム及び支持ガラスは透明であるため、その縁部を視認することが困難である。ゲージ付のルーペで上記の距離Ｄ１，Ｄ２を測定する場合、その測定精度は、０．１ｍｍであり、これを向上させることができない。作業員による測定であるため、測定値に個人差が生じ、さらに測定作業に時間を要していた。

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、ガラスフィルム積層体の検査を精度良く迅速に行うことを技術的課題とする。

本発明は上記の課題を解決するためのものであり、ガラスフィルムと支持ガラスとを有するガラスフィルム積層体を載置台に載置し、前記ガラスフィルム積層体の一部を撮像して得られる画像データに基づいて、演算処理装置の演算により前記ガラスフィルム積層体を検査する方法であって、前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスは、コーナー部と縁部とを有する矩形状に構成されてなり、前記ガラスフィルム積層体の前記一部が前記載置台から食み出るように、前記ガラスフィルム積層体を前記載置台に載置する載置工程と、前記ガラスフィルム積層体の下方に配置され、かつ前記ガラスフィルムの内側に配置される照明装置から前記ガラスフィルム積層体の前記一部に向かって光を照射する照射工程と、前記ガラスフィルムの前記一部を撮像装置によって撮像することにより、前記ガラスフィルムの前記縁部と、前記支持ガラスの前記縁部とを含む前記画像データを取得する撮像工程と、前記画像データに基づいて、前記演算処理装置により前記ガラスフィルムの前記縁部と前記支持ガラスの前記縁部との距離を演算により求める演算工程と、を備えることを特徴とする。

かかる構成によれば、ガラスフィルム積層体の一部（検査部位）を撮像装置によって撮像し、得られた画像データに基づいて、ガラスフィルムの縁部と支持ガラスの縁部との距離を演算処理装置により精度良く迅速に求めることができる。この場合、載置台から食み出るように配置されるガラスフィルム積層体に向かって照明装置から投光することで、画像データに含まれるガラスフィルム積層体の像において、ガラスフィルムの縁部及び支持ガラスの縁部を鮮明に映し出すことができる。

また、照明装置は、ガラスフィルム積層体の下方であって、ガラスフィルムの内側に配置されていることから、この照明装置からガラスフィルム積層体へと放射された光の一部は、ガラスフィルム内を進行して、その縁部に到達し、この縁部にて散乱する。同様に、支持ガラスに入射した光の一部が、その縁部に到達し、この縁部から散乱する。撮像装置は、ガラスフィルム及び支持ガラスの縁部にて散乱する光によって、これらの縁部を鮮明に捉えることができる。

なお、「ガラスフィルムの内側」とは、ガラスフィルムを構成する縁部及びコーナー部によって区画される範囲内のことをいう。

以上により、演算処理装置は、撮像装置により取得された画像データに含まれるガラスフィルムの縁部及び支持ガラスの縁部を正確に特定でき、これらの縁部の距離を迅速に演算できる。したがって、本方法によれば、ガラスフィルム積層体の検査を精度良く迅速に行うことができる。

また、本発明に係る検査方法では、前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスは、一つの前記コーナー部を挟んで二つの前記縁部を有してなり、前記演算工程は、前記ガラスフィルムの一方の前記縁部と前記支持ガラスの一方の前記縁部との前記距離を演算するとともに、前記ガラスフィルムの他方の前記縁部と前記支持ガラスの他方の前記縁部との前記距離を演算することが望ましい。

かかる構成によれば、撮像装置によってガラスフィルムのコーナー部及び支持ガラスのコーナー部を撮像すると、各コーナー部を挟む二つの縁部が画像データに含まれることになる。したがって、演算処理装置は、ガラスフィルムの一方の縁部と支持ガラスの一方の縁部との距離を演算するとともに、ガラスフィルムの他方の縁部と支持ガラスの他方の縁部との距離を演算することができる。このように二箇所における縁部同士の距離を演算することで、より迅速に検査を行うことができる。

