JP6523555B2 - 平面位置決め装置および位置決めテーブル - Google Patents
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Description
Claims (15)
- 平面位置決め装置であって、
フラット・コイルからなるコイル構造体を備える固定子と、
該位置決め装置の動作状態において該固定子に対向して配置され、複数の列の磁石を備える平面磁石構造体を有する回転子であって、該平面磁石構造体が広がる平面が、該コイル構造体の平面に平行に配置される、回転子と、
該固定子に対する該回転子の位置を検出するために、該位置決め装置の動作状態において該固定子または該回転子の中に配置される位置測定ヘッドと、
該回転子または該固定子に特定の位置で固定される面積スケールと、
該位置測定ヘッドの位置信号を評価し、該コイル構造体に対する電流の印加を制御して該固定子に対する該回転子の位置を制御するための評価および制御デバイスと、
を備え、
該固定子または該回転子が、該位置測定ヘッドから該面積スケールが見えるようにするための少なくとも1つの窓を有し、該面積スケールが、該コイルと該磁石構造体との間で該窓を越えて延在しており、
該回転子が、磁石の列の磁界のチェス盤状の構造体を備え、それぞれの列が、正方形の輪郭、ならびに1つの磁界におけるすべての該磁石の均一な分極、および隣接した磁界の相互に垂直な分極を有し、
各事例において、隣接した磁界間に分離ウェブが形成され、該磁界および該ウェブは、対角方向に対向した磁石の列の、互いに斜め方向に対向して位置付けられる2つの境界縁部が相互に整列するように構成され、同じ方向に延在する連続した境界ウェブが、それぞれ該ウェブの幅の量だけ横方向にずれている、平面位置決め装置。 - 前記回転子が、チェス盤状の構造体内に磁石の4つの正方形の列を有し、前記整列された境界縁部が、中央の交点において交わる、請求項1記載の平面位置決め装置。
- 前記磁石の列が、前記回転子の前記中央面積を実質的に覆う、請求項1または2記載の平面位置決め装置。
- 磁石のそれぞれの列が、ハルバッハ・アレイを形成する、請求項1から3のいずれか一項記載の平面位置決め装置。
- 前記面積スケールが、前記磁石構造体またはコイル構造体の少なくとも1つの区分上に直接置かれ、前記固定子と前記回転子との間の磁界に影響を与えない材料から形成され、その範囲全体にわたって前記回転子および前記固定子に対して平行な構成を確保するための関連した保持手段を有する、請求項1から4のいずれか一項記載の平面位置決め装置。
- 前記面積スケールが、前記回転子または前記固定子の少なくとも大部分にわたって、および/または前記回転子または前記固定子の複数の窓にわたって、延在する、請求項5記載の平面位置決め装置。
- 前記面積スケールが、材料から製造され、高い固有の剛性を確保する厚さを有する、請求項5または6記載の平面位置決め装置。
- 前記面積スケールが、ガラス、特に強化ガラス、または硬度の高いアルミニウム合金から製造される、請求項5から7のいずれか一項記載の平面位置決め装置。
- 前記面積スケールが、0.5〜3mmの厚さを有する、請求項5から8のいずれか一項記載の平面位置決め装置。
- 前記面積スケールが、前記回転子上で磁石の列の間に設けられたウェブで支持されるように、前記回転子に取り付けられる、請求項5から9のいずれか一項記載の平面位置決め装置。
- 前記保持手段が、前記回転子または前記固定子の両方の延在方向において前記面積スケールを接線方向に締め付けるための締付けデバイスを備える、請求項5から10のいずれか一項記載の平面位置決め装置。
- 前記保持手段が、前記面積スケールと、前記面積スケールが置かれる前記回転子または前記固定子のそれとの間に、特に前記回転子に設けられたウェブおよび/または支持ポイントに、接着結合を備える、請求項5から11のいずれか一項記載の平面位置決め装置。
- 請求項1から12のいずれか一項記載の平面位置決め装置と、該平面位置決め装置のための保持および案内手段と、位置決めされる物体を保持するための物体ホルダとを有する、位置決めテーブル。
- 請求項13記載の位置決めテーブルを有する加工設備、特に工作機械。
- 請求項13記載の位置決めテーブルを有する測定設備。
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