JP6525845B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
4 基台
6,6a,6b,6c カセット
8 カセット載置領域
10 搬送ユニット(搬送手段)
12 第1搬送ユニット(第1搬送手段)
14 第2搬送ユニット(第2搬送手段)
16 吸引パッド(保持手段)
16a 保持面
18 第1移動テーブル
20 第1可動アーム
22 第1移動ユニット(移動手段)
24 フレームユニット保持ハンド(保持手段)
26 第2移動テーブル
28 第2可動アーム
30 第2移動ユニット(移動手段)
32 位置合わせユニット
34 チャックテーブル移動機構
36 Y軸移動テーブル
38 X軸移動テーブル
40 チャックテーブル
40a 保持面
42 クランプ
44 支持構造
46 支持アーム
48 レーザー加工ユニット(レーザー光線照射手段)
50 レンズ
62 側板部
64 棚板部
66 棚板
68 スペーサ
70 側板部
72 棚板部
82 支持部
82a 開口
84 係合部
86 押圧機構
88 突き当て部
88a 端面
11 被加工物
11a 表面
11b 裏面
11c 改質層
13 デバイス
21 保護部材
31 粘着テープ
33 フレーム(環状フレーム)
33a 開口
35 フレームユニット
41 粘着テープ
43 フレーム(環状フレーム)
43a 開口
45 フレームユニット
51 多孔質フィルム
A 解除位置
B 保持位置
L レーザー光線
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射して被加工物を加工するレーザー光線照射手段と、複数の被加工物を収容するカセットが載置されるカセット載置領域と、被加工物を搬送する搬送手段と、各構成要素を制御する制御手段と、を備えるレーザー加工装置であって、
該搬送手段は、
被加工物と同等の大きさの保護部材が片面に貼着された被加工物を搬送する第1搬送手段と、
環状フレームの開口に粘着テープを介して被加工物が支持されたフレームユニットを搬送する第2搬送手段と、を備え、
該制御手段は、
搬送する被加工物の形態に応じて該第1搬送手段又は該第2搬送手段を選択することを特徴とするレーザー加工装置。 - 該第1搬送手段及び該第2搬送手段は、
それぞれ、
被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段を移動させる移動手段と、を備え、
該第1搬送手段の該保持手段は、被加工物を吸引保持する吸引パッドであり、
該第2搬送手段の該保持手段は、該環状フレームの外周に突き当ててフレームユニットを所定の位置に位置付ける突き当て部と、該環状フレームに係合する係合部と、を備えるフレームユニット保持ハンドであることを特徴とする請求項1記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015207293A JP6525845B2 (ja) | 2015-10-21 | 2015-10-21 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015207293A JP6525845B2 (ja) | 2015-10-21 | 2015-10-21 | レーザー加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017079284A JP2017079284A (ja) | 2017-04-27 |
JP6525845B2 true JP6525845B2 (ja) | 2019-06-05 |
Family
ID=58665530
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015207293A Active JP6525845B2 (ja) | 2015-10-21 | 2015-10-21 | レーザー加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7184620B2 (ja) * | 2018-12-11 | 2022-12-06 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7453507B2 (ja) | 2019-12-27 | 2024-03-21 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送システム |
-
2015
- 2015-10-21 JP JP2015207293A patent/JP6525845B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2017079284A (ja) | 2017-04-27 |
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