JP3162472U

JP3162472U - 自動光学検査システム

Info

Publication number: JP3162472U
Application number: JP2010004239U
Authority: JP
Inventors: 君諺林; 金來 ▲呉▼; 金山田
Original assignee: 上海中晶科技有限公司
Priority date: 2010-04-09
Filing date: 2010-06-23
Publication date: 2010-09-02
Anticipated expiration: 2020-06-23
Also published as: TWM387995U

Abstract

【課題】被検査物の揺れにより生じるイメージシフト問題を改善することができる自動光学検査システムを提供する。【解決手段】自動光学検査システムは、イメージ捕捉装置と、基準マーク分析ユニットと、イメージ校正ユニットと、欠陥分析ユニットと、からなる。イメージ捕捉装置は、被検査物のイメージを捕捉するのに用いられる。基準マーク分析ユニットはイメージ捕捉装置と電気的に接続され、イメージの中の基準マークを探すのに用いられる。イメージ校正ユニットは基準マーク分析ユニットと電気的に接続され、基準マークに基づいて、イメージを校正し、校正イメージを出力する。欠陥分析ユニットはイメージ校正ユニットと電気的に接続され、校正イメージに欠陥があるかどうかを分析する。【選択図】図１

Description

本考案は、自動光学検査システムに関するものであって、特に、スキャンイメージシフトを校正できる自動光学検査システムに関するものである。

自動光学検査(Automated Optical Inspection，AOI)システムは、薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ（TFT LCD）、半導体チップとプリント回路板（PCB）等の工業製造プロセス等の外観検査に幅広く応用されている。自動光学検査システムは、光学方式により、被検査物の表面イメージを取得した後、イメージ処理技術により、異物やパターン異常等の欠陥を検出する。

イメージ捕捉装置の視野は被検査物の面積より小さいので、イメージ捕捉装置は、被検査物全体をスキャンして、被検査物全体を撮像する必要がある。しかし、スキャンプロセス中、被検査物は揺れを生じて、形成されたスキャンイメージにイメージシフトの状況があり、後続の欠陥判定プロセスに不利である。

よって、イメージシフトを生成するスキャンイメージをどのようにして校正するかが目下の努力目標である。

本考案は、自動光学検査システムを提供し、適当な基準マークを設置して、被検査物のスキャン後に形成されるスキャンイメージ中に、対応する基準マークを具備させ、基準マークにより、形成されたスキャンイメージを校正して、被検査物に欠陥が存在しないかを判断する後続のプロセスを容易にすることを目的とする。

本考案の実施例による自動光学検査システムは、イメージ捕捉装置（image capturing device）と、基準マーク分析ユニット（fiducial mark analyzing unit）と、イメージ校正ユニット（image calibrating unit）と、欠陥分析ユニット（defect analyzing unit）と、からなる。イメージ捕捉装置は、被検査物のイメージを捕捉するのに用いられる。基準マーク分析ユニットはイメージ捕捉装置と電気的に接続され、イメージ中の基準マークを探すのに用いられる。イメージ校正ユニットは基準マーク分析ユニットと電気的に接続され、基準マークに基づいて、イメージを校正し、校正イメージを出力する。欠陥分析ユニットはイメージ校正ユニットと電気的に接続されて、校正イメージに欠陥がないかどうかを分析する。

本考案により、被検査物の揺れにより生じるイメージシフト問題が改善される。

本考案の実施例による自動光学検査システムを示す図である。本考案の実施例による自動光学検査システムで捕捉される原始スキャンイメージ図である。本考案の実施例による自動光学検査システムで捕捉される校正スキャンイメージ図である。本考案のもう一つの実施例による自動光学検査システムを示す図である。本考案のもう一つの実施例による自動光学検査システムで捕捉される原始スキャンイメージ図である。本考案のもう一つの実施例による自動光学検査システムで捕捉される校正スキャンイメージ図である。

図１を参照すると、本考案の一つの実施例による自動光学検査システムは、イメージ捕捉装置１１と、基準マーク分析ユニット１２と、イメージ校正ユニット１３と、欠陥分析ユニット１４と、からなる。イメージ捕捉装置１１は、被検査物３０のイメージを捕捉する。一つの実施例において、被検査物３０の被検査面積は、イメージ捕捉装置１１の視野より大きく、よって、イメージ捕捉装置１１は、線形イメージセンサー、例えば、電荷結合素子(Charge Coupled Device，CCD)、相補型MOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor，CMOS)センサー、或いは、密着型イメージセンサー(Contact Image Sensor，CIS)で、被検査物３０をイメージ捕捉装置１１に相対して移動させ、完全な被検査物３０のスキャンイメージを取得する。一つの実施例において、被検査物３０は布などの軟性材質である。本考案の自動光学検査システムは、検査プラットホーム２０を含む。検査プラットホーム２０は、被検査物３０を搭載し、被検査物３０が平坦な状態で、イメージ捕捉装置１１のスキャンを受けられるようにする。

