JP6531487B2 - 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
近年では、基板の表面に複雑な3次元パターンを形成するために、基板の表面に形成される膜の多層化が進んでいる。このため基板上の被成膜領域の面積が増大しており、処理ガスの使用量が多くなっていることから、排気される処理ガスの量も多くなっている。こうしたことから原料のコスト高を招いていると共に、今後資源の消費を抑制する要請も強まっていくものと思われる。
各々ガス中の原料を捕捉し、原料供給源となる第1の原料捕捉部及び第2の原料捕捉部と、
前記第1及び第2の原料捕捉部にキャリアガスを供給し、原料捕捉部に捕捉された原料を昇華して原料供給路を介して前記処理容器内に供給するためのキャリアガス供給部と、
前記第1及び第2の原料捕捉部の温度を、原料を捕捉するための温度と捕捉した原料を昇華させるための温度との間で調整するための温度調整部と、
前記処理容器内を前記第1の原料捕捉部を介して真空排気機構により真空排気するための第1の排気路と、
前記処理容器内を前記第2の原料捕捉部を介して真空排気機構により真空排気するための第2の排気路と、
前記第1の原料捕捉部を用いて被処理体に対して成膜処理を行っているときには前記第2の排気路により真空排気を行い、前記第2の原料捕捉部を用いて被処理体に対して成膜処理を行っているときには前記第1の排気路により真空排気を行うように排気路を切り替える切替え部と、を備えたことを特徴とする。
各々ガス中の原料を捕捉し、原料供給源となる第1の原料捕捉部及び第2の原料捕捉部を用い、
前記第1の原料捕捉部の固体の原料を昇華してキャリアガスと共に真空雰囲気である処理容器内に供給して被処理体に対して成膜処理を行い、当該成膜処理を行っているときに、前記処理容器内を前記第2の原料捕捉部を介して真空排気し、原料を捕捉するための温度に設定された前記第2の原料捕捉部に排気ガス中の原料を捕捉する工程と、
その後、前記第2の原料捕捉部の温度を原料を昇華するための温度に設定する工程と、
原料を昇華するための温度に設定された前記第2の原料捕捉部にキャリアガスを供給し、当該第2の原料捕捉部に捕捉された原料を昇華して真空雰囲気である処理容器内に供給して被処理体に対して成膜処理を行い、当該成膜処理を行っているときに、前記処理容器内を前記第1の原料捕捉部を介して真空排気し、原料を捕捉するための温度に設定された前記第1の原料捕捉部に排気ガス中の原料を捕捉する工程と、を含むことを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、上述の成膜方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
本発明の成膜装置に係る第1の実施の形態について図1〜図4を参照して説明する。図1に示すように成膜装置は、被処理体、例えば基板である半導体ウエハ(以下「ウエハ」という)に対して、例えばいわゆるALD法による成膜処理を行なうための3つの成膜処理部1A〜1Cと、各成膜処理部1A〜1Cに原料ガスを供給する原料供給系2A〜2Cと、各原料供給系2A〜2Cに対して後述のように原料を補充するための共通の原料タンク3と、を備えている。この例ではALD法として、原料ガスであるWCl6(六塩化タングステン)と、反応ガス(還元ガス)である水素(H2)とを処理ガスとしてW(タングステン)膜を成膜する例を挙げている。
また主排気路13におけるバルブV13よりも真空容器10側には、例えばステンレスで構成された戻り管路80の一端が接続されている。戻り管路80の他端側は、戻り管路81、82に分岐されており、戻り管路81は分岐管31におけるバルブV1の下流側に接続され、戻り管路82は分岐管33におけるバルブV3の下流側に接続されている。戻り管路81、82には夫々バルブV9、V10が介設されている。
従って真空排気を行う排気路を第1の排気路と第2の排気路との間で切り替えるバルブV5、V6、V9、V10及びV13は切替え部に相当する。
この時H2と残留するWCl6とにより、例えばWCl4、WCl5、H2,HCl、Cl2などの副生成物が生成され、排気ガスとして、他方の原料捕捉部42を通過する。原料となるWCl6と比較して、分解生成物であるWCl4、WCl5、H2、HCl、Cl2は、蒸気圧が高い。他方の原料捕捉部42は、真空容器10とおよそ同じ圧力である10〜50Torr(1.33KPa〜6.67KPa)となっており、更に0℃〜60℃、例えば60℃に設定されている。そのため、他方の原料捕捉部42には、WCl6のみが析出し、WCl4、WCl5、H2、HCl、Cl2などの分解生成物は、他方の原料捕捉部42を通過して、排気される。そして図2に示すバルブV73、V74を閉じた後、バルブV75を開き、置換ガスを真空容器10に供給して、真空容器10内の雰囲気を置換する。こうしてバルブV2、V73、V74、V75のオン、オフ制御によって真空容器10内に、WCl6を含む原料ガス→置換ガス→反応ガス→置換ガスを供給するサイクルを複数回繰り返すことにより、所定の厚さのW膜の成膜を行う。