また、本発明に係る検査方法では、前記ガラスフィルムの内側に配置される前記照明装置と前記ガラスフィルムの前記縁部との水平方向における距離が１ｍｍ以上１００ｍｍ以下とされることが望ましい。また、本方法に使用する前記照明装置としては、ＬＥＤ平板照明器又はＯＬＥＤ照明器であることが望ましい。

また、本発明に係る検査方法は、前記照明装置の一部を被覆部材により被覆する工程をさらに備えることが望ましい。これによれば、被覆部材の位置を変更することで、照明装置を被覆する面積、換言すれば、照明装置における光の照射面積を調整することができる。したがって、比較的大型の照明装置を使用する場合に、その一部がガラスフィルムの縁部から食み出たとしても、その食み出た部分を被覆部材で被覆することにより、露出した照明装置の部分のみをガラスフィルムの内側に配置することが可能になる。これにより、ガラスフィルム積層体の寸法、形状等に応じて適正な検査を行うことができるようになる。

本発明は、上記の課題を解決するためのものであり、ガラスフィルムと支持ガラスとを有するガラスフィルム積層体を検査する装置であって、前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスは、コーナー部と縁部とを有する矩形状に構成されてなり、前記ガラスフィルム積層体の一部が水平方向に食み出るように載置される載置台と、前記載置台の下方位置に配置され、かつ前記ガラスフィルムの内側に配置される照明装置であって、前記ガラスフィルム積層体の前記一部に向かって光を照射する照明装置と、前記載置台の上方から前記ガラスフィルム積層体の前記一部を撮像して前記ガラスフィルムの前記縁部と前記支持ガラスの前記縁部とを含む画像データを取得する撮像装置と、前記画像データに基づいて、前記ガラスフィルムの前記縁部と前記支持ガラスの前記縁部との距離を演算する演算処理装置と、を備えることを特徴とする。

かかる構成によれば、ガラスフィルム積層体の一部（検査部位）を撮像装置によって撮像し、得られた画像データに基づいて、ガラスフィルムの縁部と支持ガラスの縁部との距離を演算処理装置により精度良く迅速に求めることができる。この場合、載置台から食み出るように配置されるガラスフィルム積層体に向かって照明装置から投光することで、画像データに含まれるガラスフィルム積層体の像において、ガラスフィルムの縁部及び支持ガラスの縁部を鮮明に映し出すことができる。

また、照明装置は、ガラスフィルム積層体の下方であって、ガラスフィルムの内側に配置されていることから、この照明装置からガラスフィルム積層体へと放射された光の一部は、ガラスフィルム内を進行して、その縁部に到達し、この縁部にて散乱する。撮像装置は、この縁部にて散乱する光によってこの縁部を鮮明に捉える。なお、「ガラスフィルムの内側」とは、ガラスフィルムを構成する縁部及びコーナー部によって区画される範囲内のことをいう。

以上により、演算処理装置は、撮像装置により取得された画像データに含まれるガラスフィルムの縁部及び支持ガラスの縁部を正確に特定でき、これらの縁部の距離を迅速に演算できる。したがって、本発明に係る検査装置によれば、ガラスフィルム積層体の検査を精度良く迅速に行うことができる。

本発明によれば、ガラスフィルム積層体の検査を精度良く迅速に行うことができる。

ガラスフィルム積層体の平面図である。 第１実施形態に係る検査装置を示す側面図である。 ガラスフィルム積層体の検査装置を示す平面図である。 ガラスフィルム積層体の一部を示す平面図である。 演算処理装置の機能ブロック図である。 ガラスフィルム積層体の検査方法を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る検査装置の側面図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。図１乃至図６は、本発明に係る検査装置及び検査方法の第１実施形態を示す。

本実施形態において検査される矩形状のガラスフィルム積層体１は、図１に示すように、透明なガラスフィルム２と、このガラスフィルム２を支持する透明な支持ガラス３とを含む。本実施形態では、ガラスフィルム２として、その厚みが２００μｍ以下とされる超薄板ガラスが使用され得るが、これに限定されるものではない。