上述の説明を続けると、基準マーク分析ユニット１２とイメージ捕捉装置１１は電気的に接続される。基準マーク分析ユニット１２は、イメージ捕捉装置１１が捕捉したスキャンイメージ中の基準マークを探す。図１の実施例のように、基準マーク３１は、被検査物３０の被検査表面に描かれてあり、イメージ捕捉装置１１が捕捉したスキャンイメージには、対応する基準マークを有する。イメージ校正ユニット１３は基準マーク分析ユニット１２と電気的に接続され、イメージ中の基準マークにより、イメージを校正して、校正イメージを出力する。欠陥分析ユニット１４とイメージ校正ユニット１３は電気的に接続され。欠陥分析ユニット１４は、イメージ校正ユニット１３により校正された校正イメージ中に欠陥が存在するかどうかを分析する。注意すべきことは、被検査物、及び/又は、欠陥の形式は異なり、操作者は、異なるイメージ処理方法により、イメージ中の欠陥を分析することができる。この他、一つの実施例において、基準マーク分析ユニット１２、イメージ校正ユニット１３、及び、欠陥分析ユニット１４は、電子装置１０、例えば、コンピュータやイメージ処理システムに整合されることができる。

図２ａは、イメージ捕捉装置１１が図１の実施例により捕捉した一部分のスキャンイメージである。スキャンイメージは、多くのイメージセグメント４０からなる。各イメージセグメント４０は、検査プラットホーム２０の対応する検査プラットホームイメージ４２０と、被検査物３０の対応する被検査物イメージ４３０と、基準マーク３１の対応する基準マークイメージ４３１と、を含む。図２ａのように、被検査物３０（例えば、布）は、イメージ捕捉装置１１に相対して移動し、スキャン時に揺れを生じ、被検査物３０がイメージシフト現象を生じる。基準マーク分析ユニット１２は、イメージセグメント４０中の基準マーク３１に対応する基準マークイメージ４３１を探し出して、イメージ校正ユニット１３が、基準マーク３１に基づいて、スキャンイメージを校正し、校正後のスキャンイメージは図２ｂで示される。これにより、後続の欠陥分析ユニット１４は所定のイメージ領域内で、欠陥が存在するかどうかを分析することができる。

図３を参照すると、本考案のもう一つの実施例による自動光学検査システムと図１の実施例の差異は、基準マーク３１'が検査プラットホーム２０に設置されることである。被検査物３０が検査プラットホーム２０に放置される時、基準マーク３１'の一部を遮蔽する。一つの実施例において、基準マーク３１'は直線、目盛り、又は、それらの組み合わせである。図４ａのように、イメージセグメント４０中の基準マーク３１'の対応する基準マークイメージ４３１'の長さに基づいて、イメージ校正ユニット１３は、被検査物イメージ４３０のシフト方向と距離を判断して、図４ｂで示されるように、校正する。同様に、距離の目盛りが表示される基準マーク３１'により上述の目的を達成することもできる。又は、基準マーク３１'は大小同じ黒と白の縞柄で、後続のイメージ処理プロセスにおいて、距離を判断するのに用いる。もう一つの実施例において、基準マーク３１'は光源であり、イメージ捕捉装置１１の相対側に設けられ。これにより、後続のイメージ処理プロセス中、イメージ校正ユニット１３は、被検査物イメージ４３０の境界を容易に判断することができ、揃うように校正する。又は、イメージ校正ユニット１３は、高輝度の基準マークイメージ４３１'の長さに基づいて、被検査物イメージ４３０を校正する。

上述を総合すると、本考案の自動光学検査システムは、適当な基準マークを設置することにより、被検査物のスキャン後に形成されるスキャンイメージの中に、対応する基準マークを有し、後続のイメージ処理プロセスで、基準マークにより、形成されたスキャンイメージを校正して、被検査物に欠陥が存在するかどうかを判定する。

本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本考案の保護範囲は、実用新案登録請求の範囲で指定した内容を基準とする。

１０電子装置
１１イメージ捕捉装置
１２基準マーク分析ユニット
１３イメージ校正ユニット
１４欠陥分析ユニット
２０検査プラットホーム
３０被検査物
３１、３１' 基準マーク
４０イメージセグメント
４２０検査プラットホームイメージ
４３０被検査物イメージ
４３１、４３１' 基準マークイメージ

Claims

自動光学検査システムであって、
被検査物のイメージを捕捉するイメージ捕捉装置と、
前記イメージ捕捉装置と電気的に接続され、前記イメージの中の基準マークを探す基準マーク分析ユニットと、
前記基準マーク分析ユニットと電気的に接続され、前記基準マークに基づいて、前記イメージを校正して、校正イメージを出力するイメージ校正ユニットと、
前記イメージ校正ユニットと電気的に接続され、前記校正イメージに欠陥が存在するかどうかを分析する欠陥分析ユニットと、
を備えることを特徴とする自動光学検査システム。
前記基準マークは基準線を含み、前記被検査物の検査表面に描かれることを特徴とする請求項１に記載の自動光学検査システム。
更に、前記被検査物を搭載する検査プラットホームを有し、前記基準マークは前記検査プラットホームに設置されることを特徴とする請求項１に記載の自動光学検査システム。
前記基準マークは、直線、目盛り、又は、それらの組み合わせを含むことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の自動光学検査システム。
前記基準マークは光源を含み、前記イメージ捕捉装置と相対して設けられることを特徴とする請求項３に記載の自動光学検査システム。
前記イメージ捕捉装置は、線形イメージセンサーを含むことを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の自動光学検査システム。
前記イメージ捕捉装置は、電荷結合素子(Charge Coupled Device，CCD)、相補型MOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor，CMOS)センサー、或いは、密着型イメージセンサー(Contact Image Sensor，CIS)を含むことを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の自動光学検査システム。
前記基準マーク分析ユニット、前記イメージ校正ユニット、及び、前記欠陥分析ユニットは、電子装置に整合されることを特徴とする請求項１から７の何れか１項に記載の自動光学検査システム。
前記被検査物は布を含むことを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載の自動光学検査システム。