ここでビルドアップ法について説明する。密閉された容器内に原料が析出すると容器の気相の体積が析出した原料の体積分小さくなる。温度を一定にして真空の容器内に一定の流速でガスを供給したときの圧力は、ボイルの法則に従うため、体積に反比例する。そのため容器内に原料が析出していない状態において、容器内にN2ガスを供給したときのN2ガスの供給量と圧力の変化とにより容器の体積を求める。そして容器内に原料を析出させて、容器内にN2ガスを供給したときのN2ガスの供給量と圧力の変化とにより求まる容器内気相の体積を差し引くことにより、析出している原料の体積が求まる。更に原料の体積が求まることから、予め原料の密度を把握しておくことにより、析出した原料の重量が分かる。その後バルブV3を開き、不足分の原料を原料タンク3から他方の原料捕捉部42に補充する。
既述のように半導体デバイスにおいて薄膜の多層化が進み、ウエハ100の表面積が大きくなって原料の使用量が増大しているなどの事情から本発明は極めて有効である。
また、一方及び他方の原料捕捉部41、42の一方を原料供給源として使用しているときに、他方に真空容器10からの排気ガスを通流させて排気ガス中の原料を捕捉して回収しているため、装置の稼働率の低下が抑えられる。
このような例においては、真空容器10から、戻り管路80及び戻り管路82を介して、原料捕捉部42を通過し、排気管36、合流管38、主排気路13を介して排気される排気経路が第1の排気路に相当し、主排気路13から真空排気機構24により排気される排気経路が第2の排気路に相当する。
2A〜2C 原料供給系
3 原料タンク
8 ヒータ
9 制御部
13 主排気路
41 一方の原料捕捉部
42 他方の原料捕捉部
43 捕捉部
80、81、82 戻り管路
V1〜V10 バルブ
Claims (6)
- 原料供給源の固体の原料を昇華してキャリアガスと共に真空雰囲気である処理容器内に供給して被処理体に対して行われる成膜処理であって、副生成物の蒸気圧が前記原料の蒸気圧よりも高い成膜処理を行うための成膜装置において、
各々ガス中の原料を捕捉し、原料供給源となる第1の原料捕捉部及び第2の原料捕捉部と、
前記第1及び第2の原料捕捉部にキャリアガスを供給し、原料捕捉部に捕捉された原料を昇華して原料供給路を介して前記処理容器内に供給するためのキャリアガス供給部と、
前記第1及び第2の原料捕捉部の温度を、原料を捕捉するための温度と捕捉した原料を昇華させるための温度との間で調整するための温度調整部と、
前記処理容器内を前記第1の原料捕捉部を介して真空排気機構により真空排気するための第1の排気路と、
前記処理容器内を前記第2の原料捕捉部を介して真空排気機構により真空排気するための第2の排気路と、
前記第1の原料捕捉部を用いて被処理体に対して成膜処理を行っているときには前記第2の排気路により真空排気を行い、前記第2の原料捕捉部を用いて被処理体に対して成膜処理を行っているときには前記第1の排気路により真空排気を行うように排気路を切り替える切替え部と、を備えたことを特徴とする成膜装置。 - 前記処理容器に対して被処理体を搬入または搬出するときには、当該処理容器内の圧力は成膜処理時の圧力よりも低く設定されると共に、前記第1の排気路及び第2の排気路以外の排気路により真空排気を行って、排気ガスが原料捕捉部を通らないように排気路が切り替えられることを特徴とする請求項1記載の成膜装置
- 前記成膜処理は、前記固体原料を昇華して得られた原料と水素ガスとを反応させて行われる処理であることを特徴とする請求項1または2に記載の成膜装置。
- 原料供給源の固体の原料を昇華してキャリアガスと共に真空雰囲気である処理容器内に供給して被処理体に対して行われる成膜処理であって、副生成物の蒸気圧が前記原料の蒸気圧よりも高い成膜処理を行うための成膜方法において、
各々ガス中の原料を捕捉し、原料供給源となる第1の原料捕捉部及び第2の原料捕捉部を用い、
前記第1の原料捕捉部の固体の原料を昇華してキャリアガスと共に真空雰囲気である処理容器内に供給して被処理体に対して成膜処理を行い、当該成膜処理を行っているときに、前記処理容器内を前記第2の原料捕捉部を介して真空排気し、原料を捕捉するための温度に設定された前記第2の原料捕捉部に排気ガス中の原料を捕捉する工程と、
その後、前記第2の原料捕捉部の温度を原料を昇華するための温度に設定する工程と、
原料を昇華するための温度に設定された前記第2の原料捕捉部にキャリアガスを供給し、当該第2の原料捕捉部に捕捉された原料を昇華して真空雰囲気である処理容器内に供給して被処理体に対して成膜処理を行い、当該成膜処理を行っているときに、前記処理容器内を前記第1の原料捕捉部を介して真空排気し、原料を捕捉するための温度に設定された前記第1の原料捕捉部に排気ガス中の原料を捕捉する工程と、を含むことを特徴とする成膜方法。 - 前記処理容器に対して被処理体を搬入または搬出するときには、当該処理容器内の圧力は成膜処理時の圧力よりも低く設定されると共に、前記第1の排気路及び第2の排気路以外の排気路により真空排気を行って、排気ガスが原料捕捉部を通らないように排気路が切り替えられることを特徴とする請求項4記載の成膜方法。
- 原料供給源の固体の原料を昇華してキャリアガスと共に真空雰囲気である処理容器内に供給して被処理体に対して成膜処理を行う成膜装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項4または5に記載の成膜方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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