ガラスフィルム２は、矩形状に構成されており、四つの縁部２ａ及び四つのコーナー部２ｂを有する。支持ガラス３は、キャリアガラスとも呼ばれ、ガラスフィルム２よりも面積が大きく、厚みも厚い矩形状のガラス基板である。支持ガラス３は、四つの縁部３ａ及び四つのコーナー部３ｂを有する。

図１に示すように、ガラスフィルム２は、その全体が支持ガラス３から食み出ないように、この支持ガラス３の範囲内（内側）に配置されている。すなわち、ガラスフィルム２の全ての縁部２ａ及び全てのコーナー部２ｂが、支持ガラス３の縁部３ａ及びコーナー部３ｂによって構成される四角形の内側に位置している。また、ガラスフィルム２の各縁部２ａは、対応する支持ガラス３の各縁部３ａとほぼ平行を為す。

図２乃至図４に示すように、検査装置４は、ガラスフィルム積層体１が載置される載置台５と、ガラスフィルム積層体１に光を照射する照明装置６と、この照明装置６と隣接するように配置される被覆部材７と、ガラスフィルム積層体１を撮像して画像データを取得する撮像装置８と、この画像データに基づいて所定の演算を実行する演算処理装置９と、を備える。

載置台５は、図２及び図３に示すように、ガラスフィルム積層体１を支持する支持面１０と、ガラスフィルム積層体１の位置決めを行う位置決め部１１と、照明装置６及び被覆部材７を支持する支持部１２とを有する。

支持面１０は、載置台５の上部に設けられている。支持面１０は、図３に示すように、コーナー部１３を有しており、ガラスフィルム積層体１の一部がこのコーナー部１３から食み出るように、このガラスフィルム積層体１を支持する。

位置決め部１１は、載置台５の側部から水平方向に突出する支持部材１４に支持されている。本実施形態では、二つの位置決め部１１が載置台５に設けられているが、これに限定されない。各位置決め部１１は、ガラスフィルム積層体１の縁部、すなわち支持ガラス３の縁部３ａに当接する当接面１１ａを有する。二つの位置決め部１１は、一方の当接面１１ａと他方の当接面１１ａとが直角を為すように配置されている。

本実施形態において照明装置６には、面発光が可能なＬＥＤ（light emitting diode）平板照明器又はＯＬＥＤ（organic light emitting diode）照明器が使用されるが、これに限定されるものではない。照明装置６は、上方に配置されるガラスフィルム積層体１に投光することにより、ガラスフィルム２内に入射した光の一部をその縁部２ａにまで到達させ、この縁部２ａにて散乱させる。

被覆部材７としては、ゴム製の板部材が使用されるが、これに限定されるものではない。被覆部材７を黒色のゴム製とすることにより、ガラスフィルム積層体１の下方位置で、この被覆部材７をガラスフィルム積層体１に重ね合わせることで、撮像装置８によって撮像されるガラスフィルム積層体１の画像データにおいて、ガラスフィルム２の縁部２ａ及び支持ガラス３の縁部３ａを鮮明に映すことができる。

図１に示すように、被覆部材７は、照明装置６上に載置されており、照明装置６の一部を被覆している。これにより、被覆部材７は、照明装置６の光を遮る遮光部材又は遮蔽部材として機能する。被覆部材７は、その位置を変更することで、照明装置６における投光可能な面積を調整できる。

被覆部材７に被覆されることで、照明装置６における投光可能な部分は、ガラスフィルム２の内側に設定される。すなわち、本実施形態において、照明装置６は、ガラスフィルム２の縁部２ａ及びコーナー部２ｂによって画定される四角形の内側に配置されている。具体的には、図４に示すように、照明装置６と被覆部材７との境界部（照明装置６の縁部６ａ）が、ガラスフィルム２における縁部２ａから所定の距離Ｘ１，Ｘ２で水平方向に離間されている。この距離Ｘ１，Ｘ２は、１ｍｍ以上１００ｍｍ以下とされることが好ましい。

