JP6526543B2 - めっき処理装置及びめっき処理方法 - Google Patents
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Description
(1)基板に対して所定のめっき処理温度でめっき処理を行うめっき処理部と、前記めっき処理部の動作を制御する制御部とを備えるめっき処理装置であって、
前記めっき処理部が、
前記基板に対して、所定の濃度範囲で所定のめっき性能を発揮するめっき液を供給するめっき液供給部と、
前記基板に対して供給された前記めっき液を前記所定のめっき処理温度に加熱するめっき液加熱部と、
を備え、
前記めっき液供給部から前記基板に対して供給される前記めっき液が、前記所定のめっき処理温度未満に調整された初期温度と、前記めっき液加熱部によって加熱されて前記所定のめっき処理温度に達した時点の前記めっき液の濃度が前記所定の濃度範囲の下限値以上かつ前記所定の濃度範囲の中央値以下となるように調整された初期濃度とを有し、
前記制御部が、前記基板に対して、所定量の前記めっき液が1回供給された後、供給された前記めっき液が前記所定のめっき処理温度に加熱され、前記所定のめっき処理温度に加熱された前記めっき液により前記めっき処理が行われるように、前記めっき液供給部及び前記めっき液加熱部を制御する、前記めっき処理装置。
(2)前記初期濃度が、前記所定のめっき処理温度に達した時点の前記めっき液の濃度が前記所定の濃度範囲の下限値付近となるように調整されている、(1)に記載のめっき処理装置。
(3)前記初期濃度が、前記所定の濃度範囲の下限値未満に調整されている、(1)又は(2)に記載のめっき処理装置。
(4)前記めっき処理部が、前記基板の上方に設けられたトッププレートを備え、
前記基板に対して供給された前記めっき液が前記めっき液加熱部によって加熱される際、前記基板と前記トッププレートとの間に、前記基板に対して供給された前記めっき液から発生した水蒸気が滞留する空間が形成される、(1)〜(3)のいずれかに記載のめっき処理装置。
(5)基板に対して所定のめっき処理温度でめっき処理を行うめっき処理方法であって、
前記基板に対して、所定の濃度範囲で所定のめっき性能を発揮するめっき液であって、前記所定のめっき処理温度未満に調整された初期温度と、前記所定のめっき処理温度に達した時点の前記めっき液の濃度が前記所定の濃度範囲の下限値以上かつ前記所定の濃度範囲の中央値以下となるように調整された初期濃度とを有する前記めっき液を供給するめっき液供給工程と、
前記基板に対して供給された前記めっき液を前記所定のめっき処理温度に加熱するめっき液加熱工程と、
を含み、
前記めっき液供給工程において、前記基板に対して、所定量の前記めっき液を1回供給し、
前記めっき液加熱工程において、前記めっき液供給工程で供給された前記めっき液を前記所定のめっき処理温度に加熱し、前記所定のめっき処理温度に加熱された前記めっき液により前記めっき処理を行う、前記めっき処理方法。
(6)前記初期濃度が、前記所定のめっき処理温度に達した時点の前記めっき液の濃度が前記所定の濃度範囲の下限値付近となるように調整されている、(5)に記載のめっき処理方法。
(7)前記初期濃度が、前記所定の濃度範囲の下限値未満に調整されている、(5)又は(6)に記載のめっき処理方法。
(8)前記めっき液加熱工程が、前記基板と前記基板の上方に設けられたトッププレートとの間に、前記基板に対して供給された前記めっき液から発生した水蒸気が滞留する空間が形成された状態で行われる、(5)〜(7)のいずれかに記載のめっき処理方法。
(9)めっき処理装置の動作を制御するためのコンピュータにより実行されたときに、前記コンピュータが前記めっき処理装置を制御して(5)〜(8)のいずれかに記載のめっき処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体。
