JP5792215B2 - ホットワイヤ式処理装置 - Google Patents
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図1は、この発明の実施の形態であるホットワイヤ式処理装置1の全体構造を示す模式図である。このホットワイヤ式処理装置1は、処理対象である基板21の表面に、活性化した原子状水素のアシストによりZnSeを成膜する装置である。図1に示すように、ホットワイヤ式処理装置1は、メインチャンバ2、サブチャンバ3、原料ガス供給部4、反応ガス供給部5を有する。
まず、基板21を載置台20に載置する。その後、ロータリーポンプ41を起動してメインチャンバ2及びサブチャンバ3内を排気するとともにパージガスを流して真空状態にする。その後、載置台20を約300℃にして基板21の温度も約300℃にする。また、ホットワイヤ31を約1800℃にする。その後、反応ガス供給部5から反応ガスとしての水素を流量30〜50sccmでサブチャンバ3に流入し、サブチャンバ3で生成した原子状水素を粘性流としてメインチャンバ2に輸送する。一方、原料ガス供給部4から原料ガスとしてのジエチレン亜鉛ガス及びジエチレンセレンガスをメインチャンバ2内に供給する。ジエチレン亜鉛ガス生成のキャリアガス流量は1〜5sccmであり、ジエチレンセレンガス生成のキャリアガス流量は5〜10sccmである。
図2は、サブチャンバ3の詳細構成を示す模式図である。図2に示すように、ホットワイヤ31は、サブチャンバ3の内部空間3Eの円柱軸方向を軸とするスパイラル構造である。なお、ホットワイヤ31は、タングステンであるが、電極としての銅ロッド31aに接続されている。ホットワイヤ31は、線径0.5mm、長さ220mmである。スパイラル構造であることから、コンパクトであるにもかかわらず、ワイヤ全体の表面積を大きくでき、しかも、メインチャンバ2内の基板21への輻射面積を小さくすることができる。すなわち、ホットワイヤ31の巻き数をnとすると、従来の平面配置に比べ、約1/nの輻射面積とすることができる。図3は、図2に示したサブチャンバ3のA−A線断面図である。図3に示すように、メインチャンバ2側の1巻き分がメインチャンバ2側への輻射面積となる。これにより、ホットワイヤ31から基板21への輻射熱R1を小さくすることができる。
上述した実施の形態では、成膜処理について説明したが、原料ガスを供給せず、反応ガスのみを供給することによって、活性種による金属酸化膜の還元やフォトレジストの除去などの表面処理を行うことができる。
2 メインチャンバ
2E,3E 内部空間
3 サブチャンバ
4 原料ガス供給部
5 反応ガス供給部
12,13 マスフローコントローラ
14,15 容器
16,17,18,19 管路
20 載置台
21 基板
22,32 電源
31 ホットワイヤ
31a 銅ロッド
33 冷却部
34 冷却器
41 ロータリーポンプ
A1 粘性流
A2 逆拡散
V1〜V6,V8,V9,V11〜V17,V21,V22 バルブ
V7,V10 調整バルブ
V23 可変バルブ
Claims (8)
- 内部に処理対象が載置される載置台が設けられ、真空状態に維持されるメインチャンバと、
内部空間が円柱形状を形成する円筒構造であり、該内部空間の一端から流入した反応ガスを接触させて少なくとも活性種を生成するホットワイヤが該内部空間に設けられ、前記円筒構造の内径と前記メインチャンバの開口径とを同一にして該内部空間の他端が前記メインチャンバの内部空間に直結し、前記活性種を粘性流として前記メインチャンバ側に一方向的かつ直線的に輸送するサブチャンバと、
前記サブチャンバの一端から前記反応ガスを流入する反応ガス供給部と、
を備えたことを特徴とするホットワイヤ式処理装置。 - 前記ホットワイヤは、前記サブチャンバの内部空間の円柱軸方向を軸とするスパイラル構造であることを特徴とする請求項1に記載のホットワイヤ式処理装置。
- 前記サブチャンバは、側壁を冷却する冷却部を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のホットワイヤ式処理装置。
- 前記サブチャンバの内壁は、非金属材料で形成されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のホットワイヤ式処理装置。
- 前記メインチャンバ及び前記サブチャンバの圧力は、10〜3000Paに維持されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のホットワイヤ式処理装置。
- 前記ホットワイヤと前記処理対象との距離は、100〜500mmであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のホットワイヤ式処理装置。
- 前記メインチャンバ内に原料ガスを供給する原料ガス供給部をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載のホットワイヤ式処理装置。
- 前記反応ガスは、水素であり、前記活性種は、原子状水素であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載のホットワイヤ式処理装置。
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