撮像装置８は、例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳセンサその他の各種画像センサ又はカメラを含むが、これに限定されない。撮像装置８は、載置台５の上方位置に固定されるとともに、演算処理装置９に接続されている。撮像装置８は、下方の載置台５に載置されるガラスフィルム積層体１の一部を撮像するとともに、得られた画像データを演算処理装置９へと送信する。

演算処理装置９としては、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、モニタ、入力インタフェース等の各種ハードウェアを実装するコンピュータ（例えばＰＣ）が使用され得るが、これに限定されない。演算処理装置９は、図５に示すように、ＣＰＵにより構成される演算処理部１５と、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等により構成される記憶部１６と、撮像装置８との通信を実行する通信部１７とを備える。これらは図示しないバスにより相互に接続されている。

演算処理部１５は、記憶部１６に記憶されている検査プログラムや撮像装置８により取得された画像データに基づいて、ガラスフィルム積層体１の検査に係る演算処理を実行する。演算処理部１５は、ガラスフィルム積層体１の画像データから、ガラスフィルム２の縁部２ａ、及び支持ガラス３の縁部３ａを特定し、その距離Ｄ１，Ｄ２（図４参照）を演算により求める。演算処理装置９は、この距離Ｄ１，Ｄ２の値（ｍｍ）をモニタに表示させる。また、演算処理部１５は、求めた距離Ｄ１，Ｄ２と、記憶部１６に記憶されている距離の基準値とを比較して、その良否を判定することができる。すなわち、演算処理部１５は、ガラスフィルム積層体１の良否（距離Ｄ１，Ｄ２の良否）を判定する判定部としても機能し得る。

記憶部１６は、ガラスフィルム積層体１の検査を行うプログラム、撮像装置８の制御プログラム、撮像装置８によって取得された画像データその他の各種プログラム及びデータを記憶する。

通信部１７は、撮像装置８に接続されており、撮像装置８により取得された画像データを受信し、演算処理部１５及び記憶部１６に送信する。また、通信部１７は、演算処理部１５からの制御信号を撮像装置８に送信し得る。

以下、上記構成の検査装置４を使用して、ガラスフィルム積層体１を検査する方法について説明する。

図６に示すように、この検査方法は、ガラスフィルム積層体１を載置台５に載置する工程（載置工程）Ｓ１と、載置されたガラスフィルム積層体１に向かって照明装置６から投光する照射工程Ｓ２と、撮像装置８によってガラスフィルム積層体１の一部を撮像する工程（撮像工程）Ｓ３と、撮像工程Ｓ３により取得されたガラスフィルム積層体１の画像データに基づいて、ガラスフィルム２の縁部２ａと支持ガラス３の縁部３ａとの距離（クリアランス）Ｄ１，Ｄ２を求める演算工程Ｓ４とを主に備える。

載置工程Ｓ１では、ガラスフィルム積層体１を載置台５の支持面１０に設置する。この場合、支持ガラス３の縁部３ａが位置決め部１１に接触しないように離間させた状態で、このガラスフィルム積層体１を支持面１０に載置する。この後、このガラスフィルム積層体１を水平方向に移動させて、支持ガラス３の縁部３ａを各位置決め部１１の当接面１１ａに接触させる。これにより、ガラスフィルム積層体１は、その一部が支持面１０から食み出た状態で、載置台５に支持される。具体的には、図３に示すように、ガラスフィルム２における一つのコーナー部２ｂ及びこれを挟む二つの縁部２ａの一部、及びこれらに対応する支持ガラス３の縁部３ａ及びコーナー部３ｂが、支持面１０のコーナー部１３から食み出た状態となる。

この状態で、照明装置６の光を上方に放射する（照射工程Ｓ２）。このとき、被覆部材７は、既に照明装置６上に載置されている。なお、照明装置６による光の照射及び被覆部材７の設置は、載置工程Ｓ１の前に行われ得る。この照射工程Ｓ２において、被覆部材７は、照明装置６の一部を被覆しており、照明装置６と重ね合わせられた部分において遮光する。