図1を参照して、本発明の一実施形態に係るめっき処理装置の構成を説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るめっき処理装置の構成を示す概略図である。
図2を参照して、めっき処理ユニット2の構成を説明する。図2は、めっき処理ユニット2の構成を示す概略平面図である。なお、図2中の点線は基板を表す。
図3を参照して、めっき処理部5の構成を説明する。図3は、めっき処理部5の構成を示す概略断面図である。
Z/Y=1−2CL/(CL+CH)であるとき、めっき液M1の初期濃度(%)の上限値である(CL+CH)(1−Z/Y)/2は、CLと等しい。
Z/Y>1−2CL/(CL+CH)であるとき、めっき液M1の初期濃度(%)の上限値である(CL+CH)(1−Z/Y)/2は、CL未満である。
Z/Y<1−2CL/(CL+CH)であるとき、めっき液M1の初期濃度(%)の上限値である(CL+CH)(1−Z/Y)/2は、CLを超える。
したがって、めっきM1の初期濃度(%)の下限値は、常に、CL未満であるが、めっきM1の初期濃度(%)の上限値は、CL未満の場合もあるし、CLと等しい場合もあるし、CLを超える場合もある。
以下、めっき処理装置1により実施されるめっき処理方法について説明する。めっき処理装置1によって実施されるめっき処理方法は、基板W1に対してめっき処理を行うめっき工程を含む。めっき工程におけるめっき処理は、めっき処理部5により実施される。めっき処理部5の動作は、制御部3によって制御される。めっき処理装置1によって実施されるめっき処理方法は、めっき工程以外の工程を含んでいてもよい。
2 めっき処理ユニット
3 制御部
5 めっき処理部
53 めっき液供給部
61 トッププレート
63 めっき液加熱部
W1 基板
M1 めっき液
S 空間
Claims (19)
- 基板に対して所定のめっき処理温度でめっき処理を行うめっき処理部と、前記めっき処理部の動作を制御する制御部とを備えるめっき処理装置であって、
前記めっき処理部が、
前記基板に対して、前記所定のめっき処理温度でめっき処理を行った場合に所定の濃度範囲で所定のめっき性能を発揮するめっき液を供給するめっき液供給部と、
前記基板に対して供給された前記めっき液を前記所定のめっき処理温度に加熱するめっき液加熱部と、
を備え、
前記めっき液が、前記めっき液に含有される全ての成分のうち、前記所定のめっき性能を発揮するための濃度範囲の上限値と下限値との差が最も小さい所定成分を含有し、
前記所定の濃度範囲の下限値が、前記所定のめっき性能を発揮するための前記所定成分の濃度範囲の下限値であり、
前記所定の濃度範囲の上限値が、前記所定のめっき性能を発揮するための前記所定成分の濃度範囲の上限値であり、
前記めっき液供給部から前記基板に対して供給される前記めっき液が、前記所定のめっき処理温度未満に調整された初期温度と、前記めっき液加熱部によって加熱されて前記所定のめっき処理温度に達した時点の前記めっき液中の前記所定成分の濃度が前記所定の濃度範囲の下限値以上かつ前記所定の濃度範囲の中央値以下となるように調整された初期濃度とを有し、
前記制御部が、前記基板に対して、所定量の前記めっき液が1回供給された後、供給された前記めっき液が前記所定のめっき処理温度に加熱され、前記所定のめっき処理温度に加熱された前記めっき液により前記めっき処理が行われるように、前記めっき液供給部及び前記めっき液加熱部を制御する、前記めっき処理装置。 - 前記所定のめっき処理温度が、60〜70℃である、請求項1に記載のめっき処理装置。
- 前記めっき液が、めっき膜を形成する金属イオンと、還元剤とを含有する、請求項1又は2に記載のめっき処理装置。
- 前記所定成分が、前記金属イオンである、請求項3に記載のめっき処理装置。
- 前記所定成分が、前記還元剤である、請求項3に記載のめっき処理装置。
- 前記所定のめっき処理温度に達した時点の前記めっき液中の前記所定成分の濃度が前記所定の濃度範囲の下限値となるように、前記初期濃度を有する前記めっき液中の前記所定成分の濃度が調整されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載のめっき処理装置。