次に、撮像装置８によってガラスフィルム積層体１の一部が撮像される（撮像工程Ｓ３）。撮像装置８は、載置台５から食み出た、ガラスフィルム２に係る一つのコーナー部２ｂと、このコーナー部２ｂを挟む二つの縁部２ａの一部を撮像する。同時に撮像装置８は、支持ガラス３に係る一つのコーナー部３ｂと、このコーナー部３ｂを挟む二つの縁部３ａの一部を撮像する。撮像装置８により取得された画像データは、演算処理装置９へと送信される。

演算処理装置９は、撮像装置８から送信された画像データに基づいて、ガラスフィルム２の縁部２ａと支持ガラス３の縁部３ａとの距離Ｄ１，Ｄ２を演算する（演算工程Ｓ４）。すなわち、この演算工程Ｓ４では、ガラスフィルム２の一方の縁部２ａと支持ガラス３の一方の縁部３ａとの距離Ｄ１を演算するとともに、ガラスフィルム２の他方の縁部２ａと支持ガラス３の他方の縁部３ａとの距離Ｄ２を演算する。

演算処理装置９は、演算により求めた距離Ｄ１、Ｄ２の値（ｍｍ）を、モニタに表示させる。オペレータは、これらの距離Ｄ１，Ｄ２の値が適正か否かを確認し、ガラスフィルム積層体１の良否を判断する。これに限らず、演算処理装置９によって、これらの距離Ｄ１，Ｄ２の良否を判定し、その判定結果をモニタに表示させることも可能である。

以上説明した本実施形態に係る検査装置４及び検査方法によれば、ガラスフィルム積層体１の一部（検査部位）を撮像装置８によって撮像し、得られた画像データに基づいて、ガラスフィルム２の縁部２ａと支持ガラス３の縁部３ａとの距離Ｄ１，Ｄ２を演算処理装置９により迅速に求めることができる。この場合、載置台５から食み出るように配置されるガラスフィルム積層体１の一部に向かって照明装置６から投光するとともに、ガラスフィルム積層体１の一部（ガラスフィルム２及び支持ガラス３の縁部２ａ，３ａ）に被覆部材７を重ねることにより、画像データに含まれるガラスフィルム積層体１の像において、ガラスフィルム２の縁部２ａ及び支持ガラス３の縁部３ａを鮮明に映し出すことができる。

すなわち、照明装置６は、ガラスフィルム積層体１の下方であって、ガラスフィルム２の内側に配置されていることから、この照明装置６からガラスフィルム積層体１へと放射された光の一部は、ガラスフィルム２内を進行して、その縁部２ａに到達し、この縁部２ａからにて散乱する。同様に、支持ガラス３に入射した光の一部が、その縁部３ａに到達し、この縁部３ａにて散乱する。撮像装置８は、ガラスフィルム２及び支持ガラス３の縁部２ａ，３ａにて散乱する光によって、これら縁部２ａ，３ａを鮮明に捉えることができる。

以上により、演算処理装置９は、撮像装置８により取得された画像データに含まれるガラスフィルム２の縁部２ａ及び支持ガラス３の縁部３ａを正確に特定でき、これらの縁部２ａ，３ａの距離Ｄ１，Ｄ２を迅速に演算できる。したがって、本実施形態に係る検査装置４及び検査方法によれば、ガラスフィルム積層体１の検査を精度良く迅速に行うことができる。

図７は、本発明に係る検査装置４の第２実施形態を示す。上述の第１実施形態では、照明装置６の一部を被覆部材７によって被覆する例を示したが、本実施形態では、被覆部材７を使用していない。本実施形態に係る照明装置６は、第１実施形態で例示した照明装置６よりもその面積が小さく構成され、図７に示すように、その全体がガラスフィルム２の内側に配置されている。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記の実施形態では、ガラスフィルム２及び支持ガラス３のコーナー部２ｂ、３ｂを挟んだ二箇所で、クリアランスＤ１，Ｄ２の測定を行う場合を例示したが、これに限定されず、一箇所のみで、このクリランスの測定を行ってもよい。

上記の実施形態では、被覆部材７として、ゴム製のものを例示したが、これに限定されない。被覆部材７は、金属、木材、合成樹脂その他の各種材料により構成され得る。

上記の実施形態では、ガラスフィルム２よりも面積が大きな支持ガラス３を使用してガラスフィルム積層体１を構成した例を示したが、これに限定されない。ガラスフィルム２よりも面積が小さな支持ガラス３を使用したガラスフィルム積層体１に対しても本発明を実施することができる。

１ ガラスフィルム積層体
２ ガラスフィルム
２ａ ガラスフィルムの縁部
２ｂ ガラスフィルムのコーナー部
３ 支持ガラス
３ａ 支持ガラスの縁部
３ｂ 支持ガラスのコーナー部
４ 検査装置
５ 載置台
６ 照明装置
７ 被覆部材
８ 撮像装置
９ 演算処理装置

Claims (6)

1. ガラスフィルムと支持ガラスとを有するガラスフィルム積層体を載置台に載置し、前記ガラスフィルム積層体の一部を撮像して得られる画像データに基づいて、演算処理装置の演算により前記ガラスフィルム積層体を検査する方法であって、
   前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスは、コーナー部と縁部とを有する矩形状に構成されてなり、
   前記ガラスフィルム積層体の前記一部が前記載置台から食み出るように、前記ガラスフィルム積層体を前記載置台に載置する載置工程と、
   前記ガラスフィルム積層体の下方に配置され、かつ前記ガラスフィルムの内側に配置される照明装置から前記ガラスフィルム積層体の前記一部に向かって光を照射する照射工程と、
   前記ガラスフィルムの前記一部を撮像装置によって撮像することにより、前記ガラスフィルムの前記縁部と、前記支持ガラスの前記縁部とを含む前記画像データを取得する撮像工程と、
   前記画像データに基づいて、前記演算処理装置により前記ガラスフィルムの前記縁部と前記支持ガラスの前記縁部との距離を演算により求める演算工程と、
   を備えることを特徴とするガラスフィルム積層体の検査方法。
2. 前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスは、一つの前記コーナー部を挟んで二つの前記縁部を有してなり、
   前記演算工程は、前記ガラスフィルムの一方の前記縁部と前記支持ガラスの一方の前記縁部との前記距離を演算するとともに、前記ガラスフィルムの他方の前記縁部と前記支持ガラスの他方の前記縁部との前記距離を演算する請求項１に記載のガラスフィルム積層体の検査方法。
3. 前記ガラスフィルムの内側に配置される前記照明装置と前記ガラスフィルムの前記縁部との水平方向における距離が１ｍｍ以上１００ｍｍ以下とされる請求項１又は２に記載のガラスフィルム積層体の検査方法。
4. 前記照明装置は、ＬＥＤ平板照明器又はＯＬＥＤ照明器を含む請求項１から３のいずれか１項に記載のガラスフィルム積層体の検査方法。
5. 前記照明装置の一部を被覆部材により被覆する工程をさらに備える請求項１から４のいずれか１項に記載のガラスフィルム積層体の検査方法。
6. ガラスフィルムと支持ガラスとを有するガラスフィルム積層体を検査する装置であって、
   前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスは、コーナー部と縁部とを有する矩形状に構成されてなり、
   前記ガラスフィルム積層体の一部が水平方向に食み出るように載置される載置台と、
   前記載置台の下方位置に配置され、かつ前記ガラスフィルムの内側に配置される照明装置であって、前記ガラスフィルム積層体の前記一部に向かって光を照射する照明装置と、
   前記載置台の上方から前記ガラスフィルム積層体の前記一部を撮像して前記ガラスフィルムの前記縁部と前記支持ガラスの前記縁部とを含む画像データを取得する撮像装置と、
   前記画像データに基づいて、前記ガラスフィルムの前記縁部と前記支持ガラスの前記縁部との距離を演算する演算処理装置と、
   を備えることを特徴とするガラスフィルム積層体の検査装置。

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