- 前記初期濃度を有する前記めっき液中の前記所定成分の濃度が、前記所定の濃度範囲の下限値未満に調整されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載のめっき処理装置。
- 前記初期温度が、23〜27℃である、請求項1〜7のいずれか一項に記載のめっき処理装置。
- 前記めっき処理部が、前記基板の上方に設けられたトッププレートを備え、
前記基板に対して供給された前記めっき液が前記めっき液加熱部によって加熱される際、前記基板と前記トッププレートとの間に、前記基板に対して供給された前記めっき液から発生した水蒸気が滞留する空間が形成される、請求項1〜8のいずれか一項に記載のめっき処理装置。 - 基板に対して所定のめっき処理温度でめっき処理を行うめっき処理方法であって、
前記基板に対して、前記所定のめっき処理温度でめっき処理を行った場合に所定の濃度範囲で所定のめっき性能を発揮するめっき液を供給するめっき液供給工程と、
前記基板に対して供給された前記めっき液を前記所定のめっき処理温度に加熱するめっき液加熱工程と、
を含み、
前記めっき液が、前記めっき液に含有される全ての成分のうち、前記所定のめっき性能を発揮するための濃度範囲の上限値と下限値との差が最も小さい所定成分を含有し、
前記所定の濃度範囲の下限値が、前記所定のめっき性能を発揮するための前記所定成分の濃度範囲の下限値であり、
前記所定の温度範囲の上限値が、前記所定のめっき性能を発揮するための前記所定成分の濃度範囲の上限値であり、
前記めっき液供給工程において前記基板に対して供給される前記めっき液が、前記所定のめっき処理温度未満に調整された初期温度と、前記所定のめっき処理温度に達した時点の前記めっき液中の前記所定成分の濃度が前記所定の濃度範囲の下限値以上かつ前記所定の濃度範囲の中央値以下となるように調整された初期濃度とを有し、
前記めっき液供給工程において、前記基板に対して、所定量の前記めっき液を1回供給し、
前記めっき液加熱工程において、前記めっき液供給工程で供給された前記めっき液を前記所定のめっき処理温度に加熱し、前記所定のめっき処理温度に加熱された前記めっき液により前記めっき処理を行う、前記めっき処理方法。 - 前記所定のめっき処理温度が、60〜70℃である、請求項10に記載のめっき処理方法。
- 前記めっき液が、めっき膜を形成する金属イオンと、還元剤とを含有する、請求項10又は11に記載のめっき処理方法。
- 前記所定成分が、前記金属イオンである、請求項12に記載のめっき処理方法。
- 前記所定成分が、前記還元剤である、請求項12に記載のめっき処理方法。
- 前記所定のめっき処理温度に達した時点の前記めっき液中の前記所定成分の濃度が前記所定の濃度範囲の下限値となるように、前記初期濃度を有する前記めっき液中の前記所定成分の濃度が調整されている、請求項10〜14のいずれか一項に記載のめっき処理方法。
- 前記初期濃度を有する前記めっき液中の前記所定成分の濃度が、前記所定の濃度範囲の下限値未満に調整されている、請求項10〜14のいずれか一項に記載のめっき処理方法。
- 前記初期温度が、23〜27℃である、請求項10〜16のいずれか一項に記載のめっき処理方法。
- 前記めっき液加熱工程が、前記基板と前記基板の上方に設けられたトッププレートとの間に、前記基板に対して供給された前記めっき液から発生した水蒸気が滞留する空間が形成された状態で行われる、請求項10〜17のいずれか一項に記載のめっき処理方法。
- めっき処理装置の動作を制御するためのコンピュータにより実行されたときに、前記コンピュータが前記めっき処理装置を制御して請求項10〜18のいずれか一項に記載のめっき処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体。
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